CN202099406U - 坩埚下降法用钼坩埚移动装置 - Google Patents

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王强
陆健
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Abstract

本实用新型公开了一种坩埚下降法用钼坩埚移动装置,包括升降机构和坩埚杆,所述坩埚杆的上端与位于炉体内的钼坩埚连接,所述坩埚杆的下端穿出炉体且与升降机构相连接,所述炉体底部设置有连接座,所述坩埚杆上设置有挡块,所述坩埚杆上套设有波纹管,且所述波纹管的上端固定在连接座上,所述波纹管的下端固定在挡块上。该钼坩埚移动装置能够保证其在运动状态下的良好密封性能,从而提高了晶体产品的质量,且简化了安装调试程序,降低了加工生产成本。

Description

坩埚下降法用钼坩埚移动装置
技术领域
本实用新型涉及一种移动装置,特别是涉及一种坩埚下降法用钼坩埚移动装置。
背景技术
蓝宝石晶体的生长需要在无氧化有保护气体的恒定压力状态的炉体内进行,才能获得晶体内部无杂质、外部形态比较规则的蓝宝石晶体毛胚,在蓝宝石晶体的生长过程中,盛装原材料的钼坩埚必须移动,才能获得蓝宝石晶体生长所需的温度梯度,而支撑钼坩埚移动的是一只坩埚杆,坩埚杆底座固定在炉体底部外的升降机构上,顶端伸进炉膛内支撑坩埚移动,为了保证炉体内的真空密封,一般的生长炉是采用炉体底部安装一组橡胶密封圈,与坩埚杆精密加工的外径抱紧配合,达到密封要求。这种方式有三点不足,一是由于炉膛内温度非常高,虽然相关部位有水循环冷却系统,但是橡胶密封圈处的温度还是相对较高,带来橡胶产品的快速老化,影响密封效果;二是由于坩埚杆是底部固定,顶端支撑坩埚移动,没有固定导向机构,那么在坩埚杆移动过程中由于上端的重压或是装配的精度误差,使得坩埚杆与橡胶密封圈不同心或倾斜,严重影响密封效能;三是由于采用橡胶密封圈内径与坩埚杆圆柱外径抱紧密封方式且需相对运动,就必须保证坩埚杆外径具有高的尺寸精度、几何精度及硬度,以及高的装配调试精度,这就产生高昂的加工及装配成本。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服上述现有技术中的不足,提供一种坩埚下降法用钼坩埚移动装置。该钼坩埚移动装置能够保证其在运动状态下的良好密封,从而提高了晶体产品的质量,且简化了安装调试程序,降低了加工生产成本。
为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:坩埚下降法用钼坩埚移动装置,包括升降机构和坩埚杆,所述坩埚杆的上端与位于炉体内的钼坩埚连接,所述坩埚杆的下端穿出炉体且与升降机构相连接,其特征在于:所述炉体底部设置有连接座,所述坩埚杆上设置有挡块,所述坩埚杆上套设有波纹管,且所述波纹管的上端固定在连接座上,所述波纹管的下端固定在挡块上。
上述的坩埚下降法用钼坩埚移动装置,其特征在于:所述波纹管的上端通过卡箍一固定在连接座上,所述波纹管的下端通过卡箍二固定在挡块上。
上述的坩埚下降法用钼坩埚移动装置,其特征在于:所述波纹管为真空波纹管。
上述的坩埚下降法用钼坩埚移动装置,其特征在于:所述连接座的下端设置有导向套筒,所述坩埚杆穿设于导向套筒内。
上述的坩埚下降法用钼坩埚移动装置,其特征在于:所述连接座焊接在炉体底部。
本实用新型与现有技术相比具有以下优点:
1、本实用新型的结构简单,设计新颖合理。
2、本实用新型通过设置上端固定在连接座、下端固定在坩埚杆挡块上的波纹管,从而实现坩埚杆上下移动过程中的良好密封性能,使用起来比较方便,且使用寿命长。
3、本实用新型通过在所述连接座的下端设置导向套筒,所述坩埚杆穿设于导向套筒内。设置导向套筒可以保证坩埚杆在上下移动的过程中,对坩埚杆进行导向定位作用,不会发生倾斜。
4、本实用新型的实现成本低,使用效果好,便于推广使用。
综上所述,本实用新型结构简单,设计新颖合理,工作可靠性高,使用寿命长,能够保证该钼坩埚移动装置在运动状态下的良好密封,从而提高了晶体产品的质量,简化了安装调试程序,降低了加工生产成本。使用效果好,便于推广使用。
下面通过附图和实施例,对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
附图标记说明:
1-炉体;    2-钼坩埚;  3-热场;
4-坩埚杆;  5-连接座;  6-卡箍一;
7-导向套筒;8-波纹管;  9-挡块;
10-卡箍二; 11-升降机构。
具体实施方式
如图1所示的一种坩埚下降法用钼坩埚移动装置,包括升降机构11和坩埚杆4,所述坩埚杆4的上端与位于炉体1内的钼坩埚2连接,所述坩埚杆4的下端穿出炉体1且与升降机构11相连接,所述炉体1底部设置有连接座5,所述坩埚杆4上设置有挡块9,所述坩埚杆4上套设有波纹管8,且所述波纹管8的上端固定在连接座5上,所述波纹管8的下端固定在挡块9上。所述升降机构11包括直流力矩电机、减速器和滚珠丝杆,所述直流力矩电机输出轴与减速器输入轴连接,所述减速器输出皮带与滚珠丝杆下端的皮带轮连接,所述坩埚杆4的下端与滚珠丝杆上端连接。所述升降机构11也可以是液压油缸、电动推杆和其它动力装置。
如图1所示,优选的做法是,所述波纹管8的上端通过卡箍一6固定在连接座5上,所述波纹管8的下端通过卡箍二10固定在挡块9上。所述波纹管8为真空波纹管。所述连接座5的下端设置有导向套筒7,所述坩埚杆4穿设于导向套筒7内。通过导向套筒7可以保证坩埚杆4在上下移动的过程中,不会发生倾斜。所述连接座5焊接在炉体1底部。
使用时,波纹管8内腔与炉体1内部形成一个贯通的、与外部隔离的整体内腔,坩埚杆4是在波纹管8的内腔,坩埚杆4底部固定在升降机构11上,坩埚杆4伸进炉体1内,通过升降机构11带动坩埚杆4和波纹管8整体上下移动,从而推动热场3内的钼坩埚2上下移动,保证了该钼坩埚移动装置在运动状态下的良好密封性能,从而提高晶体产品的质量,且简化安装调试,降低加工生产成本。
以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例,并非对本实用新型作任何限制,凡是根据本实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变换,均仍属于本实用新型技术方案的保护范围内。

Claims (5)

1.坩埚下降法用钼坩埚移动装置,包括升降机构(11)和坩埚杆(4),所述坩埚杆(4)的上端与位于炉体(1)内的钼坩埚(2)连接,所述坩埚杆(4)的下端穿出炉体(1)且与升降机构(11)相连接,其特征在于:所述炉体(1)底部设置有连接座(5),所述坩埚杆(4)上设置有挡块(9),所述坩埚杆(4)上套设有波纹管(8),且所述波纹管(8)的上端固定在连接座(5)上,所述波纹管(8)的下端固定在挡块(9)上。
2.根据权利要求1所述的坩埚下降法用钼坩埚移动装置,其特征在于:所述波纹管(8)的上端通过卡箍一(6)固定在连接座(5)上,所述波纹管(8)的下端通过卡箍二(10)固定在挡块(9)上。
3.根据权利要求1所述的坩埚下降法用钼坩埚移动装置,其特征在于:所述波纹管(8)为真空波纹管。
4.根据权利要求1、2或3所述的坩埚下降法用钼坩埚移动装置,其特征在于:所述连接座(5)的下端设置有导向套筒(7),所述坩埚杆(4)穿设于导向套筒(7)内。
5.根据权利要求1、2或3所述的坩埚下降法用钼坩埚移动装置,其特征在于:所述连接座(5)焊接在炉体(1)底部。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN103046115A (zh) * 2012-12-03 2013-04-17 长春理工大学 坩埚下降法晶体生长炉的下降装置
CN115386949A (zh) * 2022-10-09 2022-11-25 浙江求是半导体设备有限公司 晶体生长用坩埚的传动装置和晶体生长设备

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