CN201495290U - 微蚀液循环再生系统 - Google Patents
微蚀液循环再生系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201495290U CN201495290U CN2009203066946U CN200920306694U CN201495290U CN 201495290 U CN201495290 U CN 201495290U CN 2009203066946 U CN2009203066946 U CN 2009203066946U CN 200920306694 U CN200920306694 U CN 200920306694U CN 201495290 U CN201495290 U CN 201495290U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- micro
- etching solution
- groove
- pipeline
- inefficacy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/20—Recycling
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
本实用新型公开了微蚀液循环再生系统。本实用新型包括调整失效微蚀液H2O2含量的调整系统、铜回收系统和自动添加系统,调整系统设有与微蚀槽相连的管路,调整系统通过管路与铜回收系统相连接,铜回收系统通过管路与自动添加系统相连接,自动添加系统设有与微蚀槽相连的管路。整个系统是封闭循环运行,无需外排废液,不会对环境造成危害;只需要添加消耗的添加剂就能不断的再生合格的微蚀液,保证了微蚀刻的稳定性和一致性,有效地降低了微蚀刻的成本,保证了微蚀刻的质量。与此同时,通过铜回收系统还能获得高价值的副产品金属铜,进一步降低了处理成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种微蚀液循环再生系统。
背景技术
PCB行业是电子工业、信息产业和家电行业的基础。近年来我国一直保持近10~12%的年增长速度,目前全国共有多种规模的PCB企业近5000多家,PCB板的年产量近1.5亿m2。
PCB行业中,微蚀刻是一个必不可少的工序,微蚀刻产生的废液中,铜元素的含量高达30~40g/L,如果不加处理,不仅对环境造成重大危害,同时也是一种巨大的资源浪费。
现在处理这种微蚀刻废液的普遍方法是将其排放到环保处理池中进行中和处理。这种处理方法,需要向微蚀槽中补充损失的微蚀液,在补充微蚀液时,有一定的荡槽时间,影响了微蚀刻的质量,提高了生产成本。同时,废液中用途广泛、高价值的铜没有很好地得到利用,对环境存在潜在的危害。
发明内容
为了解决上述问题,本实用新型提供一种能降低微蚀刻成本、保证微蚀刻质量、环保的微蚀液循环再生系统。
本发明所采取的技术方案是:
微蚀液循环再生系统,包括有调整失效微蚀液H2O2含量的调整系统、铜回收系统和自动添加系统,调整系统设有与微蚀槽相连的管路,调整系统通过管路与铜回收系统相连接,铜回收系统通过管路与自动添加系统相连接,自动添加系统设有与微蚀槽相连的管路。
本发明的有益效果是:运行时,微蚀槽的失效微蚀液通过管路输送到本实用新型中进行处理,再生的合格微蚀液然后输送至微蚀槽使用。整个系统封闭循环运行,无需外排废液,不会对环境造成危害;运行过程中,只需要添加消耗的添加剂就能不断的再生合格的微蚀液并补充至微蚀槽,保证了微蚀槽中微蚀液的稳定性,进而保证了微蚀刻的稳定性和一致性,有效地降低了微蚀刻的成本,保证了微蚀刻的质量。与此同时,通过铜回收系统还能获得高价值的副产品金属铜,进一步降低了处理成本。
附图说明
图1是本实用新型的组成示意图。
具体实施方式
下面结合实例,参照附图,进一步说明本实用新型。
参照图1,微蚀液循环再生系统,包括调整失效微蚀液H2O2含量的调整系统、铜回收系统和自动添加系统,调整系统设有与微蚀槽4相连的管路,调整系统通过管路与铜回收系统相连接,铜回收系统通过管路与自动添加系统相连接,自动添加系统设有与微蚀槽4相连的管路。
调整系统包括有调整失效微蚀液H2O2含量的调整槽11,调整槽11设有失效微蚀液的输入和输出管路。调整槽11设置有电解装置,通过电解装置将H2O2电离分解,调整H2O2含量,不会在微蚀液中引入其他杂质,调整后的失效微蚀液通过管路输送至铜回收系统进行电解。
铜回收系统包括电解槽21,经过调整系统处理的失效微蚀液在电解槽21中进行电解,回收失效微蚀液中过量的铜。经铜回收系统处理的失效微蚀液称为待再生液,待再生液通过管路输送至自动添加系统。
自动添加系统包括有自动添加槽31,自动添加槽31设有连接到电解槽21和微蚀槽4的管路,自动添加槽31设有容纳不同添加剂的多个槽体,分别根据实际损耗,向待再生液计量补充不同的添加剂,如H2O2、稳定剂、硫酸等,然后通过管路输送至微蚀槽4,形成合格的微蚀液。
整个过程封闭循环运行,无需外排废液,不会对环境造成危害;只需要添加消耗的添加剂,就能不断再生合格的微蚀液并补充至微蚀槽4,保证了微蚀槽4中微蚀刻的稳定性和一致性,有效地降低了微蚀刻的成本,保证了微蚀刻的质量。与此同时,通过铜回收系统电解回收,还能获得高价值的副产品金属铜。
作为本实用新型的进一步改进,调整系统还包括有暂存混合槽12,暂存混合槽12和调整槽11之间通过管路连接形成一个循环体系,循环体系设有连接到铜回收系统的管路。调整槽11中经电解调整H2O2含量后的失效微蚀液经管路输送至暂存混合槽12,与未电解调整的失效微蚀液混合,混合的失效微蚀液再通过管路输送至调整槽11,进一步调整H2O2含量,这样循环后,能够有效的降低调整槽11中失效微蚀液中H2O2的浓度,避免失效微蚀液中高浓度的H2O2对设备造成的损害,使得调整槽11内的H2O2处于一个较高浓度,提高了调整H2O2含量的效率;同时失效微蚀液在暂存混合槽12进行了混合,保证了输送至铜回收系统的失效微蚀液的均一性。
作为本实用新型的进一步改进,调整系统和微蚀槽4之间的管路连接有暂存失效微蚀液的溢流槽13。微蚀槽4中的失效微蚀液经管路输送至溢流槽13,溢流槽13设有高低液位开关,开关根据溢流槽13内液位的高低自动启闭泵,将失效微蚀液输送至暂存混合槽12。
作为本实用新型的进一步改进,铜回收系统还包括有提高电解效率的循环槽22,循环槽22和电解槽21之间设有使失效微蚀液能在循环槽22和电解槽21之间循环的管路,失效微蚀液在泵的作用下在循环槽22和电解槽21之间循环,使电解槽21内失效微蚀液的铜离子含量保持在一个较高的水平,提高电解效率。
作为本实用新型的进一步改进,自动添加槽31和电解槽21之间的管路还连接有暂存经铜回收系统处理后失效微蚀液的待再生液槽32。经铜回收系统处理后的失效微蚀液在待再生液槽32中混合均匀,保证了其在自动添加槽31添加各种损耗的添加剂后,产生均匀一的合格微蚀液,输送至微蚀槽4使用,进而保证了微蚀槽4内微蚀刻的稳定性和一致性,有效地降低了微蚀刻的成本,保证了微蚀刻的质量。
Claims (8)
1.
微蚀液循环再生系统,其特征在于:所述微蚀液循环再生系统包括有调整失效微蚀液H2O2含量的调整系统、铜回收系统和自动添加系统,调整系统设有与微蚀槽相连的管路,调整系统通过管路与铜回收系统相连接,铜回收系统通过管路与自动添加系统相连接,自动添加系统设有与微蚀槽相连的管路。
2.
根据权利要求1所述的微蚀液循环再生系统,其特征在于:所述调整系统包括有调整失效微蚀液H2O2含量的调整槽(11),调整槽(11)设有失效微蚀液的输入和输出管路。
3.
根据权利要求2所述的微蚀液循环再生系统,其特征在于:所述调整系统还包括有暂存混合槽(12),暂存混合槽(12)和调整槽(11)之间通过管路连接形成一个循环体系,循环体系设有连接到铜回收系统的管路。
4.
根据权利要求1所述的微蚀液循环再生系统,其特征在于:所述调整系统和微蚀槽之间的管路连接有暂存失效微蚀液的溢流槽(13)。
5.
根据权利要求1所述的微蚀液循环再生系统,其特征在于:所述铜回收系统包括有电解槽(21),电解槽(21)设有失效微蚀液输入管路和连接到自动添加系统的管路。
6.
根据权利要求5所述的微蚀液循环再生系统,其特征在于:所述铜回收系统还包括有提高电解效率的循环槽(22),循环槽(22)和电解槽(21)之间设有使失效微蚀液能在循环槽(22)和电解槽(21)之间循环的管路。
7.
根据权利要求1所述的微蚀液循环再生系统,其特征在于:所述自动添加系统包括有自动添加槽(31),自动添加槽(31)设有容纳不同添加剂的多个槽体,自动添加槽(31)设有连接到电解槽(21)和微蚀槽的管路。
8.
根据权利要求7所述的微蚀液循环再生系统,其特征在于:所述自动添加槽(31)和电解槽(21)之间的管路还连接有暂存经铜回收系统处理后微蚀液的待再生液槽(32)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2009203066946U CN201495290U (zh) | 2009-07-22 | 2009-07-22 | 微蚀液循环再生系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2009203066946U CN201495290U (zh) | 2009-07-22 | 2009-07-22 | 微蚀液循环再生系统 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN201495290U true CN201495290U (zh) | 2010-06-02 |
Family
ID=42438498
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2009203066946U Expired - Fee Related CN201495290U (zh) | 2009-07-22 | 2009-07-22 | 微蚀液循环再生系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN201495290U (zh) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102296324A (zh) * | 2011-08-10 | 2011-12-28 | 慈溪市永旭丰泰电子科技有限公司 | 铜金属再生回收装置 |
CN102653867A (zh) * | 2012-05-15 | 2012-09-05 | 金悦通电子(翁源)有限公司 | 一种微蚀液再生方法和系统 |
CN103952705A (zh) * | 2014-05-19 | 2014-07-30 | 广州市太和电路板有限公司 | 一种微蚀液在线再生的方法及装置 |
CN104141165A (zh) * | 2013-05-10 | 2014-11-12 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 抛光液循环再生装置 |
CN104141164A (zh) * | 2013-05-08 | 2014-11-12 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 化学液供液及回收再利用系统与方法 |
CN109023375A (zh) * | 2018-08-30 | 2018-12-18 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 蚀刻液循环系统及蚀刻装置 |
-
2009
- 2009-07-22 CN CN2009203066946U patent/CN201495290U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102296324A (zh) * | 2011-08-10 | 2011-12-28 | 慈溪市永旭丰泰电子科技有限公司 | 铜金属再生回收装置 |
CN102296324B (zh) * | 2011-08-10 | 2014-12-17 | 慈溪市永旭丰泰电子科技有限公司 | 铜金属再生回收装置 |
CN102653867A (zh) * | 2012-05-15 | 2012-09-05 | 金悦通电子(翁源)有限公司 | 一种微蚀液再生方法和系统 |
CN102653867B (zh) * | 2012-05-15 | 2014-04-02 | 金悦通电子(翁源)有限公司 | 一种微蚀液再生方法和系统 |
CN104141164A (zh) * | 2013-05-08 | 2014-11-12 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 化学液供液及回收再利用系统与方法 |
CN104141164B (zh) * | 2013-05-08 | 2018-11-06 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 化学液供液及回收再利用系统与方法 |
CN104141165A (zh) * | 2013-05-10 | 2014-11-12 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 抛光液循环再生装置 |
CN103952705A (zh) * | 2014-05-19 | 2014-07-30 | 广州市太和电路板有限公司 | 一种微蚀液在线再生的方法及装置 |
CN103952705B (zh) * | 2014-05-19 | 2016-02-24 | 广州市太和电路板有限公司 | 一种微蚀液在线再生的方法及装置 |
CN109023375A (zh) * | 2018-08-30 | 2018-12-18 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 蚀刻液循环系统及蚀刻装置 |
CN109023375B (zh) * | 2018-08-30 | 2021-03-02 | Tcl华星光电技术有限公司 | 蚀刻液循环系统及蚀刻装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN201495290U (zh) | 微蚀液循环再生系统 | |
CN105177583A (zh) | 一种零排放酸性蚀刻废液循环再生方法及系统 | |
CN204982052U (zh) | 一种零排放酸性蚀刻废液循环再生系统 | |
CN105483707B (zh) | 一种碱性氯化铜蚀刻废液提铜回用的方法 | |
CN204417598U (zh) | 一种含铜微蚀废液再生回收装置 | |
CN104630825A (zh) | 一种酸性蚀刻液电解提铜装置及其工艺 | |
CN105177584A (zh) | 一种具有再生液处理功能的酸性蚀刻废液循环再生系统 | |
CN204981441U (zh) | 棕化废液处理装置 | |
CN105002501A (zh) | 一种可节约资源的酸性蚀刻废液循环再生系统 | |
CN110172701B (zh) | 酸性蚀刻液再生回用系统 | |
CN103265094A (zh) | 一种从印刷电路板生产废水中回收硝酸和铜的方法 | |
CN202144516U (zh) | 碱性蚀刻液回收设备 | |
CN204151415U (zh) | 一种碱性蚀刻液再生循环生产线 | |
CN204898084U (zh) | 一种可节约资源的酸性蚀刻废液循环再生系统 | |
CN111663155B (zh) | 一种硝酸铜废削铜液综合回收处理方法 | |
CN101285195A (zh) | 废蚀刻液循环再生及铜的回收处理系统 | |
CN202499908U (zh) | 碱性蚀刻液再生及铜回收系统 | |
CN204982072U (zh) | 酸性蚀刻废液铜回收装置 | |
CN204570005U (zh) | 一种从微蚀液中回收铜的装置 | |
CN102510669A (zh) | 一种基板铜面的化学清洗方法 | |
CN204625787U (zh) | 一种碱性蚀刻液电解循环再生系统 | |
CN204607581U (zh) | 一种铅酸蓄电池的废酸回收装置 | |
CN201250155Y (zh) | 电镀漂洗废水处理回收系统 | |
CN202730241U (zh) | 微蚀废液再生回收系统 | |
CN103952705B (zh) | 一种微蚀液在线再生的方法及装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Assignee: Jiangmen City Pengjiang District Daying Mechanical & Electrical Equipment Co., Ltd. Assignor: Wang Wanchun Contract record no.: 2011440000501 Denomination of utility model: Microetch solution recycling system Granted publication date: 20100602 License type: Exclusive License Record date: 20110609 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20100602 Termination date: 20150722 |
|
EXPY | Termination of patent right or utility model |