CN202631847U - 扫描组件结构 - Google Patents
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Abstract
一种扫描组件结构，包括一基板、一镜面组件层以及一孔状补强层。基板具有相对的一第一侧以及一第二侧。镜面组件层配置于第一侧。孔状补强层相对于镜面组件层配置于第二侧。该结构可以解决强度不足及变形的问题，并可在轻量化变形补强的设计下，维持良好的运作。
Description
【技术领域】
本实用新型是有关于一种微结构，且特别是有关于一种应用于微机电装置的扫描组件结构。
【背景技术】
微机电镜面(MEMS mirror)结构在光学上的应用，以镜面在预定的驱动条件下以特殊频率振动，以达成大角度光学扫描的目的。目前已有很多不同型态微机电致动器被提出。当镜面结构在作动时，若镜面结构强度不足，将会造成镜面形状的改变。镜面形状的改变会造成振动频率与反射光点大小的改变。
为了增加镜面结构的强度，现有解决的方法是增加镜面结构的厚度。然而，厚度增加会造成扫描组件的重量增加，也会降低镜面结构的振动频率。此外，扫描组件的重量越重，则需要更大的能量才能运作，因此更加耗能。
【实用新型内容】
本实用新型有关于一种扫描组件结构，以解决强度不足及变形的问题，并可在轻量化变形补强的设计下，维持良好的运作。
根据本实用新型的一方面，提出一种扫描组件结构，包括一基板、一镜面组件层以及一孔状补强层。基板具有相对的一第一侧以及一第二侧。镜面组件层配置于第一侧。孔状补强层相对于镜面组件层配置于第二侧。
为了对本实用新型的上述及其它方面有更佳的了解，下文特举实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：
【附图说明】
图1绘示依照本实用新型一实施例的扫描组件结构的正面示意图。
图2绘示图1的扫描组件结构的背面示意图。
【主要组件符号说明】
100：扫描组件结构
110：基板
110a、110b：相对两侧
120：镜面组件层
121：外框
122：内框
123：第二扭转件
124：第一扭转件
126：扫描镜
130：孔状补强层
132：孔洞
【具体实施方式】
本实施例的扫描组件结构，可为单轴微镜面结构或双轴微镜面结构，其利用重复排列的多孔洞结构进行补强，不但可达到局部强化的效果，以避免扫描组件在作动的过程中发生形变，更可减少扫描组件的重量，以达到轻量化的要求。
以下提出各种实施例进行详细说明，实施例仅用以作为范例说明，并非用以限缩本实用新型欲保护的范围。
请参照图1及2，其中图1绘示依照本实用新型一实施例的扫描组件结构的正面示意图，而图2绘示图1的扫描组件结构的背面示意图。扫描组件结构100包括一基板110、一镜面组件层120以及一孔状补强层130。镜面组件层120以及孔状补强层130分别位于基板110的相对两侧110a及110b。基板110例如为SOI(silicon-on-insulator)基板，其通过晶圆键合技术(wafer bonding technology)在硅晶圆之间形成一层薄薄的氧化层(例如是二氧化硅SiO2)，并经过热退火加强两晶圆之间的键结。氧化层的上下两面分别为组件层(device layer)以及操作层(handling layer)。在图2中，孔状补强层130蚀刻操作层而成的多孔洞结构，其具有多个重复排列的孔洞132，其形状例如为圆形、椭圆形或多边形。
镜面组件层120例如蚀刻组件层而成，再进行抛光磨平以形成平滑无杂质的表面。在图1中，镜面组件层120具有一内框122、一第一扭转件124以及一扫描镜126。第一扭转件124位于X轴方向上。第一扭转件124连接于内框122与扫描镜126之间，扫描镜126以第一扭转件124为轴产生扭转，使扫描镜126于一预定角度内进行往复式振动。因此，扫描镜126可在X轴上振动。在双轴微镜面结构中，镜面组件层120还可具有一外框121以及一第二扭转件123。第二扭转件123位于Y轴方向上，大致上垂直于X轴方向。第二扭转件123连接于内框122与外框121之间。内框122以第二扭转件123为轴产生扭转。因此，扫描镜126不仅可在X轴上振动，亦可在Y轴上振动。
在图2中，孔状补强层130对应配置于镜面组件层120的扫描镜126以及内框122的下方，以使扫描镜126以及内框12具有足够的强度，以避免作动过程时发生形变。此外，孔状补强层130未形成在第一扭转件124上，可达到局部强化的效果。也就是说，孔状补强层130与第一扭转件124不重叠，故可避免因第一扭转件124的重量增加而必须提高操作电流。同样，孔状补强层130与第二扭转件123不重叠，故可避免因第二扭转件123的重量增加而必须提高操作电流。
由上述说明可知，为了减轻组件的重量及降低操作电流，孔状补强层130采用轻量化变形补强的设计，因此可使扫描镜126可在较高的操作频率下振动，间接地提升扫描组件的操作效率。
综上所述，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型。本实用新型所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本实用新型的保护范围当视后附的申请专利范围所界定者为准。
Claims (10)
1.一种扫描组件结构，包括：
一基板，具有相对的一第一侧以及一第二侧；
一镜面组件层，配置于该第一侧；以及
一孔状补强层，相对于该镜面组件层配置于该第二侧。
2.根据权利要求1所述的扫描组件结构，其特征在于，该孔状补强层具有多个孔洞，所述孔洞为圆形、椭圆形或多边形。
3.根据权利要求1所述的扫描组件结构，其特征在于，该基板具有一组件层、一氧化层以及一操作层，该氧化层位于该组件层与该操作层之间。
4.根据权利要求3所述的扫描组件结构，其特征在于，该孔状补强层以该操作层蚀刻而成。
5.根据权利要求3所述的扫描组件结构，其特征在于，该镜面组件层以该组件层蚀刻而成。
6.根据权利要求1所述的扫描组件结构，其特征在于，该镜面组件层具有一内框、一第一扭转件以及一扫描镜，该第一扭转件位于一第一轴向上，该第一扭转件连接于该内框与该扫描镜之间，使该扫描镜在该第一轴向上振动。
7.根据权利要求6所述的扫描组件结构，其特征在于，该镜面组件层还可具有一外框以及一第二扭转件，该第二扭转件位于一第二轴向上，且该第二扭转件连接于该内框与该外框之间，使该扫描镜在该第二轴向上振动。
8.根据权利要求6所述的扫描组件结构，其特征在于，该孔状补强层对应补强该扫描镜以及该内框的强度。
9.根据权利要求6所述的扫描组件结构，其特征在于，该孔状补强层与该第一扭转件不重叠。
10.根据权利要求7所述的扫描组件结构，其特征在于，该孔状补强层与该第二扭转件不重叠。
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