CN202307825U - 反应腔室盖板及具有该盖板的反应腔室 - Google Patents
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Abstract
本实用新型为一种反应腔室盖板，包括：反应腔室隔板、传片门板、连杆机构以及电机；所述反应腔室隔板设于反应腔室侧面，并开有对应于反应腔室入口的方孔；所述传片门板可在所述反应腔室隔板上运动；所述连杆机构包括至少一根连杆；所述传片门板、连杆机构、电机依次连接，连杆机构能够在电机的驱动下带动传片门板运动，以将反应腔室隔板上的方孔打开或关闭。本实用新型采用连杆机构传动传片门，结构简单易行，较容易控制开启的高度，并且使用电机驱动连杆机构来控制传片门的开关，较为容易控制，与采用气缸传动相比，可节省气缸气源。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体设备领域，具体涉及一种反应腔室盖板及具有该盖板的反应腔室。
背景技术
在进行半导体工艺时，机械手向反应腔室中传送晶片或从反应腔室中取出晶片都需要通过能够自动开启或关闭的门的结构。在过去的半导体设备中，以往的自动开启或关闭的门的结构由气缸来驱动。由于传片门板上下的移动主要通过门板两边固定着的导轨，因此，在安装时，两边导轨的平行度要求很高。而在采用气缸传动时，就需要对气缸活塞杆与导轨的平行度要求很高，这样就加大了安装时的难度。如果导轨与气缸活塞杆的平行度误差比较大，传片门在开启过关闭的过程中会卡死，不仅会损害机械手，还会造成反应腔室中的晶片受到污染，严重影响工艺效果。而在采用气缸时，也需要给气缸提供具有一定纯净度的压缩空气，这样就增加了设备介质使用的复杂度。如果使用的压缩空气纯净度不高，不仅会减少气缸的使用寿命，也会给设备内部微环境带来危害，使清洗过的晶片再次被污染。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型的目的是提供一种简单易行、可靠的机械手传片门自动开启与关闭的反应腔室盖板及具有该盖板的反应腔室。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种反应腔室盖板，包括：反应腔室隔板、传片门板、连杆机构以及电机；所述反应腔室隔板设于反应腔室上部，并开有对应于反应腔室入口的方孔；所述传片门板可在所述反应腔室隔板上运动；所述连杆机构包括至少一根连杆；所述传片门板、连杆机构、电机依次连接，连杆机构能够在电机的驱动下带动传片门板运动，以将反应腔室隔板上的方孔打开或关闭。
优选地，所述反应腔室隔板的方孔两侧设有门板导轨，传片门板两侧设有导轨滑块，传片门板通过导轨滑块在所述门板导轨上运动。
优选地，所述门板导轨的长度根据传片门板运动的距离而定。
优选地，所述传片门板的大小根据反应腔室隔板的方孔的尺寸而定。
优选地，该反应腔室为半导体反应腔室，通过机械手传取晶片，所述方孔的尺寸根据机械手的尺寸与晶片的尺寸而定。
优选地，所述连杆机构为双连杆机构，包括第一连杆和第二连杆，传片门板与第一连杆连接，第一连杆与第二连杆通过转轴连接，并且两根连杆可绕转轴相对转动；第二连杆与电机连接，当电机轴转动时，可带动第二连杆一起转动，从而带动传片门板在反应腔室隔板上移动。
优选地，所述连杆机构为四连杆机构，包括两根第一连杆、第二连杆和第三连杆，传片门板与两根相同的第一连杆连接，这两根第一连杆与第三连杆的两端通过转轴连接，并且两根第一连杆可绕转轴与第三连杆相对转动；第二连杆与第三连杆通过第三连杆中间的转轴连接，通过转轴，第二连杆和第三连杆可相对转动；第二连杆与电机连接，当电机轴转动时，可带动第二连杆一起转动，第二连杆、第三连杆和两根第一连杆组成连杆机构，从而带动传片门板在反应腔室隔板上移动。
本实用新型还提供一种上述反应腔室盖板的反应腔室，还包括：腔体，所述反应腔室盖板用于将腔室所处环境与外界环境隔离开来。
优选地，该反应腔室为半导体反应腔室。
(三)有益效果
1、采用连杆机构传动传片门，结构简单易行，较容易控制开启的高度。
2、使用电机驱动连杆机构来控制传片门的开关，较为容易控制，与采用气缸传动相比，可节省气缸气源。
附图说明
图1为本实用新型中反应腔室隔板的结构图；
图2为本实用新型采用两根连杆机构时的结构图；
图3为本实用新型采用两根连杆机构时传片门全部开启时的结构图；
图4为本实用新型采用两根连杆机构时传片门全部关闭时的结构图；
图5为本实用新型采用四根连杆机构时的结构图；
图6为本实用新型采用四根连杆机构时传片门全部开启时的结构图；
图7为本实用新型采用四根连杆机构时传片门全部关闭时的结构图。
其中，1：反应腔室隔板；2：方孔；3：门板导轨；4：传片门板；5：导轨滑块；6：第一连杆；7：第二连杆；8：第三连杆；9：电机。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不是限制本实用新型的范围。
如图2所示，为本实用新型所述反应腔室盖板一实施例的结构图，包括：反应腔室隔板1、传片门板4、连杆机构以及电机9；所述反应腔室隔板1设于反应腔室侧面，并开有对应于反应腔室入口的方孔2(如图1所示)；门板导轨3固定在反应腔室隔板1上，导轨滑块5与门板导轨3连接在一起，且导轨滑块5可沿门板导轨3移动。传片门板4与导轨滑块5固定在一起。传片门板4依靠导轨滑块5在门板导轨3上移动；所述连杆机构为双连杆机构，包括第一连杆6和第二连杆7，传片门板4与第一连杆6连接，第一连杆6与第二连杆7通过转轴连接，并且两根连杆可绕转轴相对转动；第二连杆7与电机9连接，当电机轴转动时，可带动第二连杆7一起转动，从而带动传片门板4在反应腔室隔板1上移动。所述传片门板4、连杆机构、电机9依次连接，连杆机构能够在电机9的驱动下带动传片门板4运动，以将反应腔室隔板上的方孔2打开或关闭。
所述门板导轨3的长度可根据传片门板4运动的距离而定。所述传片门板4的大小根据反应腔室隔板的方孔2的尺寸而定。所述方孔2的尺寸根据机械手的尺寸与晶片的尺寸而定。
当机械手需要传取晶片时，设备控制系统控制电机9转动，电机9带动连杆机构(第一连杆6和第二连杆7)转动，第一连杆6带动传片门板4沿着门板导轨3移动至反应腔室隔板方孔2完全打开的位置停止，等待机械手完成传取晶片动作(如图3所示位置)。
当机械手完成传取晶片动作时，需及时将反应腔室隔板方孔2关闭。设备控制系统控制电机9转动，电机9带动连杆机构(第一连杆6和第二连杆7)转动，第一连杆6带动传片门板4沿着门板导轨3移动至反应腔室隔板方孔2完全关闭的位置停止，等待下一次机械手传取晶片动作开始(如图4所示位置)。
在传片门板4上下移动的过程中，传片门板的主要受力来自于与第一连杆6连接处。为了避免在连杆的极限位置卡死，在具体尺寸设计时，应避免第一连杆6在竖直方向。
如图5所示，为本实用新型所述反应腔室盖板另一实施例的结构图，与前述实施例的区别在于，所述连杆机构为四连杆机构，包括两根第一连杆6、第二连杆7和第三连杆8，传片门板4与两根相同的第一连杆6连接，这两根第一连杆6与第三连杆8的两端通过转轴连接，并且两根第一连杆6可绕转轴与第三连杆8相对转动；第二连杆7与第三连杆8通过第三连杆8中间的转轴连接，通过转轴，第二连杆7和第三连杆8可相对转动；第二连杆7与电机9连接，当电机轴转动时，可带动第二连杆7一起转动，第二连杆7、第三连杆8和两根第一连杆6组成连杆机构，从而带动传片门板4在反应腔室隔板1上移动。
当机械手需要传取晶片时，设备控制系统控制电机9转动，电机9带动连杆机构(第二连杆7、第三连杆8、两根第一连杆6)转动，第一连杆6带动传片门板4沿着门板导轨3移动至反应腔室隔板方孔2完全打开的位置停止，等待机械手完成传取晶片动作(如图6所示位置)。
当机械手完成传取晶片动作时，需及时将反应腔室隔板方孔2关闭。设备控制系统控制电机9转动，电机9带动连杆机构转动，第一连杆6带动传片门板4沿着门板导轨3移动至反应腔室隔板方孔2完全关闭的位置停止，等待下一次机械手传取晶片动作开始(如图7所示位置)。
在传片门板4上下移动的过程中，第一连杆6始终保持水平，这样就保证了第一连杆6和传片门板4连接的两个点在同一个水平线上，传片门板4的受力较为均衡，不会引起偏载。
本实用新型中的连杆机构至少包括一根连杆，其原理与以上两种结构相同，均落入本实用新型保护范围之内。
反应腔室隔板方孔2开启与关闭动作中，电机9的转动方向可随意选取，可顺时针旋转，也可逆时针旋转。反应腔室隔板方孔2的开启程度可根据设备中机械手的尺寸而定。该结构简单易行，避免了使用气缸而造成的平行度误差的问题，保证了机械手在传取晶片时，反应腔室与外界隔离，从而保持高洁净等级的微环境。由于气缸在运行过程中，气源压力大小对于气缸活塞速度的影响很大，使得传片门板4在打开与关闭的瞬间速度最大。而依据本实用新型的结构，在传片门板4打开与关闭的瞬间，速度是最小的，这样保证了在传片门板4打开与关闭的瞬间，气流不会迅速涌进反应腔室而降低反应腔室的洁净度。
本实用新型所述具有上述反应腔室盖板的反应腔室，还包括：腔体，所述反应腔室盖板用于将腔室所处环境与外界环境隔离开来。本实用新型中是以半导体反应腔室为例。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (9)
1.一种反应腔室盖板，其特征在于，包括：反应腔室隔板(1)、传片门板(4)、连杆机构以及电机(9)；所述反应腔室隔板(1)设于反应腔室侧面，并开有对应于反应腔室入口的方孔(2)；所述传片门板(4)可在所述反应腔室隔板(1)上运动；所述连杆机构包括至少一根连杆；所述传片门板(4)、连杆机构、电机(9)依次连接，连杆机构能够在电机(9)的驱动下带动传片门板(4)运动，以将反应腔室隔板上的方孔(2)打开或关闭。
2.如权利要求1所述的反应腔室盖板，其特征在于，所述反应腔室隔板的方孔(2)两侧设有门板导轨(3)，传片门板(4)两侧设有导轨滑块(4)，传片门板(4)通过导轨滑块(4)在所述门板导轨(3)上运动。
3.如权利要求2所述的反应腔室盖板，其特征在于，所述门板导轨(3)的长度根据传片门板(4)运动的距离而定。
4.如权利要求1所述的反应腔室盖板，其特征在于，所述传片门板(4)的大小根据反应腔室隔板的方孔(2)的尺寸而定。
5.如权利要求1所述的反应腔室盖板，其特征在于，该反应腔室为半导体反应腔室，通过机械手传取晶片，所述方孔(2)的尺寸根据机械手的尺寸与晶片的尺寸而定。
6.如权利要求1-5中任意一项所述的反应腔室盖板，其特征在于，所述连杆机构为双连杆机构，包括第一连杆(6)和第二连杆(7)，传片门板(4)与第一连杆(6)连接，第一连杆(6)与第二连杆(7)通过转轴连接，并且两根连杆可绕转轴相对转动；第二连杆(7)与电机(9)连接，当电机轴转动时，可带动第二连杆(7)一起转动，从而带动传片门板(4)在反应腔室隔板(1)上移动。
7.如权利要求1-5中任意一项所述的反应腔室盖板，其特征在于，所述连杆机构为四连杆机构，包括两根第一连杆(6)、第二连杆 (7)和第三连杆(8)，传片门板(4)与两根相同的第一连杆(6)连接，这两根第一连杆(6)与第三连杆(8)的两端通过转轴连接，并且两根第一连杆(6)可绕转轴与第三连杆(8)相对转动；第二连杆(7)与第三连杆(8)通过第三连杆(8)中间的转轴连接，通过转轴，第二连杆(7)和第三连杆(8)可相对转动；第二连杆(7)与电机(9)连接，当电机轴转动时，可带动第二连杆(7)一起转动，第二连杆(7)、第三连杆(8)和两根第一连杆(6)组成连杆机构，从而带动传片门板(4)在反应腔室隔板(1)上移动。
8.一种具有权利要求1-7中任意一项所述的反应腔室盖板的反应腔室，其特征在于，还包括：腔体，所述反应腔室盖板用于将腔室所处环境与外界环境隔离开来。
9.如权利要求8所述的反应腔室，其特征在于，该反应腔室为半导体反应腔室。
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| CN103021910A (zh) * | 2012-11-30 | 2013-04-03 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 可移动式密封装置 |
| CN107654683A (zh) * | 2017-10-17 | 2018-02-02 | 江苏港星方能超声洗净科技有限公司 | 真空槽密封盖 |
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