CN201352061Y - 300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置，其特征在于：设有内固定板(1)、中固定板(2)、外固定板(3)，所述中固定板卡入内固定板中部的方槽中，炉丝引线(4)穿过内固定板、中固定板中间的长圆孔(2.1)和外固定板伸到氧化炉炉体外壁外面，炉丝引线的另一端与炉丝6焊接在一起，炉丝引线中部与中固定板焊接在一起，内、外固定板由绝缘、耐热材料制成，通过螺栓(5)固定在氧化炉炉体的内壁上。本实用新型适用于300mm硅片立式氧化炉炉体的炉丝引线固定，引线固定结构合理，无松动及攒动现象。
Description
技术领域
本实用新型属于一种用于300mm硅片热处理的氧化炉设备，具体的是一种用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉炉体的炉丝引线固定装置。
背景技术
氧化炉是用于硅片进行氧化、退火等热处理工艺的半导体设备，现在的氧化炉，大都是卧式结构，其温度均匀性及控温精度不够理想，操作和控制不够精确灵活，生产效率和产品质量不够高，不能适应300mm硅片的生产需求。因此，需要提出一种结构改进的氧化炉。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提出一种300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置，该装置结构新颖、简单适用，连接牢固。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置，其特征在于：设有内固定板、中固定板、外固定板，所述中固定板卡入内固定板中部的方槽中，炉丝引线穿过内固定板、中固定板中间的长圆孔和外固定板伸到氧化炉炉体外壁外面，炉丝引线的另一端与炉丝焊接在一起，炉丝引线中部与中固定板焊接在一起，内外固定板由绝缘耐热材料制成，通过螺栓固定在氧化炉炉体的内壁上。
本实用新型与以往炉体的炉丝引线固定方式相比，具有以下优点：炉丝引线固定位置准确，不会产生蹿动，不会在搬运炉体或连接导线时，由于外力的作用而使炉丝引线发生位移。由于采用绝缘、绝热材料进行固定，所以炉体的安全性能得到很大提高。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是图1中B-B向视图；
图3是图1中A-A向视图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明：实施例：参见附图，300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置，设有内固定板1、中固定板2、外固定板3，所述中固定板卡入内固定板中部的方槽中，炉丝引线4穿过内固定板、中固定板中间的长圆孔2.1和外固定板伸到氧化炉炉体外壁外面，炉丝引线的另一端与炉丝6焊接在一起，炉丝引线中部与中固定板焊接在一起，内外固定板由绝缘耐热材料制成，通过螺栓5固定在氧化炉炉体的内壁上。
Claims (1)
1、一种300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置，其特征在于：设有内固定板(1)、中固定板(2)、外固定板(3)，所述中固定板卡入内固定板中部的方槽中，炉丝引线(4)穿过内固定板、中固定板中间的长圆孔(2.1)和外固定板伸到氧化炉炉体外壁外面，炉丝引线的另一端与炉丝(6)焊接在一起，炉丝引线中部与中固定板焊接在一起，内外固定板由绝缘耐热材料制成，通过螺栓(5)固定在氧化炉炉体的内壁上。
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN201352061Y true CN201352061Y (zh) | 2009-11-25 |
Family
ID=41375449
Family Applications (1)
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| CN102809297A (zh) * | 2012-08-29 | 2012-12-05 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 热处理设备炉丝引线安装固定装置 |
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2008
- 2008-12-17 CN CNU2008201246865U patent/CN201352061Y/zh not_active Expired - Lifetime
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| CP03 | Change of name, title or address | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
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Granted publication date: 20091125 |
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