CN201446476U - 硅片切割垫块加工机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种硅片切割垫块加工机，专门用于磨削硅片切割垫块的弧形凹槽，其特征在于包括机架，机架上设置有十字滑台及升降立柱，升降立柱位于十字滑台的一侧，磨削工作头及动力箱连接在升降导套上；十字滑台上设置有工作台，工作台上固定装置有切割垫块夹具。本实用新型结构简单，操作方便，提高加工硅片切割垫块的生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种磨削机床，尤其是涉及一种用于磨削硅片切割垫块的弧形凹槽的硅片切割垫块加工机。
背景技术
在硅片加工过程中，要将硅棒用线切割加工工艺切割成硅片。在该加工过程中，硅棒用专用胶粘结在切割垫块上进行线切割，切割垫块上有与硅棒配合的弧形凹槽。硅片切割完成后，切割垫块上会留有很多切割槽，因此该切割垫块不能重复使用，用量很大，用普通机床来加工切割垫块上的弧形凹槽，生产效率较低。另外，切割垫块通常用石墨材料制成，由于石墨是碳质元素结晶矿物，切割过程中会对硅片产生污染，不易清洗，因此有必要用玻璃替代石墨作为切割垫块的材料，玻璃的主要成份是二氧化硅，与硅片的材料类似，使硅片切割后更易清洗，但玻璃的材质较硬，加工较困难，因此需要有专用机床来加工。
实用新型内容
本申请人针对上述的问题，进行了研究改进，提供一种结构简单、操作方便的硅片切割垫块加工机，提高加工硅片切割垫块的生产效率。
为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下的技术方案：
一种硅片切割垫块加工机，包括机架，机架上设置有十字滑台及升降立柱，升降立柱位于十字滑台的一侧，磨削工作头及动力箱连接在升降导套上；十字滑台上设置有工作台，工作台上固定装置有切割垫块夹具。
进一步的：
所述工作台上四周设有挡边，工作台的一角处设有排水孔，排水孔连接排水管。
本实用新型的技术效果在于：
本实用新型公开的一种硅片切割垫块加工机，结构简单，操作方便，专门用于硅片切割垫块的弧形凹槽的加工，提高加工硅片切割垫块的生产效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。
如图1所示，本实用新型包括机架1，机架1上设置有十字滑台2及升降立柱4，升降立柱4位于十字滑台2的一侧，磨削工作头7及动力箱5连接在升降导套8上，磨削工作头7由动力箱5提供动力旋转，十字滑台2上设置有工作台3，十字滑台2通过手柄调整工作台3在X、Y向的位置，升降导套8在升降立柱4上升降调整磨削工作头7及动力箱5的Z向位置，磨削工作头7用于磨削切割垫块10的弧形凹槽.工作台3上固定装置切割垫块夹具6，切割垫块夹具6通过螺钉固定切割垫块10.工作台3四周设有挡边301，工作台3的右下角处设有排水孔，排水孔连接排水管9，挡边301挡住磨削时使用的冷却液，磨削时的冷却液及磨屑通过排水管9排出.
Claims (2)
1.一种硅片切割垫块加工机，其特征在于：包括机架，机架上设置有十字滑台及升降立柱，升降立柱位于十字滑台的一侧，磨削工作头及动力箱连接在升降导套上；十字滑台上设置有工作台，工作台上固定装置有切割垫块夹具。
2.按照权利要求1所述的硅片切割垫块加工机，其特征在于：所述工作台上四周设有挡边，工作台的一角处设有排水孔，排水孔连接排水管。
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Publications (1)
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| CN201446476U true CN201446476U (zh) | 2010-05-05 |
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Country Status (1)
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2009
- 2009-05-19 CN CN2009200454846U patent/CN201446476U/zh not_active Expired - Fee Related
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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