CN201545912U - 机械手搬运的湿法刻蚀槽式机台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种机械手搬运的湿法刻蚀槽式机台，包括处理槽、机械手，所述处理槽内设置硅片翻转装置。所述硅片翻转装置包括夹子、马达传动系统，夹子设置于处理槽内，马达传动系统设置于处理槽外，马达传动系统控制夹子的运动。本实用新型在处理槽内通过硅片翻转装置将硅片上下翻转180度，能够从根本上消除硅片在搬运过程由于硅片高度而造成的面内刻蚀差，明显改善因搬运造成的硅片的刻蚀均一性。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种湿法刻蚀机台，具体涉及一种机械手搬运的湿法刻蚀槽式机台。
背景技术
目前的湿法工艺，在槽式结构的湿法刻蚀机台中进行刻蚀反应的制品，其刻蚀均一性较差，具体表现为硅片最下面的点要比最上面的点的刻蚀速率要高，随着药液刻蚀速率的提高和刻蚀时间的缩短，这种差别愈加明显。
产生这种现象的原因是由于现有的槽式刻蚀机台采用机械手搬运硅片进出药液槽，制品送入过程中，硅片的最低点首先进入药液槽，而最高点最晚进入药液槽；制品取出过程中则相反，硅片的最高点最早离开药液槽，而最低点最晚离开药液槽。整个搬运时间大概在2秒左右，当刻蚀时间在十几秒时对刻蚀速率影响较大。这是由于硅片在搬运过程由于硅片高度而造成的硅片进出处理槽时时间有先后顺序，使硅片的最高点和最低点的刻蚀时间不同，硅片的最低点要比最高点多刻蚀2秒左右(即硅片的搬运时间)。
为了减小搬运过程造成的硅片最高点与最低点的刻蚀差，目前采用的方法是加快机械手的搬运速度，使搬运时间缩短。但搬运速度加快，会造成硅片颠动，有一定危险性。
另外，假设硅片高度为A，机械手搬运速度为B，药液刻蚀速率为C，则硅片的刻蚀差D为D＝A×C×2/B，因此即使加快搬运速度B，也无法完全彻底消除或避免硅片的最高点与最低点的刻蚀差D。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种机械手搬运的湿法刻蚀槽式机台，它可以在不加快机械手搬运速度的情况下，有效改善硅片的刻蚀均一性。
为解决上述技术问题，本实用新型机械手搬运的湿法刻蚀槽式机台的技术解决方案为：
包括处理槽、机械手，所述处理槽内设置硅片翻转装置。
所述硅片翻转装置包括夹子、马达传动系统，夹子设置于处理槽内，马达传动系统设置于处理槽外，马达传动系统控制夹子的运动。
所述处理槽底部设置有位置确认传感器，位置确认传感器将信号传递至马达传动系统。
本实用新型可以达到的技术效果是：
本实用新型在处理槽内通过硅片翻转装置将硅片上下翻转180度，能够从根本上消除硅片在搬运过程由于硅片高度而造成的面内刻蚀差，明显改善因搬运造成的硅片的刻蚀均一性。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明：
图1是本实用新型机械手搬运的湿法刻蚀槽式机台的示意图；
图2是本实用新型翻转硅片前的示意图；
图3是本实用新型翻转硅片后的示意图。
图中附图标记说明：
1为夹子，2为马达，10为处理槽。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型机械手搬运的湿法刻蚀槽式机台，包括处理槽10、机械手，处理槽10内设置硅片翻转装置。
硅片翻转装置包括四个夹子1、一套马达传动系统2、位置确认传感器，四个夹子1设置于处理槽10内，马达传动系统2设置于处理槽10外，马达传动系统2控制四个夹子1的运动，实现夹子1对硅片的夹持与松开，并通过夹子1的运动实现硅片的翻转；位置确认传感器设置于处理槽10底部，用于感知硅片的位置并将信号反馈至马达传动系统2。
硅片被机械手送入处理槽进行刻蚀处理，与此同时，当硅片到达槽底后，底部的两个夹子将硅片在垂直方向固定住，两侧的夹子将硅片在水平方向固定住，如图2所示；同时位置确认传感器感知到硅片，向马达传动系统发送信号，马达传动系统控制硅片沿图中的箭头方向顺时针旋转180度，使硅片的最高点A和最低点B上下互换，如图3所示；工艺处理结束后，松开夹子，通过机械手将硅片从处理槽取出。
根据药液性质、工艺处理时间的不同，可调整夹子1的翻转速度和材质。
本实用新型在处理槽内通过硅片翻转装置将硅片上下翻转180度，使硅片原先的最低点变为最高点而最早离开处理槽，原先最高点则变为最低点而最晚离开处理槽，即由原先的先进后出，后进先出的顺序改为先进先出，后进后出的顺序，从根本上消除了硅片在搬运过程由于硅片高度而造成的面内刻蚀差，面内刻蚀差为0，明显改善了因搬运造成的硅片的刻蚀均一性。
本实用新型用于任一由机械手搬运的槽式结构湿法机台。
Claims (3)
1.一种机械手搬运的湿法刻蚀槽式机台，包括处理槽、机械手，其特征在于：所述处理槽内设置硅片翻转装置。
2.根据权利要求1所述的机械手搬运的湿法刻蚀槽式机台，其特征在于：所述硅片翻转装置包括夹子、马达传动系统，夹子设置于处理槽内，马达传动系统设置于处理槽外，马达传动系统控制夹子的运动。
3.根据权利要求2所述的机械手搬运的湿法刻蚀槽式机台，其特征在于：所述处理槽底部设置有位置确认传感器，位置确认传感器将信号传递至马达传动系统。
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN109473373A (zh) * | 2017-09-08 | 2019-03-15 | 天津环鑫科技发展有限公司 | 一种用于挖沟槽的硅片旋转装置 |
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2009
- 2009-11-24 CN CN2009200747137U patent/CN201545912U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
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| CN109473373A (zh) * | 2017-09-08 | 2019-03-15 | 天津环鑫科技发展有限公司 | 一种用于挖沟槽的硅片旋转装置 |
| CN109473373B (zh) * | 2017-09-08 | 2024-05-03 | Tcl环鑫半导体(天津)有限公司 | 一种用于挖沟槽的硅片旋转装置 |
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| GR01 | Patent grant | ||
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| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| COR | Change of bibliographic data |
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