CN201520642U - 氯硅烷回收利用装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种能避免环境污染的氯硅烷回收利用装置。该装置包括两台设置在总进口和总出口之间的回收罐，回收罐设置有废液进口和废液出口，所述回收罐的废液进口与总进口之间设置有进口阀，回收罐的废液出口与总出口之间设置有出口阀和泵，所述回收罐的压缩流体进口与压缩氮气进气管连接，所述回收罐的放空口与压缩氮气放空管连接。本实用新型利用两套回收罐、泵进行排放作业，避免了对环境或人员的损害，可控制排液速度，并可实现加压排液，从而提高了整个回收利用装置的可控性、可靠性和安全性，改善了作业环境，节约了能耗，主要用于多晶硅生产还原工序中。

Description

氯硅烷回收利用装置

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅生产还原工序的氯硅烷回收利用装置。

背景技术

目前的多晶硅生产中，还原炉、氢化炉蒸发器在调试前，需要用氯硅烷溶液浸泡清洗。在正常生产过程中，停炉操作时蒸发器和进料管中会积存三氯氢硅和四氯化硅溶液，上述的溶液及氯硅烷溶液进入回收罐以便回收处理，通常用人工的方法经回收罐的废液出口解决存液排放问题，即定期打开废液出口，利用容器承接废液后转移回收。由于三氯氢硅和四氯化硅溶液有毒有害，如操作或防护不当而泄漏，会污染环境、危害人身健康。因此考虑设计出一种自动排除三氯氢硅和四氯化硅溶液并将清洗用氯硅烷溶液的回收的装置，以节约能耗、改善环境。

实用新型内容

为了克服现有人工排除蒸发器和进料管积液可能带来环境污染或健康损害的不足，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种避免环境污染的氯硅烷回收利用装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：氯硅烷回收利用装置，包括设置在总进口和总出口之间的回收罐，回收罐设置有废液进口和废液出口，回收罐的废液出口通过泵连接到总出口。

所述回收罐的废液进口与总进口之间设置有进口阀，回收罐的废液出口与泵之间设置有出口阀。

所述回收罐有并联的两台，所述泵也有并联的两台。

所述回收罐与泵之间设置有过滤器。

所述回收罐上设置有液位计。

所述泵采用计量泵。

所述回收罐上设置有压缩流体进口和放空口。

所述回收罐的压缩流体进口与压缩氮气进气管连接，所述回收罐的放空口与压缩氮气放空管连接。

所述回收罐和泵均连接有压力表。

本实用新型的有益效果是：利用两套回收罐、泵进行排放作业，避免对环境或人员的损害，可控制排液速度，并可实现加压排液，从而提高了整个回收利用装置的可控性、可靠性和安全性，改善了环境，节约了能耗。

附图说明

图1是本实用新型氯硅烷回收装置的示意图。

图中标记为，1-总进口，2-回收罐，3-液位计，4-过滤器，5-泵，6-总出口，7-压缩氮气进气管，8-压缩氮气放空管，9-压力表，10-氢化炉四氯化硅溶液排放管，11-还原炉三氯氢硅溶液排放管，21-废液进口，22-废液出口，23-压缩流体进口，24-放空口，25-进口阀，26-出口阀。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

如图1所示，本实用新型的氯硅烷回收利用装置，包括设置在总进口1和总出口6之间的回收罐2，回收罐2设置有废液进口21和废液出口22，回收罐2的废液出口22通过泵5连接到总出口6，这样，废液的排放由泵5来执行，废液可经由总出口6排放到其它装置如精熘氯硅烷储罐中去，避免了人工排放可能引起的污染或损害。

所述回收罐2的废液进口21与总进口1之间设置有进口阀25，回收罐2的废液出口22与泵5之间设置有出口阀26。进口阀25用于控制积存废液进罐，出口阀26用于控制积存废液排放。

所述回收罐2有并联的两台，所述泵5也有并联的两台。通过控制进口阀25、出口阀26，实现一台回收罐2收集废液时另一台回收罐2及对应的泵5排放废液，或者利用其中一套回收罐2、过滤器4及泵5工作而另一套回收罐2、过滤器4及泵5备用，以提高整套装置运行的可靠性和安全性。

所述回收罐2与泵5之间设置有过滤器4，用于过滤废液中的固态杂质。

所述回收罐2上设置有液位计3，方便操作人员观察液位，判断是否进行排液处理。

所述泵5采用计量泵，便于操作人员观察排量，控制排放速度，根据需要泵5可间歇作业。

回收罐2上设置有压缩流体进口23和放空口24，可利用压缩流体进口23及放空口24实现加压排放，排放更彻底。

所述回收罐2的压缩流体进口23与压缩氮气进气管7连接，所述回收罐2的放空口24与压缩氮气放空管8连接。

所述回收罐2和泵5均连接有压力表9。

实施例：

如图1所示，本实用新型的氯硅烷回收利用装置，两台设置有废液进口21和废液出口22的立式回收罐2并联，均可接收由氢化炉四氯化硅溶液排放管10及还原炉三氯氢硅溶液排放管11排放到回收利用装置的总进口1的废液，两台回收罐2的废液进口21与总进口1之间各设置有一个进口阀25，两回收罐的废液出口22各经出口阀26、过滤器4后连接到泵5，然后由回收利用装置的总出口6去精熘氯硅烷储罐，以压缩氮气作为加压流体，压缩氮气进气管7分别连接到两台回收罐2的压缩流体进口23，两台回收罐2的放空口24均连接到压缩氮气放空管8，可利用压缩氮气实现对回收罐2的加压排液，为便于操作人员观察和操作，在两台回收罐2上均设置有液位计3，所述液位计3一般可采用磁翻板液位计，所述泵5可采用2~6m³/h的隔膜式计量泵，对于且所述回收罐2、泵5均连接压力表。

运行过程中，通过控制进口阀25、出口阀26，实现一台回收罐2收集废液时另一台回收罐2及对应的泵5排放废液，或者利用其中一套回收罐2、过滤器4及泵5工作而另一套回收罐2、过滤器4及泵5备用。

Claims (9)

1.氯硅烷回收利用装置，包括设置在总进口(1)和总出口(6)之间的回收罐(2)，回收罐(2)设置有废液进口(21)和废液出口(22)，其特征是：回收罐(2)的废液出口(22)通过泵(5)连接到总出口(6)。

2.如权利要求1所述的氯硅烷回收利用装置，其特征是：所述回收罐(2)的废液进口(21)与总进口(1)之间设置有进口阀(25)，回收罐(2)的废液出口(22)与泵(5)之间设置有出口阀(26)。

3.如权利要求2所述的氯硅烷回收利用装置，其特征是：所述回收罐(2)有并联的两台，所述泵(5)也有并联的两台。

4.如权利要求1、2或3所述的氯硅烷回收利用装置，其特征是：所述回收罐(2)与泵(5)之间设置有过滤器(4)。

5.如权利要求1、2或3所述的氯硅烷回收利用装置，其特征是：所述回收罐(2)上设置有液位计(3)。

6.如权利要求1、2或3所述的氯硅烷回收利用装置，其特征是：所述泵(5)采用计量泵。

7.如权利要求1、2或3所述的氯硅烷回收利用装置，其特征是：所述回收罐(2)上设置有压缩流体进口(23)和放空口(24)。

8.如权利要求7所述的氯硅烷回收利用装置，其特征是：所述回收罐(2)的压缩流体进口(23)与压缩氮气进气管(7)连接，所述回收罐(2)的放空口(24)与压缩氮气放空管(8)连接。

9.如权利要求8所述的氯硅烷回收利用装置，其特征是：所述回收罐(2)和泵(5)均连接有压力表(9)。

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