CN201628841U - 匀胶机电机旋转台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种匀胶机电机旋转台，解决了现有匀胶机电机旋转台维护困难，使用寿命缩短的问题。包括方形台板(1)、旋涂台下板(3)、盛胶盘嵌套(4)、盛胶盘(5)和旋转电机输出轴(7)，方形台板(1)与旋涂台下板(3)之间设置有盛胶盘嵌套(4)，在盛胶盘嵌套(4)中镶嵌设置有盛胶盘(5)，在盛胶盘(5)下方的盛胶盘嵌套(4)和旋涂台下板(3)上设置有排风孔(6)，旋转电机输出轴(7)从旋涂台下板(3)的中央通孔和盛胶盘嵌套(4)的中央通孔通过伸到盛胶盘(5)中，在旋转电机输出轴(7)的端部套接有凸台保护套(8)。提高了均胶机的电机的使用寿命，保证了电机旋转过程中动平衡性能。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种旋转台，特别涉及一种用于对晶圆片的自动旋涂的均胶机中的电机驱动旋转台。
背景技术
匀胶机是通过晶圆片的旋转使其上感光胶在晶圆片上均匀分布。在匀胶机电机旋转台高速旋转过程中，部分感光胶扩散成飞絮状物质，这些飞絮状物质通过旋转台上的排风口很容易黏附在旋转电机轴上并进入电机内部，对电机内部及旋转轴造成破坏，使匀胶机维护困难，使用寿命缩短。
发明内容
本实用新型提供了一种匀胶机电机旋转台解决了现有匀胶机电机旋转台维护困难，使用寿命缩短的问题。
本实用新型是通过以下方案解决以上问题的：
匀胶机电机旋转台，包括中央设置有圆形孔的方形台板、中央设置有通孔的旋涂台下板、中央底部设置有通孔的盛胶盘嵌套、中间底部设置有通孔的盛胶盘和旋转电机输出轴，在所述的方形台板与旋涂台下板之间设置有盛胶盘嵌套，在盛胶盘嵌套中镶嵌设置有盛胶盘，方形台板与旋涂台下板是通过四个固定螺栓连接在一起，在盛胶盘下方的盛胶盘嵌套和旋涂台下板上设置有排风孔，旋转电机输出轴从旋涂台下板的中央通孔和盛胶盘嵌套的中央通孔通过伸到盛胶盘中，在旋转电机输出轴的端部设置有真空螺钉，在真空螺钉上吸附有晶圆片，在伸入旋涂台下板的中央通孔内的旋转电机输出轴的端部套接有凸台保护套。方形台板是通过螺栓固定在匀胶机的架体上的。
本实用新型保证了电机旋转轴表面的清洁，提高了电机的使用寿命，保证了电机旋转过程中动平衡性能。
附图说明：
图1是本实用新型的结构示意图
具体实施方式
匀胶机电机旋转台，包括中央设置有圆形孔的方形台板1、中央设置有通孔的旋涂台下板3)中央底部设置有通孔的盛胶盘嵌套4、中间底部设置有通孔的盛胶盘5和旋转电机输出轴7，在所述的方形台板1与旋涂台下板3之间设置有盛胶盘嵌套4，在盛胶盘嵌套4中镶嵌设置有盛胶盘5，方形台板1与旋涂台下板3是通过四个固定螺栓2连接在一起，在盛胶盘5下方的盛胶盘嵌套4和旋涂台下板3上设置有排风孔6，旋转电机输出轴7从旋涂台下板3的中央通孔和盛胶盘嵌套4的中央通孔通过伸到盛胶盘5中，在旋转电机输出轴7的端部设置有真空螺钉9，在真空螺钉9上吸附有晶圆片10，在伸入旋涂台下板3的中央通孔内的旋转电机输出轴7的端部套接有凸台保护套8。
方形台板1是通过螺栓固定在匀胶机的架体上的。
在电机工作时高速旋转，在相对独立空间内产生斡旋气流，在此过程中，部分感光胶扩散成飞絮状物质，其中一部分飞絮状物质在排风机构作用下进入排风系统，但仍有一部分随斡旋气流吸附在电机旋转轴上，甚至进入电机内部，对电机内部及电机旋转轴造成腐蚀和破坏；同时也会降低电机高速旋转时的旋转部件动平衡性能，旋转电机轴端设置的凸台保护套8使飞絮状物质不能够黏附在电机轴上，保证了电机旋转轴表面的清洁，提高了电机的使用寿命，保证了电机旋转过程中动平衡性能。提高了产品的涂敷质量和良品率。
Claims (2)
1.一种匀胶机电机旋转台，包括中央设置有圆形孔的方形台板(1)、中央设置有通孔的旋涂台下板(3)、中央底部设置有通孔的盛胶盘嵌套(4)、中间底部设置有通孔的盛胶盘(5)和旋转电机输出轴(7)，其特征在于，在所述的方形台板(1)与旋涂台下板(3)之间设置有盛胶盘嵌套(4)，在盛胶盘嵌套(4)中镶嵌设置有盛胶盘(5)，方形台板(1)与旋涂台下板(3)是通过四个固定螺栓(2)连接在一起，在盛胶盘(5)下方的盛胶盘嵌套(4)和旋涂台下板(3)上设置有排风孔(6)，旋转电机输出轴(7)从旋涂台下板(3)的中央通孔和盛胶盘嵌套(4)的中央通孔通过伸到盛胶盘(5)中，在旋转电机输出轴(7)的端部设置有真空螺钉(9)，在真空螺钉(9)上吸附有晶圆片(10)，在伸入旋涂台下板(3)的中央通孔内的旋转电机输出轴(7)的端部套接有凸台保护套(8)。
2.根据权利要求1所述的匀胶机电机旋转台，其特征在于，方形台板(1)是通过螺栓固定在匀胶机的架体上的。
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103187344A (zh) * | 2012-01-03 | 2013-07-03 | 半太阳能股份有限公司 | 基质盘 |
| CN103691632A (zh) * | 2013-12-16 | 2014-04-02 | 南通大学 | 匀胶机托盘结构 |
| CN110560282A (zh) * | 2019-08-22 | 2019-12-13 | 中国科学院微电子研究所 | 一种旋涂装置 |
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2010
- 2010-03-23 CN CN 201020137961 patent/CN201628841U/zh not_active Expired - Fee Related
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Granted publication date: 20101110 Termination date: 20110323 |