CN201796900U - 用于太阳能电池表面rie制绒的硅片 - Google Patents
用于太阳能电池表面rie制绒的硅片 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及太阳能电池表面制绒技术领域，特别是一种用于太阳能电池表面RIE制绒的硅片，包括硅基材，在硅基材的表面具有一层光刻胶，在光刻胶上具有通过光刻的方法形成的密布的制绒窗口。通过对该硅片进行反应离子刻蚀可以获得更加规则的绒面结构，制作出低反射率的太阳能电池，提高发电效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池表面制绒技术领域，特别是一种用于太阳能电池表面RIE制绒的硅片。
背景技术
太阳能电池制造工艺流程中，表面绒面的处理是非常重要的一步，它直接决定了太阳能电池对太阳光的吸收，好的绒面不仅能够让电池吸收更多的太阳光，也可以降低太阳能组件封装时的衰减，因此好的制绒技术会对电池效率的提升起到重大作用。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种用于太阳能电池表面RIE制绒的硅片，通过对硅片进行反应离子刻蚀可以获得更加规则的绒面结构。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于太阳能电池表面RIE制绒的硅片，包括硅基材，在硅基材的表面具有一层光刻胶，在光刻胶上具有通过光刻的方法形成的密布的制绒窗口。
制绒窗口为圆形，直径1um。
本实用新型光刻掩膜技术有别与其他光刻掩膜技术的关键是，直接使用光刻胶作为掩膜层而不需要另外制备掩膜层，简化了工艺步骤，降低了生产成本。
本实用新型的有益效果是：通过对硅片进行反应离子刻蚀可以获得更加规则的绒面结构，制作出低反射率的太阳能电池，提高发电效率。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明；
图1是光刻胶的光刻版图；
图2是光刻胶覆盖在硅基材上的结构示意图；
图3是光刻胶光刻后成为RIE制绒掩膜的结构示意图；
其中：1.硅基材 2.光刻胶，3.制绒窗口。
具体实施方式
如图3所示，一种用于太阳能电池表面RIE制绒的硅片，包括硅基材1，在硅基材1的表面具有一层光刻胶2，在光刻胶2上具有通过光刻的方法形成的密布的制绒窗口3。制绒窗口3为圆形，直径1um。光刻胶2作为RIE制绒的掩膜层。
如图1、2和3所示，在硅基材1上先涂一层光刻胶2，再采用光刻技术把光刻版图刻在光刻胶2上，最后进行RIE制绒，对硅片进行刻蚀。
RIE制绒即反应离子刻蚀制绒，工艺过程如下：硅片去损伤层，光刻掩膜，RIE制绒。完成制绒的硅片进行扩散，边缘刻蚀，去PSG，PECVD，丝网印刷，烧结，测试等步骤最终成为成品。
去损伤层工艺为传统工艺，可以采用酸去损伤层或碱去损伤层。
光刻掩膜为半导体光刻技术在硅片表面形成有规则的图形，为各向同性RIE制绒准备掩膜层。
RIE制绒是形成绒面的重要步骤，采用SF6和O2或CL2进行各向同性的刻蚀，在掩膜层的基础上可以刻蚀出具有规则形状的绒面结构。
后续，扩散，边缘刻蚀，PECVD，丝网印刷，烧结，测试等工艺为太阳能电池生产正常工艺。
所述的硅片为P型或N型等任何可以作为太阳能电池生产的硅片，电阻率为0.2-30Ωcm。
通过光刻掩膜和RIE腐蚀工艺，可以制作出低反射率的表面限光结构；由于先期损伤层的去除可以在进行RIE制绒时，尽可能少的腐蚀硅片，随着现在切片技术的发展，硅片切片越来越薄，这种低腐蚀深度，高质量的绒面可以降低碎片，提高产品成品率；由于RIE制绒的绒面结构小，采用此工艺制作的电池片在组件封装时与EVA的结合更加紧密；通过以上三点的作用，光刻RIE制绒不仅有利于电池效率的提升，尤其是多晶电池的发展，还有利于降低组件的封装损失。
Claims (2)
1.一种用于太阳能电池表面RIE制绒的硅片，包括硅基材(1)，其特征是：在所述的硅基材(1)的表面具有一层光刻胶(2)，在光刻胶(2)上具有通过光刻的方法形成的密布的制绒窗口(3)。
2.根据权利要求1所述的用于太阳能电池表面RIE制绒的硅片，其特征是：所述的制绒窗口(3)为圆形，直径1um。
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| CN (1) | CN201796900U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105702760A (zh) * | 2016-04-11 | 2016-06-22 | 徐州同鑫光电科技股份有限公司 | 一种太阳能电池绒面的制备方法 |
| CN109545890A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-03-29 | 江西合创光电技术有限公司 | 晶体硅表面倒金字塔的制备方法 |
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2010
- 2010-09-29 CN CN2010205484037U patent/CN201796900U/zh not_active Expired - Fee Related
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