CN202427298U - 一种用于碳化硅加工的除尘装置 - Google Patents

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王允佳
杨志敏
李孝文
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Jiaming New Material Science & Technology Co., Ltd.
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Abstract

本实用新型提供了一种用于碳化硅加工的除尘装置,包括储水箱、喷淋管线,喷淋管线与储水箱相连,所述喷淋管线内设有喷淋区、进气口及排气口,所述进气口与所述排气口位于所述喷淋区两端,由于本实用新型包括储水箱、喷淋管线,喷淋管线与储水箱相连,喷淋管线内设有喷淋区、进气口及排气口,所述进气口与所述排气口位于所述喷淋区两端,通过水喷淋的方式除尘,可以避免堵塞布袋,保持设备正常运行,避免碳化硅外逸,使排放的废气含尘量达到国家排放标准,避免环境污染,且将含碳化硅的粉尘进行回收利用,节约了生产成本。

Description

一种用于碳化硅加工的除尘装置
技术领域
本实用新型涉及一种除尘装置,特别涉及一种用于碳化硅加工的除尘装置,属于碳化硅加工设备的技术领域。
背景技术
碳化硅是制作太阳能硅片、半导体硅片等产品的重要材料。为了对碳化硅进行循环利用,要对碳化硅进行加工。碳化硅在进行烘干加工时,排出的废气中水分含量较高且含有少量粉尘。现有技术中使用的除尘设备是脉冲布袋除尘器,该除尘装置存在以下缺点:由于废气中的水分含量很高,容易浸湿除尘布袋,将布袋的的过滤孔堵塞,同时浸湿的布袋容易粘附碳化硅,且粘附了碳化硅后不会脱落,加剧布袋堵塞。最终导致除尘器失效,设备无法运行。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种用于碳化硅加工的除尘装置,该除尘装置除尘效果好且不容易堵塞。
为了解决上述技术问题,本实用新型一种用于碳化硅加工的除尘装置,包括储水箱、喷淋管线,喷淋管线与储水箱相连,所述喷淋管线内设有喷淋区、进气口及排气口,所述进气口与所述排气口位于所述喷淋区两端。
上述的用于碳化硅加工的除尘装置,其中,所述喷淋管线上连有一水管,所述水管通过循环水泵与所述储水箱相连。
本实用新型的有益效果:
1、由于本实用新型包括储水箱、喷淋管线,喷淋管线与储水箱相连,喷淋管线内设有喷淋区、进气口及排气口,所述进气口与所述排气口位于所述喷淋区两端,通过水喷淋的方式除尘,可以避免堵塞布袋,保持设备正常运行,避免碳化硅外逸,使排放的废气含尘量达到国家排放标准,避免环境污染,且将含碳化硅的粉尘进行回收利用,节约了生产成本。
2、由于喷淋管线上连有一水管,所述水管通过循环水泵与所述储水箱相连,将吸收粉尘后的水回流至储水箱再循环进行喷淋,从而,大大节约了水资源。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
如图所示,为了解决上述技术问题,本实用新型一种用于碳化硅加工的除尘装置,包括储水箱4、喷淋管线3,喷淋管线3与储水箱4相连,所述喷淋管线3内设有喷淋区9、进气口7及排气口8,所述进气口7与所述排气口8位于所述喷淋区9两端,进气口与排气口的位置不受限制,可以将进气口设置在喷淋管线底部,排气口设置在喷淋管线顶部;也可将进气口设置在喷淋管线顶部,排气口设置在喷淋管线底部,只要使气体从进气口7流向排气口8的进程中,经过喷淋区9即可,喷淋区9为在喷淋管线内设有喷嘴2而形成的,喷嘴2设置在喷淋管线3内,通过进水管与储水箱4相连,进水管上接有水泵,使用时,通过水泵将水抽入进水管,再由喷嘴2喷出,喷嘴2的数量不受限制,可为一个、两个或多个,根据具体要求进行设置。使用时,进气口与烘干机相连。为了排气可彻底,可在排气口安装排气风机1。通过水喷淋的方式除尘,可以避免堵塞布袋,保持设备正常运行,避免碳化硅外逸,使排放的废气含尘量达到国家排放标准,避免环境污染,且将含碳化硅的粉尘进行回收利用,节约了生产成本。
为了节约水资源,可在喷淋管线3上连有一水管30,所述水管30通过循环水泵6与所述储水箱4相连,将吸收粉尘后的水回流至储水箱再循环进行喷淋,从而,大大节约了水资源。
为了使用更加方便,可在储水箱上设有补水口40和排水管5,对储水箱4内含碳化硅的水定时进行更换,防止浓度过高堵塞喷淋管线3和喷嘴2。
工作原理:废气从烘干机出来后,通过进气口进入除尘装置,废气从喷淋管线的进气口进入,排气口排出,储水箱的水经水泵打出,从喷淋管线顶部经喷嘴进入,吸收废气中的碳化硅粉尘,充气从排气口热排放,吸收粉尘后的水回流至储水罐再循环进行喷淋。
综上所述,本实用新型可以不受废气中高水分和碳化硅粉尘的影响,连续不间断运行,减少了设备维护维修率和维修成本,提高生产效率。
本发明并不局限于上述实施例,凡是在本发明公开的技术方案的基础上,本领域的技术人员根据所公开的技术内容,不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形,这些替换和变形均在本发明保护的范围内。

Claims (2)

1.一种用于碳化硅加工的除尘装置,其特征在于,包括储水箱、喷淋管线,喷淋管线与储水箱相连,所述喷淋管线内设有喷淋区、进气口及排气口,所述进气口与所述排气口位于所述喷淋区两端。
2.如权利要求1所述的用于碳化硅加工的除尘装置,其特征在于,所述喷淋管线上连有一水管,所述水管通过循环水泵与所述储水箱相连。
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Address after: 212211, No. 66, Yangzhong Avenue, Yangzhong Economic Development Zone, Zhenjiang, Jiangsu

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