CN202631847U - 扫描组件结构 - Google Patents
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Abstract
一种扫描组件结构,包括一基板、一镜面组件层以及一孔状补强层。基板具有相对的一第一侧以及一第二侧。镜面组件层配置于第一侧。孔状补强层相对于镜面组件层配置于第二侧。该结构可以解决强度不足及变形的问题,并可在轻量化变形补强的设计下,维持良好的运作。
Description
【技术领域】
本实用新型是有关于一种微结构,且特别是有关于一种应用于微机电装置的扫描组件结构。
【背景技术】
微机电镜面(MEMS mirror)结构在光学上的应用,以镜面在预定的驱动条件下以特殊频率振动,以达成大角度光学扫描的目的。目前已有很多不同型态微机电致动器被提出。当镜面结构在作动时,若镜面结构强度不足,将会造成镜面形状的改变。镜面形状的改变会造成振动频率与反射光点大小的改变。
为了增加镜面结构的强度,现有解决的方法是增加镜面结构的厚度。然而,厚度增加会造成扫描组件的重量增加,也会降低镜面结构的振动频率。此外,扫描组件的重量越重,则需要更大的能量才能运作,因此更加耗能。
【实用新型内容】
本实用新型有关于一种扫描组件结构,以解决强度不足及变形的问题,并可在轻量化变形补强的设计下,维持良好的运作。
根据本实用新型的一方面,提出一种扫描组件结构,包括一基板、一镜面组件层以及一孔状补强层。基板具有相对的一第一侧以及一第二侧。镜面组件层配置于第一侧。孔状补强层相对于镜面组件层配置于第二侧。
为了对本实用新型的上述及其它方面有更佳的了解,下文特举实施例,并配合所附图式,作详细说明如下:
【附图说明】
图1绘示依照本实用新型一实施例的扫描组件结构的正面示意图。
图2绘示图1的扫描组件结构的背面示意图。
【主要组件符号说明】
100:扫描组件结构
110:基板
110a、110b:相对两侧
120:镜面组件层
121:外框
122:内框
123:第二扭转件
124:第一扭转件
126:扫描镜
130:孔状补强层
132:孔洞
【具体实施方式】
本实施例的扫描组件结构,可为单轴微镜面结构或双轴微镜面结构,其利用重复排列的多孔洞结构进行补强,不但可达到局部强化的效果,以避免扫描组件在作动的过程中发生形变,更可减少扫描组件的重量,以达到轻量化的要求。
以下提出各种实施例进行详细说明,实施例仅用以作为范例说明,并非用以限缩本实用新型欲保护的范围。
请参照图1及2,其中图1绘示依照本实用新型一实施例的扫描组件结构的正面示意图,而图2绘示图1的扫描组件结构的背面示意图。扫描组件结构100包括一基板110、一镜面组件层120以及一孔状补强层130。镜面组件层120以及孔状补强层130分别位于基板110的相对两侧110a及110b。基板110例如为SOI(silicon-on-insulator)基板,其通过晶圆键合技术(wafer bonding technology)在硅晶圆之间形成一层薄薄的氧化层(例如是二氧化硅SiO2),并经过热退火加强两晶圆之间的键结。氧化层的上下两面分别为组件层(device layer)以及操作层(handling layer)。在图2中,孔状补强层130蚀刻操作层而成的多孔洞结构,其具有多个重复排列的孔洞132,其形状例如为圆形、椭圆形或多边形。
镜面组件层120例如蚀刻组件层而成,再进行抛光磨平以形成平滑无杂质的表面。在图1中,镜面组件层120具有一内框122、一第一扭转件124以及一扫描镜126。第一扭转件124位于X轴方向上。第一扭转件124连接于内框122与扫描镜126之间,扫描镜126以第一扭转件124为轴产生扭转,使扫描镜126于一预定角度内进行往复式振动。因此,扫描镜126可在X轴上振动。在双轴微镜面结构中,镜面组件层120还可具有一外框121以及一第二扭转件123。第二扭转件123位于Y轴方向上,大致上垂直于X轴方向。第二扭转件123连接于内框122与外框121之间。内框122以第二扭转件123为轴产生扭转。因此,扫描镜126不仅可在X轴上振动,亦可在Y轴上振动。
在图2中,孔状补强层130对应配置于镜面组件层120的扫描镜126以及内框122的下方,以使扫描镜126以及内框12具有足够的强度,以避免作动过程时发生形变。此外,孔状补强层130未形成在第一扭转件124上,可达到局部强化的效果。也就是说,孔状补强层130与第一扭转件124不重叠,故可避免因第一扭转件124的重量增加而必须提高操作电流。同样,孔状补强层130与第二扭转件123不重叠,故可避免因第二扭转件123的重量增加而必须提高操作电流。
由上述说明可知,为了减轻组件的重量及降低操作电流,孔状补强层130采用轻量化变形补强的设计,因此可使扫描镜126可在较高的操作频率下振动,间接地提升扫描组件的操作效率。
综上所述,虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上,然其并非用以限定本实用新型。本实用新型所属技术领域中具有通常知识者,在不脱离本实用新型的精神和范围内,当可作各种的更动与润饰。因此,本实用新型的保护范围当视后附的申请专利范围所界定者为准。
Claims (10)
1.一种扫描组件结构,包括:
一基板,具有相对的一第一侧以及一第二侧;
一镜面组件层,配置于该第一侧;以及
一孔状补强层,相对于该镜面组件层配置于该第二侧。
2.根据权利要求1所述的扫描组件结构,其特征在于,该孔状补强层具有多个孔洞,所述孔洞为圆形、椭圆形或多边形。
3.根据权利要求1所述的扫描组件结构,其特征在于,该基板具有一组件层、一氧化层以及一操作层,该氧化层位于该组件层与该操作层之间。
4.根据权利要求3所述的扫描组件结构,其特征在于,该孔状补强层以该操作层蚀刻而成。
5.根据权利要求3所述的扫描组件结构,其特征在于,该镜面组件层以该组件层蚀刻而成。
6.根据权利要求1所述的扫描组件结构,其特征在于,该镜面组件层具有一内框、一第一扭转件以及一扫描镜,该第一扭转件位于一第一轴向上,该第一扭转件连接于该内框与该扫描镜之间,使该扫描镜在该第一轴向上振动。
7.根据权利要求6所述的扫描组件结构,其特征在于,该镜面组件层还可具有一外框以及一第二扭转件,该第二扭转件位于一第二轴向上,且该第二扭转件连接于该内框与该外框之间,使该扫描镜在该第二轴向上振动。
8.根据权利要求6所述的扫描组件结构,其特征在于,该孔状补强层对应补强该扫描镜以及该内框的强度。
9.根据权利要求6所述的扫描组件结构,其特征在于,该孔状补强层与该第一扭转件不重叠。
10.根据权利要求7所述的扫描组件结构,其特征在于,该孔状补强层与该第二扭转件不重叠。
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