CN202705052U - 多晶硅氢化炉的热场结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种多晶硅氢化炉的热场结构，包括隔热罩、隔热盘和底盘，隔热罩具有一容置腔，该容置腔朝向底盘开设有一开口，底盘封闭该开口，隔热盘定位设置在底盘朝向容置腔的一侧面上，且隔热盘容置于容置腔的内部，另在隔热盘上设置有多个电极座；在容置腔内还设置有多组呈倒U型的加热棒单元，该多组加热棒单元皆由一对加热棒组合体和一连接块相连接而成，其中，该对加热棒组合体均由至少两根加热棒从上而下依次可拆卸固定连接而成，从而使加热棒单元的电阻值可调，而且每根加热棒皆采用等静压石墨材质制成，既提高了加热棒电阻率的可靠性，又延长了加热棒的使用寿命，大大提高了热场的稳定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及多晶硅氢化炉技术领域，尤其涉及一种多晶硅氢化炉的热场结构。
背景技术
多晶硅在生长过程中，由于热场的不稳定，会在晶体内部产生微晶，这样就会使多晶硅生产的可利用率大大降低；现有的氢化炉在设计、制造中存在不足，无法很好的确保热场的稳定性。
发明内容
为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种多晶硅氢化炉的热场结构，该热场结构稳定可靠，有利于提高成晶率。
本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种多晶硅氢化炉的热场结构，包括隔热罩、隔热盘和底盘，所述隔热罩具有一容置腔，该容置腔朝向所述底盘开设有一开口，所述底盘封闭该开口，所述隔热盘定位设置在所述底盘朝向容置腔的一侧面上，且所述隔热盘容置于所述容置腔的内部，另在所述隔热盘上设置有多个电极座；在所述容置腔内还设置有多组呈倒U型的加热棒单元，每组加热棒单元的两底端均分别与其相对应的电极座定位连接。
作为本实用新型的进一步改进，每组加热棒单元皆由一对 加热棒组合体和一连接块组成，其中，该对加热棒组合体均由至少两根加热棒从上而下依次可拆卸固定连接而成，所述连接块横跨并固定设于该对加热棒组合体的顶端。
作为本实用新型的进一步改进，每个加热棒组合体中的相邻两根加热棒之间还设置有石墨纸。
作为本实用新型的进一步改进，在所述隔热盘上环列设有多个通孔，所述电极座嵌置于所述通孔中。
作为本实用新型的进一步改进，在所述容置腔的外周立面上开设有与其内部相通的进气孔，在所述底盘的中心处开设有与所述容置腔内部相通的出气孔。
本实用新型的有益效果是：该热场中的多组加热棒单元皆由一对加热棒组合体和一连接块相连接而成，其中，该对加热棒组合体均由至少两根加热棒从上而下依次可拆卸固定连接而成，从而使加热棒单元的电阻值可调，而且每根加热棒皆采用等静压石墨材质制成，既提高了加热棒电阻率的可靠性，又延长了加热棒的使用寿命，大大提高了热场的稳定性。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
下面参照附图对本实用新型的多晶硅氢化炉的热场结构的实施例进行详细说明。
本实用新型所述的一种多晶硅氢化炉的热场结构，包括隔热罩、隔热盘2和底盘3，所述隔热罩具有一容置腔1，该容 置腔朝向所述底盘开设有一开口，所述底盘封闭该开口，所述隔热盘2定位设置在所述底盘3朝向容置腔的一侧面上，且所述隔热盘容置于所述容置腔的内部，另在所述隔热盘2上设置有多个电极座20；在所述容置腔1内还设置有多组呈倒U型的加热棒单元4，每组加热棒单元的两底端均分别与其相对应的电极座定位连接。
在本实施例中，每组加热棒单元4皆由一对加热棒组合体40和一连接块41组成，其中，该对加热棒组合体均由至少两根加热棒从上而下依次可拆卸固定连接而成，所述连接块横跨并固定设于该对加热棒组合体的顶端。加热棒采用等静压石墨材质，既提高了加热棒电阻率的可靠性，又延长了加热棒的使用寿命。
在本实施例中，每个加热棒组合体40中的相邻两根加热棒之间还设置有石墨纸。
另在本实施例中，在所述隔热盘2上环列设有多个通孔，所述电极座20嵌置于所述通孔中。
在所述容置腔1的外周立面上开设有与其内部相通的进气孔，在所述底盘3的中心处开设有与所述容置腔内部相通的出气孔。
Claims (5)
1.一种多晶硅氢化炉的热场结构，包括隔热罩、隔热盘（2）和底盘（3），所述隔热罩具有一容置腔（1），该容置腔朝向所述底盘开设有一开口，所述底盘封闭该开口，所述隔热盘（2）定位设置在所述底盘（3）朝向容置腔的一侧面上，且所述隔热盘容置于所述容置腔的内部，另在所述隔热盘（2）上设置有多个电极座（20）；其特征在于：在所述容置腔（1）内还设置有多组呈倒U型的加热棒单元（4），每组加热棒单元的两底端均分别与其相对应的电极座定位连接。
2.根据权利要求1所述的多晶硅氢化炉的热场结构，其特征在于：每组加热棒单元（4）皆由一对加热棒组合体（40）和一连接块（41）组成，其中，该对加热棒组合体均由至少两根加热棒从上而下依次可拆卸固定连接而成，所述连接块横跨并固定设于该对加热棒组合体的顶端。
3.根据权利要求2所述的多晶硅氢化炉的热场结构，其特征在于：每个加热棒组合体（40）中的相邻两根加热棒之间还设置有石墨纸。
4.根据权利要求1所述的多晶硅氢化炉的热场结构，其特征在于：在所述隔热盘（2）上环列设有多个通孔，所述电极座（20）嵌置于所述通孔中。
5.根据权利要求1所述的多晶硅氢化炉的热场结构，其特征在于：在所述容置腔（1）的外周立面上开设有与其内部相通的进气孔，在所述底盘（3）的中心处开设有与所述容置腔内部相通的出气孔。
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| CN 201220451254 CN202705052U (zh) | 2012-09-06 | 2012-09-06 | 多晶硅氢化炉的热场结构 |
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2012
- 2012-09-06 CN CN 201220451254 patent/CN202705052U/zh not_active Expired - Fee Related
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