CN204589368U - 一种单晶炉的底部保温板 - Google Patents
一种单晶炉的底部保温板 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204589368U CN204589368U CN201520263865.7U CN201520263865U CN204589368U CN 204589368 U CN204589368 U CN 204589368U CN 201520263865 U CN201520263865 U CN 201520263865U CN 204589368 U CN204589368 U CN 204589368U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- circular groove
- single crystal
- holding plates
- base
- crystal growing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种单晶炉的底部保温板，属于单晶炉技术领域。该底部保温板为用石墨硬毡材料制成的底座，所述底座上部中心处设有圆形凹槽，圆形凹槽的侧面设有与埚托底部相适配的坡面，圆形凹槽的槽底与埚托之间设有内腔，圆形凹槽的槽底中心处有一个埚杆安装孔，底座侧面上设有2个以上的将内腔与外部连通的导气孔，底座的底部还设有加热器安装孔。本实用新型采用石墨硬毡材料制成，重量小，大大降低了成本；具有特殊结构，不仅保温效果好，能满足使用要求，更增加了导气孔，废气排放更通畅；结构简单，安装、清理方便，提高了工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域。
背景技术
单晶硅作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其他电子元件，单晶硅的生长技术有两种：区熔法和直拉法，其中直拉法是目前普遍采用的方法。直拉法制造单晶硅的大部分过程都是吸热过程，需要外部供给热量，因此单晶炉的热场系统保温性能对单晶硅制造起着至关重要的作用。
单晶炉的热场中有一层保温材料，该保温材料可保证单晶炉内合适的温度梯度，降低单晶炉的运行功耗。目前单晶炉底部保温材料一般为传统石墨软毡。单晶炉的底部保温板由底部铺设的石墨软毡和石墨反射板组成，石墨反射板分为石墨上板和石墨下板，中间夹有石墨软毡，并用石墨螺栓连接。底部保温板在加热器下部起到保温的作用，减少热场内的热量从下部流失。
上述现有技术的缺点是底部保温板成本高、重量大；结构复杂，不利于安装、清理；并缺少导气结构。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种单晶炉的底部保温板，该底部保温板采用石墨硬毡材料制成，重量小，大大降低了成本；具有特殊结构，不仅保温效果好，能满足使用要求，更增加了导气孔，废气排放更通畅；结构简单，安装、清理方便，提高了工作效率。
为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种单晶炉的底部保温板，其特征在于：该底部保温板为用石墨硬毡材料制成的底座，底座上部中心处设有圆形凹槽，圆形凹槽的侧面设有与埚托底部相适配的的坡面，圆形凹槽的槽底与埚托之间设有内腔，圆形凹槽的槽底中心处有一个埚杆安装孔，底座侧面上设有2个以上的将内腔与外部连通的导气孔，底座的底部还设有加热器安装孔。
作为优选，底座的外周为圆形。
作为优选，加热器安装孔为2个，位于圆形凹槽同一直径的两端；在底座外缘上设有与圆形凹槽连通的加热器安装槽，加热器安装槽位于加热器安装孔的上方。
作为优选，加热器安装孔为圆形，加热器安装孔的直径大于加热器上对应孔的直径。
作为优选，导气孔位于圆形凹槽的侧面上，导气孔与位于底座外缘的上表面和外侧面处的凹槽相连通。
作为优选，导气孔为2个，2个导气孔的中心连线与2个加热器安装孔的中心连线相垂直。
采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本实用新型采用石墨硬毡材料制成，重量小，大大降低了成本；具有特殊结构，不仅保温效果好，能满足使用要求，更增加了导气孔，废气排放更通畅；结构简单，安装、清理方便，提高了工作效率。
附图说明
图1是本实用新型的立体结构示意图；
图2是图1的俯视图。
图中：1、埚杆安装孔；2、加热器安装孔；3、导气孔；4、底座；5、圆形凹槽；6、坡面；7、加热器安装槽；8、凹槽。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
如图1～2所示，一种单晶炉的底部保温板，该底部保温板为用石墨硬毡材料制成的底座4，底座4的外周为圆形。底座4上部中心处设有圆形凹槽5，圆形凹槽5的侧面设有与埚托底部相适配的的坡面，圆形凹槽5的槽底与埚托之间设有内腔。圆形凹槽5的槽底中心处有一个埚杆安装孔1。
底座4的底部还设有2个圆形的加热器安装孔2，加热器安装孔2位于圆形凹槽5同一直径的两端。在底座4外缘上还设有与圆形凹槽5连通的加热器安装槽7，加热器安装槽7位于加热器安装孔2的上方。加热器安装孔2的直径大于加热器上对应孔的直径。
圆形凹槽5的侧面上设有2个将内腔与外部连通的导气孔3，导气孔3与位于底座4外缘的上表面和外侧面处的凹槽8相连通。2个导气孔3的中心连线与2个加热器安装孔2的中心连线相垂直。
本实用新型采用石墨硬毡材料制成，重量小，大大降低了成本；具有特殊结构，不仅保温效果好，能满足使用要求，更增加了导气孔，废气排放更通畅；结构简单，安装、清理方便，提高了工作效率。
Claims (6)
1.一种单晶炉的底部保温板，其特征在于：该底部保温板为用石墨硬毡材料制成的底座（4），所述底座（4）上部中心处设有圆形凹槽（5），圆形凹槽（5）的侧面设有与埚托底部相适配的的坡面（6），圆形凹槽（5）的槽底与埚托之间设有内腔，圆形凹槽（5）的槽底中心处有一个埚杆安装孔（1），底座（4）侧面上设有2个以上的将内腔与外部连通的导气孔（3），底座（4）的底部还设有加热器安装孔（2）。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉的底部保温板，其特征在于所述底座（4）的外周为圆形。
3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉的底部保温板，其特征在于所述加热器安装孔（2）为2个，位于圆形凹槽（5）同一直径的两端；在底座（4）外缘上设有与圆形凹槽（5）连通的加热器安装槽（7），所述加热器安装槽（7）位于加热器安装孔（2）的上方。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉的底部保温板，其特征在于所述加热器安装孔（2）为圆形，加热器安装孔（2）的直径大于加热器上对应孔的直径。
5.根据权利要求3所述的一种单晶炉的底部保温板，其特征在于所述导气孔（3）位于圆形凹槽（5）的侧面上，所述导气孔（3）与位于底座（4）外缘的上表面和外侧面处的凹槽（8）相连通。
6.根据权利要求5所述的一种单晶炉的底部保温板，其特征在于所述导气孔（3）为2个，2个导气孔（3）的中心连线与2个加热器安装孔（2）的中心连线相垂直。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520263865.7U CN204589368U (zh) | 2015-04-28 | 2015-04-28 | 一种单晶炉的底部保温板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520263865.7U CN204589368U (zh) | 2015-04-28 | 2015-04-28 | 一种单晶炉的底部保温板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204589368U true CN204589368U (zh) | 2015-08-26 |
Family
ID=53925540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201520263865.7U Expired - Fee Related CN204589368U (zh) | 2015-04-28 | 2015-04-28 | 一种单晶炉的底部保温板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204589368U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107541789A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-01-05 | 扬中市惠丰包装有限公司 | 22寸热场使用23寸碳碳坩埚 |
-
2015
- 2015-04-28 CN CN201520263865.7U patent/CN204589368U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107541789A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-01-05 | 扬中市惠丰包装有限公司 | 22寸热场使用23寸碳碳坩埚 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN204589368U (zh) | 一种单晶炉的底部保温板 | |
| CN103088408A (zh) | 改进的石墨坩埚 | |
| CN204151459U (zh) | 一种保温铸锭炉 | |
| CN204042525U (zh) | 一种led灯丝球泡灯及其散热器 | |
| CN202799379U (zh) | 一种新型led铜基板 | |
| CN203200374U (zh) | 多晶硅铸锭炉热场结构 | |
| CN206365138U (zh) | 一种带有陶瓷散热器的高频印刷电路板 | |
| CN102583396B (zh) | 气相白炭黑生产用的脱酸设备 | |
| CN202253522U (zh) | 管式散热器 | |
| CN201869389U (zh) | 一种贴壁式大功率加热板 | |
| CN201250298Y (zh) | 分体式石英舟结构 | |
| CN201942784U (zh) | 一种适于直拉法中20英寸硅单晶生长的热场装置 | |
| CN203375115U (zh) | 底座结构 | |
| CN204005854U (zh) | 带有多重散热装置的led灯具 | |
| CN202018948U (zh) | 无极灯耦合器 | |
| CN202452676U (zh) | 一种带锥段体的顶燃式热风炉 | |
| KR101362362B1 (ko) | 사파이어 잉곳 제조용 성장로의 하부 실드 | |
| CN205834197U (zh) | 一种节能钢包包盖 | |
| CN203360618U (zh) | 一种多晶硅铸锭炉的加热装置 | |
| CN202945365U (zh) | 直拉单晶炉加热器用石墨电极 | |
| CN207176119U (zh) | 一种碳化硅加工冷却装置 | |
| CN204693143U (zh) | 一种新型g9灯结构 | |
| CN202390582U (zh) | 改进的石墨坩埚 | |
| CN202610393U (zh) | 一种蓝宝石长晶炉保温装置 | |
| CN102719892B (zh) | 一种蓝宝石长晶炉节能装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150826 Termination date: 20160428 |