CN202390582U - 改进的石墨坩埚 - Google Patents
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- 239000010439 graphite Substances 0.000 title claims abstract description 22
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract 4
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 title abstract 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims abstract description 9
- 241000209456 Plumbago Species 0.000 claims description 18
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229910052904 quartz Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003245 working Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000796 flavoring agent Substances 0.000 description 2
- 235000019634 flavors Nutrition 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 208000008425 Protein Deficiency Diseases 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Abstract
本实用新型公开了改进的石墨坩埚,包括坩埚本体,其特征在于:所述坩埚本体的侧表面设有凹槽,所述坩埚本体的底部设有一层保温层,所述坩埚本体的底部设有排气孔。本实用新型的优点是:结构合理、传热效率高、加热迅速、使用寿命久。
Description
改进的石墨坩埚
技术领域
[0001] 本实用新型涉及改进的石墨坩埚。
背景技术
[0002] 生长硅单晶的装置一般是采用保持原料硅熔体的石英坩埚,其中该坩埚被石墨坩 埚包围,该石墨坩埚用来支撑石英坩埚并实现对石英坩埚进行均匀加热,但是现有的石墨坩埚由于结构简单,存在着传热效率低,加热缓慢,加热时间长,能耗消耗大,浪费资源等缺点,不能满足使用者的使用需求。因此,应该提供一种新的技术方案解决上述问题。
实用新型内容
[0003] 本实用新型的目的是:针对上述不足,提供一种结构合理、传热效率高、加热迅速的改进的石墨坩埚。
[0004] 为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:改进的石墨坩埚,包括坩埚本体,所述坩埚本体的侧表面设有凹槽,所述坩埚本体的底部设有ー层保温层,所述坩埚本体的底部设有排气孔。
[0005] 所述凹槽间隔均匀设置于坩埚本体的侧表面。
[0006] 所述排气孔至少为I个。
[0007] 所述排气孔为2个。
[0008] 本实用新型改进的石墨坩埚,坩埚本体的侧表面设有凹槽,设置凹槽是通过增加石墨坩埚外表面积来提高传热面积,可使石墨坩埚的外表面积增加一倍,达到加大传热量,快速加热的目的。坩埚本体的底部设有ー层保温层,它对坩埚本体的侧面和底部均起到保温作用,使坩埚内部的材料温度达到一致,从而提高坩埚内材料产品的品质。坩埚本体的底部设有排气孔,其可以排出坩埚内部产生的有害气体,避免其发生变形,延长其使用寿命。
[0009] 本实用新型的优点是:结构合理、传热效率高、加热迅速、使用寿命久。
附图说明
[0010] 下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进ー步详细叙述。
[0011] 图I为本实用新型结构示意图。
[0012] 其中:1、坩埚本体,2、凹槽,3、保温层,4、排气孔。
具体实施方式
[0013] 如图I所示,本实用新型改进的石墨坩埚,包括坩埚本体1,坩埚本体I的侧表面设有凹槽2,坩埚本体I的底部设有ー层保温层3,坩埚本体I的底部2个设有排气孔4,凹槽2间隔均匀设置于坩埚本体I的侧表面。
[0014] 本实用新型改进的石墨坩埚,坩埚本体I的侧表面设有凹槽2,设置凹槽2是通过増加石墨坩埚外表面积来提高传热面积,可使石墨坩埚的外表面积增加一倍,达到加大传热量,快速加热的目的。坩埚本体的底部设有ー层保温层3,它对坩埚本体I的侧面和底部均起到保温作用,使坩埚内部的材料温度达到一致,从而提高坩埚内材料产品的品质。坩埚 本体I的底部设有排气孔4,其可以排出坩埚内部产生的有害气体,避免其发生变形,延长其使用寿命。
Claims (4)
1.改进的石墨坩埚,包括坩埚本体,其特征在于:所述坩埚本体的侧表面设有凹槽,所述坩埚本体的底部设有ー层保温层,所述坩埚本体的底部设有排气孔。
2.根据权利要求I所述的改进的石墨坩埚,其特征是:所述凹槽间隔均匀设置于坩埚本体的侧表面。
3.根据权利要求I所述的改进的石墨坩埚,其特征是:所述排气孔至少为I个。
4.根据权利要求I所述的改进的石墨坩埚,其特征是:所述排气孔为2个。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011204352891U CN202390582U (zh) | 2011-11-07 | 2011-11-07 | 改进的石墨坩埚 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011204352891U CN202390582U (zh) | 2011-11-07 | 2011-11-07 | 改进的石墨坩埚 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN202390582U true CN202390582U (zh) | 2012-08-22 |
Family
ID=46665519
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2011204352891U Expired - Fee Related CN202390582U (zh) | 2011-11-07 | 2011-11-07 | 改进的石墨坩埚 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN202390582U (zh) |
-
2011
- 2011-11-07 CN CN2011204352891U patent/CN202390582U/zh not_active Expired - Fee Related
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---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
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C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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