CN201117647Y - 半导体晶片自动对中机构 - Google Patents
半导体晶片自动对中机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201117647Y CN201117647Y CNU2007200159403U CN200720015940U CN201117647Y CN 201117647 Y CN201117647 Y CN 201117647Y CN U2007200159403 U CNU2007200159403 U CN U2007200159403U CN 200720015940 U CN200720015940 U CN 200720015940U CN 201117647 Y CN201117647 Y CN 201117647Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- centering
- wafer
- cylinder
- splicing
- centering body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
本实用新型涉及在半导体晶片加工过程中对晶片对中并实现晶片升降的技术，即机械对中及升降机构，具体为一种半导体晶片自动对中机构，可以解决晶片对中精度的控制上难度较大等问题，它是满足半导体晶片加工对中精度要求的自动对中方式。该对中机构设有接片板、对中块、连接板、轴承座、气缸，接片板和对中块分别固定在轴承座上，轴承座与气缸通过连接板相连接。两个对中机构为一组，对中时两边对中机构同步工作。对中过程分为两步：接片和对中，该对中机构可根据所加工的晶片大小，调换对中块和接片板的尺寸。
Description
技术领域
本实用新型涉及在半导体晶片加工过程中对晶片对中并实现晶片升降的技术，即机械对中及升降机构，具体为一种半导体晶片自动对中机构。
背景技术
在半导体晶片的加工过程中，晶片的位置需要被准确的定位，这样才能保证加工精度，所以在很多设备、模块中都配有对中单元。在一些设备中，晶片的对中是通过手动来完成的，这种方法效率较低，不利于大批量生产。
在目前采用的自动对中方式中，对中模块都与晶片处理模块分离。晶片在被送入处理模块之前，先经由单独的对中模块。这样，晶片对中后还有一个传递的过程，在精度的控制上难度很大。
实用新型内容
为了克服上述不足，本实用新型的目是提供一种半导体晶片自动对中机构，可以解决晶片对中精度的控制上难度较大等问题，它是满足半导体晶片加工对中精度要求的自动对中方式。
为了实现上述目的，本实用新型技术方案：
一种半导体晶片自动对中机构，该对中机构设有接片板、对中块、连接板、轴承座、气缸，接片板和对中块分别固定在轴承座上，轴承座与气缸通过连接板相连接。
所述的对中机构，连接板与气缸通过固定块连接，连接板一端伸出两个头，分别插装于固定块两侧的开槽内。
所述的对中机构，轴承座内装有直线轴承，直线轴承套在导杆上。
所述的对中机构，该对中机构内两气缸为位置对称的可互换结构，接片板和对中块为可互换结构。
所述的对中机构，该对中机构分别安装在晶片处理单元上面两侧。
所述的对中机构，接片板上面设有支柱。
本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型对中模块同晶片处理模块是一体的，对中模块就安装在晶片处理模块之上，这样可减少晶片在传递过程中出现的误差。
2、本实用新型对中装置有两个气缸驱动，两个气缸都直接固定在该对中装置底板上。其中一个气缸驱动接片板接片，当晶片被送到对中位置之后，气缸驱动接片板接片；另一个气缸驱动对中块实现对中晶片的功能，当接片板将晶片接过时，气功驱动对中块对中。上述过程是两个对中模块同时完成，采用调整气缸入口压力和速度的方式保持两对中模块同步运动，保证定位准确。该对中装置可根据生产需要更换接片板和对中块，以满足不同尺寸晶片的对中要求。
附图说明
图1为本实用新型对中机构的安装位置。
图2是该对中机构的结构示意图。
图3为图2中固定块2和连接板6的关系示意图。
图中，1-底板；2-固定块；3-支柱；4-接片板；5-对中块；6-连接板；7-轴承；8-轴承座；9-导杆；10-气缸；11-晶片处理单元；12-对中机构。
具体实施方式
如图1所示，两个对中机构12(即本实用新型)为一组，分别安装在晶片处理单元11上面两侧，当晶片被运送到晶片处理单元中心位置时，两个对中机构同步运动完成对晶片的对中动作。对中过程分为两步：接片和对中，该对中机构可根据所加工的晶片大小，调换对中块和接片板的尺寸。
如图2所示，本实用新型对中机构设有底板1、固定块2、支柱3、接片板4、对中块5、连接板6、直线轴承7、轴承座8、导杆9、气缸10等，两个气缸10都直接固定在底板1上，接片板4通过螺钉固定在一个轴承座8上，对中块5通过螺钉固定在另一个轴承座8上，每个轴承座8内有两个直线轴承7，直线轴承7套在导杆9上，通过导杆9导向，接片板4上面设有支柱3。连接板6是连接气缸10和轴承座8的零件，连接板6与轴承座8通过螺钉直接固定的方式连接，连接板6与气缸10则通过固定块2连接。该对中机构的接片板4、对中块5均由气缸10驱动，两气缸10位置对称，可以互换，即驱动接片板4和对中块5的气缸可以互换。因此，在图中可看见两个气缸10、两个导杆9以及两个轴承座8。在安装过程中，对中块5和接片板4的位置可以根据需要互相调换。
如图3所示，连接板6一端伸出两个头，可插入固定块2内，再通过螺钉固定在气缸10上。这样，连接板6并没有完全被约束，在插入固定块2的插入方向可以活动，减小轴承座8运动过程中的摩擦力。
本实用新型的工作过程如下：
当晶片被送到处理单元中心时，两个对中机构的气缸10同时动作。受气缸10驱动，轴承座8向前运动将两个接片板4同时推出。此时，晶片正好落在两边伸出的接片板4上面的四个支柱3上(每个接片板4上有两个支柱)。晶片落位后，两个驱动对中块5的气缸10同时动作，实现对中。
Claims (6)
1.一种半导体晶片自动对中机构，其特征在于：该对中机构设有接片板(4)、对中块(5)、连接板(6)、轴承座(8)、气缸(10)，接片板(4)和对中块(5)分别固定在轴承座(8)上，轴承座(8)与气缸(10)通过连接板(6)相连接。
2.按照权利要求1所述的对中机构，其特征在于：连接板(6)与气缸(10)通过固定块(2)连接，连接板(6)一端伸出两个头，分别插装于固定块(2)两侧的开槽内。
3.按照权利要求1所述的对中机构，其特征在于：轴承座(8)内装有直线轴承(7)，直线轴承(7)套在导杆(9)上。
4.按照权利要求1所述的对中机构，其特征在于：该对中机构内两气缸(10)为位置对称的可互换结构，接片板(4)和对中块(5)为可互换结构。
5.按照权利要求1所述的对中机构，其特征在于：该对中机构分别安装在晶片处理单元上面两侧。
6.按照权利要求1所述的对中机构，其特征在于：接片板(4)上面设有支柱(3)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2007200159403U CN201117647Y (zh) | 2007-11-16 | 2007-11-16 | 半导体晶片自动对中机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2007200159403U CN201117647Y (zh) | 2007-11-16 | 2007-11-16 | 半导体晶片自动对中机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201117647Y true CN201117647Y (zh) | 2008-09-17 |
Family
ID=39992229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNU2007200159403U Expired - Fee Related CN201117647Y (zh) | 2007-11-16 | 2007-11-16 | 半导体晶片自动对中机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201117647Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109865642A (zh) * | 2017-12-05 | 2019-06-11 | 株洲中车时代电气股份有限公司 | 一种芯片中心定位夹具 |
| CN113770935A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-12-10 | 钟兴进 | 一种晶片对中结构及方法 |
-
2007
- 2007-11-16 CN CNU2007200159403U patent/CN201117647Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109865642A (zh) * | 2017-12-05 | 2019-06-11 | 株洲中车时代电气股份有限公司 | 一种芯片中心定位夹具 |
| CN109865642B (zh) * | 2017-12-05 | 2021-05-14 | 株洲中车时代半导体有限公司 | 一种芯片中心定位夹具 |
| CN113770935A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-12-10 | 钟兴进 | 一种晶片对中结构及方法 |
| CN113770935B (zh) * | 2020-12-18 | 2022-12-06 | 钟兴进 | 一种晶片对中结构及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100590835C (zh) | 半导体晶片自动对中机构 | |
| CN101695730B (zh) | 多工位数控冲床的快速平移式换模机构 | |
| CN202984404U (zh) | 一种数控冲床单电机驱动双丝杠装置 | |
| CN201117647Y (zh) | 半导体晶片自动对中机构 | |
| CN101251961B (zh) | 一种模块化四轴微型教学数控机床 | |
| CN211465382U (zh) | 一种gpa通用执行器压装机水平多位置换型机构 | |
| CN219335694U (zh) | 一种机械液压高速冲床 | |
| CN202192470U (zh) | 磁力治具 | |
| CN111230338A (zh) | 激光雕刻机的多向高精度定位方法 | |
| CN114682676B (zh) | 一种不停机式连续更换冲孔设备及其实现的连续换模方法 | |
| CN217044215U (zh) | 一种不停机式连续更换冲孔设备 | |
| CN103071723B (zh) | 一种机械伺服数控转塔冲床的主传动装置 | |
| CN201998089U (zh) | 一种旋转丝杠同步移动装置 | |
| CN209175256U (zh) | 一种数控冲压和激光切割复合机 | |
| CN202825835U (zh) | 三次元机械手自动化生产设备 | |
| CN208408345U (zh) | 一种用于汽车座椅导轨级进模的机械手传送机构 | |
| CN220637955U (zh) | 一种单台多工位移送机械手 | |
| CN206277227U (zh) | 一种用于单晶硅棒滚磨一体机的自动对中机械手装置 | |
| CN215614541U (zh) | 一种自动一体化柔性冲压成形设备 | |
| CN213054608U (zh) | 一种自动调压工装机构 | |
| CN219747083U (zh) | 一种电磁阀推杆生产的xy定位装置 | |
| CN211589547U (zh) | 一种可调节倒边宽度的装置 | |
| CN210390266U (zh) | 一种纸盒自动压泡机构 | |
| CN220882384U (zh) | 一种单轴机械手的固定装置 | |
| CN212351066U (zh) | 一种专用于小型工件的集成式同步精准钻铣一体化装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20080917 Termination date: 20141116 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |