CN202640951U

CN202640951U - 丝网印刷装置

Info

Publication number: CN202640951U
Application number: CN 201220239309
Authority: CN
Inventors: 万谷正幸
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2011-05-25
Filing date: 2012-05-25
Publication date: 2013-01-02
Anticipated expiration: 2022-05-25
Also published as: JP2012245622A

Abstract

本实用新型提供一种能够容易地通过后安装装入吹附除电气体的电离器的丝网印刷装置。在丝网印刷装置中，在利用下方支承销（21）从下方支承基板（10）的基板下方支承部（7）上配置对基板（10）的下面吹附在压缩空气中混合有除电离子的除电气体（26）的电离器（22）。电离器（22）内装有将经由空气供给管（25）供给的压缩空气作为驱动源的发电装置，向上方喷出在压缩空气中混合有通过发电装置产生的电力而生成的除电离子的除电气体（26）。由此，可以不需要用于向电离器（22）供电的机内配线，能够容易地通过后安装装入吹附除电气体（26）的电离器（22）。

Description

丝网印刷装置

技术领域

本实用新型涉及在基板上印刷膏状钎焊料及导电性膏剂等膏剂的丝网印刷装置。

背景技术

在电子零件安装工序中，作为在基板上印刷膏状钎焊料及导电性膏剂等膏剂的方法使用有丝网印刷。该方法为：根据印刷对象部位使设有图案孔的掩模板与基板抵接，向掩模板上供给膏剂并使涂刷器滑动，将膏剂经由图案孔印刷到基板上。

在使涂刷器在掩模板上滑动的涂刷中，因使由弹性体等绝缘体构成的涂刷器在由金属薄板制作的掩模板上摩擦而产生静电。若基板上带电有这种静电，则由于电荷放电而会对安装好的电子零件产生损伤，因此，在丝网印刷工序中要求尽量去除静电。因此，作为丝网印刷装置，公知的是附设有去除静电的除电功能的构成（例如，参照专利文献1）。在该专利文献例中所示的现有技术中，在掩模板的两侧配置内装有电离器的除电鼓风机，对掩模板的上面吹附含除电离子的除电气体。

专利文献1：（日本）特开2004－17511号公报

但是，在包含上述现有技术在内，在现有技术中，因生成除电气体的电离器的构成及向丝网印刷装置的配设方式而引起如下难点。即，通常，在丝网印刷装置中，静电引起的不良情况实际上大多情况是在成为装置动作状态后而变得显著的，不是从装置设计初期加入除电功能，多是在开始动作后必须作为静电对策而适当追加设置电离器的所谓后安装的情况。

在这种后安装时，因需要在设备、零件类的配置已完成的既存机构中追加装入电离器，所以不仅要求电离器紧凑地装入、空间小，而且要求电源配线等的附带作业尽量容易。但是，在现有技术中，用于使电离器工作的电源是必须的，在后安装作业时需要电源配线，有时难以进行后安装。而且，这样的问题无论在丝网印刷装置中，还是对半导体制造设备及电子零件安装用设备中使用的电离器都是共同的。

实用新型内容

因此，本实用新型的目的在于提供一种容易地通过后安装装入吹附除电气体的电离器的丝网印刷装置。

本实用新型的丝网印刷装置，使设有图案孔的掩模板与基板抵接，并使涂刷器在被供给了膏剂的所述掩模板上滑动，由此，经由所述图案孔将膏剂印刷到基板上，其中，具备：掩模支架，其保持所述掩摸板；基板定位部，其从下方将基板相对于被所述掩模支架保持的掩模板定位；涂刷器移动机构，其在掩模板上使所述涂刷器水平移动；电离器，其对所述基板吹附在压缩空气中混合有除电离子的除电气体，所述电离器通过以所述压缩空气为驱动源的发电装置产生的电力，生成所述除电离子。

根据本实用新型，在丝网印刷装置中通过将对印刷对象基板吹附在压缩空气中混合有除电离子的除电气体的电离器形成为利用以压缩空气为驱动源的发电装置产生的电力生成除电离子的构成，可以不需要用于向电离器供电的机内配线，能够容易地通过后安装装入吹附除电气体的电离器。

附图说明

图1是本实用新型一实施方式的丝网印刷装置的侧面图；

图2是本实用新型一实施方式的丝网印刷装置的基板下方支承部的构成说明图；

图3（a）、（b）是用于本实用新型一实施方式的丝网印刷装置的电离器的构成及功能说明图；

图4是本实用新型一实施方式的丝网印刷方法的动作说明图；

图5（a）、（b）是本实用新型一实施方式的丝网印刷方法的基板的除电处理的说明图。

标记说明

1：丝网印刷装置

2：基板定位部

3：丝网印刷机构

7：基板下方支承部

10：基板

11：掩模支架

12：掩模板

12a：图案孔

13：涂刷器单元

14：涂刷器移动机构

16：涂刷部件

18：膏剂

22：电离器

26：除电气体

30：空气涡轮

31：小型发电机

32：电极单元

33：电极销

35：除电离子

具体实施方式

以下，参照附图说明本实用新型的实施方式。首先，参照图1说明丝网印刷装置1的构造及功能。在图2中，丝网印刷装置1在基板定位部2的上方配设丝网印刷机构3而构成。基板定位部2具有保持印刷对象基板10并从下方相对于被印刷机构3的掩模支架11保持的掩模板12位置对齐的功能。基板10是两面安装有电子零件的两面安装基板，在此，表示在前工序单面进行零件安装，将已安装面设为下面侧的状态的基板10作为印刷对象的例子。

基板定位部2堆叠Y轴工作台2Y、X轴工作台2X及θ轴工作台2θ，进而在设于θ轴工作台2θ的上面的水平的基板4的上面组合使水平的底板5a、6a分别独立升降的第一Z轴工作台5、第二Z轴工作台6而构成。在基板5a上立设有两个垂直框架5b，在垂直框架5b的上端部保持有基板输送机构8。基板输送机构8配设于基板输送方向（X方向--图1中纸面垂直方向），利用传送机构支承印刷对象基板10的两端部进行输送。

通过驱动第一Z轴工作台5，使被基板输送机构8保持的状态的基板10相对于丝网印刷机构3可升降。在基板5a的上面装卸自如地安装有基板下方支承部7。基板下方支承部7从下方支承保持向丝网印刷机构3的印刷位置输送的基板10。如图2所示，基板下方支承部7为在下方支承板20上立设有多个下方支承销21的构成，利用下方支承销21支承在基板10的下面不存在已安装零件的可下方支承部位。在下方支承板20上以格子状排列设置有嵌合自如地安装下方支承销21的多个支承孔20a。

以新基板10为对象进行机种切换作业时，在下方支承板20中选择与基板10的可下方支承部位对应的销支承孔20a安装下方支承销21。在本实施方式中，在下方支承板20的上面配设有多个电离器22，该电离器22具有去除在丝网印刷动作中基板10上带电的静电的除电功能，将包含除电离子的气体对基板10的下面侧直接吹附。

通过驱动第二Z轴工作台6，基板下方支承部7相对于被基板输送机构8保持的状态的基板10升降。而且，通过基板下方支承部7的下方支承面即下方支承销21的上端部与基板10的下面抵接，基板下方支承部7从下面侧支承基板10。在基板输送机构8的上面具备左右对置配置的两个夹紧部件9，利用驱动机构9a使一侧夹紧部件9进退，由此从两侧夹紧基板10进行固定。

接着，对配设于基板定位部2的上方，将膏状钎焊料及导电性膏剂等膏剂向被输送到印刷位置的基板10印刷的丝网印刷机构3进行说明。在图1中，丝网印刷机构3为在掩模支架11上展开保持有掩模板12的构成的掩模单元的上方，利用涂刷器移动机构14自如水平移动地配置涂刷器单元13的构成。在掩模板12上，与形成于基板10的电极（省略图示）的配置对应而形成有图案孔12a。

在掩模板12上配设有涂刷器单元13。涂刷器单元13为在水平板15上配设有使对置配置的一对涂刷部件16分别升降的两个涂刷器升降机构17的构成。通过驱动涂刷器升降机构17，涂刷部件16升降，在下降状态下，涂刷部件16与掩模板12的上面抵接。涂刷器单元13利用通过涂刷器移动电动机14a旋转驱动进给丝杠14b的构成的涂刷器移移机构14，沿水平方向自如地往复移动。

在掩模板12的下面和被基板定位部2保持的基板10的上面之间，通过照相机移动机构（省略图示）将照相机单元19沿X方向、Y方向水平移动自如地配设。照相机单元19具备用于从上方对基板10进行拍摄的基板识别照相机和用于从下面侧对掩模板12进行拍摄的掩模识别照相机，通过驱动照相机移动机构使照相机单元19移动，由此对掩模板12及基板10进行拍摄。

接着，参照图3对安装于基板下方支承部7的电离器22的构成及功能进行说明。电离器22用于在半导体制造设备或电子零件安装用设备中除去对象物上的静电的除电用途，具有向对象物吹附在压缩空气中混合有除电离子的除电气体的功能。如图3（a）所示，电离器22具有从设置于矩形箱状框体部23的上面的除电气体喷出口24喷出含有除电离子的除电气体26的功能，具备仅通过从空气供给管25供给（箭头a）作为驱动源的压缩空气，不需要另外的电源即可产生除电气体26的机构。

如图3（b）所示，在框体部23的内部内装有小型空气涡轮30、小型发电机31、电极单元32。空气涡轮30内装有涡轮转子30a，涡轮转子30a的旋转轴与小型发电机31连结。通过从空气供给管25供给（箭头a）压缩空气，压缩空气在空气涡轮30内流动（箭头b），使涡轮转子30a旋转。由此，结合有旋转轴的小型发电机31被旋转驱动。利用小型发电机31产生的电力被向具备电极销33的电极单元32供给，由此，电极销33的前端附近的空气被离子化，生成带正电荷的正离子及带负电荷的负离子等除电离子35。而且，这些除电离子35与从空气涡轮30的排气口30b吹出的压缩空气的排气34混合而形成除电气体26，经由除电气体喷出口24向上方喷出。

在上述构成中，空气涡轮30及小型发电机31构成以压缩空气为驱动源的发电装置，电离器22利用该发电装置产生的电力生成除电离子35。而且，在本实施方式中，电离器22对被基板定位部2保持的基板10的下面吹附除电气体26。

下面，参照图4对丝网印刷机构3的印刷动作进行说明。首先，利用基板输送机构8向印刷位置搬入印刷对象基板10，相对于基板下方支承部7进行对位。接着，驱动第二Z轴工作台6使基板下方支承部7上升，从下方支承基板10的下面。之后，驱动基板定位部2，使基板10相对于掩模板12进行对位后，驱动第一Z轴工作台5，使基板10与基板输送机构8一起上升而与掩模板12的下面抵接。之后，利用夹紧部件9夹紧基板10，由此固定基板10的水平位置。

在该状态下，使两个涂刷部件16中的任一个下降，与被供给有焊接膏剂等膏剂18的掩模板12抵接。接着，在掩模板12上使涂刷部件16沿涂刷方向（Y方向）滑动，由此经由图案孔12a将膏剂18印刷到被基板定位部2保持的基板10上。

在该丝网印刷动作中，如图5（a）所示，通过使涂刷部件16与掩模板12抵接并使之水平移动（箭头c），反复执行将膏剂18刮拢的涂刷动作。在该涂刷动作中，因涂刷部件16和掩模板12的摩擦而产生的静电使掩模板12及基板10带电，若对该带电状态置之不理，则会由于电荷放电而对已安装零件28造成损伤。

为了防止这种静电造成的不良情况，在本实施方式中，使内装有以压缩空气作为驱动源的发电装置的构成的电离器22动作，执行对基板10吹附在压缩空气中混合有除电离子35的除电气体26的除电工序。在此，对被基板定位部2保持的基板10的下面吹附除电气体26。

由此，如图5（b）所示，从除电气体喷出口24喷出的除电气体26中包含的正离子及负离子等除电离子35与被基板定位部2保持的除电对象基板10的下面及已安装零件28接触。因此，这些带电状态的除电对象物的静电被除电离子35中和而消除带电状态，能够有效地防止静电带电引起的损伤。另外，只要使电离器22做通常动作，就可以使除电气体26持续向上方喷出，在基板下方支承部7的上面附近持续形成除电环境，能够提高除电效果。

在上述构成的电离器22的动作中，仅通过经由空气供给管25供给压缩空气就能够生成除电气体26，因此，不需要在使用现有方式的电离器时所需的电力供给及控制用的电气配线。因此，即使在静电引起的不良情况实际上在成为装置工作状态后变得显著，作为静电对策而要求适当追加设置电离器的所谓后安装的情况下，也不需要电气配线，故而能够有效地利用装置内的小空间，能够容易地追加配置电离器。

如上述说明，在本实施方式所示的丝网印刷装置中，将对印刷对象基板10吹附在压缩空气中混合有除电离子的除电气体26的电离器22形成为通过以压缩空气为驱动源的发电装置产生的电力生成除电离子的构成。由此，可以不需要用于向电离器22供给电力的机内配线，能够容易地通过后安装装入吹附除电气体26的电离器22。

另外，在本实施方式中，表示了在丝网印刷装置的基板10的除电中使用电离器22的例子，但如本实施方式所示，具备不需要电配线的特征的电离器22不限于丝网印刷装置，可以适用于在半导体制造设备及电子零件安装用设备中要求通过后安装而配置的情况。

产业上的可利用性

本实用新型的丝网印刷装置具有可容易地通过后安装装入吹附除电气体的电离器的效果，在基板上印刷焊接接合用膏剂的领域中是有用的。

Claims

1.一种丝网印刷装置，使设有图案孔的掩模板与基板抵接，并使涂刷器在被供给了膏剂的所述掩模板上滑动，由此，经由所述图案孔将膏剂印刷到基板上，其特征在于，具备：

掩模支架，其保持所述掩摸板；

基板定位部，其从下方将基板相对于被所述掩模支架保持的掩模板定位；

涂刷器移动机构，其在掩模板上使所述涂刷器水平移动；

电离器，其对所述基板吹附在压缩空气中混合有除电离子的除电气体，

所述电离器通过以所述压缩空气为驱动源的发电装置产生的电力，生成所述除电离子。

2.如权利要求1所述的丝网印刷装置，其特征在于，

所述电离器对被所述基板定位部保持的所述基板的下面吹附所述除电气体。

3.一种电离器，其用于在半导体制造设备或电子零件安装用设备中除去对象物上的静电的除电用途，对所述对象物吹附在压缩空气中混合有除电离子的除电气体，其特征在于，

利用以所述压缩空气为驱动源的发电装置产生的电力，生成所述除电离子。