CN202170375U - 用于晶体生长的检测系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于晶体生长的检测系统，图像采集器能够对单晶棒与硅熔体液面相交形成的光圈图像以及单晶棒的图像信息进行采集，并将其采集的信息经过图像分析处理单元处理后传送至编程计算机，进行提取光圈图像中的图像边缘，得到光圈的椭圆形的像素坐标图，并将像素坐标图椭圆形的边缘拟合成正圆，获取该正圆中心点的像素坐标位置，从而能够获取硅熔体液面高度数值和单晶棒直径的数值，在获取的数值与设定的不相符时，可编程控制器便会对晶体生长的配套设备进行操作，对晶体的生长进行纠正，从而保证晶体生长质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅晶体生长技术领域，具体涉及一种用于晶体生长的检测系统。
背景技术
目前，国内单晶炉国产化率达到97％以上，有力地促进了我国乃至世界光伏产业的发展。但对于单晶生长视觉检测方面，各生产厂家却始终停留在传统的测量方式，还停留在使用红外测径仪检测晶体生长水平，其已不能满足生产的需要；从而自动化、节能、高效的单晶炉设备成为光伏行业关注的热点。
由于现有采用红外测径仪检测晶体生长的设备，不能够很准确、及时的检测到晶体的生长情况，从而常常会出现直径偏差，失控等问题，严重影响到晶体的生长质量。
发明内容
针对上述技术问题，本实用新型提供一种用于晶体生长的检测系统，其能够对单晶炉内单晶棒与硅熔体液面相交处以及单晶棒的图像信息进行采集，并将采集的图像信息进行处理，从而获得晶体的生长情况，再通过检测的晶体生长情况对晶体生长的配套设备进行操作，从而保证晶体的正常生长，确保晶体的生长质量。
实现本实用新型的技术方案如下：
用于晶体生长的检测系统，包括对单晶炉内单晶棒与硅熔体液面相交处以及单晶棒的图像信息进行采集的图像采集器、对图像采集器采集到的图像信号进行处理的图像分析处理单元，及对经过图像分析处理单元处理后图像信号进行显示的显示器，及用于对图像分析处理单元进行编程的编程计算机，以及与图像分析处理单元连接的可编程控制器。
所述图像采集器为CCD摄像机。
所述编程计算机为工业平板电脑。
采用了上述方案，图像采集器能够对单晶棒与硅熔体液面相交形成的光圈图像以及单晶棒的图像信息进行采集，并将其采集的信息经过图像分析处理单元处理后传送至编程计算机，进行提取光圈图像中的图像边缘，得到光圈的椭圆形的像素坐标图，并将像素坐标图椭圆形的边缘拟合成正圆，获取该正圆中心点的像素坐标位置，从而能够获取硅熔体液面高度数值和单晶棒直径的数值，在获取的数值与设定的不相符时，可编程控制器便会对晶体生长的配套设备进行操作，对晶体的生长进行纠正，从而保证晶体生长质量。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图中，1为图像采集器，2为图像分析处理单元，3为显示器，4为编程计算机，5为可编程控制器。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型进一步说明。
参见图1，用于晶体生长的检测系统，包括对单晶炉内单晶棒与硅熔体液面相交处以及单晶棒的图像信息进行采集的图像采集器1、对图像采集器采集到的图像信号进行处理的图像分析处理单元2，及对经过图像分析处理单元处理后图像信号进行显示的显示器3，及用于对图像分析处理单元进行编程的编程计算机4，以及与图像分析处理单元连接的可编程控制器5。其中，图像采集器为两台500万像素的CCD摄像机，同时传输图像，可以实现1000万像素的高精度检测，编程计算机为工业平板电脑。图像采集器采用工业级ASIC芯片，可靠性高，运行温度0～6℃，抗冲击30倍重力加速度，主要部件平均无故障时间大于150万小时，安全等级可达SIL2。还可以将本系统进行扩展，可使多台设备共享统一开发工具、数据库格式、通讯接口和界面开发工具，便于实现集中监控。
Claims (3)
1.用于晶体生长的检测系统，其特征在于：其包括对单晶炉内单晶棒与硅熔体液面相交处以及单晶棒的图像信息进行采集的图像采集器、对图像采集器采集到的图像信号进行处理的图像分析处理单元，及对经过图像分析处理单元处理后图像信号进行显示的显示器，及用于对图像分析处理单元进行编程的编程计算机，以及与图像分析处理单元连接的可编程控制器。
2.根据权利要求1所述的用于晶体生长的检测系统，其特征在于：所述图像采集器为CCD摄像机。
3.根据权利要求1所述的用于晶体生长的检测系统，其特征在于：所述编程计算机为工业平板电脑。
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Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102995111A (zh) * | 2012-11-07 | 2013-03-27 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 单晶炉非接触式硅料液面位置测量方法及装置 |
| CN104535003A (zh) * | 2014-11-29 | 2015-04-22 | 内蒙古神舟硅业有限责任公司 | 一种多晶硅棒生长速度及直径的检测装置及检测方法 |
| CN106480496A (zh) * | 2015-08-26 | 2017-03-08 | 有研半导体材料有限公司 | 一种用于实现直拉单晶收尾自动化的装置 |
| CN109750352A (zh) * | 2017-11-07 | 2019-05-14 | 胜高股份有限公司 | 单晶的制造方法及装置 |
| CN109829638A (zh) * | 2019-01-23 | 2019-05-31 | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 | 一种基于图像的埚位控制装置和方法 |
| CN110344109A (zh) * | 2019-07-26 | 2019-10-18 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 一种单晶炉ccd双目液位测控装置和方法 |
| CN110412916A (zh) * | 2019-07-29 | 2019-11-05 | 北京点域科技有限公司 | 一种自动化晶体制造控制方法及装置 |
| CN110983432A (zh) * | 2019-12-25 | 2020-04-10 | 南京晶升能源设备有限公司 | 一种半导体硅材料晶体生长的图像识别控制方法 |
| CN111593403A (zh) * | 2020-05-07 | 2020-08-28 | 宁夏银和新能源科技有限公司 | 间接控制拉晶直径的方法及直拉单晶晶棒的生产方法 |
| CN112444516A (zh) * | 2019-08-13 | 2021-03-05 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 一种硅棒的晶线生长状态检测方法、装置及设备 |
| CN114782439A (zh) * | 2022-06-21 | 2022-07-22 | 成都沃特塞恩电子技术有限公司 | 培育钻石的生长状态检测方法、装置、系统、电子设备 |
| US12002234B2 (en) | 2018-11-26 | 2024-06-04 | Longi Green Energy Technology Co., Ltd. | Crystal line growing state detection method, apparatus and device for silicon rod |
-
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- 2011-07-14 CN CN2011202469769U patent/CN202170375U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102995111B (zh) * | 2012-11-07 | 2015-05-27 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 单晶炉非接触式硅料液面位置测量方法及装置 |
| CN102995111A (zh) * | 2012-11-07 | 2013-03-27 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 单晶炉非接触式硅料液面位置测量方法及装置 |
| CN104535003A (zh) * | 2014-11-29 | 2015-04-22 | 内蒙古神舟硅业有限责任公司 | 一种多晶硅棒生长速度及直径的检测装置及检测方法 |
| CN104535003B (zh) * | 2014-11-29 | 2017-06-30 | 内蒙古神舟硅业有限责任公司 | 一种多晶硅棒生长速度及直径的检测装置及检测方法 |
| CN106480496A (zh) * | 2015-08-26 | 2017-03-08 | 有研半导体材料有限公司 | 一种用于实现直拉单晶收尾自动化的装置 |
| CN109750352B (zh) * | 2017-11-07 | 2021-07-09 | 胜高股份有限公司 | 单晶的制造方法及装置 |
| CN109750352A (zh) * | 2017-11-07 | 2019-05-14 | 胜高股份有限公司 | 单晶的制造方法及装置 |
| US12002234B2 (en) | 2018-11-26 | 2024-06-04 | Longi Green Energy Technology Co., Ltd. | Crystal line growing state detection method, apparatus and device for silicon rod |
| CN109829638A (zh) * | 2019-01-23 | 2019-05-31 | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 | 一种基于图像的埚位控制装置和方法 |
| CN110344109A (zh) * | 2019-07-26 | 2019-10-18 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 一种单晶炉ccd双目液位测控装置和方法 |
| CN110412916A (zh) * | 2019-07-29 | 2019-11-05 | 北京点域科技有限公司 | 一种自动化晶体制造控制方法及装置 |
| CN112444516A (zh) * | 2019-08-13 | 2021-03-05 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 一种硅棒的晶线生长状态检测方法、装置及设备 |
| CN112444516B (zh) * | 2019-08-13 | 2022-03-11 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 一种硅棒的晶线生长状态检测方法、装置及设备 |
| CN110983432A (zh) * | 2019-12-25 | 2020-04-10 | 南京晶升能源设备有限公司 | 一种半导体硅材料晶体生长的图像识别控制方法 |
| CN111593403B (zh) * | 2020-05-07 | 2021-04-27 | 宁夏富乐德石英材料有限公司 | 间接控制拉晶直径的方法及直拉单晶晶棒的生产方法 |
| CN111593403A (zh) * | 2020-05-07 | 2020-08-28 | 宁夏银和新能源科技有限公司 | 间接控制拉晶直径的方法及直拉单晶晶棒的生产方法 |
| CN114782439A (zh) * | 2022-06-21 | 2022-07-22 | 成都沃特塞恩电子技术有限公司 | 培育钻石的生长状态检测方法、装置、系统、电子设备 |
| CN114782439B (zh) * | 2022-06-21 | 2022-10-21 | 成都沃特塞恩电子技术有限公司 | 培育钻石的生长状态检测方法、装置、系统、电子设备 |
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