CN201423579Y - 硅片夹持装置 - Google Patents

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罗圣华
冒飞
杨晟远
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Abstract

本实用新型涉及一种硅片夹持装置，包括夹持主体和与该夹持主体相连接的夹持头部，其特征在于，所述的夹持头部包括与夹持主体相连接的伸缩杆，所述的伸缩杆末端设置有夹头，所述的夹头与夹持主体之间形成有夹持空间。采用该种结构的硅片夹持装置，避免接触硅片的两个抛光面，仅接触硅片边缘的倒角面，所用材质不会引入颗粒、金属等污染物，在夹持双面抛光硅片时不会在抛光面上留下吸笔痕迹，也不会有任何污染产生，不仅能够满足双面抛光硅片的生产工艺需要，同时也能够直接使用在单面抛光硅片的生产工艺中，而且作业方便，操作简单方便，夹持稳定牢固，结构简单实用，适用范围较为广泛，为半导体加工工艺的进一步改进和质量优化奠定了坚实的基础。

Description

硅片夹持装置
技术领域
本实用新型涉及半导体材料生产应用领域，特别涉及半导体硅片生产设备技术领域，具体是指一种硅片夹持装置。
背景技术
随着MEMS(微机电系统)技术的日渐成熟，其相关的应用日益广泛。从而对MEMS产品用材料的需求提出了新的要求。如双面抛光硅片的需求，而IC器件一般只需要单面抛光硅片，对于小直径硅片(4～6Inch)，以往都只需要单面抛光片，因此在硅片制备过程中，所使用的工治具只能满足单面抛光硅片的技术工艺要求，如市场提供都是吸笔，在单面抛光硅片，由于背面为腐蚀面而非抛光面，吸笔接触并不会留下吸着迹，或造成硅片污染以及产生划伤。
但对于双面抛光片，由于硅片两个面都是抛光后的镜面，常规吸笔一旦接触，就会造成如吸着迹，污染甚至划伤等外观不良，对于高品质要求的双面抛光片，这种情况在品质上是不能接受的，即常规的半导体吸笔不能满足双面抛光片的生产需要。
因此，在现有技术中急需另辟蹊径设计夹具，而且对夹具必须满足如下要求：
(1)不能接触硅片的两个抛光面，只接触倒角面；
(2)所用材质不能引入颗粒，金属等污染物；
(3)作业简单方便。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服了上述现有技术中的缺点，提供一种能够进行双面抛光硅片的夹持操作、操作简单方便、夹持稳定牢固、结构简单实用、适用范围较为广泛的硅片夹持装置。
为了实现上述的目的，本实用新型的硅片夹持装置具有如下构成：
该硅片夹持装置，包括夹持主体和与该夹持主体相连接的夹持头部，其主要特点是，所述的夹持头部包括与夹持主体相连接的伸缩杆，所述的伸缩杆末端设置有夹头，所述的夹头与夹持主体之间形成有夹持空间。
该硅片夹持装置中的夹持主体包括套管和穿设于该套管的第一端部中的压把，所述的压把的头部与所述的伸缩杆相连接，且该伸缩杆从所述的套管的第二端部穿出，所述的压把和套管之间抵靠设置有弹性伸缩部件，所述的压把和伸缩杆在该弹性伸缩部件作用下沿所述的套管轴向往返滑动。
该硅片夹持装置中的弹性伸缩部件为套设于所述的伸缩杆上的弹簧，所述的弹簧抵靠设置于所述的压把的末端与所述的套管的第二端部之间。
该硅片夹持装置中的夹头的夹持内侧设置有夹持槽位，所述的套管的第二端部的夹持侧设置有夹持定位槽。
该硅片夹持装置中的夹持定位槽为弧形夹持定位槽。
该硅片夹持装置中的伸缩杆的中间段偏离所述的套管的中轴线。
该硅片夹持装置中的压把侧面设置有限位楔，所述的套管侧壁上与该限位楔对应位置处设置有纵向滑动狭缝，所述的限位楔设置于该纵向滑动狭缝中，且该限位楔沿该纵向滑动狭缝往返滑动。
该硅片夹持装置中的套管外侧还设置有握持把手。
该硅片夹持装置中的压把的末端设置有抵压宽片。
该硅片夹持装置中的伸缩杆为伸缩金属杆。
采用了该实用新型的硅片夹持装置，由于其通过伸缩杆末端的夹头和夹持主体来夹持硅片，而避免接触硅片的两个抛光面，仅接触硅片边缘的倒角面，而且所用的材质不会引入颗粒、金属等污染物，从而在夹持双面抛光硅片时不会在抛光面上留下任何吸笔痕迹，也不会有任何污染发生，不仅能够满足双面抛光硅片的生产工艺需要，同时也能够直接使用在单面抛光硅片的生产工艺中，而且作业方便，操作简单方便，夹持稳定牢固，结构简单实用，适用范围较为广泛，为半导体加工工艺的进一步改进和质量优化奠定了坚实的基础。
附图说明
图1为本实用新型的硅片夹持装置的夹持主体的纵向截面示意图。
图2为本实用新型的硅片夹持装置的整体俯视示意图。
图3为本实用新型的硅片夹持装置的整体侧面示意图。
图4为本实用新型的硅片夹持装置的整体仰视示意图。
具体实施方式
为了能够更清楚地理解本实用新型的技术内容，特举以下实施例详细说明。
请参阅图1至图4所示，该硅片夹持装置，包括夹持主体和与该夹持主体相连接的夹持头部，其中，所述的夹持头部包括与夹持主体相连接的伸缩杆4，所述的伸缩杆4末端设置有夹头5，所述的夹头5与夹持主体之间形成有夹持空间。在本实用新型的具体实施方式中，该硅片夹持装置的伸缩杆4为伸缩金属杆4。
其中，所述的夹持主体包括套管2和穿设于该套管2的第一端部中的压把1，所述的压把1的头部与所述的伸缩杆4相连接，且该伸缩杆4从所述的套管2的第二端部穿出，所述的压把1和套管2之间抵靠设置有弹性伸缩部件3，所述的压把1和伸缩杆4在该弹性伸缩部件3作用下沿所述的套管2的轴向往返滑动；在本实用新型的具体实施方式中，所述的弹性伸缩部件3为套设于所述的伸缩杆4上的弹簧3，所述的弹簧3抵靠设置于所述的压把1的末端与所述的套管2的第二端部之间。
同时，所述的夹头5的夹持内侧设置有夹持槽位51，所述的套管2的第二端部的夹持侧设置有夹持定位槽21；为了能够获得尽可能好的夹持定位效果，该夹持定位槽21为弧形夹持定位槽21。
不仅如此，为了使得整个夹持装置在夹持过程中不会接触到硅片的抛光面，该硅片夹持装置的伸缩杆4的中间段偏离所述的套管2的中轴线。
同时，所述的压把1的侧面设置有限位楔11，所述的套管2的侧壁上与该限位楔11对应位置处设置有纵向滑动狭缝22，所述的限位楔11设置于该纵向滑动狭缝22中，且该限位楔11沿该纵向滑动狭缝22往返滑动，从而起到限位滑动作用，防止压把1从套管2中脱离。
另外，为了便于握持，该硅片夹持装置的套管2的外侧还设置有握持把手23，同时，该硅片夹持装置的压把1的末端还设置有抵压宽片12，从而便于操作。
在实际使用当中，该实用新型的硅片夹持装置由以下几部分组成，其各部分功能和作用描述如下：
(1)压把1，其主要功能是吸着硅片时，压下压把1，夹持伸缩金属杆4伸出，从而能夹持住硅片；
(2)套管2，其主要功能一是为压把提供伸缩套管，而是为硅片夹持时提供合适的接触角度和接触槽，另外还要满足操作者易于握持的结构设计；
(3)弹簧3，为夹持硅片提供夹持力，其主要要求是此弹力既不能过大，以至于压碎硅片，操作者操作不便；弹力也不能过小，以至于不能有效夹持住硅片；
(4)伸缩金属杆4，其主要功能为提供有效的夹持力，需要设置一定的弯曲幅度，保证夹持硅片时，伸缩金属杆4不能接触硅片，而且不能有金属污染离子释放出，造成硅片金属污染超标，因此对伸缩金属杆4的材质必须有合适的选择；
(5)夹头5，其主要功能是提供硅片夹持槽位，需求是夹头的大小，既不能太大，造成不能进出片盒；同时也不能过小，造成与硅片点接触，硅片在夹持时不能有效夹持定位。
在实际操作中，压把1的一段套进套管2中，用限位楔11不让其在伸缩过程中跑出套管2。压把1在套管2中一端与伸缩金属杆4相连，而且会与弹簧3相接触(伸缩金属杆4通过弹簧3)，套管2上由握持把手23，以便作业时方便作业者握持。套管2的一端有弧形的凹槽，此凹槽接触硅片时以满足硅片倒角面弧度，以便于牢固的夹持住硅片，伸缩金属杆4穿过套管2，另一端与夹头5相连，此夹头5与套管2上的弧形凹槽共同对硅片起夹持作用。
不仅如此，伸缩金属杆4最好选用416型不锈钢材质，以免引入金属污染，另外在加工时，也要考虑夹头5与套管2上的伸缩金属杆4的连接位置，以免在使用过程中伸缩金属杆4接触硅片，造成金属污染。
采用了上述的硅片夹持装置，由于其通过伸缩杆末端的夹头和夹持主体来夹持硅片，而避免接触硅片的两个抛光面，仅接触硅片边缘的倒角面，而且所用的材质不会引入颗粒、金属等污染物，从而在夹持双面抛光硅片时不会在抛光面上留下吸笔痕迹，也不会有其他污染发生，不仅能够满足双面抛光硅片的生产工艺需要，同时也能够直接使用在单面抛光硅片的生产工艺中，而且作业方便，操作简单方便，夹持稳定牢固，结构简单实用，适用范围较为广泛，为半导体加工工艺的进一步改进和质量优化奠定了坚实的基础。
在此说明书中，本实用新型已参照其特定的实施例作了描述。但是，很显然仍可以作出各种修改和变换而不背离本实用新型的精神和范围。因此，说明书和附图应被认为是说明性的而非限制性的。

Claims (10)

1、一种硅片夹持装置，包括夹持主体和与该夹持主体相连接的夹持头部，其特征在于，所述的夹持头部包括与夹持主体相连接的伸缩杆，所述的伸缩杆末端设置有夹头，所述的夹头与夹持主体之间形成有夹持空间。
2、根据权利要求1所述的硅片夹持装置，其特征在于，所述的夹持主体包括套管和穿设于该套管的第一端部中的压把，所述的压把的头部与所述的伸缩杆相连接，且该伸缩杆从所述的套管的第二端部穿出，所述的压把和套管之间抵靠设置有弹性伸缩部件，所述的压把和伸缩杆在该弹性伸缩部件作用下沿所述的套管轴向往返滑动。
3、根据权利要求2所述的硅片夹持装置，其特征在于，所述的弹性伸缩部件为套设于所述的伸缩杆上的弹簧，所述的弹簧抵靠设置于所述的压把的末端与所述的套管的第二端部之间。
4、根据权利要求2所述的硅片夹持装置，其特征在于，所述的夹头的夹持内侧设置有夹持槽位，所述的套管的第二端部的夹持侧设置有夹持定位槽。
5、根据权利要求4所述的硅片夹持装置，其特征在于，所述的夹持定位槽为弧形夹持定位槽。
6、根据权利要求2至5中任一项所述的硅片夹持装置，其特征在于，所述的伸缩杆的中间段偏离所述的套管的中轴线。
7、根据权利要求2至5中任一项所述的硅片夹持装置，其特征在于，所述的压把侧面设置有限位楔，所述的套管侧壁上与该限位楔对应位置处设置有纵向滑动狭缝，所述的限位楔设置于该纵向滑动狭缝中，且该限位楔沿该纵向滑动狭缝往返滑动。
8、根据权利要求2至5中任一项所述的硅片夹持装置，其特征在于，所述的套管外侧还设置有握持把手。
9、根据权利要求2至5中任一项所述的硅片夹持装置，其特征在于，所述的压把的末端设置有抵压宽片。
10、根据权利要求1至5中任一项所述的硅片夹持装置，其特征在于，所述的伸缩杆为伸缩金属杆。
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