CN202671718U - 蓝宝石长晶炉提拉旋转装置 - Google Patents
蓝宝石长晶炉提拉旋转装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202671718U CN202671718U CN2012203051425U CN201220305142U CN202671718U CN 202671718 U CN202671718 U CN 202671718U CN 2012203051425 U CN2012203051425 U CN 2012203051425U CN 201220305142 U CN201220305142 U CN 201220305142U CN 202671718 U CN202671718 U CN 202671718U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- swivel arrangement
- crystal
- pulling apparatus
- housing
- rotary device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种蓝宝石长晶炉提拉旋转装置,其特征在于它包括提拉装置和旋转装置,所述提拉装置固定支架(1)上的提拉装置壳体(2)向外伸出一横向的连接固定架(9),所述旋转装置包括籽晶提拉杆(11)、旋转装置壳体(12)以及波纹管(13),所述旋转装置壳体(12)与连接固定架(9)的左端连接,所述旋转装置壳体(12)上设置有S型称重仪(15)。本实用新型在提拉过程中具有旋转功能,还能具体反应晶体重量变化,从而可以优化晶体的外观,以及有效判断晶体生长速度的快慢,通过调整长晶炉的输入功率来调整热场的温度,达到晶体生长的最佳温度梯度,使得产品质量较佳。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种蓝宝石长晶炉,尤其涉及一种蓝宝石长晶炉提拉旋转装置,属于蓝宝石技术领域。
背景技术
蓝宝石即AL2O3单晶体,具有熔点高、硬度高、导热性好、透过光波段宽、电绝缘性好、耐强酸强碱腐蚀等特点,因此作为重要的技术晶体材料,被广泛应用在国防、军事、科研等一系列高科技技术领域,同时在民用工业上也有大量的应用,如发光二极管、微电子电路、光学传感性、光波导器件及LED节能领域。2016年,将彻底淘汰使用普通照明用白炽灯,在过去的130年间为人类带来光明的白炽灯如今就要退出市场了,接过它的接力棒的是照明效果更佳也更省电的LED节能灯,所以蓝宝石市场前景广阔。
蓝宝石晶体的生产方法有三种:提拉法(柴氏拉晶法)、泡生法(凯氏长晶法)和温度梯度法,这三种方法,泡生法有以下三方面的优势:一、晶体直径 泡生法可以生长出大直径的晶体,二、晶体方向 在大尺寸有方向性的蓝宝石生长泡生法有很大优势。三、晶体质量,泡生法生产系统拥有适合蓝宝石晶体生长的最佳温度梯度,在生长过程中或结束时晶体不与坩埚接触,大大减少了其热应力,可获得高质量的大晶体。由于泡生法含有以上诸多优点,所以泡生法占具了蓝宝石生产市场的70%的份额。
泡生法是将一根受冷的籽晶与熔体接触,如果界面的温度低于凝固点,则籽晶开始生长,为了保证生长晶体的质量,需要微提拉籽晶,使得晶体生长的界面适合晶体的生长,以生长出高质量的晶体。在长晶过程中有时需要转动晶体,以便形成好的晶体外观质量。生长速度的快慢也会影响晶体质量,生长速度的快慢可以由晶体的重量反应出来。这就需要提拉旋转装置在提拉过程中具有旋转的功能,还应具体反应晶体重量变化。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足,提供一种提拉过程中具有旋转功能,还能具体反应晶体重量变化的蓝宝石长晶炉提拉旋转装置。
本实用新型的目的是这样实现的:
一种蓝宝石长晶炉提拉旋转装置,它包括提拉装置和旋转装置,所述提拉装置包括固定支架,所述固定支架上设置有提拉装置壳体,所述提拉装置壳体上设有活动手柄,所述活动手柄通过上下方向的齿条连接有活动支撑,所述提拉装置壳体上还设有第一步进电机,所述提拉装置壳体内向外伸出一横向的连接固定架,所述连接固定架外部的提拉装置壳体上设有提拉高度标尺,所述连接固定架通过第一步进电机带动,所述旋转装置包括竖向布置的籽晶提拉杆、旋转装置壳体以及波纹管,所述籽晶提拉杆的上半段设置于旋转装置壳体内,所述籽晶提拉杆的下半段设置于波纹管内,所述旋转装置壳体的顶部设置有第二步进电机,所述籽晶提拉杆与第二步进电机的输出端相连,所述旋转装置壳体与连接固定架的左端连接,所述旋转装置壳体上设置有S型称重仪,所述S型称重仪的重力形变支撑点设置于连接固定架上。
所述提拉装置壳体上设有转向柄。
所述提拉装置壳体设有电磁制动装置。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
本实用新型在提拉过程中具有旋转功能,还能具体反应晶体重量变化,从而可以优化晶体的外观,以及有效判断晶体生长速度的快慢,通过调整长晶炉的输入功率来调整热场的温度,达到晶体生长的最佳温度梯度,使得产品质量较佳。
附图说明
图1为本实用新型蓝宝石长晶炉提拉旋转装置的结构示意图。
图2为图1的右视图。
其中:
固定支架1
提拉装置壳体2
活动手柄3
齿条4
活动支撑5
转向柄6
电磁制动装置7
第一步进电机8
连接固定架9
提拉高度标尺10
籽晶提拉杆11
旋转装置壳体12
波纹管13
第二步进电机14
S型称重仪15。
具体实施方式
参见图1和图2,本实用新型涉及的一种蓝宝石长晶炉提拉旋转装置,它包括提拉装置和旋转装置,所述提拉装置包括固定支架1,所述固定支架1上设置有提拉装置壳体2,所述提拉装置壳体2上设有活动手柄3,所述活动手柄3通过上下方向的齿条4连接有活动支撑5,所述提拉装置壳体2上设有转向柄6,通过转向柄6控制固定支架1的轴向转动,所述提拉装置壳体2还设有电磁制动装置7,所述提拉装置壳体2上还设有第一步进电机8,所述提拉装置壳体2内向外伸出一横向的连接固定架9,所述连接固定架9外部的提拉装置壳体2上设有提拉高度标尺10,所述连接固定架9通过第一步进电机8带动进行上下升降运动达到提拉旋转装置的目的,所述旋转装置包括竖向布置的籽晶提拉杆11、旋转装置壳体12以及波纹管13,所述籽晶提拉杆11的上半段设置于旋转装置壳体12内,所述籽晶提拉杆11的下半段设置于波纹管13内,所述旋转装置壳体12的下端与波纹管13的上端连接,所述旋转装置壳体12的顶部设置有第二步进电机14,所述籽晶提拉杆11与第二步进电机14的输出端相连,所述旋转装置壳体12与连接固定架9的左端连接,所述旋转装置壳体12上设置有S型称重仪15,所述S型称重仪15的重力形变支撑点设置于连接固定架9上,通过S型称重仪15来反映晶体重量的变化。
工作原理:首先将洁净的AL2O3原料装入坩埚中,将坩埚加热至2100℃左右,原料完全熔化,降低坩埚温度至2050℃,达到点晶的最佳温度,启动蓝宝石长晶炉提拉旋转装置的第一步进电机,随着第一步进电机的旋转,装有籽晶的籽晶提拉杆稳定缓慢的下降,直至将籽晶接触到熔体表面,实现蓝宝石晶体的引晶——扩肩——等径生长——长晶结束——冷却。在晶体生长过程中,籽晶提拉杆缓慢上升下降,同时蓝宝石长晶炉提拉旋转装置的第二步进电机也进行旋转,蓝宝石晶体在长晶过程中悬挂在籽晶提拉杆的底部,通过转动籽晶提拉杆来转动晶体,优化晶体的外观。旋转装置上有S型称重仪,通过晶体重量对S型称重仪产生的形变来反应晶体的重量变化,对晶体重量的变化,来判断晶体生长速度的快慢,从而通过调整长晶炉的输入功率来调整热场的温度,达到晶体生长的最佳温度梯度。
Claims (3)
1.一种蓝宝石长晶炉提拉旋转装置,其特征在于它包括提拉装置和旋转装置,所述提拉装置包括固定支架(1),所述固定支架(1)上设置有提拉装置壳体(2),所述提拉装置壳体(2)上设有活动手柄(3),所述活动手柄(3)通过上下方向的齿条(4)连接有活动支撑(5),所述提拉装置壳体(2)上还设有第一步进电机(8),所述提拉装置壳体(2)内向外伸出一横向的连接固定架(9),所述连接固定架(9)外部的提拉装置壳体(2)上设有提拉高度标尺(10),所述连接固定架(9)通过第一步进电机(8)带动,所述旋转装置包括竖向布置的籽晶提拉杆(11)、旋转装置壳体(12)以及波纹管(13),所述籽晶提拉杆(11)的上半段设置于旋转装置壳体(12)内,所述籽晶提拉杆(11)的下半段设置于波纹管(13)内,所述旋转装置壳体(12)的顶部设置有第二步进电机(14),所述籽晶提拉杆(11)与第二步进电机(14)的输出端相连,所述旋转装置壳体(12)与连接固定架(9)的左端连接,所述旋转装置壳体(12)上设置有S型称重仪(15),所述S型称重仪(15)的重力形变支撑点设置于连接固定架(9)上。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石长晶炉提拉旋转装置,其特征在于所述提拉装置壳体(2)上设有转向柄(6)。
3.根据权利要求1或2所述的一种蓝宝石长晶炉提拉旋转装置,其特征在于所述提拉装置壳体(2)设有电磁制动装置(7)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2012203051425U CN202671718U (zh) | 2012-06-28 | 2012-06-28 | 蓝宝石长晶炉提拉旋转装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2012203051425U CN202671718U (zh) | 2012-06-28 | 2012-06-28 | 蓝宝石长晶炉提拉旋转装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN202671718U true CN202671718U (zh) | 2013-01-16 |
Family
ID=47492630
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2012203051425U Expired - Fee Related CN202671718U (zh) | 2012-06-28 | 2012-06-28 | 蓝宝石长晶炉提拉旋转装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN202671718U (zh) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103132136A (zh) * | 2013-03-08 | 2013-06-05 | 上海锐亮晶体技术有限公司 | 用于蓝宝石长晶炉中的晶体取出机构 |
CN105239155A (zh) * | 2015-11-17 | 2016-01-13 | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 | 改进的大尺寸蓝宝石单晶炉支架结构 |
CN106245116A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-12-21 | 天通银厦新材料有限公司 | 一种蓝宝石晶体生长设备及其工艺 |
CN106544722A (zh) * | 2016-11-04 | 2017-03-29 | 曲靖师范学院 | 一种晶体垂直自动化生长装置 |
CN109306524A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-02-05 | 南京晶升能源设备有限公司 | 蓝宝石单晶炉的晶体平衡提升装置及提升方法 |
CN115044968A (zh) * | 2022-06-23 | 2022-09-13 | 深圳市迈斯泰克电子有限公司 | 一种单晶硅棒旋转提拉装置 |
-
2012
- 2012-06-28 CN CN2012203051425U patent/CN202671718U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103132136A (zh) * | 2013-03-08 | 2013-06-05 | 上海锐亮晶体技术有限公司 | 用于蓝宝石长晶炉中的晶体取出机构 |
CN103132136B (zh) * | 2013-03-08 | 2017-05-17 | 上海锐亮晶体技术有限公司 | 用于蓝宝石长晶炉中的晶体取出机构 |
CN105239155A (zh) * | 2015-11-17 | 2016-01-13 | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 | 改进的大尺寸蓝宝石单晶炉支架结构 |
CN105239155B (zh) * | 2015-11-17 | 2017-10-24 | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 | 改进的大尺寸蓝宝石单晶炉支架结构 |
CN106245116A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-12-21 | 天通银厦新材料有限公司 | 一种蓝宝石晶体生长设备及其工艺 |
CN106544722A (zh) * | 2016-11-04 | 2017-03-29 | 曲靖师范学院 | 一种晶体垂直自动化生长装置 |
CN109306524A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-02-05 | 南京晶升能源设备有限公司 | 蓝宝石单晶炉的晶体平衡提升装置及提升方法 |
CN115044968A (zh) * | 2022-06-23 | 2022-09-13 | 深圳市迈斯泰克电子有限公司 | 一种单晶硅棒旋转提拉装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN202671718U (zh) | 蓝宝石长晶炉提拉旋转装置 | |
CN104651935B (zh) | 一种坩埚上升法制备高品质蓝宝石晶体的方法 | |
CN102383187A (zh) | 一种蓝宝石单晶生长方法 | |
CN102877120B (zh) | 泡生法生长蓝宝石晶体的自动引晶方法 | |
CN102560624A (zh) | 一种单晶炉整体 | |
CN103132135A (zh) | 一种高效新型蓝宝石晶体生长系统 | |
CN104328485A (zh) | 一种提高直拉硅单晶生长速度的新型导流筒 | |
CN206157273U (zh) | 一种新型单晶炉 | |
CN201241194Y (zh) | 感应加热铱坩埚提拉法激光晶体生长装置 | |
CN102912430B (zh) | 一种蓝宝石晶体生长设备及生长方法 | |
CN206666673U (zh) | 一种多工位坩埚下降炉 | |
CN203530480U (zh) | 生长蓝宝石单晶的设备 | |
CN202558965U (zh) | 泡生法生长炉炉体 | |
CN204874816U (zh) | 生长c偏m向蓝宝石单晶的泡生法单晶炉结构 | |
CN204251771U (zh) | 一种蓝宝石晶体生长装置 | |
CN208023111U (zh) | 一种安全高效的蓝宝石生长炉 | |
CN204959080U (zh) | 一种温控蓝宝石生长炉 | |
CN204251754U (zh) | 一种提高直拉硅单晶生长速度的新型导流筒 | |
CN202576639U (zh) | 一种单晶炉整体 | |
CN201962422U (zh) | 一种籽晶杆 | |
CN204608215U (zh) | 一种节能型蓝宝石晶体生长炉 | |
CN102560655A (zh) | 一种蓝宝石晶体生长炉 | |
CN103695997A (zh) | 晶体生长复合称重设备及使用该设备的晶体生长炉 | |
CN207452300U (zh) | 适宜蓝宝石晶体生长用的坩埚移动装置 | |
CN202430339U (zh) | 宝石炉旋转、冷却引晶装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130116 Termination date: 20200628 |