CN202640363U - 一种输送硅片的吸盘装置 - Google Patents

一种输送硅片的吸盘装置 Download PDF

Info

Publication number
CN202640363U
CN202640363U CN 201220259180 CN201220259180U CN202640363U CN 202640363 U CN202640363 U CN 202640363U CN 201220259180 CN201220259180 CN 201220259180 CN 201220259180 U CN201220259180 U CN 201220259180U CN 202640363 U CN202640363 U CN 202640363U
Authority
CN
China
Prior art keywords
sucking disc
sucker
silicon wafer
silicon chip
fixed seat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN 201220259180
Other languages
English (en)
Inventor
孙明祥
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ZHEJIANG HAOYA ENERGY SOURCES TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
ZHEJIANG HAOYA ENERGY SOURCES TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ZHEJIANG HAOYA ENERGY SOURCES TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical ZHEJIANG HAOYA ENERGY SOURCES TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN 201220259180 priority Critical patent/CN202640363U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN202640363U publication Critical patent/CN202640363U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

本实用新型属于机械领域，具体为一种输送硅片的吸盘装置。包括吸盘固定座和设置在吸盘固定座上的升降机构，所述的吸盘固定座下方设置三个吸盘脚，吸盘脚底部设置吸盘，所述的吸盘脚为中空结构，吸盘通过吸盘脚的中空结构与吸盘固定座上方的吸气管相连；所述的吸气管与真空泵相连，真空泵和升降机构分别与PLC控制器相连。本实用新型在吸盘固定座下方设置三只吸盘脚，并且吸盘脚的高度可调节，因此，能够方便地使硅片与吸盘调节在同一水平面上，使之在吸合移动过程中稳定地吸住硅片，保证了硅片在移动过程中的安全性；将该吸盘装置用于硅片的自动装片设备上，能够既安全又快速的完成硅片的自动装片。

Description

一种输送硅片的吸盘装置
技术领域
本实用新型属于机械领域，具体为一种输送硅片的吸盘装置。
背景技术
目前的硅片装片都要通过人工装入篮具内，这样既容易对硅晶片造成人为污染，又增加工人的劳动强度，无法提高工作效率，因此设计一种能够提供工作效率、无污染输送硅片的装置是非常必要的。
实用新型内容
针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种输送硅片的吸盘装置的技术方案。
所述的一种输送硅片的吸盘装置，包括吸盘固定座和设置在吸盘固定座上的升降机构，所述的吸盘固定座下方设置三个吸盘脚，吸盘脚底部设置吸盘，所述的吸盘脚为中空结构，吸盘通过吸盘脚的中空结构与吸盘固定座上方的吸气管相连；所述的吸气管与真空泵相连，真空泵和升降机构分别与PLC控制器相连。
所述的一种输送硅片的吸盘装置，所述的升降机构为气动升降机构或螺旋式升降机构。
所述的一种输送硅片的吸盘装置，所述的气动升降机构由气缸和活塞构成相配合的升降部件；所述的螺旋式升降机构由丝杠和螺母构成相配合的升降部件。
所述的一种输送硅片的吸盘装置，所述的吸盘脚上配合设置高度调节杆，该高度调节杆为中空结构。
本实用新型在吸盘固定座下方设置三只吸盘脚，并且吸盘脚的高度可调节，因此，能够方便地使硅片与吸盘调节在同一水平面上，使之在吸合移动过程中稳定地吸住硅片，保证了硅片在移动过程中的安全性；将该吸盘装置用于硅片的自动装片设备上，能够既安全又快速的完成硅片的自动装片。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图中：1-吸盘固定座；2-硅片；3-升降气缸；4-吸盘脚；5-吸盘；6-高度调节杆；7-吸气管。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本实用新型做进一步说明：
一种输送硅片的吸盘装置，包括吸盘固定座1和设置在吸盘固定座1上的升降机构，升降机构为气动升降机构或螺旋式升降机构，其中，气动升降机构由气缸和活塞构成相配合的升降部件，螺旋式升降机构由丝杠和螺母构成相配合的升降部件，本实用新型采用升降气缸3与活塞配合的方式；在吸盘固定座1下方设置三个吸盘脚4，也可以更多，但一般三个脚最为稳妥，吸盘脚4底部设置吸盘5，吸盘脚4为中空结构，吸盘5通过吸盘脚4的中空结构与吸盘固定座1上方的吸气管7相连，为了能够调整吸盘5与硅片2的高度一致，可以在吸盘脚4上配合设置中空结构的高度调节杆6；吸气管7与真空泵相连，靠真空泵提供负压，使吸盘5与硅片2紧密吸合，真空泵和升降机构分别与PLC控制器相连，通过PLC控制器控制真空泵和升降机构的动作关系。
使用时，通过升降气缸带动吸盘固定座升降，从而带动吸盘升降，当吸盘接触到硅片时，真空泵工作，在吸气管中产生负压，三只吸盘同时吸住硅片，然后提升升降气缸，将硅片移动到所需要的位置，真空泵停止工作，吸气管释放负压，吸盘松开硅片，从而达到输送硅片的目的。
本实用新型在吸盘固定座下方设置三只吸盘脚，并且吸盘脚的高度可调节，因此，能够方便地使硅片与吸盘调节在同一水平面上，使之在吸合移动过程中稳定地吸住硅片，保证了硅片在移动过程中的安全性；将该吸盘装置用于硅片的自动装片设备上，能够既安全又快速的完成硅片的自动装片。

Claims (4)

1.一种输送硅片的吸盘装置，包括吸盘固定座和设置在吸盘固定座上的升降机构，其特征在于所述的吸盘固定座下方设置三个吸盘脚，吸盘脚底部设置吸盘，所述的吸盘脚为中空结构，吸盘通过吸盘脚的中空结构与吸盘固定座上方的吸气管相连；所述的吸气管与真空泵相连，真空泵和升降机构分别与PLC控制器相连。
2.根据权利要求1所述的一种输送硅片的吸盘装置，其特征在于所述的升降机构为气动升降机构或螺旋式升降机构。
3.根据权利要求2所述的一种输送硅片的吸盘装置，其特征在于所述的气动升降机构由气缸和活塞构成相配合的升降部件；所述的螺旋式升降机构由丝杠和螺母构成相配合的升降部件。
4.根据权利要求1所述的一种输送硅片的吸盘装置，其特征在于所述的吸盘脚上配合设置高度调节杆，该高度调节杆为中空结构。
CN 201220259180 2012-06-04 2012-06-04 一种输送硅片的吸盘装置 Expired - Fee Related CN202640363U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201220259180 CN202640363U (zh) 2012-06-04 2012-06-04 一种输送硅片的吸盘装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201220259180 CN202640363U (zh) 2012-06-04 2012-06-04 一种输送硅片的吸盘装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN202640363U true CN202640363U (zh) 2013-01-02

Family

ID=47409528

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201220259180 Expired - Fee Related CN202640363U (zh) 2012-06-04 2012-06-04 一种输送硅片的吸盘装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN202640363U (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103481291A (zh) * 2013-09-05 2014-01-01 常熟市董浜镇徐市嘉峰机械厂 一种机械手
CN104589351A (zh) * 2015-01-20 2015-05-06 桂林航天工业学院 一种能自适应高度的物料抓取机械手
CN107606845A (zh) * 2017-09-05 2018-01-19 重庆光盈科技有限公司 一种可调节的车载冰箱固定设备
CN111390750A (zh) * 2020-03-25 2020-07-10 福建北电新材料科技有限公司 晶片面型加工装置
AT523873A5 (de) * 2018-03-09 2021-11-15 Tgw Logistics Group Gmbh Kommissionierstation und Verfahren zum automatischen Kommissionieren von Waren

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103481291A (zh) * 2013-09-05 2014-01-01 常熟市董浜镇徐市嘉峰机械厂 一种机械手
CN104589351A (zh) * 2015-01-20 2015-05-06 桂林航天工业学院 一种能自适应高度的物料抓取机械手
CN104589351B (zh) * 2015-01-20 2017-02-01 桂林航天工业学院 一种能自适应高度的物料抓取机械手
CN107606845A (zh) * 2017-09-05 2018-01-19 重庆光盈科技有限公司 一种可调节的车载冰箱固定设备
AT523873A5 (de) * 2018-03-09 2021-11-15 Tgw Logistics Group Gmbh Kommissionierstation und Verfahren zum automatischen Kommissionieren von Waren
AT523873B1 (de) * 2018-03-09 2022-03-15 Tgw Logistics Group Gmbh Kommissionierstation und Verfahren zum automatischen Kommissionieren von Waren
CN111390750A (zh) * 2020-03-25 2020-07-10 福建北电新材料科技有限公司 晶片面型加工装置
CN111390750B (zh) * 2020-03-25 2021-09-03 福建北电新材料科技有限公司 晶片面型加工装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN202640363U (zh) 一种输送硅片的吸盘装置
CN205060971U (zh) 一种空盘自动堆垛装置
CN202888218U (zh) 一种太阳能电池玻璃自动上料装置
CN202295422U (zh) 洗衣机自动套箱机
CN101081510A (zh) 瓷砖搬运机械手装置
CN205673784U (zh) 汽车油管焊接生产用的转运装置
CN206301773U (zh) 硅片抓取装置及使用该装置的太阳能电池生产设备
CN106531678A (zh) 硅片抓取装置及使用该装置的太阳能电池生产设备
CN202186741U (zh) 一种硅片输送中的吸盘结构
CN206179830U (zh) 一种太阳能电池板外观检测装置
CN204324388U (zh) 一种高稳定性自动单板送料机
CN106424454A (zh) Led灯丝灯泡电源针脚自动剪切校正装置
CN201770318U (zh) 硅晶片装片输送吸盘结构
CN206169127U (zh) Led灯丝灯泡电源针脚自动剪切校正装置
CN203542612U (zh) 内锅提放装置
CN205222105U (zh) 一种自动码窑机
CN209319828U (zh) 一种工业机器人安装底板
CN204776222U (zh) 一种贴胶贴膜工装
CN204607142U (zh) 集成电路自动取放装置
CN204198295U (zh) 外圆磨床砂轮吊装装置
CN206046898U (zh) 一种用于自动冲压智能生产系统的上下料机械手
CN209079293U (zh) 吸模板机械手
CN205634168U (zh) 一种长度调节的板材吸附装置
CN206539591U (zh) 独立式万向真空吸盘
CN205953416U (zh) 一种抬高机

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20130102

Termination date: 20170604