CN201746333U - 西门子法制备多晶硅还原尾气回收系统 - Google Patents
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GR01 | Patent grant | ||
EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Assignee: Lianyungang Zhongcai Technology Co., Ltd. Assignor: Zhongcai Tech Co., Ltd., Wuxi Contract record no.: 2011320000515 Denomination of utility model: System for recovering reduced tail gas in polysilicon preparation by Siemens process Granted publication date: 20110216 License type: Exclusive License Record date: 20110406 |
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CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20110216 Termination date: 20150624 |
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