CN202174495U - 一种管芯硅片真空夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种管芯硅片真空夹具，包括夹具体和夹座，夹座上穿接有夹具体，所述夹具体外表面上设有台阶，台阶下的夹具体外表面上套有弹簧，弹簧下方的夹具体底部固定连接有吸头，夹具体和吸头内贯通有真空通气道，真空通气道末端连有活塞。本实用新型通过真空吸力吸附工件，并旋转带动工件磨削，解决了现有管芯硅片通过人工手指夹钳进行磨削，人工夹钳不易夹紧工件，使生产出的产品的准确度和稳定性降低，且人工手指夹钳管芯硅片无法保证硅片整个圆周的磨削程度一致，使产品的误差值增大的问题。

Description

一种管芯硅片真空夹具

技术领域

本实用新型涉及一种夹具，尤其涉及一种通过真空吸附夹紧管芯硅片的夹具。 

背景技术

现有磨角机是使用固定磨角头的，用人工手指操作才能达到生产效果，但通过人工手指夹钳管芯硅片进行磨削，花费大量的人力资源，而操作人员必须是熟练工人，新工人需要长时间培训才可以完成，且采用人工夹钳不易夹紧工件，使生产出的产品的准确度和稳定性降低，人工手指夹钳管芯硅片无法保证硅片整个圆周的磨削程度一致，使产品的误差值增大。 

中国专利公告号CN101624099A，公告日2010年1月13日，公开了一种夹钳,其包括:两个刚性夹紧臂,其在相反方向上被可枢转地支撑在至少一个轴上并在一端具有夹钳结构，在夹紧臂之间运作的聚力器;作为夹紧臂的朝向另一轴侧的延伸部分的夹紧臂闭杆，和可在闭杆之间旋转的闭合凸轮,至少一个闭杆可由闭合凸轮经由弹性变形区域致动,该变形区域是支臂的一部件,该支臂作用于该闭合凸轮,与该夹紧臂结构上分离,且与夹紧臂正连接以共同枢转运动,并且至少在该部件的基本无变形状态下在闭杆的止挡件和该部件之间设置限定的变形空间。但采用该夹钳夹紧管芯硅片无法保证硅片整个圆周的磨削程度一致，使生产出的产品的准确度和稳定性降低，使产品的误差值增大。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种通过真空吸附夹紧管芯硅片的夹具，解决了现有管芯硅片通过人工手指夹钳进行磨削，人工夹钳不易夹紧工件，使生产出的产品的准确度和稳定性降低，且人工手指夹钳管芯硅片无法保证硅片整个圆周的磨削程度一致，使产品的误差值增大的问题。 

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案： 

一种管芯硅片真空夹具，包括夹具体和夹座，夹座上穿接有夹具体，所述夹具体外表面上设有台阶，台阶下的夹具体外表面上套有弹簧，弹簧下方的夹具体底部固定连接有吸头，夹具体和吸头内贯通有真空通气道，真空通气道末端连有活塞。该管芯硅片真空夹具通过弹簧的伸缩挤压来带动活塞运动，使与活塞连通的真空通气道内产生吸气来吸附工件，并旋转带动工件磨削，保证硅片整个圆周的磨削程度一致，提高生产出的产品的准确度和稳定性，减小产品的误差。

作为优选，所述夹具体底端的外表面具有螺纹，吸头与夹具体通过螺纹连接。通过吸头与夹具体螺纹连接，便于整个管芯硅片真空夹具的安装和拆卸。 

作为优选，所述吸头底部与工件接触表面平滑。吸头底部通过吸孔处的真空吸力吸附工件，吸头底部与工件接触表面平滑便于吸头牢牢吸附工件，保证吸附的强度。 

作为优选，所述夹具体外表面的台阶与弹簧间套接有挡环。通过挡环防止弹簧脱出台阶影响管芯硅片真空夹具夹紧工件。 

作为优选，所述夹具体上端设有轮齿，轮齿处连接有蜗杆。通过蜗杆方便于夹具体带动工件一起转动，用于磨削加工。 

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过真空吸力吸附工件，并旋转带动工件磨削，保证硅片整个圆周的磨削程度一致，提高生产出的产品的准确度和稳定性，减小产品的误差。 

附图说明

图1是本实用新型的一种结构示意图； 

图2是本实用新型的另一种结构示意图；

图中：1、夹具体，2、夹座，3、吸头，4、弹簧，5、真空通气道，6、活塞，7、蜗杆，8、挡环，9、真空口。

具体实施方式

下面通过具体实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的具体描述： 

实施例1：一种管芯硅片真空夹具，包括夹具体1和夹座2，夹座2上穿接有夹具体1，夹具体1外表面上设有台阶，台阶下的夹具体1外表面上套有弹簧4，夹具体1底端的外表面具有螺纹，弹簧4下方的夹具体1底部螺纹连接有吸头3，吸头3底部吸附工件，吸头3底部与工件接触表面平滑，夹具体1和吸头3内贯通有真空通气道5，真空通气道5末端连有活塞6，夹具体1外表面的台阶与弹簧4间套接有挡环8，夹具体1上端设有轮齿，轮齿处连接有蜗杆7。

该管芯硅片真空夹具使用时，通过活塞6压缩弹簧4，在吸头3吸口处放上工件，通过弹簧4的伸缩挤压来带动活塞6运动，使与活塞6连通的真空通气道5内产生吸气来吸附工件。 

该管芯硅片真空夹具还可以是另一结构，它包括夹座2、夹具体1和吸头3，夹具体1底部固定连接吸头3，夹具体1和吸头3内贯通有真空通气道5，真空通气道5连通夹座2上的真空口9，真空口9连通真空泵。该管芯硅片真空夹具通过真空泵吸气在真空通气道5中产生吸力来吸附工件，方便于夹紧工件进行磨削，大大提高产品磨削的准确度。 

以上所述的实施例只是本实用新型的一种较佳的方案，并非对本实用新型作任何形式上的限制，在不超出权利要求所记载的技术方案的前提下还有其它的变体及改型。 

Claims (5)

1. 一种管芯硅片真空夹具，包括夹具体（1）和夹座（2），夹座（2）上穿接有夹具体（1），其特征是，所述夹具体（1）外表面上设有台阶，台阶下的夹具体（1）外表面上套有弹簧（4），弹簧（4）下方的夹具体（1）底部固定连接有吸头（3），夹具体（1）和吸头（3）内贯通有真空通气道（5），真空通气道（5）末端连有活塞（6）。

2. 根据权利要求1所述的一种管芯硅片真空夹具，其特征是，所述夹具体（1）底端的外表面具有螺纹，吸头（3）与夹具体（1）通过螺纹连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种管芯硅片真空夹具，其特征是，所述吸头（3）底部与工件接触表面平滑。

4.根据权利要求3所述的一种管芯硅片真空夹具，其特征是，所述夹具体（1）外表面的台阶与弹簧（4）间套接有挡环（8）。

5.根据权利要求4所述的一种管芯硅片真空夹具，其特征是，所述夹具体（1）上端设有轮齿，轮齿处连接有蜗杆（7）。

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