CN202017071U - 一种简易实用的硅单晶炉晶棒托架 - Google Patents
一种简易实用的硅单晶炉晶棒托架 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型属于太阳能设备制造技术领域,具体涉及一种简易实用的硅单晶炉晶棒托架。包括固定导柱和连接于固定导柱的托架板,其特征在于所述固定导柱与托架板间设有一活动板,固定导柱的下端活动连接活动板,活动板的一端铰接托架板。本实用新型提供了一种新的晶棒托架,减少了空间占用量,消除了安全隐患,增强了操作的便捷性。
Description
技术领域
本实用新型属于太阳能设备制造技术领域,具体涉及一种简易实用的硅单晶炉晶棒托架。
背景技术
CZ法直拉单晶炉一般有主炉室和副炉室,当单晶生长结束后,将单晶升至副炉室,打开副炉室,取出单晶。单晶是悬在副炉室内,要取出单晶,需要把副炉室旋转到单晶炉的一侧,然后下降单晶至副炉室外,从而取出单晶。
由于悬在副炉室中的单晶与籽晶夹头之间有一段是直径约6~14mm的籽晶,这段籽晶的抗折强度很差,抗拉强度也较小,容易出现断裂,因此,在单晶升至副炉室时,需要一个安全装置——晶棒托架,来保护单晶,在籽晶断裂时可以托住单晶,防止安全事故发生。
现有技术的晶棒托架呈“L”形,悬于单晶炉上,占用较大的空间,在使用过程中,容易发生设备辅件压坏事故,导致设备故障。现有技术的晶棒托架设置在单晶炉的左侧离地面大约1700mm处,经常出现碰到操作员工,存在安全隐患。而且,现有技术的晶棒托架占用了较大空间,给单晶炉生产操作带来很大的不便。
发明内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种新的晶棒托架,减少了空间占用量,消除了安全隐患,增强了操作的便捷性。
本实用新型的具体技术路线是:
一种简易实用的硅单晶炉晶棒托架,包括固定导柱和连接于固定导柱的托架板,其特征在于所述固定导柱与托架板间设有一活动板,固定导柱的下端活动连接活动板,活动板的一端铰接托架板。
所述固定导柱柱体设有磁铁。
所述托架板上设有缓冲装置。
所述缓冲装置由缓冲弹簧和垫块组成。
所述垫块的材质为特氟龙。
本实用新型晶棒托架的几个特点:
1、把现有技术的“L”形晶棒托架的横向部分(即托架板)改成可向上折叠。
2.折叠起后预防自由展开,加磁铁吸合且磁隙可调,使用时拉开即可。
3.托架板上晶棒着力处加弹簧和特氟龙垫块缓冲,预防晶棒冲击引起晶裂。
4.晶棒托架是单晶炉的一个部分,是一个独立的组合部件,由多个螺丝与单晶炉上炉体 连接,展开后特氟龙垫块处于副室中心。
5.晶棒托架主要是在取棒时稳固和支撑单晶棒的作用,假如在籽晶在受到意外冲击力折断时会坠落造成人身伤害和产品损失,有托架的支撑可以避免其危险后果的发生,属安全装置。
本实用新型晶棒托架的技术要求:
一:要求托架强度能承接晶棒的最大重量。
二:在籽晶出现断裂时晶棒托架能承受其冲击力。
三:托架要安全灵活,操作简便。
四:节省空间,避免安全事故的发生。
在使用时打开放到上炉筒的下面,下降晶棒至托架刚好接触稳固晶棒,旋转炉筒至安全取棒位置,上升晶棒离开托架,使晶棒下降到取棒车中,移动晶棒车以后把托架折叠起来,这样不会碰到作业人员,在取籽晶时有更大的操作空间,最大程度的减少人身伤害。
在取晶棒时,有时会出现旋转炉筒时,籽晶断裂,导致晶棒坠落在托架上,这种状况下折叠托架有活动关节可以用千斤顶,顶起托架使晶棒上升到一定的高度,用双月牙形的夹具固定晶棒在上炉筒的法兰口,移开晶棒托架,再行取棒,而L形的托架没有其可折叠的机构,操作时需要多人合作共同抬起晶棒,方可移开托架,其操作的不安全因素很多,易导致安全事故的发生。
原L形托架在副室下降过程中压坏附设的控制箱或者相机架,导致设备故障,如果压坏冷却水管其后果的严重性可想而知,可是,折叠式的托架可以避免这些故障的发生,使事故隐患降到最小的程度。
本实用新型晶棒托架可以折叠起来,减少了空间的占用量,其优点有:
一:操作便利和其.灵活性;
二:减少人身伤害事故的发生;
三:减少设备的安全隐患和降低设备故障率;
四:结构简单,实用安全,免维护。
附图说明
图1为现有技术晶棒托架结构示意图
图2为本实用新型晶棒托架叠合结构示意图
图3为本实用新型晶棒托架展开结构示意图
其中,固定导柱1,活动板2,托架板3,磁铁4,弹簧5,垫块6,固定板7。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步的描述。
如图1所示,现有技术的晶棒托架呈“L”形,悬于单晶炉上。
如图2和图3所示,本方案晶棒托架主要由固定导柱1、活动板2和托架板3组成,固定导柱1的下端活动连接活动板2,活动板2的一端铰接托架板3。
所述固定导柱1柱体可设有磁铁4,吸合托架板3;
所述托架板上可设有由缓冲弹簧5和垫块6组成的缓冲装置;
所述垫块6的材质较佳地为特氟龙。
本方案的晶棒托架通过固定板7固定在单晶炉支撑架上。
晶体冷却后,升起副室,展开托架,旋转后置于晶棒下方,下降晶棒着力于特氟龙垫块,转动副室至取棒位置,稳定后提起晶棒,旋转托架90°,合起托架由磁铁吸合。
Claims (4)
1.一种简易实用的硅单晶炉晶棒托架,包括固定导柱和连接于固定导柱的托架板,其特征在于所述固定导柱与托架板间设有一活动板,固定导柱的下端活动连接活动板,活动板的一端铰接托架板。
2.根据权利要求1所述的托架,其特征在于所述固定导柱柱体设有磁铁。
3.根据权利要求1所述的托架,其特征在于所述托架板上设有缓冲装置。
4.根据权利要求3所述的托架,其特征在于所述缓冲装置由缓冲弹簧和垫块组成。
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CN106760880A (zh) * | 2016-11-28 | 2017-05-31 | 王淑娟 | 稳定型水文单柱超声波雷达水位计支架辅助结构 |
CN109957833A (zh) * | 2017-12-25 | 2019-07-02 | 有研半导体材料有限公司 | 一种预防单晶掉落的装置 |
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