CN201141505Y - 可调移动垫铁 - Google Patents

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吴荣基
刘育
袁志扬
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Abstract

本实用新型提出了一种可调移动垫铁，其包括一具有下斜面的上块，一具有上斜面的下块，该上斜面与上述下斜面可相对滑动；一螺杆，该螺杆的一端安装在该下块的一侧，并且该端依次安装有一六角法兰螺母，该螺杆的另一端沿轴向延伸入该上块的内部；复数个压入型钢珠滚轮，其经由过盈配合的方式安装在该下块的下方。该可调移动垫铁可水平移动待安装设备，并且在移动和提升设备时，特别是在狭小空间移动和提升设备时，保证设备稳定运行，在安装设备时保证设备稳定不动。

Description

可调移动垫铁
技术领域
本实用新型涉及一种移动垫铁，特别涉及一种可调整高度并且具有自锁及防振功能的可调移动垫块。
背景技术
目前，在光刻机整机集成过程中，大多数设备都需要可调移动垫铁，将其移动和提升到安装位置，实现机械接口的连接。可调移动垫铁就是一个移动和提升部件。
因而在设备的安装时常常会使用调整垫铁，但是传统的调整垫铁不能够随时整个移动，从而无法水平移动待安装的设备。
另外，在狭小空间内移动和安装精密设备时，被移动和提升的设备本身体积就较大，而且在设备周围有许多已经安装好的精密部件，因而造成安装空间有限。而传统的调整垫铁不具备减振和自锁功能，因而无法保证设备在安装时稳定不动，也无法保证设备在晃动中不与其他精密部件相碰撞，不能满足安装要求。
因此，需要提供一种可调移动垫铁，来实现狭小空间设备安装的要求。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种可调移动垫铁，以水平移动待安装设备，并且在移动和提升设备时，特别是在狭小空间移动和提升设备时，保证设备稳定运行，在安装设备时保证设备稳定不动。
为了解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：一可调移动垫铁，包括一具有下斜面的上块，一具有上斜面的下块，该上斜面与该下斜面可相对滑动，及一螺杆，该螺杆的一端安装在该下块的一侧，其进一步包括：
数个压入型钢珠滚轮，其安装在该下块的下方；
其中该螺杆的一端安装有一六角法兰螺母，并且该螺杆的另一端沿轴向延伸入该上块的内部。
上述的可调移动垫铁，其进一步包括：一安装在该上块上方的垫片。
上述的可调移动垫铁，其进一步包括：该下块的上方部位沿轴向具有一导轨槽，该上块通过该螺杆安装在该下块的导轨槽中。
上述的可调移动垫铁，其进一步包括：该垫片为有机材料并且可使用强力胶水安装在该上块的上方。
上述的可调移动垫铁，其进一步包括：该下块的底面与该上块的顶面均水平设置并且保持平行。
上述的可调移动垫铁，其进一步包括：上述上斜面与下斜面均为倾斜角度大于自锁角度的斜面。
上述的可调移动垫铁，其进一步包括：该压入型钢珠滚轮的数量为4个。
上述的可调移动垫铁，其进一步包括：上述数个压入型钢珠滚轮，其经由过盈配合的方式安装在该下块的下方。
本实用新型由于采用了上述的技术方案，使之与现有技术相比，具有以下的优点和积极效果：
1、当该上块与下块自锁后，经由数个压入型钢珠滚轮的滚动，可水平移动待安装设备；
2、在移动和提升设备时，特别是在狭小空间移动和提升设备时，保证设备稳定运行，在安装设备时保证设备稳定不动；
3、整个装置结构紧凑，移动方便，调整灵活。
附图说明
本实用新型的可调移动垫铁由以下的实施例及附图给出。
图1为本实用新型的可调移动垫铁主视图；
图2为本实用新型的可调移动垫铁的俯视图；
图3为本实用新型的可调移动垫铁的右视图；
图4为本实用新型的可调移动垫铁的上块移动到最低点的示意图。
具体实施方式
以下将对本实用新型的可调移动垫铁作进一步的详细描述。
如图1至图3所示，该可调移动垫铁10包括下块1，上块2，垫片3，六角薄螺母4，六角法兰螺母5，螺杆6及数个压入型钢珠滚轮7。该下块1的上方中央部位沿轴向具有一导轨槽011，该螺杆6的一端依次安装有六角法兰螺母5及该六角薄螺母4，并且该螺杆6安装在该下块1的一侧。该螺杆6的另一端沿轴向延伸入该上块2的内部，因而该上块2通过该螺杆6安装在该下块1的该导轨槽011中。该下块1的底面与该上块2的顶面均水平设置并且保持平行。该下块1的一上斜面012与该上块2的一下斜面022均为倾斜角度大于自锁角度的斜面，该上斜面012与该下斜面022能经由该螺杆6的转动而相对运动。该垫片3为有机材料并且可使用强力胶水安装在该上块2的上方，以起到设备的减振作用。该压入型钢珠滚轮7的表面071是球面，经由过盈配合的方式安装在该下块1的下方，在本实用新型中，该压入型钢珠滚轮7的数量为4个。
在安装设备的过程中，该可调移动垫铁10运用于精密仪器的狭小空间中，将设备放在该垫片3的上方，由于该上块2可通过该螺杆6的转动在该下块1的导轨槽中滑动，从而在提升或降低设备的过程中可减小整个可调移动垫铁10的占用空间。
当要提升设备时，顺时针转动该螺杆6使该上块2的下表面022沿该导轨槽011相对该下块1的上表面012向上移动，从而将该可调移动垫铁10高度增加以调整到合适位置。
当使用该可调移动垫铁10将设备从精密仪器中移除时，逆时针转动该螺杆6使该上块2的下表面022沿该导轨槽011相对该下块1的上表面012向下移动，从而将该可调移动垫铁10高度减少以调整到合适位置。
提升或移动设备完毕后，锁紧六角法兰螺母5，从而可调移动垫铁10的高度固定，设备不产生晃动。
经由该数个压入型钢珠滚轮4的滚动，可以轻松随意移动该可调移动垫铁10到合适的位置，以安装或拆除设备。

Claims (8)

1.一可调移动垫铁，包括一具有下斜面的上块，一具有上斜面的下块，该上斜面与该下斜面可相对滑动，及一螺杆，该螺杆的一端安装在该下块的一侧，其特征在于进一步包括：
数个压入型钢珠滚轮，其安装在该下块的下方；
其中该螺杆的一端安装有一螺母，并且该螺杆的另一端沿轴向延伸入该上块的内部。
2.如权利要求1所述的可调移动垫铁，其特征在于进一步包括：一安装在该上块上方的垫片。
3.如权利要求1或2所述的可调移动垫铁，其特征在于：该下块的上方部位沿轴向具有一导轨槽，该上块通过该螺杆安装在该下块的导轨槽中。
4.如权利要求3所述的可调移动垫铁，其特征在于：该垫片为有机材料并使用强力胶水安装在该上块的上方。
5.如权利要求3所述的可调移动垫铁，其特征在于：该下块的底面与该上块的顶面均水平设置并且保持平行。
6.如权利要求5所述的可调移动垫铁，其特征在于：上述上斜面与下斜面均为倾斜角度大于自锁角度的斜面。
7.如权利要求6所述的可调移动垫铁，其特征在于：该压入型钢珠滚轮的数量为4个。
8.如权利要求6所述的可调移动垫铁，其特征在于：上述数个压入型钢珠滚轮，其经由过盈配合的方式安装在该下块的下方。
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Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102536782A (zh) * 2012-03-30 2012-07-04 四川宏华石油设备有限公司 一种用于钻井泵的底座支撑结构
CN103225409A (zh) * 2013-04-21 2013-07-31 广西建工集团第二建筑工程有限责任公司 环形凹槽型钢支座注水整平施工方法
CN103398271A (zh) * 2013-08-15 2013-11-20 李培培 一种键槽式垫块
CN105522397A (zh) * 2014-10-22 2016-04-27 无锡利博科技有限公司 便调式机床安装支座
CN105583636A (zh) * 2014-10-21 2016-05-18 无锡利博科技有限公司 机床的防松支撑结构
CN106113092A (zh) * 2016-08-24 2016-11-16 襄阳新火炬科技有限公司 一种桁架机器人多段横梁水平调整装置
TWI579067B (zh) * 2015-02-10 2017-04-21 奇美實業股份有限公司 無偏向的滾輪引取裝置
CN106966342A (zh) * 2017-04-27 2017-07-21 苏州蓝王机床工具科技有限公司 高空作业车伸缩臂滑块机构
CN107524093A (zh) * 2017-09-13 2017-12-29 无锡厚发自动化设备有限公司 一种桥梁顶升方法
CN108355787A (zh) * 2018-03-26 2018-08-03 佛山市博蓄科技有限公司 一种便于调节的污泥切割机
CN109000096A (zh) * 2018-07-26 2018-12-14 湘潭市恒欣实业有限公司 分体式无极绳连续牵引车绞车的安装方法
CN109531782A (zh) * 2018-12-08 2019-03-29 曙光装配式建筑科技（浙江）有限公司 一种预制墙板的加工模台
TWI672184B (zh) * 2018-10-31 2019-09-21 金豐機器工業股份有限公司 鍛造機的釋放預力結構
CN111167990A (zh) * 2018-11-09 2020-05-19 金丰机器工业股份有限公司 锻造机的释放预力结构

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102536782A (zh) * 2012-03-30 2012-07-04 四川宏华石油设备有限公司 一种用于钻井泵的底座支撑结构
CN102536782B (zh) * 2012-03-30 2015-07-29 四川宏华石油设备有限公司 一种用于钻井泵的底座支撑结构
CN103225409A (zh) * 2013-04-21 2013-07-31 广西建工集团第二建筑工程有限责任公司 环形凹槽型钢支座注水整平施工方法
CN103225409B (zh) * 2013-04-21 2015-05-06 广西建工集团第二建筑工程有限责任公司 环形凹槽型钢支座注水整平施工方法
CN103398271A (zh) * 2013-08-15 2013-11-20 李培培 一种键槽式垫块
CN105583636A (zh) * 2014-10-21 2016-05-18 无锡利博科技有限公司 机床的防松支撑结构
CN105522397A (zh) * 2014-10-22 2016-04-27 无锡利博科技有限公司 便调式机床安装支座
TWI579067B (zh) * 2015-02-10 2017-04-21 奇美實業股份有限公司 無偏向的滾輪引取裝置
CN106113092A (zh) * 2016-08-24 2016-11-16 襄阳新火炬科技有限公司 一种桁架机器人多段横梁水平调整装置
CN106113092B (zh) * 2016-08-24 2018-08-28 湖北火爆机器人科技有限公司 一种桁架机器人多段横梁水平调整装置
CN106966342A (zh) * 2017-04-27 2017-07-21 苏州蓝王机床工具科技有限公司 高空作业车伸缩臂滑块机构
CN107524093A (zh) * 2017-09-13 2017-12-29 无锡厚发自动化设备有限公司 一种桥梁顶升方法
CN108355787A (zh) * 2018-03-26 2018-08-03 佛山市博蓄科技有限公司 一种便于调节的污泥切割机
CN109000096A (zh) * 2018-07-26 2018-12-14 湘潭市恒欣实业有限公司 分体式无极绳连续牵引车绞车的安装方法
TWI672184B (zh) * 2018-10-31 2019-09-21 金豐機器工業股份有限公司 鍛造機的釋放預力結構
CN111167990A (zh) * 2018-11-09 2020-05-19 金丰机器工业股份有限公司 锻造机的释放预力结构
CN111167990B (zh) * 2018-11-09 2021-06-01 金丰机器工业股份有限公司 锻造机的释放预力结构
CN109531782A (zh) * 2018-12-08 2019-03-29 曙光装配式建筑科技（浙江）有限公司 一种预制墙板的加工模台

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