CN201183849Y - 具有石墨冷却块保温条的多晶硅铸锭炉热场结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉内的设备，特别是一种具有石墨冷却块保温条的多晶硅铸锭炉热场结构，包括保温隔热笼体、保温隔热笼体内安装在侧面和顶面的加热器和放置坩埚的石墨冷却块，在石墨冷却块的底部四周安装保温条。保温隔热笼体内四周的保温条原来有三层，现在只保留一层，组成高h为78mm、宽b为82mm的保温带。通过试验，和原来保温隔热笼体内设置上下层叠的三层保温条，石墨冷却块不安装保温条相比，可以使有效区域内微晶的含量降低，使生产出来的晶锭中的微晶含量为0％。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉内的设备，特别是一种具有石墨冷却块保温条的多晶硅铸锭炉热场结构。
背景技术
多晶硅在生长的过程中，由于热场的不稳定，会在晶体内部产生微晶，在现在使用的DSS450多晶硅炉热场没改变的情况下，每个出来的晶锭里微晶含量达到49.9％，这样我们的良品率就会大大降低。晶体的生长方向是向上的，多晶硅铸锭炉内的保温条的作用是使晶块四周的温度不会冷却的太快，使晶体垂直生长，防止晶体没有长完就结晶，从而产生微晶。原有的保温条是三根，这样晶体在生长到一半的时候就结晶了，结晶过程中的固液界面呈水平状，而这种方式是最不理想的，容易产生微晶。石墨冷却块(DS-Block)是起冷却作用，但它如果冷却地过快同样会造成微晶的产生。
实用新型内容
为了克服现有的多晶硅铸锭炉生产出来的晶锭微晶比例过高影响最终产品质量的不足，本实用新型提供一种结晶质量优异的具有石墨冷却块保温条的多晶硅铸锭炉热场结构。
本实用新型所采用的技术方案是：一种具有石墨冷却块保温条的多晶硅铸锭炉热场结构，包括保温隔热笼体、保温隔热笼体内安装在侧面和顶面的加热器、放置坩埚的石墨冷却块以及设置在保温隔热笼体内腔四周的保温带，在石墨冷却块的底部四周安装保温条。
在保温隔热笼体内设置的一圈保温带的高h为73-83mm，宽b为77-87mm。这圈保温带由一层保温条组成。
原有的保温隔热笼体内有三层上下层叠的保温条构成的保温带，现在去掉两层，保温隔热笼体内仅设置一层保温条。
本实用新型的有益效果是：通过试验，和原来保温隔热笼体内设置上下层叠的三层保温条、石墨冷却块不安装保温条相比，可以使有效区域内微晶的含量降低，使生产出来的晶锭中的微晶含量为0％。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型的石墨冷却块的底部的结构示意图。
图中：1.保温隔热笼体，2.加热器，3.石墨冷却块，4.保温条。
具体实施方式
如图1和2所示的一种具有石墨冷却块保温条的多晶硅铸锭炉热场结构，包括保温隔热笼体1、保温隔热笼体1内安装在侧面和顶面的加热器2、放置坩埚的石墨冷却块3以及设置在保温隔热笼体1内腔四周的的保温条4，保温隔热笼体1内四周的保温条4原来有三层现在只保留一层，组成高h为78mm、宽b为82mm的保温带。在石墨冷却块3上钻孔以安装保温条4。
将硅原料加入到坩埚中，坩埚搁放在石墨冷却块3上，坩埚底部和四周衬有护板，顶部具有盖板，在溶化硅材料时，保温隔热笼体1和石墨冷却块3合拢形成加热坩埚中硅原料的热场腔室。
溶化后的硅液冷却结晶时，保温隔热笼体1内和石墨冷却块3底面四周的保温条4使得硅液四周的晶体生长快于中间的结晶，晶体呈凹形生长，在有效区域中微晶的含量降低，使得出来的晶锭中的微晶的含量为0％。
Claims (3)
1、一种具有石墨冷却块保温条的多晶硅铸锭炉热场结构，包括保温隔热笼体(1)、保温隔热笼体(1)内安装在侧面和顶面的加热器(2)、放置坩埚的石墨冷却块(3)以及设置在保温隔热笼体(1)内腔四周的保温带，其特征是：在所述的石墨冷却块(3)的底部四周安装保温条(4)。
2、根据权利要求1所述的具有石墨冷却块保温条的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征是：所述的保温隔热笼体(1)内设置的一圈保温带的高h为73-83mm，宽b为77-87mm。
3、根据权利要求2所述的具有石墨冷却块保温条的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征是：所述的保温带由一层保温条(4)组成。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CNU200820031102XU CN201183849Y (zh) | 2008-01-28 | 2008-01-28 | 具有石墨冷却块保温条的多晶硅铸锭炉热场结构 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| CN (1) | CN201183849Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102925960A (zh) * | 2012-11-27 | 2013-02-13 | 英利能源（中国）有限公司 | 降低硅锭中部缺陷的方法和应用该方法的铸锭炉 |
| CN105200516A (zh) * | 2015-09-08 | 2015-12-30 | 浙江晟辉科技有限公司 | 一种增强排杂效果的多晶硅铸锭工艺 |
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| CN102925960B (zh) * | 2012-11-27 | 2015-09-09 | 英利能源（中国）有限公司 | 降低硅锭中部缺陷的方法和应用该方法的铸锭炉 |
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