CN202549938U - 多平台玻璃基板传输设备 - Google Patents

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CN202549938U CN2012200182383U CN201220018238U CN202549938U CN 202549938 U CN202549938 U CN 202549938U CN 2012200182383 U CN2012200182383 U CN 2012200182383U CN 201220018238 U CN201220018238 U CN 201220018238U CN 202549938 U CN202549938 U CN 202549938U
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郭远伦
余超平
范继良
刘惠森
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Abstract

本实用新型公开一种多平台玻璃基板传输设备,对承载于多个平台的玻璃基板进行传输,包括机架、竖直驱动机构、水平驱动机构及承载台,所述承载台可承载所述玻璃基板,且包括若干承载区,所述承载区与所述平台对应,所述水平驱动机构安装于所述竖直驱动机构上,并且驱动所述承载台水平来回移动,所述水平驱动机构的驱动行程与所述承载区的长度相等,所述竖直驱动机构驱动所述水平驱动机构上下移动,所述竖直驱动机构安装于所述机架上,所述竖直驱动机构在竖直方向移动一个行程后再由所述水平驱动机构在水平方向移动一个行程,进而交替地驱动所述承载台。本实用新型多平台玻璃基板传输设备控制容易,结构简单,维护方便,传动稳定、可靠。

Description

多平台玻璃基板传输设备
技术领域
本实用新型涉及一种传输设备,尤其涉及一种对处于多个平台的玻璃基板进行步进式传输,延长输送设备的使用寿命,控制容易,而且结构简单,维护方便,传动稳定、可靠的多平台玻璃基板传输设备。
背景技术
随着科学技术的不断进步,人们对数码产品的使用要求不断提高,尤其是数码产品的显示屏。OLED显示屏就是数码产品中的一种新产品,OLED即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode),又称为有机电激光显示(OrganicElectroluminesence Display,OELD),OLED是一种低电压、低功耗、高亮度、高光效、宽视觉、全固化、全彩显、重量轻、价格低的电致发光器件,正成为当今世界显示器件研究的热点,因此,具有较大的市场潜力。
目前,生产有机发光显示器件前都需要对装载有机发光显示二极管的玻璃基板进行加热固化处理,对玻璃基板加热一段时间后需要将其转移进行冷却处理,因此,在对玻璃基板进行转移时需要使用输送机构。但是,使用传统的输送机构需要在加热平台两边设置传动滚轮,这样的设计使输送机构的使用寿命大大缩短,原因在于加热平台局部温度过高,输送机构从加热平台再到冷却平台,中间经过迅速升温再进行快速降温,较大的温差使其在使用一段时间后机件的性能大大降低以致损坏。另外,由于加热平台两边的空间较小,其结构限制使得传统的输送机构在维护时较困难,因此,传统的输送机构难以满足生产所需。为解决上述问题,现今使用抓取机构将玻璃基板抓到加热平台上,加热完成后再将其抓取到冷却平台,之后再将基板放置于输送链上送到下一道工序。虽然在解决了上述的问题,但是这些抓取机构结构复杂,而且需要使用专门的控制系统对其控制,操作及控制都极不方便。
因此,需要有一种更好的多平台玻璃基板传输设备来解决上述的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种对处于多个平台的玻璃基板进行步进式传输,延长输送设备的使用寿命,控制容易,而且结构简单,维护方便,传动稳定、可靠的多平台玻璃基板传输设备。
为了实现上述目的,本实用新型提供的多平台玻璃基板传输设备,对承载于多个平台的玻璃基板进行传输,包括机架、竖直驱动机构、水平驱动机构及承载台,所述承载台可承载所述玻璃基板,且包括若干承载区,所述承载区与所述平台对应,所述水平驱动机构安装于所述竖直驱动机构上,并且驱动所述承载台水平来回移动,所述水平驱动机构的驱动行程与所述承载区的长度相等,所述竖直驱动机构驱动所述水平驱动机构上下移动,所述竖直驱动机构安装于所述机架上,所述竖直驱动机构在竖直方向移动一个行程后再由所述水平驱动机构在水平方向移动一个行程,进而交替地驱动所述承载台。
较佳地,所述竖直驱动机构包括竖直驱动电机、长轴、若干第一偏心轮、第一滚子及第一支撑架,所述长轴水平枢接于所述机架上,且一端连接所述竖直驱动电机,所述第一偏心轮分布于所述长轴上,所述第一支撑架设置于所述长轴的正上方,且上端支撑所述水平驱动机构,下端枢接所述第一滚子,所述第一滚子与所述第一偏心轮滚动接触,所述竖直驱动电机驱动所述第一偏心轮转动进而带动第一滚子及第一支撑架随第一偏心轮的不同半径上下升降。由于将所述第一滚子设置于所述第一偏心轮上,通过竖直驱动电机驱动所述第一偏心轮转动,从而使所述第一滚子在第一偏心轮的边缘上滚动,利于第一偏心轮具有的不同半径进而在滚子滚动时实现上升或下降,结构简单,维护方便。
具体地,所述竖直驱动机构还包括第二偏心轮、第二滚子及第二支撑架,所述第二偏心轮分布于所述长轴上,所述第二支撑架上端滑动地支撑所述承载台,下端枢接所述第二滚子,所述第二滚子与所述第二偏心轮滚动接触。由于所述承载台处于所述加热平台及冷却平台上方,所述承载台的重心超出所述水平驱动机构,因此所述承载台受力会不平衡,通过设置所述第二偏心轮、第二滚子及第二支撑架,直接支撑所述承载台,从而使所述承载台受力平衡,同时与所述水平驱动机构同步上升或下降。
更具体地,所述第二支撑架包括支撑板、支撑杆、联接座及滚轮,所述支撑板的中部枢接所述第二滚子,所述支撑杆设置于所述支撑板的两侧,且所述支撑杆的上端固定所述联接座,所述联接座枢接所述滚轮,所述滚轮滚动接触地承载所述承载台。由于所述承载台在水平方向上来回滑动,因此,通过设置支撑板及支撑杆支撑所述联接座及滚轮,使滚轮枢接于所述联接座,当所述承载台承载于滚轮上时,滚轮既能支撑承载台又可以在承载台水平滑动时相对其滚动,从而减少磨擦阻力,使承载台能顺畅,快速地移动,降低水平驱动机构的能耗。
进一步,所述承载台包括托架及承载板,所述承载板滑动地承载于所述滚轮的轮面上,所述托架固定于所述承载板上端,所述托架承载基板。
所述第二支撑架还包括导向轮,所述导向轮中心轴线垂直地枢接于所述联接座上方的两侧,并且分别与所述承载板的两侧滚动接触。由于所述承载板在水平方向上移动,因此增设所述导向轮可对所述承载板起导向作用,防止所述承载板在移动过程中产生移位而造成基板定位不准确。
较佳地,所述多平台玻璃基板传输设备还包括竖直导向组件,所述竖直导向组件包括第一导向轴及第一导向套,所述第一导向套竖直固定于所述支架上,所述第一导向轴竖直地固定于所述水平枢动机构上,且与所述第一导向套滑动套接。利用所述竖直导向组件使所述竖直驱动机构在对所述水平驱动机构升降时起到引导作用,进而使所述水平驱动机构在竖直方向的位置更加准确。
较佳地,所述水平驱动机构包括安装座、水平驱动电机、丝杆及丝杆滑块,所述丝杆枢接于所述安装座上,且一端连接所述水平驱动电机,所述丝杆滑块螺纹连接于所述丝杆上,所述丝杆滑块上端与所述承载台固定,所述水平驱动电机驱动所述丝杆转动进而推动所述丝杆滑块水平移动。通过利用所述丝杆及丝杆滑块的配合,从而将所述水平驱动电机的转动输出转化为水平输出,从而实现对所述承载台的水平驱动,并且所述丝杆及丝杆滑块为螺纹连接,传动十分精确,有利于准确地将所述承载台上的玻璃基板放置于加热平台或冷却平台上。
具体地,所述多平台玻璃基板传输设备还包括水平导向组件,所述水平导向组件包括第二导向轴及第二导向套,所述第二导向轴固定于所述安装座上,所述第二导向套滑动地与所述第二导向轴套接,且与所述丝杆滑块固定。所述水平导向组件一方面可分担所述丝杆的输出转矩,另一方面可对所述承载台进行导向,提高传动的稳定性。
由于本实用新型将所述承载台安装于所述水平驱动机构上,再将所述水平驱动机构安装于所述竖直驱动机构上,从而使所述竖直驱动机构同时驱动所述水平驱动机构及承载台,实现承载台的上升或下降,并且,通过水平驱动机构驱动所述承载台使其在水平方向上实现来回移动;当输送基板时,使所述竖直驱动机构先提升所述水平驱动机构及承载台,再由所述水平驱动机构推动承载台移动,通过将所述承载台设置成多个承载区,并且使水平驱动机构的驱动行程等于一个承载区的长度,从而利用水平驱动机构及竖直驱动机构的交替驱动,进而使所述承载台上的基板从加热平台向冷却平台步进式地前进,从而实现加热,冷却及输出的过程;整个多平台玻璃基板传输设备只需要控制所述竖直驱动机构及水平驱动机构的驱动电机即可对基板进行传输,控制十分容易,而且结构简单,维护方便,传动稳定、可靠。
附图说明
图1是本实用新型多平台玻璃基板传输设备的结构示意图。
图2是图1中A-A方向的剖视图。
图3是图1中B-B方向的剖视图。
图4是图3中C部分的放大示意图。
图5是本实用新型多平台玻璃基板传输设备中水平驱动机构的结构示意图。
图6是本实用新型多平台玻璃基板传输设备的承载台设置于加热平台及冷却平台上的示意图。
图7是本实用新型多平台玻璃基板传输设备传输时的示意图。
具体实施方式
如图1所示,本实用新型多平台玻璃基板传输设备100应用于OLED光刻自动化生产线中,对曝光工艺处理后的玻璃基板200进行传输,使玻璃基板200经过加热平台加热后再进入冷却平台进行冷却,最后输出到下一个工序。所述玻璃基板200的加热固化处理需要使用多个平台进行,这些平台通过若干个加热平台及冷却平台并排组成,所述玻璃基板200加热时需要依次经过这些平台来完成固化处理。本实用新型多平台玻璃基板传输设备100包括机架1、竖直驱动机构2、水平驱动机构3及承载台4,所述承载台4安装于所述水平驱动机构3的输出端,所述水平驱动机构3安装于所述竖直驱动机构2上,并且驱动所述承载台4水平来回移动,所述竖直驱动机构2驱动所述水平驱动机构3上下移动,所述竖直驱动机构2安装于所述机架1上,所述竖直驱动机构2在竖直方向移动一个行程后再由所述水平驱动机构3在水平方向移动一个行程,进而交替地驱动所述承载台4。
由于在OLED光刻生产中,所述玻璃基板200需要加热固化然后冷却,因此,在生产过程中,需要设置多个加热平台及冷却平台,而本实用新型中设置两个加热平台,即第一加热平台301及第二加热平台302,及两个冷却平台,即第一冷却平台303及第二冷却平台304,所述第一加热平台301、第二加热平台302及第一冷却平台303、第二冷却平台304依次排列。本实用新型所述承载台4包括四个大小相同的承载区41、42、43、44,该四个承载区41、42、43、44分别对应所述第一加热平台301、第二加热平台302及第一冷却平台303、第二冷却平台304,所述水平驱动机构3的驱动行程与承载区的长度相等。由于需要将所述玻璃基板200输送到加热平台加热,然后再将加热后的玻璃基板转移到冷却平台冷却,最后输送出冷却平台,因此,通过将所述承载台4设置成多个承载区,并且使水平驱动机构3的驱动行程等于一个承载区的长度,从而利用水平驱动机构3及竖直驱动机构2的交替的驱动,使每一块玻璃基板200从加热平台向冷却平台步进式地前进,从而实现加热、冷却及输出的过程。
结合图1并参阅图2及图3所示,具体地,所述竖直驱动机构2包括竖直驱动电机21、长轴22、两个第一偏心轮23、两个第一滚子24、两个第一支撑架25、三个第二偏心轮26、三个第二滚子27及三个第二支撑架28,所述长轴22水平枢接于所述机架1上,且一端连接所述竖直驱动电机2,所述第一偏心轮23分布于所述长轴22前段上,所述第一支撑架25设置于所述长轴22的正上方,且上端支撑所述水平驱动机构3,下端枢接所述第一滚子24,所述第一滚子24与所述第一偏心轮23的轮面滚动接触,所述竖直驱动电机2驱动所述第一偏心轮23转动进而带动第一滚子24及第一支撑架25随第一偏心轮23的不同半径而上下升降。由于将所述第一滚子24设置于所述第一偏心轮23上,通过所述竖直驱动电机2驱动所述第一偏心轮23转动,从而使所述第一滚子24在第一偏心轮23的边缘上滚动,利于第一偏心轮23具有的不同半径进而在滚子滚动时实现上升或下降,结构简单,维护方便。所述第二偏心轮26分布于所述长轴22的后段上,所述第二支撑架28上端滑动地支撑所述承载台4,下端枢接所述第二滚子27,所述第二滚子27与所述第二偏心轮26滚动接触。由于所述承载台4处于各加热平台及冷却平台上方,所述水平驱动机构3设置于所述长轴22的前段上,因此,所述承载台4的重心超出所述水平驱动机构3,所述承载台22因而受力会不平衡。通过设置所述第二偏心轮26、第二滚子27及第二支撑架28,使其直接支撑所述承载台4,从而使所述承载台4受力平衡,同时与所述水平驱动机构3同步上升或下降。
如图4所示,更具体地,所述第二支撑架28包括支撑板28a、支撑杆28b、联接座28c、滚轮28d及导向轮28e,所述支撑板28a的中部枢接所述第二滚子27,所述支撑杆28b设置于所述支撑板28a的两侧,且所述支撑杆28b的上端固定所述联接座28c,所述联接座28c呈U形的凹陷结构,在凹陷内枢接所述滚轮28d,所述滚轮28d滚动接触地承载所述承载台4。所述导向轮28e中心轴线垂直地枢接于所述联接座28c上方的两侧,并且分别与所述承载板4b的两侧滚动接触。所述承载台4包括托架4a及承载板4b,所述承载板4b滑动地承载于所述滚轮28d的轮面上,所述托架4a固定于所述承载板4b上端,所述托架4a承载玻璃基板200。由于所述承载台4b在水平方向上来回滑动,因此,通过设置支撑板28a及支撑杆28b支撑所述联接座28c及滚轮28d,使滚轮28d枢接于所述联接座28c,当所述承载台4的承载板4b承载于滚轮28d上时,滚轮28d既能支撑承载台4又可以在承载台4水平滑动时相对其滚动,从而减少磨擦阻力,使承载台4能顺畅,快速地移动,降低水平驱动机构3的能耗。另外,由于所述承载板4b在水平方向上移动,因此增设所述导向轮28e可对所述承载板4b起导向作用,防止所述承载板4b在移动过程中产生移位而造成玻璃基板定位不准确。
如图5所示,所述水平驱动机构3包括安装座31、水平驱动电机32、丝杆33及丝杆滑块34,所述丝杆33枢接于所述安装座31上,且一端连接所述水平驱动电机32,所述丝杆滑块34螺纹连接于所述丝杆33上,所述丝杆滑块34上端与所述承载台4固定,所述水平驱动电机3驱动所述丝杆33转动进而推动所述丝杆滑块34水平移动。通过利用所述丝杆33及丝杆滑块34的配合,从而将所述水平驱动电机3的转动输出转化为水平输出,从而实现对所述承载台4的水平驱动,并且所述丝杆33及丝杆滑块34为螺纹连接,传动十分精确,有利于准确地将所述承载台4上的玻璃基板200放置于加热平台或冷却平台上。
再如图2所示,所述多平台玻璃基板传输设备100还包括竖直导向组件5,所述竖直导向组件5包括第一导向轴51及第一导向套52,所述第一导向套52竖直固定于所述支架1上,所述第一导向轴51竖直地固定于所述水平枢动机构3的安装座31底部,且与所述第一导向套52滑动套接。利用所述竖直导向组件5使所述竖直驱动机构2在对所述水平驱动机构3升降时起到引导作用,进而使所述水平驱动机构3在竖直方向的位置更加准确。
请再参考图5,所述多平台玻璃基板传输设备100还包括水平导向组件6,所述水平导向组件6包括第二导向轴61及第二导向套62,所述第二导向轴61固定于所述安装座31上,所述第二导向套62滑动地与所述第二导向轴61套接,且与所述丝杆滑块34固定。所述水平导向组件6一方面可分担所述丝杆33的输出转矩,另一方面可对所述承载台4进行导向,提高传动的稳定性。
综合上述并结合图6及图7,下面对本实用新型所述多平台玻璃基板传输设备100的工作原理进行详细描,具体如下:
工作前,所述竖直驱动机构2将承载台4提升到最高位置,从而处于第一、第二加热平台301、302及第一、第二冷却平台303、304上方,玻璃基板200通过输入装置(图中未示)进入输入区400内,输入区400与所述承载台4的第一承载区41对接,所述承载台4的第二、第三及第四承载区42、43、44分别处于所述第一加热平台、第二加热平台301、302及第一冷却平台303的正上方,所述第二冷却平台304与输出区500对接,输出区500设置有输出装置(图中未示),将玻璃基板200送到下一工序。工作时,所述玻璃基板200进入输入区400后到达所述第一承载区41上,所述水平驱动电机32启动带动所述丝杆33转动,所述丝杆33进而推动所述丝杆滑块34,所述丝杆滑块34通过所述第二导向轴61的导向作用下,推动所述承载板4b移动,进而使整个承载台4在所述第二支撑架28上向输出区500方向滑动。当所述丝杆滑块34滑动到丝杆33的另一端时,丝杆滑块34走完一个行程,此时所述承载台4上的第一、第二、第三及第四承载区41、42、43、44正好分别正对所述第一加热平台301、第二加热平台302、第一冷却平台303及第二冷却平台304,所述水平驱动电机33停止;启动所述竖直驱动电机21,所述竖直驱动电机21转动驱动所述长轴22转动,进而使所述第一偏心轮23及第二偏心轮26转动,所述第一滚子24及第二滚子27分别在所述第一偏心轮23及第二偏心轮26的带动下滚动并在偏心轮轮面的引导下从最大半径处滚到最小半径处,从而使所述第一支撑架25及第二支撑架28下降到最低点;在下降的过程中,承载于第一承载区41上的所述玻璃基板200随所述承载台4向下移动,并到达所述第一加热平台301,从而承载于所述第一加热平台301上,所述第一加热平台301对玻璃基板200进行加热固化,同时所述承载台4处于所述第一加热平台301平面的下方。所述竖直驱动电机21停止驱动,所述水平驱动电机32启动,驱动所述承载台4向所述输入区400方向移动,当所述第一承载区41对接于输入区400时,所述第二、第三及第四承载区42、43、44再次与所述第一加热平台301、第二加热平台302、第一冷却平台303正对,此时,所述水平驱动机构3停止驱动,所述竖直驱动机构2启动,使所述第一滚子24及第二滚子27从偏心轮轮面的最小半径处滚动到最大半径处,从而驱动所述承载台4从下向上提升到最高点后停止;此时,所述第二承载区42将所述第一加热平台301上的玻璃基板200向上提升,同时,下一玻璃基板从所述输入区400进入到所述第一承载区41上,再启动所述水平驱动机构3,推动所述承载台4向输出区500方向移动,使第一、第二、第三及第四承载区41、42、43、44再次正对所述第一加热平台31、第二加热平台302、第一冷却平台303及第二冷却平台304后停止驱动,所述竖直驱动机构2再启动,将所述承载台4下降,从而将所述承载台4上的两玻璃基板200放置于第一加热平台301及第二加热平台302,如此不断循环驱动,第一块玻璃基板200从第一加热平台301转移到第二加热平台302加热,再转移到第一冷却平台303冷却,最后到达第二冷却平台304后进入输出区500被送到下一工序。如此,使不断地将玻璃基板200送入,从而自动地对玻璃基板200进行加工。
由于本实用新型将所述承载台4安装于所述水平驱动机构3上,再将所述水平驱动机构3安装于所述竖直驱动机构2上,从而使所述竖直驱动机构2同时驱动所述水平驱动机构3及承载台4,实现承载台4的上升或下降,并且,通过水平驱动机构3驱动所述承载台4使其在水平方向上实现来回移动;当输送玻璃基板200时,使所述竖直驱动机构2先提升所述水平驱动机构3及承载台4,再由所述水平驱动机构3推动承载台4移动,通过将所述承载台4设置成多个承载区,并且使水平驱动机构3的驱动行程等于一个承载区的长度,从而利用水平驱动机构3及竖直驱动机构2的交替驱动,进而使所述承载台4上的玻璃基板200从加热平台向冷却平台步进式地前进,在经过多个平台后从而实现加热,冷却及输出的过程;所述多平台玻璃基板传输设备100在驱动玻璃基板200在加热平台上加热后再转入冷却平台冷却的过程中,无需在加热平台及冷却平台上设置输送链及传动滚轮,有效防止加热平台对这些输送机构的损害,有效克服输送机构使用寿命短的缺点,只需要控制所述竖直驱动机构2及水平驱动机构3的驱动电机即可对玻璃基板200进行传输,控制十分容易,而且结构简单,维护方便,传动稳定、可靠。
本实用新型多平台玻璃基板传输设备100所涉及到的加热平台及冷却平台的尺寸大小及工作原理均为本领域普通技术人员所熟知,在此不再做详细的说明。
以上所揭露的仅为本实用新型的较佳实例而已,当然不能以此来限定本实用新型之权利范围,因此依本实用新型申请专利范围所作的等同变化,仍属于本实用新型所涵盖的范围。

Claims (9)

1.一种多平台玻璃基板传输设备,对承载于多个平台的玻璃基板进行传输,其特征在于:包括机架、竖直驱动机构、水平驱动机构及承载台,所述承载台可承载所述玻璃基板,且包括若干承载区,所述承载区与所述平台对应,所述水平驱动机构安装于所述竖直驱动机构上,并且驱动所述承载台水平来回移动,所述水平驱动机构的驱动行程与所述承载区的长度相等,所述竖直驱动机构驱动所述水平驱动机构上下移动,所述竖直驱动机构安装于所述机架上,所述竖直驱动机构在竖直方向移动一个行程后再由所述水平驱动机构在水平方向移动一个行程,进而交替地驱动所述承载台。
2.如权利要求1所述的多平台玻璃基板传输设备,其特征在于:所述竖直驱动机构包括竖直驱动电机、长轴、若干第一偏心轮、第一滚子及第一支撑架,所述长轴水平枢接于所述机架上,且一端连接所述竖直驱动电机,所述第一偏心轮分布于所述长轴上,所述第一支撑架设置于所述长轴的正上方,且上端支撑所述水平驱动机构,下端枢接所述第一滚子,所述第一滚子与所述第一偏心轮滚动接触,所述竖直驱动电机驱动所述第一偏心轮转动进而带动第一滚子及第一支撑架随第一偏心轮的不同半径上下升降。
3.如权利要求2所述的多平台玻璃基板传输设备,其特征在于:所述竖直驱动机构还包括第二偏心轮、第二滚子及第二支撑架,所述第二偏心轮分布于所述长轴上,所述第二支撑架上端滑动地支撑所述承载台,下端枢接所述第二滚子,所述第二滚子与所述第二偏心轮滚动接触。
4.如权利要求3所述的多平台玻璃基板传输设备,其特征在于:所述第二支撑架包括支撑板、支撑杆、联接座及滚轮,所述支撑板的中部枢接所述第二滚子,所述支撑杆设置于所述支撑板的两侧,且所述支撑杆的上端固定所述联接座,所述联接座枢接所述滚轮,所述滚轮滚动接触地承载所述承载台。 
5.如权利要求4所述的多平台玻璃基板传输设备,其特征在于:所述承载台包括托架及承载板,所述承载板滑动地承载于所述滚轮的轮面上,所述托架固定于所述承载板上端,所述托架承载基板。
6.如权利要求5所述的多平台玻璃基板传输设备,其特征在于:所述第二支撑架还包括导向轮,所述导向轮中心轴线垂直地枢接于所述联接座上方的两侧,并且分别与所述承载板的两侧滚动接触。
7.如权利要求1所述的多平台玻璃基板传输设备,其特征在于:所述多平台玻璃基板传输设备还包括竖直导向组件,所述竖直导向组件包括第一导向轴及第一导向套,所述第一导向套竖直固定于所述支架上,所述第一导向轴竖直地固定于所述水平枢动机构上,且与所述第一导向套滑动套接。
8.如权利要求1所述的多平台玻璃基板传输设备,其特征在于:所述水平驱动机构包括安装座、水平驱动电机、丝杆及丝杆滑块,所述丝杆枢接于所述安装座上,且一端连接所述水平驱动电机,所述丝杆滑块螺纹连接于所述丝杆上,所述丝杆滑块上端与所述承载台固定,所述水平驱动电机驱动所述丝杆转动进而推动所述丝杆滑块水平移动。
9.如权利要求8所述的多平台玻璃基板传输设备,其特征在于:所述多平台玻璃基板传输设备还包括水平导向组件,所述水平导向组件包括第二导向轴及第二导向套,所述第二导向轴固定于所述安装座上,所述第二导向套滑动地与所述第二导向轴套接,且与所述丝杆滑块固定。 
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CN102709488A (zh) * 2012-01-13 2012-10-03 东莞宏威数码机械有限公司 基板传输机构
CN106500919A (zh) * 2016-12-20 2017-03-15 镇江创智特种合金科技发展有限公司 一种试漏机专用的升降装置
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CN111331289A (zh) * 2020-04-29 2020-06-26 深圳市东昕科技有限公司 一种传输装置以及真空焊接设备

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