CN201824260U - 抛光机的上抛光盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及硅片研磨机或抛光机的结构,尤其涉及硅片研磨机或抛光机上抛光盘的结构。一种抛光机的上抛光盘,包括有上盘工作盘(7),其主要特点在于还包括有在上盘工作盘(7)的上方设有上盘水冷盘(5),上盘工作盘(7)与上盘水冷盘(5)之间形成空腔(2),在上盘水冷盘(5)上设有进水口(3)和出水口(6),分别与空腔(2)连通。本实用新型的优点是:特殊的水冷盘结构由几个独立的扇形区域腔构成,每个扇形区域腔有各自的进出水口,水路设计为迷宫式,避免了冷却水走捷径,只有在冷却水充满腔体后才能从出水口流出,确保了冷却水能对抛盘进行充分冷却,及时带走因加工而产生的热量,对抛盘起到了强制冷却的作用,较传统的被动式冷却更可靠。
Description
技术领域:
本实用新型涉及硅片研磨机或抛光机的结构,尤其涉及硅片研磨机或抛光机上抛光盘的结构。
背景技术:
用于薄脆材料尤其是硅片抛光机的上抛光盘,由于在抛光过程中会产生大量的热,温度的变化必然会导致抛光盘发生形变,进而影响加工质量,因此必须严格控制抛光盘的温度。近年来IC加工硅片的尺寸趋向大直径化,对硅片形貌的质量要求也越来越严格,对于用来进行硅片双面抛光加工的抛光设备,必须严格控制抛光盘的形变。上抛光盘水冷结构主要用于抛光盘的温度控制。
此前双面抛光机的抛光盘采用整体式结构,没有进行专门温度控制的装置,抛光加工过程中所产生的热量主要靠抛光液带走,属于被动式冷却,抛光盘温度的变化不可控制。传统的设备也大多应用在非IC行业,对上抛光盘的温度控制要求不高。硅片加工,必需对上下抛光盘进行精密温度控制,因此必须采用新的上盘结构,以便对抛光盘进行冷却,达到温度精确控制的目的。
发明内容:
本实用新型的目的在于避免现有技术的不足,提供一种抛光机的上抛光盘。以实现抛光盘主动冷却,做到抛光盘温度的精确控制。
为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:一种抛光机的上抛光盘,包括有上盘工作盘(7),其主要特点在于还包括有在上盘工作盘(7)的上方设有上盘水冷盘(5),上盘工作盘(7)与上盘水冷盘(5)之间形成空腔(2),在上盘水冷盘(5)上设有进水口(3)和出水口(6),分别与空腔(2)连通。
所述的抛光机的上抛光盘,在所述的上盘水冷盘(5)与所述的上盘工作盘(7)形成空腔(2),所述的空腔(2)是在上盘水冷盘(5)上设有数个下凹的扇形区域,以形成数个扇形冷却空腔。每个下凹的扇形区域由凸出的分隔筋(2-1)分为两个互为连通的下凹的进水区(2-2)、出水区(2-3),在进水区(2-2)设有进水口(3),在出水区(2-3)设有出水口(6)。
所述的抛光机的上抛光盘,在所述的进水区(2-2)上还设有进水区凸出筋(2-4),在所述的出水区(2-3)设有出水区凸出筋(2-5);进水区凸出筋(2-4)、出水区凸出筋(2-5)与分隔筋(2-1)相向设置,形成迷宫式水道。
所述的抛光机的上抛光盘,所述的上盘工作盘(7)与上盘水冷盘(5)之间外圈设有外圈密封圈(1),内圈设有内圈密封圈(4)。使循环冷却液不向外泄漏。
所述的抛光机的上抛光盘,在所述的上盘水冷盘(5)上还设有温度传感器衬套孔(16)。
所述的抛光机的上抛光盘,在所述的上盘水冷盘(5)上还设有抛光液流液孔(14),其上设有密封圈(8)。在通抛光液的衬套处均设有的密封圈(8),防止冷却水泄露污染抛光液。
所述的抛光机的上抛光盘,在所述的上盘水冷盘(5)与上盘工作盘(7)由连接螺钉(13)连接,在螺钉连接处设有密封圈(12),防止冷却水泄露污染抛光液。
本实用新型的有益效果:特殊的水冷盘结构由几个独立的扇形区域腔构成,每个扇形区域腔有各自的进出水口,水路设计为迷宫式,避免了冷却水走捷径,只有在冷却水充满腔体后才能从出水口流出,确保了冷却水能对抛盘进行充分冷却,及时带走因加工而产生的热量,对抛盘起到了强制冷却的作用,较传统的被动式冷却更可靠。结合精密的测温系统及冷却水流量调节系统,实现了抛盘温度的精密控制。
附图说明:
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是图1的A-A剖视图;
图3是图2的B-B剖视图。
图中:1.外圈密封圈;2、腔体;3、进水口;4、内圈密封圈;5、上盘水冷盘;6、出水口;7、上盘工作盘;8、第一密封圈;9、抛光液衬套;10、第二密封圈;11、工作盘;12、第三密封圈;13、连接螺钉;14、流液孔;15、第二密封圈槽;16、温度传感器衬套孔;17、连接螺钉孔;19、第一密封圈槽;2-1、分隔筋;2-2、进水区;2-3、出水区;2-4、进水区凸出筋;2-5、出水区凸出筋。
具体实施方式:
以下对本实用新型的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本实用新型,并非用于限定本实用新型的范围。
实施例1:见图1、图2、图3,一种抛光机的上抛光盘,包括有上盘工作盘7,在上盘工作盘7的上方设有上盘水冷盘5,上盘工作盘7与上盘水冷盘5之间形成空腔2,在上盘水冷盘5上设有进水口3和出水口6,所述的进水口3和出水口6分别与空腔2连通。
在所述的上盘水冷盘5与所述的上盘工作盘7形成空腔2,所述的空腔2是在上盘水冷盘5上设有数个下凹的扇形区域,以形成数个扇形冷却空腔。每个下凹的扇形区域由凸出的分隔筋2-1分为两个互为连通的下凹的进水区2-2、出水区2-3,在进水区2-2设有进水口3,在出水区2-3设有出水口6。
所述的空腔2,即下凹的扇形区域为10个。
在所述的进水区2-2上还设有进水区凸出筋2-4,在所述的出水区2-3设有出水区凸出筋2-5;进水区凸出筋2-4、出水区凸出筋2-5与分隔筋2-1相向设置,形成迷宫式水道。
所述的上盘工作盘7与上盘水冷盘5之间的外圈设有第一密封圈槽,在第一密封圈槽19内设有外圈密封圈1,所述的上盘工作盘7与上盘水冷盘5之间的内圈设有设有第二密封圈槽15,在第二密封圈槽15内设有内圈密封圈4。使循环冷却液不向外泄漏。
在所述的上盘水冷盘5上还设有温度传感器衬套孔16。
在所述的上盘水冷盘5上还设有抛光液流液孔14,其上设有第一密封圈8;抛光液流液孔14内设有抛光液的衬套9,在通抛光液的衬套9处设有的第二密封圈10。防止冷却水泄露污染抛光液。
在所述的上盘水冷盘5与上盘工作盘7由连接螺钉13连接,在螺钉连接处设有第三密封圈12,防止冷却水泄露污染抛光液。
上抛光盘采用复合结构,分为工作盘和水冷盘两层,上层为水冷盘,下层为工作盘,两盘间采用螺钉连接,两盘结合面内外侧均装有密封圈,用于防止泄露。同时由于上盘有流液孔,为了防止冷却水泄露污染抛光液,在螺钉连接处和通抛光液的衬套处均装有密封圈。其中水冷盘设有十个独立的水冷通道,采用独特的循环通道,在上盘基盘上设有迷宫结构,冷却水的入口和出口分别位于迷宫的两端,确保冷却水流过的通路够长而不走捷径,冷却水必须完全充满腔体后才能从回水口流出,确保抛盘能得到充分的冷却。
上所述仅为本实用新型的较佳实施例,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种抛光机的上抛光盘,包括有上盘工作盘(7),其特征在于,还包括有在上盘工作盘(7)的上方设有上盘水冷盘(5),上盘工作盘(7)与上盘水冷盘(5)之间形成空腔(2),在上盘水冷盘(5)上设有进水口(3)和出水口(6),所述的进水口(3)和出水口(6)分别与空腔(2)连通。
2.如权利要求1所述的抛光机的上抛光盘,其特征在于,在所述的上盘水冷盘(5)与所述的上盘工作盘(7)形成空腔(2),所述的空腔(2)是在上盘水冷盘(5)上设有数个下凹的扇形区域,;每个下凹的扇形区域由凸出的分隔筋(2-1)分为两个互为连通的下凹的进水区(2-2)、出水区(2-3),在进水区(2-2)设有进水口(3),在出水区(2-3)设有出水口(6)。
3.如权利要求1所述的抛光机的上抛光盘,其特征在于,在所述的进水区(2-2)上还设有进水区凸出筋(2-4),在所述的出水区(2-3)设有出水区凸出筋(2-5);进水区凸出筋(2-4)、出水区凸出筋(2-5)与分隔筋(2-1)相向设置,形成水道。
4.如权利要求1所述的抛光机的上抛光盘,其特征在于,所述的上盘工作盘(7)与上盘水冷盘(5)之间的外圈设有第一密封圈槽(19),第一密封圈槽(19)内设有外圈密封圈(1),所述的上盘工作盘(7)与上盘水冷盘(5)之间的内圈设有第二密封圈槽(15),第二密封圈槽(15)内设有内圈密封圈(4)。
5.如权利要求1所述的抛光机的上抛光盘,其特征在于,在所述的上盘水冷盘(5)上还设有温度传感器衬套孔(16)。
6.如权利要求1所述的抛光机的上抛盘,其特征在于,在所述的上盘水冷盘(5)上还设有抛光液流液孔(14),其上设有第一密封圈(8);抛光液流液孔(14)内设有抛光液的衬套(9),在通抛光液的衬套(9)处设有的第二密封圈(10)。
7.如权利要求1所述的抛光机的上抛光盘,其特征在于,在所述的上盘水冷盘(5)与上盘工作盘(7)由连接螺钉(13)连接,在螺钉连接处设有第三密封圈(12)。
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