CN201466006U - 晶圆清洗吹干装置 - Google Patents

晶圆清洗吹干装置 Download PDF

Info

Publication number
CN201466006U
CN201466006U CN 200920072535 CN200920072535U CN201466006U CN 201466006 U CN201466006 U CN 201466006U CN 200920072535 CN200920072535 CN 200920072535 CN 200920072535 U CN200920072535 U CN 200920072535U CN 201466006 U CN201466006 U CN 201466006U
Authority
CN
China
Prior art keywords
wafer
cell body
cantilever
air port
angle air
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN 200920072535
Other languages
English (en)
Inventor
孙江燕
王振荣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Xinyang Semiconductor Material Co Ltd
Original Assignee
Shanghai Xinyang Semiconductor Material Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Xinyang Semiconductor Material Co Ltd filed Critical Shanghai Xinyang Semiconductor Material Co Ltd
Priority to CN 200920072535 priority Critical patent/CN201466006U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201466006U publication Critical patent/CN201466006U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

一种晶圆清洗吹干装置，由槽体、旋转清洗喷嘴和多角度风口吹干管构成，槽体的上端开口处设置有密封盖，槽体的上端开口内、密封盖的下侧设置有悬臂，旋转清洗喷嘴设置在槽体内悬臂的下方，多角度风口吹干管设置在槽体内悬臂与旋转清洗喷嘴之间，旋转清洗喷嘴连接到一个去离子水管接头上，去离子水管接头穿设在槽体上，多角度风口吹干管连接到一个气管接头上，气管接头穿设在槽体上。晶圆夹具放到悬臂上，盖上密封盖，通入去离子水，旋转清洗喷嘴工作，之后通入气体吹干晶圆。本实用新型在槽体的一次密封过程中，先后对晶圆进行喷淋和吹干，操作方便，效率高，能避免晶圆被再次污染。

Description

晶圆清洗吹干装置
技术领域：
本实用新型涉及电化学领域，尤其涉及集成电路制造技术，特别是一种晶圆清洗吹干装置。
背景技术：
晶圆是集成电路的载体。在制造集成电路的过程中，需要在各个步骤之间对晶圆进行清洗和吹干，比如刚电镀过的晶圆就需要对其进行去离子水清洗并吹干。现有技术中，晶圆的清洗和吹干这两个步骤是分开进行的，这不但降低了工效率，而且在两道工序之间还存在污染已清洗晶圆的可能。
发明内容：
本实用新型的目的在于提供一种晶圆清洗吹干装置，所述的这种晶圆清洗吹干装置要解决现有技术中晶圆清洗步骤和吹干步骤中存在的工作效率低、可能被再次污染的技术问题。
本实用新型的这种晶圆清洗吹干装置由一个槽体、至少一个旋转清洗喷嘴和至少一个多角度风口吹干管构成，其中，所述槽体的上端开口处设置有一个密封盖，槽体的上端开口内、密封盖的下侧设置有悬臂，任意一个所述的旋转清洗喷嘴均设置在槽体内、所述的悬臂的下方，任意一个所述的多角度风口吹干管均设置在槽体内、悬臂与旋转清洗喷嘴之间，任意一个旋转清洗喷嘴均连接到一个去离子水管接头上，所述的去离子水管接头穿设在槽体上，任意一个多角度风口吹干管均连接到一个气管接头上，所述的气管接头穿设在槽体上。
进一步的，任意一个多角度风口吹干管均通过管路活接与所述的气管接头连接。
进一步的，所述的去离子水管接头垂直穿设在槽体的底板中。
进一步的，所述的气管接头垂直穿设在槽体的底板中。
进一步的，所述的悬臂上设置有晶圆夹具。
具体的，本实用新型中的晶圆夹具、旋转清洗喷嘴、多角度风口吹干管、去离子水管接头、气管接头和管路活接均采用现有技术中的公知技术，有关上述公知技术方案，本领域的技术人员均已经了解，在此不再赘述。
本实用新型的工作原理是：晶圆夹具通过人手或机械手放到槽体中的悬臂上，盖上密封盖，通入有一定压力的去离子水，旋转清洗喷嘴开始清洗工作，一段时间后，通入气体，就可以吹干晶圆。可以通过人手或机械手取出晶圆夹具。
本实用新型和已有技术相比，其效果是积极和明显的。本实用新型在槽体中设置旋转清洗喷嘴和多角度风口吹干管，在槽体的一次密封过程中，先后对晶圆进行喷淋和吹干，操作方便，效率高，能避免晶圆被再次污染。
附图说明：
图1是本实用新型的晶圆清洗吹干装置的结构示意图。
具体实施方式：
实施例1：
如图1所示，本实用新型的晶圆清洗吹干装置，由一个槽体3、至少一个旋转清洗喷嘴1和至少一个多角度风口吹干管2构成，其中，所述的槽体3的上端开口处设置有一个密封盖4，槽体3的上端开口内、密封盖4的下侧设置有悬臂7，任意一个所述的旋转清洗喷嘴1均设置在槽体3内、所述的悬臂7的下方，任意一个所述的多角度风口吹干管2均设置在槽体3内、悬臂7与旋转清洗喷嘴1之间，任意一个旋转清洗喷嘴1均连接到一个去离子水管接头6上，所述的去离子水管接头6穿设在槽体3上，任意一个多角度风口吹干管2均连接到一个气管接头5上，所述的气管接头5穿设在槽体3上。
进一步的，任意一个多角度风口吹干管2均通过管路活接8与所述的气管接头5连接。
进一步的，所述的去离子水管接头6垂直穿设在槽体3的底板中。
进一步的，所述的气管接头5垂直穿设在槽体3的底板中。
进一步的，所述的悬臂7上设置有晶圆夹具9。
本实施例的工作过程是：晶圆夹具9通过人手或机械手放到槽体3中的悬臂7上，盖上密封盖4，通入一定压力的去离子水，旋转清洗喷嘴1开始工作，一段时间后，通入气体，就可以吹干晶圆。可以通过人手或机械手取出晶圆夹具9。

Claims (5)

1.一种晶圆清洗吹干装置，由一个槽体、至少一个旋转清洗喷嘴和至少一个多角度风口吹干管构成，其特征在于：槽体的上端开口处设置有一个密封盖，槽体的上端开口内、密封盖的下侧设置有悬臂，任意一个所述的旋转清洗喷嘴均设置在槽体内、所述的悬臂的下方，任意一个所述的多角度风口吹干管均设置在槽体内、悬臂与旋转清洗喷嘴之间，任意一个旋转清洗喷嘴均连接到一个去离子水管接头上，所述的去离子水管接头穿设在槽体上，任意一个多角度风口吹干管均连接到一个气管接头上，所述的气管接头穿设在槽体上。
2.如权利要求1所述的晶圆清洗吹干装置，其特征在于：任意一个多角度风口吹干管均通过管路活接与所述的气管接头连接。
3.如权利要求1所述的晶圆清洗吹干装置，其特征在于：所述的去离子水管接头垂直穿设在槽体的底板中。
4.如权利要求1所述的晶圆清洗吹干装置，其特征在于：所述的气管接头垂直穿设在槽体的底板中。
5.如权利要求1所述的晶圆清洗吹干装置，其特征在于：所述的悬臂上设置有晶圆夹具。
CN 200920072535 2009-05-19 2009-05-19 晶圆清洗吹干装置 Expired - Lifetime CN201466006U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200920072535 CN201466006U (zh) 2009-05-19 2009-05-19 晶圆清洗吹干装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200920072535 CN201466006U (zh) 2009-05-19 2009-05-19 晶圆清洗吹干装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201466006U true CN201466006U (zh) 2010-05-12

Family

ID=42393354

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 200920072535 Expired - Lifetime CN201466006U (zh) 2009-05-19 2009-05-19 晶圆清洗吹干装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201466006U (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104588355A (zh) * 2015-02-03 2015-05-06 贵州乾新高科技有限公司 清洗装置
CN105499175A (zh) * 2016-01-29 2016-04-20 江苏保捷锻压有限公司 一种法兰轴螺纹清洗装置
CN107115697A (zh) * 2017-05-05 2017-09-01 杭州金知科技有限公司 一种盐业生产中增稠器外壁防腐蚀装置以及方法
CN110052428A (zh) * 2019-04-29 2019-07-26 深圳市安思科电子科技有限公司 一种具有除尘功能的便于更换吸嘴的芯片分拣设备
CN112053972A (zh) * 2020-08-11 2020-12-08 新阳硅密（上海）半导体技术有限公司 晶圆清洗系统及晶圆清洗方法
CN112509945A (zh) * 2020-11-30 2021-03-16 硅密芯镀(海宁)半导体技术有限公司 晶圆处理系统及晶圆电镀方法

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104588355A (zh) * 2015-02-03 2015-05-06 贵州乾新高科技有限公司 清洗装置
CN105499175A (zh) * 2016-01-29 2016-04-20 江苏保捷锻压有限公司 一种法兰轴螺纹清洗装置
CN105499175B (zh) * 2016-01-29 2018-08-03 江苏保捷锻压有限公司 一种法兰轴螺纹清洗装置
CN107115697A (zh) * 2017-05-05 2017-09-01 杭州金知科技有限公司 一种盐业生产中增稠器外壁防腐蚀装置以及方法
CN110052428A (zh) * 2019-04-29 2019-07-26 深圳市安思科电子科技有限公司 一种具有除尘功能的便于更换吸嘴的芯片分拣设备
CN110052428B (zh) * 2019-04-29 2021-11-12 智科博芯(北京)科技有限公司 一种具有除尘功能的便于更换吸嘴的芯片分拣设备
CN112053972A (zh) * 2020-08-11 2020-12-08 新阳硅密（上海）半导体技术有限公司 晶圆清洗系统及晶圆清洗方法
CN112053972B (zh) * 2020-08-11 2022-11-04 新阳硅密（上海）半导体技术有限公司 晶圆清洗系统及晶圆清洗方法
CN112509945A (zh) * 2020-11-30 2021-03-16 硅密芯镀(海宁)半导体技术有限公司 晶圆处理系统及晶圆电镀方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN201466006U (zh) 晶圆清洗吹干装置
CN103028570B (zh) 智能机器人清洗中心
CN101716582B (zh) 工业尘埃清洗方法及装置
CN105275613B (zh) 一种缸体清洗机
CN201454901U (zh) 旋转式多工位升降超声波清洗机
CN101648191A (zh) 旋转式多工位升降超声波清洗机
CN204544916U (zh) 一种ab胶灌胶机清洗装置
CN206104442U (zh) 汽车拆装零部件清洗装置
CN213495221U (zh) 壳体清洁装置
CN107159631A (zh) 带超声波设备清洗底部排污通道的清洗罩筒
CN203577414U (zh) 一种水循环过滤器
CN203853348U (zh) 水桶高压喷洗工作台
CN202010665U (zh) 吸嘴清洗装置
CN210207923U (zh) 一种处理脱硝催化剂孔道堵塞物用气体喷射清洗装置
CN109047230A (zh) 马口铁罐清洗装置
CN210278587U (zh) 一种用于冶金生产的集成式蜂窝陶瓷除尘装置
CN206613796U (zh) 一种器具清洗机
CN202860880U (zh) 一种石膏型工装的清洗风干装置
CN207401813U (zh) 一种钟罩自动清洗机
CN2799103Y (zh) 超声波太阳能集热管清洗机
CN207357389U (zh) 一种设备零部件清洗枪
CN201848194U (zh) 机械化氨水澄清槽尾气回收装置
CN208475866U (zh) 发动机缸体清洗机的自动去水装置
CN103803475A (zh) 用于真空环境向常压环境排水的装置
CN202725581U (zh) 一种蒸馏水清洗装置

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20100512