CN202017048U - 用于pecvd设备的维护工具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于PECVD设备的维护工具，所述维护工具呈T形，其上部为固定片，下部为连接管，连接管内设有连接孔道，所述固定片上设有与所述连接孔道连通的通孔；所述连接管的大小与出气孔配合，连接管的长度大于等于5mm。本实用新型解决了更换出气管道带来的问题；保证了出气管道畅通，减少了出气管道的更换周期。

Description

用于PECVD设备的维护工具

技术领域

本实用新型涉及在太阳能电池生产过程中使用的一种辅助工具，具体涉及一种在硅片镀膜工艺中的用于PECVD设备的维护工具。

背景技术

太阳能是没有污染、使用方便的可再生能源，有效地利用太阳能己经成为人类的共识。在开发和利用太阳能的过程中，人们研制了太阳能电池，利用光伏效应直接把太阳能转化为电能。在太阳能电池中，晶体硅太阳能电池占市场主要分额。在制备晶体硅太阳能电池过程中，制备减反射膜是一个必不可少的工序。近几年来，氮化硅薄膜应用于晶体硅太阳能电池的减反射膜，它不仅具有减反射膜的作用，还能起到钝化作用，其成膜工艺、钝化及减反射性能受到人们的重视。

目前，制备氮化硅薄膜主要采用等离子体增强化学气相沉淀（PECVD）的方法，如采用德国Roth&Rau的机器进行PECVD，该设备的关键部件是出气孔，出气孔设于出气管道上，出气孔的顶部覆盖有U型槽，U型槽上设有通孔阵列，这些通孔与所述出气孔一一对应；一般而言，出气孔直径为1mm，U型槽上的通孔直径为8 mm。使用时，从出气孔内输出SiH₄气体，由其他管路输入NH₃，SiH₄与NH₃通过2.45GHZ微波电离形成氮化硅，沉积在硅片上，形成氮化硅薄膜。由于出气孔是用来输出SiH₄气体，因此对于镀膜有非常关键的作用，如果出气孔堵塞，部分硅片区域将无法沉积或沉积很少氮化硅，从而形成色差，影响到氮化硅镀膜的钝化效果。

然而，在实际应用中发现，出气孔经常发生堵塞，而且由于氮化硅硬度非常硬，钢针无法通透，因此只能更换出气孔，而更换时要先取下覆盖在出气管道上的U型槽，然后取出出气管道（出气管道需要送特定公司清洗），最后装上干净的出气管道和U型槽。然而，由于U型槽与出气管道结合很紧，在拆卸过程中极易变形报废，而且，该更换过程需要耗费很多时间，维护成本较高。

发明内容

本实用新型目的是提供一种用于PECVD设备的维护工具，防止出气孔的堵塞。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于PECVD设备的维护工具，所述维护工具呈T形，其上部为固定片，下部为连接管，连接管内设有连接孔道，所述固定片上设有与所述连接孔道连通的通孔；

所述连接管的大小与PECVD设备的出气孔配合，连接管的长度大于等于2 mm。

上文中，所述固定片设于出气孔上方的U型槽的通孔内，优选的，固定片与通孔配合。

所述连接管的大小与出气孔配合，使连接管能够插接于出气孔内；连接管内设有连接孔道，固定片上设有与连接孔道连通的通孔，因而，从出气孔内输出的SiH₄气体会沿着连接管从固定片顶部喷出，即使发生氮化硅堵塞现象，也只是堵塞维护工具，由于连接管具有一定的长度（连接管的长度大于等于2 mm），因此不会堵塞到出气孔，因而只需要更换维护工具，而无需更换出气管道，解决了更换出气管道带来的问题。

优选的技术方案，所述连接管的长度为2~5 mm。

上述技术方案中，所述连接孔道的内径为0.82~0.98 mm。

所述固定片的通孔的内径为0.82~0.98 mm。即连接孔道和通孔的大小可以相同或不同。

进一步的技术方案，所述固定片呈圆形，其外圆周端部设有至少2个弹性的卡条，各卡条周向均布于固定片的外圆周端部。卡条的作用是将其卡于U型槽和出气管道之间，从而将维护工具卡固于出气孔上。当然，也可以不设置卡条，利用焊接或粘接的方式将维护工具固定于出气孔上方。卡条的结构也是为了便于取出维护工具，即用刀片翘起两端的卡条，即可取出维护工具，然后更换维护工具即可；当然也可以将堵塞的维护工具放入HF中清洗，除去沉积在维护工具的氮化硅，即可重新使用，减少维护成本和时间。所述卡条优选薄钢条。

上述技术方案中，所述维护工具为一体结构。

本实用新型的工作原理是：在使用PECVD设备前，在各个PECVD设备的出气孔内插入本实用新型的维护工具，即将连接管插接于出气孔内，然后按照常规工艺进行镀膜，在镀膜过程中会发生氮化硅堵塞情况，由于连接管具有一定的长度，因此，氮化硅会优先沉积到维护工具内，直至堵塞维护工具，不会堵塞到出气孔；因此只需要取下维护工具，清洗后重新使用即可，或者更换新的维护工具。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是：

1、本实用新型可以插接于PECVD设备的出气孔上，在镀膜工艺中，氮化硅会优先沉积到维护工具内，直至堵塞维护工具，不会堵塞到出气孔，因而只需要更换维护工具，而无需更换出气管道，解决了更换出气管道带来的问题；保证了出气管道畅通，减少了出气管道的更换周期。

2、本实用新型在安装或取出时，易于操作，无需耗费很多时间，维护成本较低。

3、本实用新型结构简单，便于制备，适于推广应用。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的主视图；

图2是本实用新型实施例一的俯视图；

图3是本实用新型实施例一的主剖图；

图4是本实用新型实施例一组装到PECVD设备的组装示意图；

图5是图4的A部放大图。

其中：1、固定片；2、连接管；3、连接孔道；4、卡条；5、通孔；6、U型槽；7、出气管道。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一

参见图1~5所示，一种用于PECVD设备的维护工具，所述PECVD设备包括出气管道7、位于出气管道上方的U型槽6，出气管道上设置有出气孔，U型槽上设置有与出气孔相连通的通孔阵列，

所述维护工具呈T形，其上部为固定片1，下部为连接管2，连接管内设有连接孔道3，所述固定片上设有与所述连接孔道连通的通孔5；所述连接管的大小与出气孔配合；

固定片1的外径5 mm，厚度1 mm，固定片上的通孔的内径为0.82~0.98 mm，连接管2的内径0.82~0.98 mm，外径1 mm，长度5 mm；

所述固定片呈圆形，其端部设有2个弹性的卡条4，卡条的长度3 mm，厚度1 mm，一端宽度2 mm，另一端与圆片圆弧一致；

使用时，把维护工具的连接管插接在出气管道7内，两侧的卡条4卡于出气管道7和U型槽6之间，即将维护工具安装在出气管道与U型槽之间；使用过程中，氮化硅会沉积在维护工具上，一定时间会稍有堵塞，大概一周后需要用刀片翘起两端的卡条和固定片，取出维护工具，放置HF中清洗，可除去沉积在维护工具的氮化硅，可重新使用，减少维护成本和时间。

Claims (6)

1.一种用于PECVD设备的维护工具，其特征在于：所述维护工具呈T形，其上部为固定片(1)，下部为连接管(2)，连接管内设有连接孔道(3)，所述固定片上设有与所述连接孔道连通的通孔(5)；

所述连接管的大小与PECVD设备的出气孔配合，连接管的长度大于等于2 mm。

2.根据权利要求1所述的用于PECVD设备的维护工具，其特征在于：所述连接管的长度为2~5 mm。

3.根据权利要求1所述的用于PECVD设备的维护工具，其特征在于：所述连接孔道的内径为0.82~0.98 mm。

4.根据权利要求1所述的用于PECVD设备的维护工具，其特征在于：所述固定片的通孔的内径为0.82~0.98 mm。

5.根据权利要求1所述的用于PECVD设备的维护工具，其特征在于：所述固定片呈圆形，其外圆周端部设有至少2个弹性的卡条(4)，各卡条周向均布于固定片的外圆周端部。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的用于PECVD设备的维护工具，其特征在于：所述维护工具为一体结构。

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