CN202479158U - 提升抖动装置 - Google Patents

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China
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CN 201120573850
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Inventor
王振荣
刘红兵
黄利松
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Shanghai Xinyang Semiconductor Material Co Ltd
Original Assignee
Shanghai Xinyang Semiconductor Material Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种提升抖动装置,其特征在于,包括:提升驱动装置;挂篮支架,挂篮支架设置有抖动基板;挂篮支架受提升驱动装置驱动升降;抖动驱动装置,抖动驱动装置与挂篮支架传动连接;抖动驱动装置与偏心装置传动连接;偏心装置设置于抖动基板的下降路线上;抖动基板下降至搭靠在偏心装置上后,抖动驱动装置通过偏心装置驱动抖动基板上下往复运动。本实用新型中的提升抖动装置,既可以使支架上下抖动,蚀刻时,使产品抖动可及时去除蚀刻产生的粉末,提高蚀刻质量;清洗时抖动,可提高清洗效果,且清洗完成后抖动能够快速去除产品表面的水滴。

Description

提升抖动装置
技术领域
本实用新型涉及一种提升抖动装置。
背景技术
晶圆、引线框架或者PCB板生产过程中需要蚀刻、清洗。蚀刻过程中容易产生材料粉末,蚀刻过程如无法及时去除粉末,则会影响蚀刻的质量。蚀刻完成后,如果粉末粘附在产品上,会影响产品的质量,因此需要去除粉末。去除粉末的一种方法是清洗,利用水冲洗产品,将粉末去除。但在用水清洗过程中,粉末有可能粘附力比较大而难以去除。清洗完成后,产品表面会粘附大量的水滴,影响了产品的干燥时间。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种有助于去除产品表面的水滴的提升抖动装置。
为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案实现:
提升抖动装置,其特征在于,包括:提升驱动装置;挂篮支架,挂篮支架设置有抖动基板;挂篮支架受提升驱动装置驱动升降;抖动驱动装置,抖动驱动装置与挂篮支架传动连接;抖动驱动装置与偏心装置传动连接;偏心装置设置于抖动基板的下降路线上;抖动基板下降至搭靠在偏心装置上后,抖动驱动装置通过偏心装置驱动抖动基板上下往复运动。
优选地是,所述偏心装置包括圆形的驱动转盘和从动转盘;所述从动转盘安装于驱动转盘的非圆心位置。
优选地是,所述从动转盘为圆形,且可转动地安装在驱动转盘上。
优选地是,提升驱动装置通过传动装置与挂篮传动连接;传动装置包括推杆,提升驱动装置驱动推杆上下运动。
优选地是,所述的挂篮包括抖动基板,抖动基板设置于推杆向上移动的路线上。
优选地是,所述提升驱动装置通过齿轮换向器与推杆传动连接;提升驱动装置通过齿轮换向器驱动推杆上下移动。
优选地是,还包括固定基板,所述提升驱动装置和抖动驱动装置安装于固定基板上。
优选地是,还包括导向杆;挂篮支架设置有抖动基板,导向杆穿过抖动基板;抖动基板可沿导向杆滑动。
优选地是,所述抖动驱动装置为第一电机。
优选地是,所述提升驱动装置为第二电机。
本实用新型中的提升抖动装置,既可以使支架上下抖动,蚀刻时,使产品抖动可及时去除蚀刻产生的粉末,提高蚀刻质量;清洗时抖动,可提高清洗效果,且清洗完成后抖动能够快速去除产品表面的水滴。本实用新型中的提升抖动装置还可以自动实现使产品上升或下降,自动将产品放入蚀刻液或清洗水中,处理完成后自动将产品提升出液面。提升与抖动功能可相互配合,使用方便。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图2为本实用新型侧视图。
图3为本实用新型半剖立体图。
图4为图3的侧视图。
图5为本实用新型抖动驱动和提升驱动结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型进行详细的描述:
如图1、图2、图3、图4及图5所示,提升抖动装置,包括固定基板1。固定基板1上表面安装有第一电机2,下表面安装有第二电机3。第一电机2的输出轴21上安装有驱动转盘22。驱动转盘22上安装有可转动的从动转盘23。从动转盘23通过转轴231可转动地安装在驱动转盘22的非圆心位置上。从动转盘23既可以绕转轴231转动,也可以随驱动转盘23绕输出轴21转动。固定基板1上设置有两根间隔设置的第一导向杆11和第二导向杆12。
挂篮支架4上设置有抖动基板41。第一导向杆11和第二导向杆12穿过抖动基板41。抖动基板41可沿第一导向杆11和第二导向杆12上下滑动。抖动基板41设置于从动转盘23上方,搭靠在从动转盘23上。
第二电机3通过齿轮换向装置31与推杆5传动连接。推杆5穿过固定基板1。抖动基板41位于推杆5向上移动的路线上。推杆5向上移动时,推动固定基板41上升。
使用时,启动第二电机3使其输出轴转动,驱动推杆5向上推动挂篮支架4至合适位置。将放置有晶圆或引线框架的挂篮挂在挂篮支架4上。关闭第二电机3或使第二电机3输出轴反向旋转,推杆5下降。挂篮支架4在重力作用下下降。直至挂篮支架4下降至晶圆或引线框架浸入液体中,此时抖动基板41搭靠在从动转盘23上。推杆5继续下降,失去对抖动基板41的抵靠力。启动第一电机2,使驱动转盘22转动,从而带动从动转盘23转动。由于从动转盘23设置在驱动转盘22的非圆心位置,因此从动转盘23随驱动转盘22转动过程中,其位置高度也发生变化。从动转盘23高度位置的变化带动挂篮支架4上下往复运动,达到抖动的效果。处理完成后需要提升挂篮支架4时,启动第二电机3驱动推杆5向上移动。推杆5抵靠在抖动基板41下表面向上推动抖动基板41上升,直至适合取放挂篮的位置。
本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明,并不构成对权利要求范围的限制,本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代,均在本实用新型保护范围内。

Claims (10)

1.提升抖动装置,其特征在于,包括:
提升驱动装置;
挂篮支架,挂篮支架设置有抖动基板;挂篮支架受提升驱动装置驱动升降;
抖动驱动装置,抖动驱动装置与挂篮支架传动连接;抖动驱动装置与偏心装置传动连接;
偏心装置设置于抖动基板的下降路线上;抖动基板下降至搭靠在偏心装置上后,抖动驱动装置通过偏心装置驱动抖动基板上下往复运动。
2.根据权利要求1所述的提升抖动装置,其特征在于,所述偏心装置包括圆形的驱动转盘和从动转盘;所述从动转盘安装于驱动转盘的非圆心位置。
3.根据权利要求2所述的提升抖动装置,其特征在于,所述从动转盘为圆形,且可转动地安装在驱动转盘上。
4.根据权利要求1所述的提升抖动装置,其特征在于,提升驱动装置通过传动装置与挂篮传动连接;传动装置包括推杆,提升驱动装置驱动推杆上下运动。
5.根据权利要求4所述的提升抖动装置,其特征在于,所述的挂篮包括抖动基板,抖动基板设置于推杆向上移动的路线上。
6.根据权利要求5所述的提升抖动装置,其特征在于,所述提升驱动装置通过齿轮换向器与推杆传动连接;提升驱动装置通过齿轮换向器驱动推杆上下移动。
7.根据权利要求1所述的提升抖动装置,其特征在于,还包括固定基板,所述提升驱动装置和抖动驱动装置安装于固定基板上。
8.根据权利要求7所述的提升抖动装置,其特征在于,还包括导向杆;挂篮支架设置有抖动基板,导向杆穿过抖动基板;抖动基板可沿导向杆滑动。
9.根据权利要求1所述的提升抖动装置,其特征在于,所述抖动驱动装置为第一电机。
10.根据权利要求1所述的提升抖动装置,其特征在于,所述提升驱动装置为第二电机。
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