CN104772718A - 一种抛光机的下抛光盘 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种抛光机的下抛光盘,包括下盘工作盘,所述下盘工作盘的下方设有下盘基盘,所述下盘基盘与所述下盘工作盘之间形成冷却腔,在下盘基盘上设有进水口和出水口,分别与所述冷却腔连通,所述下盘基盘与所述下盘工作盘之间外圈设有外圈密封圈,内圈设有内圈密封圈,所述下盘基盘的外缘设有排水孔。本发明的特殊的水冷盘结构避免了冷却水走捷径,只有在冷却水充满腔体后才能从出水口流出,确保了冷却水能对抛盘进行充分冷却,及时带走因加工而产生的热量,对抛盘起到了强制冷却的作用,较传统的被动式冷却更可靠。结合精密的测温系统及冷却水流量调节系统,实现了抛盘温度的精密控制。
Description
技术领域
本发明涉及研磨机或抛光机的结构,具体涉及一种抛光机的下抛光盘。
背景技术
用于蓝宝石衬底材料抛光机的下抛光盘,由于在抛光过程中会产生大量的热,温度的变化必然会导致抛光盘发生形变,进而影响加工质量,因此必须严格控制抛光盘的温度。近年来蓝宝石衬底晶片的尺寸趋向大直径化,对蓝宝石晶片的质量要求也越来越严,对于用来进行蓝宝石晶片抛光加工的抛光设备,必须严格控制抛盘的形变。
此前生产的双面抛光机的抛盘采用整体式结构,没有进行专门温度控制的装置,抛光加工过程中所产生的热量主要靠抛光液带走,属于被动式冷却,抛盘温度的变化不可控。而蓝宝石衬底材料的应用行业对蓝宝石片的品质要求比较高,对上下抛光盘进行精密温度控制是必需的,因此必须采用新的下盘结构,以便对抛盘进行冷却,达到温度精确控制的目的。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术存在的以上问题,提供一种抛光机的下抛光盘。
为实现上述目的,达到上述技术效果,本发明通过以下技术方案实现:
一种抛光机的下抛光盘,包括下盘工作盘,所述下盘工作盘的下方设有下盘基盘,所述下盘基盘与所述下盘工作盘之间形成冷却腔,在下盘基盘上设有进水口和出水口,分别与所述冷却腔连通,所述下盘基盘与所述下盘工作盘之间外圈设有外圈密封圈,内圈设有内圈密封圈,所述下盘基盘的外缘设有排水孔。
进一步的,所述冷却腔为下凹的扇形冷却腔,且有12个,每个下凹的扇形冷却腔设有出水管,所述出水管与所述出水口连通。
进一步的,所述外圈密封圈和所述内圈密封圈外部都设有密封圈槽。
优选的,所述下盘工作盘上设有为出水管进水的让位孔。
进一步的,所述下盘基盘与下盘工作盘由设在分隔筋上的连接螺钉连接。
本发明的有益效果是:
本发明的特殊的水冷盘结构避免了冷却水走捷径,只有在冷却水充满腔体后才能从出水口流出,确保了冷却水能对抛盘进行充分冷却,及时带走因加工而产生的热量,对抛盘起到了强制冷却的作用,较传统的被动式冷却更可靠。结合精密的测温系统及冷却水流量调节系统,实现了抛盘温度的精密控制。
上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本发明的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解,构成本申请的一部分,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
图1是本发明抛光机的下抛光盘的结构示意图;
图2是本发明抛光机的下抛光盘的剖视图。
图中标号说明:
1、下盘工作盘,2、外圈密封圈,3、内圈密封圈,4、进水口,5、出水管,6、连接螺钉,7、排水孔,8、下盘基盘,9、冷却腔,10、让位孔,11、出水口,12、密封圈槽。
具体实施方式
下面将参考附图并结合实施例,来详述本发明的结构特点及技术实施过程:
如图1和图2所示,一种抛光机的下抛光盘,包括下盘工作盘1,所述下盘工作盘1的下方设有下盘基盘8,所述下盘基盘8与所述下盘工作盘1之间形成冷却腔9,在下盘基盘8上设有进水口4和出水口11,分别与所述冷却腔9连通,所述下盘基盘8与所述下盘工作盘1之间外圈设有外圈密封圈2,内圈设有内圈密封圈3,所述下盘基盘8的外缘设有排水孔7。
优选的,排水孔7用于长时间停机或维护时排去冷却水。
进一步的,所述冷却腔9为下凹的扇形冷却腔,且有12个,每个下凹的扇形冷却腔设有出水管5,所述出水管5与所述出水口11连通,所述出水管5为了进水水位的提升,保证水充满整个下凹的扇形冷却腔9。
进一步的,所述外圈密封圈2和所述内圈密封圈3外部都设有密封圈槽12。
优选的,所述下盘工作盘1上设有为出水管5进水的让位孔10。
进一步的,所述下盘基盘8与下盘工作盘1由设在分隔筋上的连接螺钉6连接。
本发明的原理:
本发明下抛光盘均采用复合双层结构,为中空结构,上层为工作盘,下层为水冷盘,中间可通冷却水。下盘设有十二个独立的扇形区域腔,内布水冷通道,采用独特的循环通道,在出水口处装有水管保证回水口的高度高于复合盘体的结合面,冷却水必须完全充满腔体后才能从回水口流出,确保抛盘能得到充分的冷却,盘体内外侧结合面装以及螺钉连接处装有密封圈,用于防止泄露。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种抛光机的下抛光盘,其特征在于,包括下盘工作盘(1),所述下盘工作盘(1)的下方设有下盘基盘(8),所述下盘基盘(8)与所述下盘工作盘(1)之间形成冷却腔(9),在下盘基盘(8)上设有进水口(4)和出水口(11),分别与所述冷却腔(9)连通,所述下盘基盘(8)与所述下盘工作盘(1)之间外圈设有外圈密封圈(2),内圈设有内圈密封圈(3),所述下盘基盘(8)的外缘设有排水孔(7)。
2.根据权利要求1所述的抛光机的下抛光盘,其特征在于,所述冷却腔(9)为下凹的扇形冷却腔,且有12个,每个下凹的扇形冷却腔设有出水管(5),所述出水管(5)与所述出水口(11)连通。
3.根据权利要求1所述的抛光机的下抛光盘,其特征在于,所述外圈密封圈(2)和所述内圈密封圈(3)外部都设有密封圈槽(12)。
4.根据权利要求1所述的抛光机的下抛光盘,其特征在于,所述下盘工作盘(1)上设有为出水管(5)进水的让位孔(10)。
5.根据权利要求1所述的抛光机的下抛光盘,其特征在于,所述下盘基盘(8)与下盘工作盘(1)由设在分隔筋上的连接螺钉(6)连接。
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