CN207452300U - 适宜蓝宝石晶体生长用的坩埚移动装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适宜蓝宝石晶体生长用的坩埚移动装置，包括真空装置、坩埚、加热装置、坩埚支撑杆、冷却控制箱、运动控制箱和控制器，所述真空装置内安置有坩埚和加热装置；所述坩埚的外底中部设有凹槽，在凹槽内固定安装有垂直的坩埚支撑杆；所述冷却控制箱上设有冷却控制装置和旋转冷却水套；所述运动控制箱上设有抽真空装置及传动连接的电机和直线运动总成，其直线运动总成上设有沿垂直方向移动的支撑杆套，在支撑杆套上固定设有激振器。本实用新型的坩埚移动装置，由于采用上述技术方案，因此在激振器的震动作用下排出坩埚内液态原料中的气泡；由于坩埚的凹槽内温度传感器的设置，因此可实现对坩埚温度的测量与控制。

Description

适宜蓝宝石晶体生长用的坩埚移动装置

技术领域

本实用新型涉及晶体生长设备技术领域，具体的说是涉及一种适宜蓝宝石晶体生长用的坩埚移动装置。

背景技术

蓝宝石是一种氧化铝的单晶，又称为刚玉，其具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性，被广泛应用于LED照明行业与军用窗口材料。人工蓝宝石是以氧化铝粉体或碎晶为原料，用晶体生长炉制备而成。然而，在蓝宝石晶体生长过程中，坩埚移动机构承担着坩埚的支撑固定、位置调整、跟踪运动等作用，而坩埚中则承载着高温熔溶的蓝宝石原料，由于熔溶的蓝宝石原料粘度大，其中的气泡往往不能完全排除，在蓝宝石晶体生长时就会进入所生长的蓝宝石晶体中，从而影响蓝宝石晶体的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种适宜蓝宝石晶体生长用的坩埚移动装置，以克服现有技术中存在气泡往往不能完全排除，在蓝宝石晶体生长时就会进入所生长的蓝宝石晶体中的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种适宜蓝宝石晶体生长用的坩埚移动装置，包括真空装置、坩埚、加热装置、坩埚支撑杆、冷却控制箱、运动控制箱和控制器，所述真空装置内安置有坩埚和加热装置，真空装置安装在冷却控制箱和运动控制箱的上方，在真空装置上设有抽真空管；所述坩埚的外底中部设有凹槽，在凹槽内固定安装有垂直的坩埚支撑杆，在坩埚内盛有液态原料；所述加热装置为电加热装置，加热装置位于坩埚的周围；所述坩埚支撑杆为空心杆；所述冷却控制箱上设有冷却控制装置和旋转冷却水套，其旋转冷却水套安装在坩埚支撑杆的下端，旋转冷却水套通过冷却水进出管与冷却控制装置连接；所述运动控制箱上设有抽真空装置及传动连接的电机和直线运动总成，其抽真空装置与抽真空管连接，其直线运动总成上设有沿垂直方向移动的支撑杆套，在支撑杆套上固定设有激振器，支撑杆套固定在坩埚支撑杆的外壁上；所述控制器安装在运动控制箱上，控制器通过导线分别与加热装置、冷却控制箱内的控制电路和运动控制箱内的控制电路电连接。

优选的，所述坩埚的凹槽内设有温度传感器，其温度传感器位于坩埚支撑杆内，温度传感器通过导线与控制器电连接。

进一步，所述坩埚的上方还设有移动籽晶，移动籽晶的下端靠近液态原料的上面。

进一步，所述运动控制箱内的控制电路可控制抽真空装置、传动连接的电机和激振器的开启与关闭。

进一步，所述旋转冷却水套上设有透明的观察窗口。

本实用新型的工作原理是，坩埚内的固态原料被加热装置熔化成液态原料，熔化过程中激振器一直保持震动，直到固态原料全部熔化结束，液态原料内部的气泡受到震动溢出液面，在真空装置的抽吸作用下气泡被彻底排除；然后通过运动控制箱上支撑杆套的上下移动，始终保持坩埚内液态原料的液面与移动籽晶配合接触，移动籽晶进行晶体生长，从而生长出优质蓝宝石晶体。

与现有技术相比，本实用新型的益效果是：本实用新型的坩埚移动装置，由于采用上述技术方案，因此在激振器的震动作用下排出坩埚内液态原料中的气泡；由于坩埚的凹槽内温度传感器的设置，因此可实现对坩埚温度的测量与控制。本实用新型的坩埚移动装置结构简单，制作成本低，能效果提高蓝宝石晶体生长的质量。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图中标号：10、真空装置；11、抽真空管；20、坩埚；21、凹槽；22、液态原料；23、温度传感器；24、移动籽晶；30、加热装置；40、坩埚支撑杆；50、冷却控制箱；51、旋转冷却水套；52、；53、观察窗口；60、运动控制箱；61、直线运动总成；62、支撑杆套；63、激振器；70、控制器。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。

参见图1，本实用新型的坩埚移动装置，包括真空装置10、坩埚20、加热装置30、坩埚支撑杆40、冷却控制箱50、运动控制箱60和控制器70，所述真空装置10内安置有坩埚20和加热装置30，真空装置10安装在冷却控制箱50和运动控制箱60的上方，在真空装置10上设有抽真空管11；所述坩埚20的外底中部设有凹槽21，在凹槽21内固定安装有垂直的坩埚支撑杆40，在坩埚20内盛有液态原料22；所述加热装置30为电加热装置，加热装置30位于坩埚20的周围；所述坩埚支撑杆40为空心杆；所述冷却控制箱50上设有冷却控制装置和旋转冷却水套51，其旋转冷却水套51安装在坩埚支撑杆40的下端，旋转冷却水套51通过冷却水进出管52与冷却控制装置连接；所述运动控制箱60上设有抽真空装置及传动连接的电机和直线运动总成61，其抽真空装置与抽真空管11连接，其直线运动总成61上设有沿垂直方向移动的支撑杆套62，在支撑杆套62上固定设有激振器63，支撑杆套62固定在坩埚支撑杆40的外壁上；所述控制器70安装在运动控制箱60上，控制器70通过导线分别与加热装置30、冷却控制箱50内的控制电路和运动控制箱60内的控制电路电连接。所述坩埚20的凹槽21内设有温度传感器23，其温度传感器23位于坩埚支撑杆40内，温度传感器23通过导线与控制器70电连接。所述坩埚20的上方还设有移动籽晶24，移动籽晶24的下端靠近液态原料22的上面。所述运动控制箱60内的控制电路可控制抽真空装置、传动连接的电机和激振器63的开启与关闭。所述旋转冷却水套51上设有透明的观察窗口53。

上述仅为本实用新型的一种实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改等同替换和改进，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种适宜蓝宝石晶体生长用的坩埚移动装置，包括真空装置、坩埚、加热装置、坩埚支撑杆、冷却控制箱、运动控制箱和控制器，其特征在于：所述真空装置内安置有坩埚和加热装置，真空装置安装在冷却控制箱和运动控制箱的上方，在真空装置上设有抽真空管；所述坩埚的外底中部设有凹槽，在凹槽内固定安装有垂直的坩埚支撑杆，在坩埚内盛有液态原料；所述加热装置为电加热装置，加热装置位于坩埚的周围；所述坩埚支撑杆为空心杆；所述冷却控制箱上设有冷却控制装置和旋转冷却水套，其旋转冷却水套安装在坩埚支撑杆的下端，旋转冷却水套通过冷却水进出管与冷却控制装置连接；所述运动控制箱上设有抽真空装置及传动连接的电机和直线运动总成，其抽真空装置与抽真空管连接，其直线运动总成上设有沿垂直方向移动的支撑杆套，在支撑杆套上固定设有激振器，支撑杆套固定在坩埚支撑杆的外壁上；所述控制器安装在运动控制箱上，控制器通过导线分别与加热装置、冷却控制箱内的控制电路和运动控制箱内的控制电路电连接。

2.根据权利要求1所述的适宜蓝宝石晶体生长用的坩埚移动装置，其特征在于：所述坩埚的凹槽内设有温度传感器，其温度传感器位于坩埚支撑杆内，温度传感器通过导线与控制器电连接。

3.根据权利要求1或2所述的适宜蓝宝石晶体生长用的坩埚移动装置，其特征在于：所述坩埚的上方还设有移动籽晶，移动籽晶的下端靠近液态原料的上面。

4.根据权利要求1所述的适宜蓝宝石晶体生长用的坩埚移动装置，其特征在于：所述运动控制箱内的控制电路可控制抽真空装置、传动连接的电机和激振器的开启与关闭。

5.根据权利要求1所述的适宜蓝宝石晶体生长用的坩埚移动装置，其特征在于：所述旋转冷却水套上设有透明的观察窗口。