CN203672136U - 炉门运动自动控制机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种炉门运动自动控制机构，其包括：动力驱动装置；与动力驱动装置连接的传动装置，其具有用于连接炉门的连接部；以及设置在动力驱动装置上的动力气体接入口；其中所述动力驱动装置具有驱动组件，用以驱动所述传动装置同时升降和旋转。本实用新型炉门运动自动控制机构通过采用独立的动力驱动装置，实现了对炉门升降运动和旋转运动的同时控制，减少了运动部件，并且使机构简单化，避免了运行中不稳定因素的产生，提高了设备的可靠性。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体设备技术领域，具体涉及了一种炉门运动自动控制机构。
背景技术
目前半导体设备中的炉门（如自动炉门），对于其运动控制一般有两种方式，一种是使用两台步进电机分别控制炉门的升降和旋转，通过动作组合实现开关炉门动作；另一种是使用两气缸代替两电机，其实现过程与第一种方式基本相同。上述两种方式的缺点是：电机成本较高，控制复杂，况且上述两种方式因为安装导轨的原因都需要比较大的安装空间，并且需要四个定位传感器才能实现状态监测；此外，设备在运行过程中因使用的运动部件多、系统复杂，因此常会导致很多不稳定因素的产生，设备可靠性无法满足使用需求。
实用新型内容
（一）要解决的技术问题
为克服上述现有技术中存在的不足，本实用新型提供了一种炉门运动自动控制机构，其通过采用一个独立的动力驱动装置，以实现对炉门升降运动和旋转运动的同时控制，进而减少运动部件，使机构简单化，避免运行中不稳定因素的产生，提高设备的可靠性。
（二）技术方案
为实现上述目的，本实用新型炉门运动自动控制机构包括：动力驱动装置；与动力驱动装置连接的传动装置，其具有用于连接炉门的连接部；以及设置在动力驱动装置上的动力气体接入口；其中所述动力驱动装置具有驱动组件，用以驱动所述传动装置同时升降和旋转。
优选地，所述驱动组件包括：气缸，其内壁设有螺旋轨道；以及安装在气缸内的活塞杆，其具有与所述螺旋轨道相配合的螺旋运动件；其中所述活塞杆通过所述螺旋运动件与所述螺旋轨道的配合可实现其相对所述气缸的升降与旋转。
尤其是，所述螺旋轨道为螺旋凹槽，所述螺旋运动件为螺旋凸条。
优选地，所述动力气体接入口包括：第一进气口；第二进气口；其中所述第一进气口和所述第二进气口分别设置在所述气缸的上端和下端。
优选地，所述传动装置还具有：装置本体；以及设置在装置本体上的连杆；其中所述连杆上端与所述活塞杆下端连接；所述连接部设置在所述装置本体的边缘。
进一步，本实用新型还包括：与所述气缸底部连接的用于将该气缸固接到外部设备上的固定安装板，其上设有供所述连杆穿过的通孔和至少一个连接孔。
进一步，本实用新型还包括：安装在所述气缸上的用于监测所述活塞杆运动状态的传感器；以及设置在所述气缸上的用于对所述活塞杆运动速度进行调节的速度调节阀。
优选地，所述传感器的数量为2个。
优选地，所述速度调节阀的数量为2个且分别设置在所述气缸的两侧。
进一步，本实用新型还包括：分别设置在所述气缸上的限位装置和阻尼器。
（三）有益效果
与现有技术相比，本实用新型具有如下优点：
1）本实用新型炉门运动自动控制机构通过动力驱动装置及其驱动组件，实现了对连接有炉门的传动装置的升降运动和旋转运动的同时驱动控制，进而实现了对炉门升降和旋转的同时驱动控制，克服了现有技术中最少需要两个气缸或两个电机才能实现升降和旋转控制的缺陷，减少了运动部件，使结构更加简单化；
2）本实用新型通过在气缸上设置螺旋轨道，在活塞杆上设置螺旋运动件，确保了在动力气体驱动下，活塞杆相对气缸能够灵活、自如地上下运动和旋转运动，从而实现炉门的打开和关闭；
3）本实用新型通过将第一进气口和第二进气口分别设置在气缸的上端和下端，可分别对活塞杆的动作执行和动作复位进行控制，即只需要两组动力气体就可以实现对炉门运动的控制，操作方便且可靠；
4）本实用新型通过传感器可实现对气缸内活塞杆的运动状态实时监测，传感器的数量可控制在两个以内，避免了传统需要四个传感器的繁琐；速度调节阀可实现对活塞杆运动速度的实时调节；
5）本实用新型通过采用气缸和活塞杆设计，克服了因使用电机带来的高成本、难控制的缺陷，避免了机构在运行中不稳定因素的产生，提高了设备的可靠性，能够满足各种相关使用需求。
附图说明
图1是本实用新型炉门运动自动控制机构的结构示意图。
附图标记说明：11-气缸；12-活塞杆；21-第一进气口；22-第二进气口；31-装置本体；32-连杆；33-连接部；4-固定安装板；41-连接孔；5-传感器；6-速度调节阀；7-炉门。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。需要说明的是，附图仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限定。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
本实用新型炉门运动自动控制机构从总体上包括：动力驱动装置，与动力驱动装置连接的传动装置，以及设置在动力驱动装置上的动力气体接入口等，其中，动力驱动装置具有驱动组件，用于驱动传动装置同时升降和旋转。
具体地，如图1所示，所说的驱动组件主要包括气缸11和活塞杆。气缸11的内壁上设有螺旋轨道，该螺旋轨道可以是螺旋凹槽；活塞杆12安装在气缸11内，活塞杆12具有与螺旋轨道相配合的螺旋运动件，比如当螺旋轨道为一种螺旋凹槽时，该螺旋运动件可以是与该螺旋凹槽相配合的螺旋凸条，即是一种具有若干凸条的螺旋运动件。当螺旋运动件与螺旋轨道配合后，在动力气体的驱动下，活塞杆12将相对气缸11进行升降运动与旋转运动，确保了在动力气体驱动下，活塞杆12相对气缸11能够灵活、自如地运动，从而打开和关闭炉门。活塞杆12相对气缸11的上下运动幅度和旋转运动幅度可根据炉门运动轨迹来设计气缸11和活塞杆12的形状，如气缸11内部的螺旋形状。
动力气体接入口包括：第一进气口21和第二进气口22，第一进气口21和第二进气口22分别设置在气缸11的上端和下端，以分别为活塞12在气缸11内的下降和上升以及在下降和上升中的不同方向旋转提供动力气体。通过第一进气口21和第二进气口22可实现只需要两组动力气体就可以对炉门运动的控制，操作方便且可靠。
传动装置包括：装置本体31，在装置本体31上设有连杆32，连杆32上端与活塞杆12的下端连接，在装置本体31的边缘设置连接部33，用来连接炉门7。
除了上述部件外，本实用新型包括固定安装板4。固定安装板4与气缸11底部连接，用于将该气缸11固定连接到外部设备上，以实现对该气缸11及其内活塞杆12运动的稳定性，保证对炉门7打开与关闭能有可靠的控制。固定安装板4上设有供连杆32能够穿过的通孔和至少一个连接孔41，可通过穿过连接孔41的螺栓、螺钉或铆钉等器件将固定安装板4加以固定。此外，在气缸11上还可安装用来监测活塞杆12运动状态的传感器5，以及设置用来对活塞杆12运动速度进行调节的速度调节阀6，当然还可以在气缸11上设置限位装置和阻尼器。本实用新型中，只需要两个传感器5就可以实现对活塞杆12运动方式的监测，且不需要现有技术中所必须的导轨安装。速度调节阀6的数量可省略到两个（现有技术中一般为4个），可优选将两个速度调节阀6分别设置在气缸11的两侧。
从上面的技术方案可以看出，本实用新型动力驱动装置的特殊设计，同时实现了炉门7通过上下动作和旋转动作实现开关门的过程，克服了以往双气缸或双电机设计带来的诸多缺陷。本实用新型同时也带来如下诸多有益效果：通过动力驱动装置及其驱动组件，实现了对连接有炉门7的传动装置的升降运动和旋转运动的同时驱动控制，进而实现了对炉门7升降和旋转的同时驱动控制，克服了现有技术中最少需要两个气缸或两个电机才能实现升降和旋转控制的缺陷，减少了运动部件，使结构更加简单化；通过在气缸11上设置螺旋轨道，在活塞杆12上设置螺旋运动件，确保了在动力气体驱动下，活塞杆12相对气缸11能够灵活、自如地上下运动和旋转运动，从而实现炉门7的打开和关闭；通过将第一进气口21和第二进气口22分别设置在气缸11的上端和下端，可分别对活塞杆12的动作执行和动作复位进行控制，即只需要两组动力气体就可实现对炉门7运动的控制，操作方便且可靠；通过传感器5可实现对气缸11内活塞杆12的运动状态实时监测，传感器5的数量可控制在两个以内，避免了传统需要四个传感器5的繁琐；速度调节阀6可实现对活塞杆12运动速度的实时调节；此外，本实用新型通过采用气缸11和活塞杆12设计，还克服了因使用电机带来的高成本、难控制的缺陷，避免了机构在运行中不稳定因素的产生，提高了设备的可靠性，能够满足各种相关使用需求。
需要说明的是，尽管上文对本实用新型作了详细说明，但本实用新型不限于此，本领域普通技术人员可以根据本实用新型记载的内容或原理进行修改，因此，凡按照本实用新型记载的内容或原理进行的各种修改都应当落入本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.一种炉门运动自动控制机构，其特征在于，其包括：
动力驱动装置；
与动力驱动装置连接的传动装置，其具有用于连接炉门（7）的连接部（33）；以及
设置在动力驱动装置上的动力气体接入口；其中
所述动力驱动装置具有驱动组件，用以驱动所述传动装置同时升降和旋转。
2.根据权利要求1所述的炉门运动自动控制机构，其特征在于，所述驱动组件包括：
气缸（11），其内壁设有螺旋轨道；以及
安装在气缸（11）内的活塞杆（12），其具有与所述螺旋轨道相配合的螺旋运动件；其中
所述活塞杆（12）通过所述螺旋运动件与所述螺旋轨道的配合可实现其相对所述气缸（11）的升降与旋转。
3.根据权利要求2所述的炉门运动自动控制机构，其特征在于，所述螺旋轨道为螺旋凹槽，所述螺旋运动件为螺旋凸条。
4.根据权利要求3所述的炉门运动自动控制机构，其特征在于，所述动力气体接入口包括：
第一进气口（21）；
第二进气口（22）；其中
所述第一进气口（21）和所述第二进气口（22）分别设置在所述气缸（11）的上端和下端。
5.根据权利要求4所述的炉门运动自动控制机构，其特征在于，所述传动装置还具有：
装置本体（31）；以及
设置在装置本体（31）上的连杆（32）；其中
所述连杆（32）上端与所述活塞杆（12）下端连接；
所述连接部（33）设置在所述装置本体（31）的边缘。
6.根据权利要求5所述的炉门运动自动控制机构，其特征在于，其还包括：
与所述气缸（11）底部连接的用于将该气缸（11）固接到外部设备上的固定安装板（4），其上设有供所述连杆（32）穿过的通孔和至少一个连接孔（41）。
7.根据权利要求2-6任一项所述的炉门运动自动控制机构，其特征在于，其还包括：
安装在所述气缸（11）上的用于监测所述活塞杆（12）运动状态的传感器（5）；以及
设置在所述气缸（11）上的用于对所述活塞杆（12）运动速度进行调节的速度调节阀（6）。
8.根据权利要求7所述的炉门运动自动控制机构，其特征在于，所述传感器（5）的数量为两个。
9.根据权利要求7所述的炉门运动自动控制机构，其特征在于，所述速度调节阀（6）的数量为两个且分别设置在所述气缸（11）的两侧。
10.根据权利要求7所述的炉门运动自动控制机构，其特征在于，其还包括：
分别设置在所述气缸（11）上的限位装置和阻尼器。
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