CN201936861U - 一种应用于晶固机的旋转型输送盘装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型所公开的一种应用于晶固机的旋转型输送盘装置，包括一机架、竖立于机架上的支架、支架二侧分别安装有晶片视觉系统镜头机构和支架式线路板视觉系统镜头机构、安装于机架二端可纵向和横向移动的晶圆盘XY轴移动平台和支架式线路板XY轴移动平台；晶圆盘XY轴移动平台上设有晶圆盘，支架式线路板XY轴移动平台上设有支架夹具，其中所述的晶片视觉系统镜头机构下方设有对应晶圆盘的拾取晶片装置，支架式线路板视觉系统镜头机构下方设有对应支架夹具的固放晶片装置；于拾取晶片装置和固放晶片装置之间设有旋转型输送盘机构。该装置拾取的摆幅很少，缩短了工作的时间，提高了生产的产能和效率等。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种应用于晶固机的旋转型输送盘装置，尤其涉及一种在半导体封装过程中把晶片从晶圆盘拾取放置在支架或线路板上的装置。
背景技术
目前，在半导体行业封装中现有的固晶机拾取晶片的基本结构包括如下部件：如图1所示，机架1、晶片视觉系统镜头机构3、支架式线路板视觉系统镜头机构4、摆臂式拾晶装置29、支架夹具8、晶圆盘7、支架式线路板XY轴移动平台6、晶圆盘XY轴移动平台5。其工作时的动作流程为：①摆臂式拾晶装置向下从晶圆盘上吸取晶片并返上，②摆动至90度角位置，③向下放置晶片在支架夹具上并返上，④摆臂式拾晶装置返回0度位置。
传统摆臂式拾晶取装置是由旋转式滚珠花键带动摆臂杆组成。将晶圆中的晶片以圆弧运动轨迹方式作90度角往返摆动直接拾取放置。其缺点有二：其一，精度差。通常摆臂长度由180至210毫米，即是半径180至210毫米，圆弧运动中摆幅过大，明显地将轴心处微小转动偏差放大，摆臂半径越大，偏差就越大，无疑运动惯性也就越大，振动性也越大，以至影响精度。其二，效率低。目前瓶颈限制在每周期300毫秒左右，圆弧运动往返摆动，复位回摆做无用功，耗时大，导致产能低。
实用新型内容
本实用新型为了克服现有技术的不足，解决目前传统摆臂式固晶机瓶颈时间限制及精度差等缺陷，本实用新型的晶固机旋转型输送盘装置在技术方案上完全弃用传统的摆臂式结构，拾取晶片方式由原来摆臂往返圆弧运动改为旋转型输送盘方式，此方案是一种流水线输送盘装置，将工作流 程工序细分化，由原来直接大幅度摆动拾取装置分化为单拾单取动作，而且摆幅90度角改为10度角，并且无往返运动，大大缩短瓶颈时间，由原来300毫秒左右减少为100至150毫秒。有效地将固晶产能提高二至三倍。
本实用新型所要解决的技术方案为：一种应用于晶固机的旋转型输送盘装置，包括一机架、竖立于机架上的支架、支架二侧分别安装有晶片视觉系统镜头机构和支架式线路板视觉系统镜头机构、安装于机架二端并分别位于晶片视觉系统镜头机构和支架式线路板视觉系统镜头机构下方的晶圆盘XY轴移动平台和支架式线路板XY轴移动平台；所述的晶圆盘XY轴移动平台和支架式线路板XY轴移动平台上各设有气缸控制其纵向或横向移动，晶圆盘XY轴移动平台上设有晶圆盘，支架式线路板XY轴移动平台上设有支架夹具，其中所述的晶片视觉系统镜头机构下方设有对应晶圆盘的拾取晶片装置，支架式线路板视觉系统镜头机构下方设有对应支架夹具的固放晶片装置；于拾取晶片装置和固放晶片装置之间设有旋转型输送盘机构。拾取晶片装置只负责从晶圆中吸取晶片放置在输送盘表面上，而固放晶片装置则负责从输送盘表面上吸取晶片固放在LED支架的支架夹具上。旋转型输送盘机构和拾取晶片装置、固放晶片装置形成单拾单取动作，为流水线的输送动作；其三者连成一线，拾取的摆幅很少，缩短了工作的时间，提高了生产的产能和效率等。
作为对前述技术方案的进一步设计：前述的旋转型输送盘机构为：固定于支架上的固定夹头，固定夹头夹紧有一轴芯，轴芯传动端的外柱面依次套紧有传动轴承和轴承法兰座，传动轴承的外柱面与轴承法兰座的内柱面套紧，轴承法兰座的外柱面套紧有传动同步轮，传动同步轮由设于支架上的第一电机凸轮组件驱动，轴承法兰座的底部连接有圆环状的晶片输送盘；所述的轴芯内设有第一真空管道，轴承法兰座内设有第二真空管道与第一真空管道相通，晶片输送盘内设有与第二真空管道相通的第三真空管道，晶片输送盘上设有许多与第三真空管道相通并可吸附晶片的小孔，晶片输送盘的底部设有PVC密封膜密封。以电机带动传动同步轮转动，令晶片输送盘转动，配合拾取晶片装置和固放晶片装置实现晶片的拾取和放置。由于晶片从晶圆盘中吸取放置在晶片输送盘上会移位或没法贴付，所以晶片输送盘内需设计有真空吸付气路，以此利用真空吸附晶片，使晶片 固定，从而解决晶片在放置过程中导致位移及交接等不良问题。另外，PVC密封膜与晶片输送盘的底面粘贴，防止真空泄漏。
作为对前述技术方案的更进一步设计：前述的晶片输送盘上平均铺设有以晶片输送盘圆点为对称点的36个小孔，相邻小孔之间形成的平面角度为10°。本设计的旋转型输送盘是圆形设计，厚度为2至3毫米左右，由于传统摆臂长多是180至210毫米，摆90度角；所以本设计的旋转型输送盘为旋转180度，直径为180至210毫米左右，等效原来取放之间距离。其动作流程是：拾取晶片装置从晶圆盘中拾取晶片放置在晶片输送盘表面的小孔上，旋转10度角放置一粒，当第一粒旋转至180度角时固放晶片装置吸取晶片固放在LED支架的支架夹具上，接下来拾取装置和固放装置同步动作，即是圆盘表面应缓冲有18粒晶片。
作为对前述技术方案的再进一步设计：前述的轴芯内还设有连通各小孔的第四真空道，第四真空道设有气动电磁阀开关控制一个小孔的真空通断；所述的36个小孔中有18个小孔的真空气路封闭。由于考虑到固放晶片装置从晶片输送盘表面上吸取晶片时无法吸起，需要关闭当前吸取晶片的真空道，所以真空道分两区。第一区是第1至17粒晶片真空道，其真空道为长期开启；第二区是第18粒晶片真空道，该真空道需由气动电磁阀来开关控制，其它19-36的小孔的真空道全部封闭，使其没有真空产生，以便节省真空消耗。
前述的拾取晶片装置由设于支架上的第二电机凸轮组件、第二电机凸轮组件控制动作的拾取臂、拾取臂上设有的拾取头组成；固放晶片装置由设于支架上的第三电机凸轮组件、第三电机凸轮组件控制动作的固放臂，固放臂上设有的固放头组成；静止状态时，拾取头与固放头的底端位于同一水平线上。在旋转型输送盘左右侧分别设计有拾取晶片装置及固放晶片装置，其两者安置为同一水平，即为180度角。此两装置是Z轴和X轴的运动装置，其行程极短，约为4毫米左右，因此行程越短，速度越快。
本实用新型的旋转型输送盘取代传统的摆臂式结构，将工作流程工序细分化，由原来直接大幅度摆动拾取装置分化为单拾单取动作，而且摆幅90度角改为10度角，并且无往返运动，大大缩短瓶颈时间，由原来300毫秒左右减少为100至150毫秒。即其动作行程大大缩短， 相应精度提高，从而使固晶机产能直接提高二至三倍。
附图说明
图1是现有技术中的摆臂式拾晶取装置的结构示意图。
图2是本实用新型的旋转型输送盘装置的结构示意图。
图3是本实用新型的旋转型输送盘机构的分解示意图。
图4是本实用新型的旋转型输送盘的结构剖视图。
图5是本实用新型的轴芯的示意图。
图6是本实用新型的晶片输送盘的后视图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型晶圆推顶装置进一步说明。
如图2所示，一种应用于晶固机的旋转型输送盘装置，包括一机架1、竖立于机架上的支架2、支架二侧分别安装有晶片视觉系统镜头机构3和支架式线路板视觉系统镜头机构4、安装于机架二端并分别位于晶片视觉系统镜头机构和支架式线路板视觉系统镜头机构下方的晶圆盘XY轴移动平台5和支架式线路板XY轴移动平台6；晶圆盘XY轴移动平台和支架式线路板XY轴移动平台上各设有气缸控制其纵向和横向移动，晶圆盘XY轴移动平台上设有晶圆盘7，支架式线路板XY轴移动平台上设有支架夹具8，其中所述的晶片视觉系统镜头机构下方设有对应晶圆盘的拾取晶片装置9，支架式线路板视觉系统镜头机构下方设有对应支架夹具的固放晶片装置10；于拾取晶片装置和固放晶片装置之间设有旋转型输送盘机构11。
如图3、图4、图5、图6所示，旋转型输送盘机构为：固定于支架上的固定夹头12，固定夹头夹紧有一轴芯13，轴芯传动端的外柱面依次套紧有传动轴承14和轴承法兰座15，传动轴承的外柱面与轴承法兰座的内柱面套紧，轴承法兰座的外柱面套紧有传动同步轮16，传动同步轮由设于支架上的第一电机凸轮组件17驱动，轴承法兰座的底部连接有圆环状的晶片输送盘18；轴芯内设有第一真空管道19，轴承法兰座内设有第二真空管道20与第一真空管道相通，晶片输送盘内设有与第二真空管道相通的第三真空管道21，晶片输送盘上设有36个与第三真空管道相通并可吸 附晶片的小孔22，该36个小孔以晶片输送盘圆点为对称点，相邻小孔之间形成的平面角度为10°，晶片输送盘的底部设有PVC密封膜23密封。该晶片输送盘厚度为2毫米，旋转幅度为180度，直径为180毫米。前述的轴芯内还设有连通各小孔的第四真空道24，第四真空道设有气动电磁阀开关控制一个小孔的真空通断；所述的36个小孔中有18个小孔的真空气路封闭。
拾取晶片装置由设于支架上的第二电机凸轮组件25、第二电机凸轮组件控制动作的拾取臂26、拾取臂上设有的拾取头组成；固放晶片装置由设于支架上的第三电机凸轮组件27、第三电机凸轮组件控制动作的固放臂28，固放臂上设有的固放头组成；静止状态时，拾取头与固放头的底端位于同一水平线上。
Claims (5)
1.一种应用于晶固机的旋转型输送盘装置，包括一机架(1)、竖立于机架上的支架(2)、支架二侧分别安装有晶片视觉系统镜头机构(3)和支架式线路板视觉系统镜头机构(4)、安装于机架二端并分别位于晶片视觉系统镜头机构和支架式线路板视觉系统镜头机构下方的晶圆盘XY轴移动平台(5)和支架式线路板XY轴移动平台(6)；所述的晶圆盘XY轴移动平台和支架式线路板XY轴移动平台上各设有气缸控制其纵向或横向移动，晶圆盘XY轴移动平台上设有晶圆盘(7)，支架式线路板XY轴移动平台上设有支架夹具(8)，其特征在于：所述的晶片视觉系统镜头机构下方设有对应晶圆盘的拾取晶片装置(9)，支架式线路板视觉系统镜头机构下方设有对应支架夹具的固放晶片装置(10)；于拾取晶片装置和固放晶片装置之间设有旋转型输送盘机构(11)。
2.根据权利要求1所述的输送盘装置，其特征在于：所述的旋转型输送盘机构为：固定于支架上的固定夹头(12)，固定夹头夹紧有一轴芯(13)，轴芯传动端的外柱面依次套紧有传动轴承(14)和轴承法兰座(15)，传动轴承的外柱面与轴承法兰座的内柱面套紧，轴承法兰座的外柱面套紧有传动同步轮(16)，传动同步轮由设于支架上的第一电机凸轮组件(17)驱动，轴承法兰座的底部连接有圆环状的晶片输送盘(18)；所述的轴芯内设有第一真空管道(19)，轴承法兰座内设有第二真空管道(20)与第一真空管道相通，晶片输送盘内设有与第二真空管道相通的第三真空管道(21)，晶片输送盘上设有许多与第三真空管道相通并可吸附晶片的小孔(22)，晶片输送盘的底部设有PVC密封膜密封(23)。
3.根据权利要求2所述的输送盘装置，其特征在于：所述的晶片输送盘上平均铺设有以晶片输送盘圆点为对称点的36个小孔，相邻小孔之间形成的平面角度为10°。
4.根据权利要求3所述的输送盘装置，其特征在于：所述的轴芯内还设有连通各小孔的第四真空道(24)，第四真空道设有气动电磁阀开关控制一个小孔的真空通断；所述的36个小孔中有18个小孔的真空气路封闭。
5.根据权利要求4所述的输送盘装置，其特征在于：所述的拾取晶片装置由设于支架上的第二电机凸轮组件(25)、第二电机凸轮组件控制动作的拾取臂(26)、拾取臂上设有的拾取头组成；固放晶片装置由设于支架上的第三电机凸轮组件(27)、第三电机凸轮组件控制动作的固放臂(28)，固放臂上设有的固放头组成；静止状态时，拾取头与固放头的底端位于同一水平线上。
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|---|---|---|---|---|
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| CN102446803B (zh) * | 2011-09-29 | 2014-10-15 | 北京时代民芯科技有限公司 | 一种引线键合夹具 |
| CN104538328A (zh) * | 2014-11-26 | 2015-04-22 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 一种硅片真空吸附机械手 |
| CN104538328B (zh) * | 2014-11-26 | 2018-01-02 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 一种硅片真空吸附机械手 |
| CN110197810A (zh) * | 2019-07-08 | 2019-09-03 | 深圳源明杰科技股份有限公司 | 晶圆传送装置及封装机构 |
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Legal Events
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| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20110817 Termination date: 20120713 |