CN202061847U - 一种还原炉炉筒清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种还原炉炉筒清洗装置，包括支架（1）、电机（2）、圆盘（3）和刷把（4），所述电机（2）设置在支架（1）的顶部，用于驱动圆盘（3）旋转，所述圆盘（3）设置在电机（2）的上方，所述刷把（4）设置在圆盘（3）的两侧，刷把（4）与喷淋管连接，还原炉炉筒（5）的两侧设置有导轨槽，还原炉炉筒的外侧设置有与导轨槽相匹配的导轨（6）。本实用新型构思巧妙、设计合理，对还原炉炉筒的清洗彻底，避免了还原炉炉筒清洗不干净给多晶硅生产带来的影响，降低了工人的劳动强度。
Description
技术领域
本实用新型属于多晶硅化工领域，涉及一种还原炉炉筒清洗装置。
背景技术
多晶硅，是单质硅的一种形态，是极为重要的优良半导体材料。多晶硅是电子工业中广泛用于制造半导体收音机、录音机、电冰箱、彩电、录像机、电子计算机等的基础材料。
目前，在西门子法生产多晶硅过程中，大多采用化学气相沉积法生产多晶硅棒。化学气相沉积法是指用多晶硅还原炉底板上的电极来通电，将置于电极上的发热载体（硅芯棒，直径约8mm）加热至1100℃以上，通入三氯氢硅和高纯氢气，发生还原反应，采用化学气相沉积技术生成的高纯硅沉积在硅芯棒上，使硅棒不断长大，直到硅棒的直径达到150㎜左右，然后断电断原料停炉，取出硅棒。
对于采用化学气相沉积技术生产高纯多晶硅，通过化学气相沉积反应得到高纯多晶硅棒后，需要将多晶硅棒从多晶硅还原炉底板取出，再次装载硅芯棒进行生产。每个生产周期完成之后，需要清洁还原炉炉筒及底板，以除去表面污染物。
目前多晶硅企业一般使用的炉筒清洗方法是通过喷淋装置，使用热碱液及脱盐水对炉筒内壁进行喷淋清洗，之后再用白布蘸取无水乙醇将炉筒内壁及底部接触面擦洗干净，最后在炉筒内架梯或平台，作业人员人工手持氮气软管，进入炉筒内再将炉筒彻底吹干。由于炉壁温度较高，达到300℃左右，炉壁上会沉积不定型低温硅，这种装置只能除掉部分污染物，无法完全清除掉炉筒内壁沉积的低温硅等大部分污染物。随着生长周期次数增多，炉壁上沉积的污染物会越积越多。根据热辐射原理，炉壁越粗糙，炉壁吸收的热量就越多，需要通过通更多的电来维持炉内反应气场温度，因而生长过程中的能耗就会增加，成本增高，产能也会受到影响。
实用新型内容
本实用新型的发明目的在于：针对上述存在的问题，提供一种还原炉炉筒清洗装置。该清洗装置构思巧妙、设计合理，对还原炉炉筒的清洗彻底，避免了还原炉炉筒清洗不干净给多晶硅生产带来的影响，降低了工人的劳动强度。
为实现上述目的，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种还原炉炉筒清洗装置，包括支架、电机、圆盘和刷把，所述电机设置在支架的顶部，用于驱动圆盘旋转，所述圆盘设置在电机的上方，所述刷把设置在圆盘的两侧，刷把与喷淋管连接，还原炉炉筒的两侧设置有导轨槽，还原炉炉筒的外侧设置有与导轨槽相匹配的导轨。
作为优选方式，所述刷把为扫帚型刷把。
作为优选方式，所述刷把与圆盘之间为活动连接。
本实用新型还原炉炉筒清洗装置，在地面安装一个支架，支架高度大于还原炉炉筒的高度。其上顶部安装有一个电动机，电动机上方是一个圆盘，通过电动机轴驱动圆盘旋转。圆盘外侧等距安装有扫帚型的刷把，刷把后方安装有管道，通入脱盐水对刷把及炉筒进行喷淋。刷把支出后，紧贴还原炉筒内壁。两侧各有一个导轨槽，宽度正好与还原炉炉筒外侧的导轨外接圆直径一致。
使用时，行车吊起还原炉炉筒，使还原炉炉筒处于悬挂状态，并上下以慢车移动。电动机驱动圆盘旋转，刷把直接与炉筒内壁接触，刷除表面附着物。同时通水对刷把及炉筒内壁进行喷淋清洗。
由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：
本实用新型构思巧妙、设计合理，对还原炉炉筒的清洗彻底，避免了还原炉炉筒清洗不干净给多晶硅生产带来的影响，降低了工人的劳动强度。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图。
图中标记：1 支架、2 电机、3 圆盘、4 刷把、5还原炉炉筒、6 导轨。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型作详细的说明。
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例：如图1所示，一种还原炉炉筒清洗装置，包括支架1、电机2、圆盘3和刷把4，所述电机2设置在支架1的顶部，用于驱动圆盘3旋转，所述圆盘3设置在电机2的上方，所述刷把4设置在圆盘3的两侧，刷把4与喷淋管连接，还原炉炉筒5的两侧设置有导轨槽，还原炉炉筒的外侧设置有与导轨槽相匹配的导轨6。
所述刷把4为扫帚型刷把。所述刷把4与圆盘3之间为活动连接。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种还原炉炉筒清洗装置，其特征在于：包括支架（1）、电机（2）、圆盘（3）和刷把（4），所述电机（2）设置在支架（1）的顶部，用于驱动圆盘（3）旋转，所述圆盘（3）设置在电机（2）的上方，所述刷把（4）设置在圆盘（3）的两侧，刷把（4）与喷淋管连接，还原炉炉筒（5）的两侧设置有导轨槽，还原炉炉筒的外侧设置有与导轨槽相匹配的导轨（6）。
2.如权利要求1所述的一种还原炉炉筒清洗装置，其特征在于：所述刷把（4）为扫帚型刷把。
3.如权利要求1或2所述的一种还原炉炉筒清洗装置，其特征在于：所述刷把（4）与圆盘（3）之间为活动连接。
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