CN201788109U - 氯硅烷气体取样装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种氯硅烷气体取样装置，包括封闭的取样桶、固定在桶内的进样管和出样管、固定在桶外的针型阀、以及连接在桶顶的压力表，所述桶内的进样管、出样管分别与桶外的针型阀连通，针型阀的出口与气象色谱仪的进样口适配，连接体进口与标气瓶的出口适配；本实用新型采用两组共4只针型阀，这样多一组载气的进、出口，在样品浓度高时可以按一定比例用载气稀释，方便、准确分析样品浓度，平常不需稀释时，可封闭一组针型阀做备用，针型阀分析进样时可保持气流稳定，针型阀与取样桶采用螺纹连接，方便调节流速和清洗，压力表和取样桶采取螺纹连接，方便更换，还可根据不同工艺压力要求，更换不同的压力表。

Description

氯硅烷气体取样装置
技术领域
本实用新型涉及一种氯硅烷气体取样装置。
背景技术
当今世界信息技术飞速发展，太阳能技术的发展也是如雨后春笋，所以硅片的使用更加广泛，多晶硅市场有更大的发展空间，对多晶硅的质量要求也有所提高，生产过程中合成氯硅烷的检验也显得尤为重要。
目前国内外氯硅烷含量检验分析一般是采用液体进样，使用气相色谱仪就能够准确分析其含量。但是在国内大多数企业中由于生产工艺的限制，要取液样分析合成氯硅烷的含量有一定困难，检测得出的数据不够准确，不能准确得出具体含量值，对于计算转化率有一定困难，进而不能合理指导生产。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对上述情况，设计一种合成氯硅烷气体样品的取样装置，该装置不通过合成氯硅烷的液化，可直接取气态样品，然后通过气相色谱进行分析，从而得出合成氯硅烷的百分比，计算出转化率来指导生产。
根据所取样品的性质，需要解决的技术问题有：
a.氯硅烷与空气接触，容易水解产生Si02堵塞进样口和进样管道，所以应减少氯硅烷的水解、方便对进样口进行清洗；
b. 设计合理的取样装置结构以便更好、更快地置换气体完成取样；
c.使取样装置耐压、耐高温、防腐蚀；
本实用新型的目的通过下述技术方案来实现： 
一种氯硅烷气体取样装置，包括封闭的取样桶、固定在桶内的进样管和出样管、固定在桶外的针型阀、以及连接在桶顶的压力表，所述桶内的进样管、出样管分别与桶外的针型阀连通，所述针型阀的出口5与气象色谱仪的进样口适配，所述连接体进口1与标气瓶的出口适配。
作为优选方式，所述桶内的进样管和出样管各为两只，固定在桶外的针型阀为4只。
作为优选方式，所述取样桶为圆桶，底部为球形。
作为优选方式，所述取样桶为不锈钢桶。
作为优选方式，所述针型阀与桶顶螺纹连接。
作为优选方式，所述压力表与桶顶螺纹连接。
本实用新型的工作流程：连接体进口连接与其适配的标气瓶的出口，取样前从标气瓶中向取样桶中通入惰性气体，置换出桶内的空气，防止氯硅烷与空气中的水份接触发生水解而堵塞取样口、进样管和出样管，为取样做准备。需要取样分析时，针型阀的出口连接与其适配的气象色谱仪的进样口，针型阀使氯硅烷气体通过进样管进入取样桶，达到一定压力的氯硅烷气体通过出样管、经针型阀通入气象色谱仪进行分析，完成取样过程。
本实用新型采用两组共4只针型阀，每组中1只为进口针型阀，另一只为出口针型阀，这样多一组载气的进、出口，在样品浓度高时可以按一定比例用载气稀释，方便、准确分析样品浓度，平常不需要稀释时，可封闭一组针型阀做备用，如果样品进、出口堵塞，也可以做进、出口用。阀门采用针型阀，分析进样时可保持气流稳定；针型阀与取样桶采用螺纹连接，方便调节流速和清洗，顶部中心的压力表和取样桶采取螺纹连接，如果压力表坏了，可以方便更换，还可根据不同工艺压力要求，更换不同的压力表。 
附图说明
图1是本实用新型的俯视图。
图2为图1中的A-A向视图。
图中，1为进样针型阀，2为取样桶，3为进样管，4为出样管，5为压力表，6为出样针型阀，7为针型阀出口，8为连接体进口。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本实用新型作进一步的说明。
如图1、图2所示，一种氯硅烷气体取样装置，包括封闭的取样桶2、固定在桶内的2只进样管3和2只出样管4、固定在桶外的2只进样针型阀1和2只出样针型阀6、以及连接在桶顶的压力表5，所述取样桶为不锈钢圆桶，底部为球形，桶内的进样管3与桶外的进样针型阀1连通，桶内的出样管4与桶外的出样针型阀6连通，针型阀的出口7与气象色谱仪的进样口适配，连接体进口8与标气瓶的出口适配，进样针型阀1、出样针型阀6与桶顶螺纹连接，压力表5与桶顶螺纹连接。
本实用新型的工作流程：连接体进口连接与其适配的标气瓶的出口，取样前从标气瓶中向取样桶中通入惰性气体，置换出桶内的空气，防止氯硅烷与空气中的水份接触发生水解而堵塞取样口、进样管和出样管，为取样做准备。需要取样分析时，针型阀的出口连接与其适配的气象色谱仪的进样口，针型阀使氯硅烷气体通过进样管进入取样桶，达到一定压力的氯硅烷气体通过出样管、经针型阀通入气象色谱仪进行分析，完成取样过程。
本实用新型采用两组共4只针型阀，每组中1只为进口针型阀，另一只为出口针型阀，这样多一组载气的进、出口，在样品浓度高时可以按一定比例用载气稀释，方便、准确分析样品浓度，平常不需要稀释时，可封闭一组针型阀做备用，如果样品进、出口堵塞，也可以做进、出口用。阀门采用针型阀，分析进样时可保持气流稳定；针型阀与取样桶采用螺纹连接，方便调节流速和清洗，顶部中心的压力表和取样桶采取螺纹连接，如果压力表坏了，可以方便更换，还可根据不同工艺压力要求，更换不同的压力表。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。 

Claims (6)

1.一种氯硅烷气体取样装置，其特征在于：包括封闭的取样桶（2）、固定在桶内的进样管（3）和出样管（4）、固定在桶外的针型阀（1、6）、以及连接在桶顶的压力表（5），所述桶内的进样管、出样管分别与桶外的针型阀（1、6）连通，所述针型阀的出口（7）与气象色谱仪的进样口适配，所述连接体进口（8）与标气瓶的出口适配。
2.如权利要求1所述的氯硅烷气体取样装置，其特征在于：所述的桶内的进样管和出样管各为两只，固定在桶外的针型阀为4只。
3.如权利要求1或2所述的氯硅烷气体取样装置，其特征在于：所述取样桶为圆桶，底部为球形。
4.如权利要求3所述的氯硅烷气体取样装置，其特征在于：所述取样桶为不锈钢桶。
5.如权利要求1或4所述的氯硅烷气体取样装置，其特征在于：所述针型阀（1、6）与桶顶螺纹连接。
6.如权利要求5所述的氯硅烷气体取样装置，其特征在于：所述压力表（5）与桶顶螺纹连接。 
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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