CN202181064U - 一种搬运车 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种搬运车，解决了同一搬运车不能同时搬运多个掩模板的问题。所述搬运车包括底板和与底板相对固定的至少一个支撑架，每个支撑架上连接有至少两个第一搁物台。

Description

一种搬运车

技术领域

本实用新型涉及机械领域，特别涉及一种搬运车。

背景技术

在半导体制造，尤其是液晶面板生产领域，Array(阵列)工序-Photo(成像)工艺的曝光这一步骤需要采用掩模板(mask)对基板进行曝光。基板较大，面积可能是掩模板的几倍，所以每次曝光都需对掩模板在基板上进行几次扫描。如果掩模板上有Particle(微粒)，那么每次扫描在基板上都会形成defect(瑕疵)，从而造成Repeat Defect(重复性不良)。而这种重复性不良在成像时进行的自动光学检测(AOI)中往往不能被发现，直到对阵列进行电学测试时才能发现，但此时会给生产造成较大损失。

目前在生产制造时，在掩模板用于生产曝光前首先人工用Air gun(空气枪)对其进行清洁。由于掩模板除了曝光时裸露在紫外线下，平时都是装在cassette(盒子)里，盒子由上盖和托盘组成，在清洁时需打开盒子的上盖，并尽量在最短的时间内用空气枪对掩模板进行清洁，然后盖上盒子的上盖。而以上的操作都是在用人力搬运车将装有掩模板的盒子从曝光设备中取出后进行的。

现有技术中已有的一种手推搬运车，通过液压缸配合各机构部件，使手推搬运车的搁物架可进行升降，既能使其快速上升，又能控制其下降速度，当装卸地点高于搁物架时，能方便地控制搁物架的高度与装卸地点等高，再进行装卸，减少了向上搬和向下搬的劳动，从而减轻劳动强度，节省人力和时间。但目前的手动搬运车一次只能搬运一个掩模板，如需清洁多个掩模板还需进行多次搬运，不仅占用空间、时间，而且浪费人力。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种搬运车，解决了同一搬运车不能同时搬运多个掩模板的问题。

一种搬运车，包括底板，还包括：与底板相对固定的至少一个支撑架，每个支撑架上连接有至少两个第一搁物台。

本实用新型实施例中搬运车包括底板，还包括：与底板相对固定的至少一个支撑架，每个支撑架上连接有至少两个第一搁物台。本实用新型实施例通过使支撑架支撑多个第一搁物台，从而可以通过一个搬运车运载多个掩模板。

附图说明

图1为本实用新型实施例中搬运车的详细结构图；

图2为本实用新型实施例中支撑体的俯视图；

图3为本实用新型实施例中吸盘的仰视图；

图4为本实用新型实施例中吸盘的侧视图。

具体实施方式

本实用新型实施例中搬运车包括底板和与底板相对固定的至少一个支撑架，每个支撑架上连接有至少两个第一搁物台。本实用新型实施例通过使支撑架支撑多个第一搁物台，从而可以通过一个搬运车运载多个物品，以下以物品为盛放掩模板的盒子为例进行详细说明。

参见图1，为本实用新型实施例中搬运车的剖面图，其以一个支撑架101为例进行说明。本实用新型实施例中搬运车包括底板，还包括与底板相对固定的至少一个支撑架101，每个支撑架101上连接有至少两个第一搁物台102。本实用新型实施例中搬运车还包括第一连接块103、支撑体104、滑块105、充气气囊106、喷嘴107、吸盘108、第一撑块109、第二撑块110、螺栓111、充气机112、承重气囊113、上升手柄114、下降螺栓115。其中，图1中还画出了一个放置在第一搁物台102上的放置有掩模板118的盒子，其中该盒子具有托台116和上盖117，该盒子中放有待搬运的掩模板118。该盒子和掩模板118不属于本实用新型实施例中的搬运车，只是该搬运车可运载的货物的一种。其中，本实用新型实施例中的搬运车可以是手推搬运车。其中，图1中只对位于支撑架101最上部的第一搁物台102及其相应部件做出了标注，其余两个第一搁物台102均与其相同，未一一标注。

支撑架101用于支撑第一搁物台102。本实用新型实施例中，支撑架101的外壁可以带有螺纹，便于固定中空且带有相应内螺纹的部件。一个所述搬运车至少包括一个支撑架101。当所述搬运车包括两个或更多支撑架101时，支撑架101之间可以通过横杆相连。较佳的，所述搬运车包括两个支撑架101。当所述搬运车包括两个支撑架101时，每个支撑架101上所支撑的第一搁物台102的数目可以相等，且空间位置分别对应。

第一连接块103用于连接支撑架101与第一搁物台102。第一连接块103可以是套在支撑架101上的中空块体，例如所述中空块体可以是中空柱体或中空球体，或者也可以是中空的其它形状块体，第一连接块103上开有第一通孔，所述通孔可以是螺孔，支撑架101从该螺孔中穿过，因支撑架101外壁有螺纹，因此可以使第一连接块103固定在支撑架101上。第一搁物台102的一端与第一连接块103固定连接。

螺栓111用于在拧紧时将第一连接块103固定在支撑架101上，及在拧松时使第一连接块103沿支撑架101上下移动。第一连接块103上还可以开设有第二通孔，该第二通孔也可以是螺孔，螺栓111通过该螺孔旋进后一端顶在支撑架101上从而将第一连接块103压紧固定在支撑架101上。

当打开螺栓111时，第一连接块103可以沿着支撑架101上升或下降。即在用承重气囊113带动其上端的第一连接块103上升或下降时，需首先打开该第一连接块103上的螺栓111。

本实用新型实施例中，如果所述搬运车只包括一个第一搁物台102，则与该第一搁物台102相连的第一连接块103上可以没有螺栓111，如果所述搬运车包括不止一个第一搁物台102，则与位于支撑架101最底部的第一搁物台102连接的第一连接块103上可以没有螺栓111。没有螺栓111的第一连接块103与所述第一搁物台102一端固定连接。

本实用新型实施例中底板一般水平设置，支撑架101可以垂直固定于所述底板上，第一搁物台102可以与所述底板平行。支撑架101底部即靠近所述搬运车底板的一端，顶部即远离所述搬运车底板的一端。支撑架101的长度可以是位于支撑架101最底部的第二连接块119到支撑体104顶端的距离。

当一个搬运车包括多个第一搁物台102时，多个第一搁物台102可以上下排列。

图1中以一个支撑架101上有三个第一搁物台102为例。第一搁物台102通过第一连接块103与支撑架101相连，用于承载需要搬运的掩模板118。第一搁物台102可以垂直于支撑架101，以使掩模板118放置的更稳。在一个搬运车中可以有多个第一搁物台102。其中，图1中第一搁物台102与支撑架101垂直相连。

支撑体104可以为中空结构，例如可以是中空柱体，每一个支撑架101可以固定在一个支撑体104中。支撑体104的一端固定在所述底板上，支撑架101的两端可以分别固定在支撑体104的两端。支撑体104用于将支撑架101、第一连接块103、螺栓111及承重气囊113包覆在内。例如，如果支撑体104和支撑架101均为长方体结构，如图2所示为支撑体104俯视图，其中阴影部分为支撑架101。

每两个第一搁物台102之间设有一承重气囊113，该承重气囊113包覆在支撑架101外侧，承重气囊113内部由充气机112向其充气，承重气囊113的下端与第一连接块103相连，并随着第一连接块103的运动而运动，上端与第一连接块103可以接触也可以不接触。对承重气囊113充气，承重气囊113则可以推动其上端的第一连接块103上升，从而使第一搁物台102上升，再对该承重气囊113泄气，则其上端的第一连接块103下降，从而使第一搁物台102下降。

在第一搁物台102上表面设有第一撑块109及第二撑块110，第一撑块109可以通过支撑脚固定于所述第一搁物台103上表面，其可以位于第一搁物台102上表面靠近支撑架101的一端，第二撑块110可以直接贴附于所述第一搁物台103上表面，其可以位于第一搁物台102上表面较为远离支撑架101的一端。第一撑块109及第二撑块110用于对放置在第一搁物台102上的盒子进行固定，其中该盒子中装有掩模板118，该盒子具有托台116及上盖117。第一撑块109用于支撑盒子，使盒子不会向靠近支撑架101的方向滑动，托台116的中部有一块凸起，将盒子放置在第一搁物台102之上时，第二撑块110恰好卡在该凸起中，如此可以将盒子固定在第一搁物台102上，避免盒子与搁物台发生相对运动。其中，上表面是指远离水平面的一侧的表面，即靠近所述搬运车顶部的一侧表面。

当第一搁物台102不是位于支撑架101最底部的第一搁物台102时，第一搁物台102下表面设有滑轨，有滑块通过所述滑轨与第一搁物台102滑动连接，用于在滑动时带动清洁装置对掩模板进行清洁。滑轨远离支撑架101的一端的延伸长度可以与第一搁物台102相齐。滑块105可以通过手动进行推拉，或者也可以通过其上放置的充气气囊106的反作用力带动其产生滑动。

充气气囊106和喷嘴107与滑块105相连，用于对掩模板118进行清洁。喷嘴107连通于充气气囊106，其可以位于充气气囊106远离支撑架101的一端。充气气囊106和喷嘴107可以设置在滑块105下表面靠近支撑架101的一侧。其中，下表面是指靠近水平面的一侧的表面。打开喷嘴107时，手动推动滑块105向远离支撑架101的方向运动，喷嘴107会均匀吹出气体，从而清洁下端搁物台上的掩模板118。喷嘴107中可以有过滤材料，对充气气囊106中的气体进行过滤，并且可以设置喷嘴107的吹气角度，因此可以对掩模板118进行较好的清洁。其中，充气气囊106和喷嘴107称为清洁装置。

所述搬运车还可以包括和所述清洁装置并行连接在滑块105上的吸盘108，其贴附于滑块105下表面，用于吸附盛放掩模板118的盒子的上盖117。其中吸盘108的数目可以根据需要设定。例如，放置掩模板118的盒子的长度越长，第一搁物台102的长度也越长，则吸盘108的数目也可以相应增多。本实用新型实施例中以两个吸盘108为例。吸盘108可以按照盒子放置的位置在滑块105下表面进行较为均匀的分布。如图3所示为吸盘108的仰视图。其中吸盘108上包括泄压孔1081。图4所示为吸盘108的侧视图。其中包括可堵住泄压孔1081的孔塞1082。当吸盘108接触到盒子的上盖116，可以通过按压挤出吸盘108与上盖116之间的空气，此时孔塞1082是一直堵着泄压孔1081的，由于大气压强，吸盘牢牢吸附着上盖116。当需要将上盖116与吸盘108分离时，可以手动加力按下上盖116。为防止此操作对吸盘108的损坏，还可以通过拔出泄压孔1081的孔塞1082来达到相同目的。

充气机112位于所述搬运车的底板上，可以与第一搁物台102位于支撑体104同侧，用于向承重气囊113中充入气体。

上升手柄114位于支撑体104下端没有支撑架101的位置，可以与第一搁物台102位于支撑体104两侧，用于控制位于支撑架101最下部的第一搁物台102的上升。

下降旋钮115位于支撑体104下端没有支撑架101的位置，可以与第一搁物台102位于支撑体104两侧，用于控制位于支撑架101最下部的第一搁物台102的下降。本实用新型实施例的图1中下降旋钮115位于上升手柄114上端。

较佳的，本实用新型实施例中的搬运车可以包括两个支撑架101，其可以固定于两个支撑体104中，两个支撑架101可以通过横杆相连。一个第一搁物台102可以由两个支撑架101同时支撑，其可以同时与分别位于两个支撑架101上的两个第一连接块103相连，该两个第一连接块103可以位于同一水平面上。

在图1中，当需要清洁第二搁物台112上的盒子中放置的掩模板118时，需要第一搁物台102上的清洁装置对其进行清洁。在图1中需要使用的是位于两个第一搁物台102之间的中间的第一搁物台102。打开螺栓111，位于中间的第一搁物台102缓慢下降，直到滑块105下表面的吸盘108接触到上盖117并吸紧(其中，吸紧是指吸盘108内表面与上盖117的上表面完全接触，中间没有空气。通过人工即可进行判断)后，充气机112对位于该第一搁物台102下端的承重气囊113进行充气，承重气囊113推动其上端的第一连接块103上升，从而带动该第一搁物台102上升，当该第一搁物台102上升到吸附在吸盘108下的上盖117可以与盒子中的掩模板118进行无摩擦的相对运动时，拧紧螺栓111，使第一连接块103及该第一搁物台102固定在支撑架101上，打开喷嘴107，同时推动滑块105向远离支撑架101的方向运动。其中，如果喷嘴107位于充气气囊106上远离支撑架101的一侧，则推动滑块105的方式可以是手工推动，如果喷嘴107位于充气气囊106上靠近支撑架101的一侧，则可以依靠喷嘴107吹气的反作用力推动滑块105向远离支撑架101的方向运动。当滑块105向远离支撑架101的方向运动时，吸盘108及其下端吸附的上盖117、还有与滑块105相连的充气气囊106及喷嘴107会随着滑块105一起运动，则喷嘴107吹出的气体可以对位于最下部的第一搁物台102上的掩模板118进行较好的清洁。

清洁完毕后，可以手动拉回滑块105至原位置，关闭喷嘴107。打开螺栓111，承重气囊113进行泄气，使第一连接块103缓慢下降，从而带动该第一搁物台102缓慢下降。当上盖117与托台116合上后，按下被吸盘108吸附着的上盖117，可以是手动按下，使其与吸盘108分离。再次对承重气囊113进行充气，使第一连接块103缓慢上升至原位置，带动该第一搁物台102缓慢上升至原位置，拧紧螺栓111。从而完成了对掩模板118的清洁工作。

本实用新型实施例中搬运车包括底板，还包括：与底板相对固定的至少一个支撑架，每个支撑架上连接有至少两个放置物品的第一搁物台。本实用新型实施例通过在搬运车中加装外壁带螺纹的支撑架101，使之可以与第一搁物台102相连，并且支撑架101可以支撑多个第一搁物台102，从而可以通过一个搬运车运载多个掩模板118。同时，当包括多个第一搁物台101时，如果第一搁物台101不是位于支撑架101最底部的第一搁物台101，则第一搁物台102下端均设有滑轨、滑块105及清洁装置，如此可以同时对多个掩模板118进行清洁，节省时间、空间，节省人力。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (9)

1.一种搬运车，包括底板，其特征在于，还包括：与底板相对固定的支撑架，每个支撑架上连接有至少两个第一搁物台。

2.如权利要求1所述的搬运车，其特征在于，所述每个支撑架一端固定在底板上；或者所述搬运车还包括：支撑体，所述支撑体为中空结构，一端固定在所述底板上，支撑架位于支撑体内，并固定在支撑体上。

3.如权利要求1所述的搬运车，其特征在于，还包括：

每一个第一搁物台与支撑架之间的第一连接块，所述第一连接块上开有第一通孔，所述支撑架从所述第一通孔中穿过，所述第一搁物台一端与第一连接块固定连接；

通过第一连接块上开设的第二通孔旋进后一端顶在支撑架上从而将第一连接块压紧固定在支撑架上的螺栓。

4.如权利要求3所述的搬运车，其特征在于，还包括：通过每一个非最底部第一搁物台下表面上滑轨和第一搁物台滑动连接的滑块，连接在滑块上的清洁装置。

5.如权利要求4所述的搬运车，其特征在于，还包括：和所述清洁装置并行连接在所述滑块上的吸盘，贴附于所述滑块下表面。

6.如权利要求4或5所述的搬运车，其特征在于，所述清洁装置包括：充气气囊及喷嘴，所述喷嘴连通所述充气气囊。

7.如权利要求6所述的搬运车，其特征在于，所述吸盘上还包括泄压孔及可堵住所述泄压孔的孔塞。

8.如权利要求3所述的搬运车，其特征在于，还包括：设于同一个支撑架的相邻两个第一连接块之间的承重气囊，通过承重气囊充气带动所述第一连接块和所述第一搁物台上升，及通过承重气囊泄气带动所述第一连接块和所述第一搁物台下降；

充气机，与承重气囊相连，为所述承重气囊充气。

9.如权利要求8所述的搬运车，其特征在于，还包括：位于每一个第一搁物台的上表面上的第一撑块和第二撑块，其中，第一撑块通过支撑脚固定于第一搁物台上表面，第二撑块贴附于第一搁物台上表面，第一撑块相比第二撑块靠近支撑架。

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