CN202479159U - 升降抖动装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种升降抖动装置，其特征在于，包括：挂篮支架；抖动驱动装置，抖动驱动装置与挂篮支架连接；抖动驱动装置驱动挂篮支架上下往复运动；提升驱动装置，提升驱动装置驱动挂篮支架上升或下降。本实用新型中的升降抖动装置，既可以使支架上下抖动，蚀刻时，使产品抖动可及时去除蚀刻产生的粉末，提高蚀刻质量；清洗时抖动，可提高清洗效果，且清洗完成后抖动能够快速去除产品表面的水滴。本实用新型中的升降抖动装置还可以自动实现使产品上升或下降，自动将产品放入蚀刻液或清洗水中，处理完成后自动将产品提升出液面。提升与抖动功能可相互配合，使用方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种升降抖动装置。
背景技术
晶圆、引线框架或者PCB板生产过程中需要蚀刻、清洗。蚀刻过程中容易产生材料粉末，蚀刻过程如无法及时去除粉末，则会影响蚀刻的质量。蚀刻完成后，如果粉末粘附在产品上，会影响产品的质量，因此需要去除粉末。去除粉末的一种方法是清洗，利用水冲洗产品，将粉末去除。但在用水清洗过程中，粉末有可能粘附力比较大而难以去除。清洗完成后，产品表面会粘附大量的水滴，影响了产品的干燥时间。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种有助于去除产品表面的水滴的升降抖动装置。
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现：
升降抖动装置，其特征在于，包括挂篮支架；抖动驱动装置，抖动驱动装置与挂篮支架传动连接；抖动驱动装置驱动挂篮支架上下往复运动；提升驱动装置，提升驱动装置与挂篮支架传动连接，提升驱动装置驱动挂篮支架上升或下降。
优选地是，所述的抖动驱动装置为第一电机，第一电机的输出轴上设置有偏心装置，偏心装置与挂篮支架连接；驱动装置驱动偏心装置转动；偏心装置驱动挂篮支架上下往复运动。
优选地是，所述偏心装置包括圆形的驱动转盘和从动转盘；所述从动转盘安装于驱动转盘的非圆心位置。
优选地是，所述的挂篮支架包括抖动基板，抖动基板搭靠在从动转盘上。
优选地是，所述从动转盘为圆形，且可转动地安装在驱动转盘上。
优选地是，提升驱动装置通过传动装置与挂篮传动连接；传动装置包括推杆，提升驱动装置驱动推杆上下运动。
优选地是，所述的挂篮包括抖动基板，抖动基板设置于推杆向上移动的路线上；抖动基板上安装有限位装置；所述限位装置与抖动基板之间具有容纳从动圆盘的间隙，将从动圆盘限制于限位装置与抖动基板之间；所述限位装置可转动地设置；限位装置设置于推杆向上移动的路线上，推杆向上移动时推动限位装置旋转，并且在限位装置旋转后脱离对从动圆盘的限制。
优选地是，所述的限位装置为Z形架。
优选地是，所述Z字形架包括依次连接的第一板、第二板和第三板；第一板与第二板之间的夹具α小于90°；第二板与第三板之间的夹角β大于等于90°；第一板位于推杆向上移动的路线上；第一板可转动地设置。
优选地是，所述提升驱动装置通过齿轮换向器与推杆传动连接；提升驱动装置通过齿轮换向器驱动推杆上下移动。
优选地是，还包括固定基板，所述提升驱动装置和抖动驱动装置安装于固定基板上。
优选地是，还包括导向杆；挂篮支架设置有抖动基板，导向杆穿过抖动基板；抖动基板可沿导向杆滑动。
优选地是，所述抖动驱动装置为第一电机。
优选地是，所述提升驱动装置为第二电机。
本实用新型中的升降抖动装置，既可以使支架上下抖动，蚀刻时，使产品抖动可及时去除蚀刻产生的粉末，提高蚀刻质量；清洗时抖动，可提高清洗效果，且清洗完成后抖动能够快速去除产品表面的水滴。本实用新型中的升降抖动装置还可以自动实现使产品上升或下降，自动将产品放入蚀刻液或清洗水中，处理完成后自动将产品提升出液面。提升与抖动功能可相互配合，使用方便。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图2为本实用新型侧视图。
图3为本实用新型半剖立体图。
图4为图3的侧视图。
图5为本实用新型抖动驱动和提升驱动结构示意图。
图6为Z字形架结构示意图。
图7为本实用新型中的Z字形架工作原理结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型进行详细的描述：
如图1、图2、图3、图4及图5所示，升降抖动装置，包括固定基板1。固定基板1上表面安装有第一电机2，下表面安装有第二电机3。第一电机2的输出轴21上安装有驱动转盘22。驱动转盘22上安装有可转动的从动转盘23。从动转盘23通过转轴231可转动地安装在驱动转盘22的非圆心位置上。从动转盘23既可以绕转轴231转动，也可以随驱动转盘23绕输出轴21转动。固定基板1上设置有两根间隔设置的第一导向杆11和第二导向杆12。
挂篮支架4上设置有抖动基板41。第一导向杆11和第二导向杆12穿过抖动基板41。抖动基板41可沿第一导向杆11和第二导向杆12上下滑动。抖动基板41设置于从动转盘23上方，搭靠在从动转盘23上。抖动基板41下表面设置有可转动的Z字形架6。如图6所示，Z字形架6包括依次连接的第一板61、第二板62和第三板63。第一板61与第二板62之间的夹具α小于90°，本实用新型为75°。第二板62与第三板63之间的夹角β大于等于90°，本实用新型中β为90°；第一板61位于推杆5向上移动的路线上；第一板61可转动地设置。Z字形架6将从动转盘23限制于第三板63与抖动基板41之间。此时如果抖动基板41上升或下降，均会带动从动转盘23一起上升或下降。Z字形架6可转动地设置在抖动基板41上，在Z字形架6转动一定角度后，其脱离对从动转盘23的限制。此时抖动基板41上升时，将不会带动从动转盘23移动。
第二电机3通过齿轮换向装置31与推杆5传动连接。推杆5穿过固定基板1。Z字形架6位于推杆5向上移动的路线上。推杆5向上移动时，推动Z字形架6转动，使Z字形架6脱离对从动转盘23的限制。
使用时，启动第二电机3使其输出轴转动，驱动推杆5向上推动挂篮支架4至合适位置。将放置有晶圆或引线框架的挂篮挂在挂篮支架4上。关闭第二电机3或使第二电机3输出轴反向旋转，推杆5下降。挂篮支架4在重力作用下下降。在挂篮支架4下降过程，推杆5始终抵靠住Z字形架6的第一板61，防止其转动，Z字形架6的状态如图4所示。直至挂篮支架4下降至晶圆或引线框架浸入液体中，此时抖动基板41搭靠在从动转盘23上。如图7所示，推杆5继续下降，失去对Z字形架6的抵靠力。由于α小于90°，Z字形架6在重力作用下转动至限制从动转盘23的位置，将从动转盘23限制在Z字形架6的第三板63与抖动基板41之间。启动第一电机2，使驱动转盘22转动，从而带动从动转盘23转动。由于从动转盘23设置在驱动转盘22的非圆心位置，因此从动转盘23随驱动转盘22转动过程中，其高度也发生变化。从动转盘23高度位置的变化带动挂篮支架4上下往复运动，达到抖动的效果。处理完成后需要提升挂篮支架4时，在图7所示的状态下，启动第二电机3驱动推杆5向上移动。推杆5抵靠Z字形架6时使其旋转，Z字形架6旋转一定角度后脱离对从动轮盘23的限制。推杆5继续向上移动，推动抖动基板41上升，直至适合取放挂篮的位置。
本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围内。
Claims (14)
1.升降抖动装置，其特征在于，包括：
挂篮支架；
抖动驱动装置，抖动驱动装置与挂篮支架传动连接；抖动驱动装置驱动挂篮支架上下往复运动；
提升驱动装置，提升驱动装置与挂篮支架传动连接，提升驱动装置驱动挂篮支架上升或下降。
2.根据权利要求1所述的升降抖动装置，其特征在于，所述的抖动驱动装置为第一电机，第一电机的输出轴上设置有偏心装置，偏心装置与挂篮支架连接；驱动装置驱动偏心装置转动；偏心装置驱动挂篮支架上下往复运动。
3.根据权利要求2所述的升降抖动装置，其特征在于，所述偏心装置包括圆形的驱动转盘和从动转盘；所述从动转盘安装于驱动转盘的非圆心位置。
4.根据权利要求3所述的升降抖动装置，其特征在于，所述的挂篮支架包括抖动基板，抖动基板搭靠在从动转盘上。
5.根据权利要求4所述的升降抖动装置，其特征在于，所述从动转盘为圆形，且可转动地安装在驱动转盘上。
6.根据权利要求1所述的升降抖动装置，其特征在于，提升驱动装置通过传动装置与挂篮传动连接；传动装置包括推杆，提升驱动装置驱动推杆上下运动。
7.根据权利要求6所述的升降抖动装置，其特征在于，所述的挂篮包括抖动基板，抖动基板设置于推杆向上移动的路线上；抖动基板上安装有限位装置；所述限位装置与抖动基板之间具有容纳从动圆盘的间隙，将从动圆盘限制于限位装置与抖动基板之间；所述限位装置可转动地设置；限位装置设置于推杆向上移动的路线上，推杆向上移动时推动限位装置旋转，并且在限位装置旋转后脱离对从动圆盘的限制。
8.根据权利要求7所述的升降抖动装置，其特征在于，所述的限位装置为Z形架。
9.根据权利要求8所述的升降抖动装置，其特征在于，所述Z字形架包括依次连接的第一板、第二板和第三板；第一板与第二板之间的夹具α小于90°；第二板与第三板之间的夹角β大于等于90°；第一板位于推杆向上移动的路线上；第一板可转动地设置。
10.根据权利要求6所述的升降抖动装置，其特征在于，所述提升驱动装置通过齿轮换向器与推杆传动连接；提升驱动装置通过齿轮换向器驱动推杆上下移动。
11.根据权利要求1所述的升降抖动装置，其特征在于，还包括固定基板，所述提升驱动装置和抖动驱动装置安装于固定基板上。
12.根据权利要求11所述的升降抖动装置，其特征在于，还包括导向杆；挂篮支架设置有抖动基板，导向杆穿过抖动基板；抖动基板可沿导向杆滑动。
13.根据权利要求1所述的升降抖动装置，其特征在于，所述抖动驱动装置为第一电机。
14.根据权利要求1所述的升降抖动装置，其特征在于，所述提升驱动装置为第二电机。
Priority Applications (1)
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| CN 201120574318 CN202479159U (zh) | 2011-12-31 | 2011-12-31 | 升降抖动装置 |
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|---|---|---|---|---|
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