CN201808159U - 线切割中断线补救装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及线切割中断线补救装置,在固定的模块地板上,重新增加三对螺丝孔,原先的两对固定螺丝孔照用。这样就增加了活动导轮支架的移动量。当主线辊外侧断线,且超出原移动支架的移动范围时,可通过改变模块的位置来移动导轮支架,重新接线进行切割,这样移动支架的移动范围将变大,便于导轮槽口和主线辊出线在一直线上。同时如果支架过分向内侧移动,将可能会与右侧进线接触,可采用在模块内外侧之间垫一金属垫块,使移动支架方向略偏,与进线错开。

Description

线切割中断线补救装置
所属技术领域:
本实用新型涉及一种用于单晶硅线切割技术领域,主要涉及线切割中断线补救装置
背景技术:
在线切割过称中,断线是不可避免的,在一般情况下,主线辊外侧断线,活动导轮可移动范围在(0~120mm),并且在0~120mm之间存在一个70~80mm死角不可移动,这对挽救晶棒,减少断线带来的损失且减少对机器的影响都不利。
发明内容:
在线切割过称中,断线是不可避免的,通常主线辊外侧断线,可移动导轮支架,重新接线进行切割,可移动位置约为0~120mm。当断线在主线辊中间位置,而切割进给量已达60mm以上,导轮移动支架无法移动到断线部位,则断线后的补救将变的困难。本实用新型对导轮移动支架进行改进,在固定的模块上,重新增加三对螺丝孔,原先的两对固定螺丝孔照用。这样就增加了活动导轮支架的移动量。当主线辊外侧断线,且超出原移动支架的移动范围时,可通过改变模块的位置来移动导轮支架,变大移动支架的移动范围,使得导轮槽口和主线辊出线在一直线上,以便于重新接线进行切割。同时如果支架过分向内侧移动,将可能会与右侧进线接触,可采用在模块内外侧之间垫一金属垫块,使移动支架方向略偏,与进线错开。
通过变动移动导轮支架的位置,增加移动支架的移动范围,使断线后导轮移动支架可移动到断线部位,重新接线进行切割,挽救晶棒,减少断线带来的损失,且对机器不产生影响。
本实用新型对导轮移动支架进行改进,在固定的模块地板上,重新增加三对螺丝孔,原先的两对固定螺丝孔照用。这样就增加了活动导轮支架的移动量。当主线辊外侧断线,且超出原移动支架的移动范围时,可通过改变模块的位置来移动导轮支架,重新接线进行切割,这样移动支架的移动范围将变大,便于导轮槽口和主线辊出线在一直线上。同时如果支架过分向内侧移动,将可能会与右侧进线接触,可采用在模块内外侧之间垫一金属垫块,使移动支架方向略偏,与进线错开。
通过变动移动导轮支架的位置,增加移动支架的移动范围,使断线后导轮移动支架可移动到断线部位,重新接线进行切割,挽救晶棒,减少断线带来的损失,且对机器不产生影响。
附图说明:
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
附图1、线轴布线图;
附图2、模块及移动支架示意图;
附图3、金属垫块示意图。
附图中1是模块内侧固定板,2是模块外侧活动板,3是移动支架,4是线轴LH#5,5是线轴LH#6,6是线轴RH#4,7是线轴RH#5,8是金属线,9是主线辊,10是金属垫块,11是原螺丝孔,12是新螺丝孔。
具体实施方式:
本实用新型包括模块内侧固定板(1),模块外侧活动板(2),移动支架(3),线轴LH#5(4),线轴LH#6(5),线轴RH#4(6),线轴RH#5(7),线轴RH#4与线轴RH#5之间金属线(8),主线辊(9),金属垫块(10),原螺丝孔(11),新螺丝孔(12)
本实用新型对导轮移动支架(3)进行改进,在固定的模块地板(1)上,重新增加三对螺丝孔(12),原先的两对固定螺丝孔(11)照用。这样就增加了活动导轮支架(3)的移动量。当主线辊(9)外侧断线,且超出原移动支架的移动范围时,可通过新螺丝孔(12)来改变模块的位置,从而移动导轮支架(3),使得导轮槽口和主线辊(9)出线在一直线上,便于重新接线进行切割。同时如果移动支架(3)过分向内侧移动,将可能会与右侧进线(8)接触,可采用在模块内外侧之间垫一金属垫块(10),使移动支架(3)方向略偏,与进线(8)错开。

Claims (3)

1.一种单晶硅线切割中断线补救装置,由模块内侧固定板、模块外侧活动板、移动支架、线轴LH#5、线轴LH#6等组成,其特征在于在固定的模块地板上,重新增加三对螺丝孔,三对螺丝孔内设置有模块,
2.根据权利要求1所述的单晶硅线切割中断线补救装置,其特征在于可通过改变模块的位置来移动导轮支架。
3.根据权利要求1所述的单晶硅线切割中断线补救装置,其特征在于如果支架过分向内侧移动,在模块内外侧之间垫一金属垫块。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102756433A (zh) * 2011-04-29 2012-10-31 苏州协鑫光伏科技有限公司 硅片线切割断线抢救方法
CN104400921A (zh) * 2014-10-31 2015-03-11 浙江矽盛电子有限公司 一种晶棒线切割断线救棒处理方法和穿线装置

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