CN208589422U - 一种新型的太阳能电池镀膜石墨舟 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种新型的太阳能电池镀膜石墨舟,包括若干石墨板,若干石墨板在竖向呈叠层状排列;所述石墨板水平布置,相邻的石墨板之间具有间隙,且相邻石墨板之间经若干连接柱连接;每一石墨板顶部设有若干硅片定位机构,硅片定位机构包括若干定位支柱。本实用新型可有效地避免绕镀、卡点造成的镀膜不良、硅片破裂造成的短路问题等。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域,尤其涉及一种新型的太阳能电池镀膜石墨舟。
背景技术
常规的化石燃料日益消耗殆尽,目前的可持续能源中,太阳能是最清洁、最具有潜力的清洁能源。晶硅太阳能电池已被大规模生产应用,良好的稳定性和成熟的工艺流程是其大规模应用的基础。
氮化硅薄膜由于具有结构致密性,良好的绝缘性,低反射率,对杂质离子的掩蔽能力等,因此作为一种太阳电池减反射膜已被光伏工业界认知和广泛的应用。常见的制备氮化硅薄膜的方法有LPCVD法(低压化学气相沉积)和PECVD法(等离子体增强化学气相沉积)等。为了提升杂质离子的掩蔽能力,能在较低温度(<500℃)沉积氮化硅薄膜的PECVD法称为光伏电池工艺链的首选。
PECVD法利用射频电压加在相对安置的两个平板电极上,在其间通入反应气体来产生等离子体实现薄膜在衬底上的沉积。如图1至2所示,现有的平板要求硅片直立排放,平板上设有定位卡点支撑,定位卡点与平板的距离比硅片稍宽,以让硅片能够比较顺利的被放上去。这样的设计会带来以下问题:
1)硅片被放上定位卡点的时候难免摩擦(硅片5的正面可能会与定位卡点2’摩擦,即图1中A所示第一摩擦点;硅片5背面可能会与石墨板1’摩擦,即图1中B所示的第二摩擦点),而造成划伤降低电池效率;
2)因硅片5的一端(倚靠在定位卡点2’的一端)倾斜以致硅片5的背面与石墨板1’的间隙较大,较易造成绕镀现象(绕镀区域如图2中C所示),降低电池效率,严重的甚至可以造成漏电异常;
3)硅片5的另一端(倚靠在石墨板1’上的一端)因一定程度上被定位卡点2’挡住,一定程度上妨碍了工艺气体的沉积,会呈现极浅或无镀膜表面,造成镀膜不良,如外观不雅和对金属污染的抗性下降;
4)若硅片破裂接触对面的平板,将导致短路,工艺不良。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种新型的太阳能电池镀膜石墨舟,可有效地避免绕镀、卡点造成的镀膜不良、硅片破裂造成的短路问题等。
为实现上述目的,采用以下技术方案:
一种新型的太阳能电池镀膜石墨舟,包括若干石墨板,若干石墨板在竖向呈叠层状排列;所述石墨板水平布置,相邻的石墨板之间具有间隙,且相邻石墨板之间经若干连接柱连接;每一石墨板顶部设有若干硅片定位机构,硅片定位机构包括若干定位支柱。
较佳地,每一定位支柱的顶部设有防滑纹路。
较佳地,所述石墨舟还包括上盖板、下盖板;所述若干石墨板置于上盖板和下盖板之间。
较佳地,所述连接柱采用陶瓷材质。
较佳地,每一石墨板上的硅片定位机构设置为4~9个。
较佳地,每一硅片定位机构上的定位支柱设置为3个或4个。
采用上述方案,本实用新型的有益效果是:
1)硅片平放在定位支柱顶部,放置过程不会与定位支柱有摩擦,因此能避免硅片被划伤;
2)水平放置的硅片和石墨板间几乎没有空隙,反应气体无法有效地沉积在硅片背面,因此大幅度地减少绕度问题;
3)硅片平放在定位支柱顶部,硅片正面完全暴露在工艺气体中形成完美沉积,避免卡点造成的镀膜不良问题;
4)若硅片破裂,半截硅片只会碰触同一个石墨板,不会碰到另一个石墨板,避免导致短路问题。
附图说明
图1为现有技术中硅片被竖直放入定位卡点的结构示意图;
图2为现有技术中硅片与石墨板的结构示意图;
图3为本实用新型的立体图;
图4为本实用新型的定位支柱设置为3个的石墨板结构示意图;
图5为本实用新型的定位支柱设置为4个的石墨板结构示意图;
图6为本实用新型的硅片与石墨板的结构示意图;
其中,附图标识说明:
1/1’—石墨板, 2—定位支柱,
2’—定位卡点, 3—上盖板,
4—下盖板, 5—硅片,
A—第一摩擦点, B—第二摩擦点,
C—绕镀区域, D—妨碍气体沉积反应区域。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例,对本实用新型进行详细说明。
参照图3至6所示,本实用新型提供一种新型的太阳能电池镀膜石墨舟,包括若干石墨板1,若干石墨板1在竖向呈叠层状排列;所述石墨板1水平布置,相邻的石墨板1之间具有间隙,且相邻石墨板1之间经若干连接柱连接;每一石墨板1顶部设有若干硅片定位机构,硅片定位机构包括若干定位支柱2。
其中,每一定位支柱2的顶部设有防滑纹路。所述石墨舟还包括上盖板3、下盖板4;所述若干石墨板1置于上盖板3和下盖板4之间。所述连接柱采用陶瓷材质。每一石墨板1上的硅片定位机构设置为4~9个。每一硅片定位机构上的定位支柱2设置为3个或4个。
本实用新型工作原理:
本实用新型中,石墨板1水平布置,石墨板1的顶部设置若干定位支柱2,定位支柱2顶部设置防滑纹路。当硅片5被平放到定位支柱2顶部时,硅片5不会移动;硅片5背面与石墨板1间几乎没有间隙,可避免硅片5背面出现绕镀现象;同时硅片5正面气体在硅片5正面完全暴露在工艺气体中,实现有效沉积反应。
以上仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种新型的太阳能电池镀膜石墨舟,其特征在于,包括若干石墨板,若干石墨板在竖向呈叠层状排列;所述石墨板水平布置,相邻的石墨板之间具有间隙,且相邻石墨板之间经若干连接柱连接;每一石墨板顶部设有若干硅片定位机构,硅片定位机构包括若干定位支柱。
2.根据权利要求1所述的新型的太阳能电池镀膜石墨舟,其特征在于,每一定位支柱的顶部设有防滑纹路。
3.根据权利要求1所述的新型的太阳能电池镀膜石墨舟,其特征在于,所述石墨舟还包括上盖板、下盖板;所述若干石墨板置于上盖板和下盖板之间。
4.根据权利要求1所述的新型的太阳能电池镀膜石墨舟,其特征在于,所述连接柱采用陶瓷材质。
5.根据权利要求1所述的新型的太阳能电池镀膜石墨舟,其特征在于,每一石墨板上的硅片定位机构设置为4~9个。
6.根据权利要求2所述的新型的太阳能电池镀膜石墨舟,其特征在于,每一硅片定位机构上的定位支柱设置为3个或4个。
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