CN113770935B - 一种晶片对中结构及方法 - Google Patents

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Abstract

一种晶片对中结构，包括底板以及顶板，所述底盘四角设置支撑杆，所述支撑杆顶端设置顶板，所述底板顶面中间位置转动设置圆柱，所述圆柱底端转动设置第一圆盘，所述第一圆盘左右两侧分别设置延伸杆，所述底板顶端设置第一滑道，所述底板顶面前后两侧设置夹持板，所述夹持板底端与第一滑道滑动连接，所述底板左右两侧分别设置液压杆，通过夹持板、固定杆、第二传递杆以及第三传递杆的设置，可以对方形晶片的左右方向进行限位，使方形晶片左右方向的中心线与第三圆盘圆心对齐。通过液压杆以及夹持板的设置，可以对方形晶片前后方向进行限位，使晶片前后方向的中心线与第三圆盘的圆心对齐。

Description

一种晶片对中结构及方法
技术领域
本发明涉及晶片对中技术领域，具体为一种晶片对中结构及方法。
背景技术
在半导体晶片加工过程中，需要对晶片中心进行精确的定位，以便晶片中心能够准确地与伺服电机旋转中心重合。目前的半导体设备对于方型晶片等异型晶片大都采用机械式对中系统，通过夹持方型晶片对角的方式进行对中，该方式在加工过程中晶片中心与伺服旋转中心不能完全重合，在定位偏传一定角度的方型晶片时易损坏晶片。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供了一种操作方便的晶片对中结构及方法。
(二)技术方案
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种晶片对中结构，包括底板以及顶板，所述底板顶面四角设置支撑杆，所述支撑杆顶端设置顶板，所述底板顶面中间位置转动设置圆柱，所述圆柱底端转动设置第一圆盘，所述第一圆盘左右两侧分别设置延伸杆，所述底板顶端设置第一滑道，所述底板顶面前后两侧设置夹持板，所述夹持板底端与第一滑道滑动连接，所述底板左右两侧分别设置液压杆，所述液压杆输出端分别与夹持板连接，所述夹持板底端中间位置与延伸杆之间铰接第一传递杆，所述顶板与圆柱对应位置设置调节孔，所述圆柱顶端穿过调节孔，所述圆柱位于顶板上方设置第二圆盘，所述圆柱套装扭簧，所述扭簧两端分别与第一圆盘以及第二圆盘连接，所述顶板顶面左右两侧分别设置第二滑道，所述顶板左右两侧与滑道对应位置分别设置固定杆，所述固定杆底端与第二滑道滑动连接，所述第二圆盘对应位置与固定杆中间位置铰接第二传递杆，所述顶板顶面左右两端分别设置连接杆，所述连接杆前后两端分别铰接夹持杆，所述夹持杆中间位置设置通孔，所述固定杆前后两端分别铰接第三传递杆，所述第三传递杆远离固定杆一端设置定位杆，所述定位杆滑动设置在通孔内，所述圆柱顶端设置第三圆盘。
为了减少夹持杆与晶片之间的磨损，本发明改进有，所述夹持杆远离连接杆一端设置弧形橡胶垫。
为了减少夹持板与晶片之间的磨损，本发明改进有，所述夹持板靠近第一圆盘一侧设置橡胶垫。
为了防止夹持板产生倾斜，本发明改进有，所述底板顶端第一滑道设置为两组。
为了便于该装置的移动，本发明改进有，所述底板底端设置万向轮。
为了简单明了的查找晶片对中位置，本发明改进有，所述第三圆盘圆心位置设置标注点。
本发明进一步提供了一种晶片对中方法，包括：
步骤1、将方形晶片放置在第三圆盘顶面，控制液压杆工作，液压杆输出端带动夹持板相互靠近，从而带动延伸杆以及第一圆盘转动，从而带动第二圆盘以及圆柱转动，从而通过第二传递杆、固定杆以及第三传递杆带动夹持杆绕连接杆左右两端旋转，从而对晶片进限位，使晶片左右方向的中心线与第三圆盘圆心对齐；
步骤2、控制液压杆继续工作，液压杆输出端带动夹持板持续相互靠近，从而对晶片前后方向进行限位，使晶片前后方向的中心线与第三圆盘的圆心对齐，此时延伸杆以及第一圆盘转动，而第二圆盘以及圆柱在扭簧的作用下保持静止，从而使晶片左右方向持续进行限位；
步骤3、晶片与标注点对应位置即为晶片对中位置。
(三)有益效果
与现有技术相比，本发明提供了一种晶片对中结构及方法，具备以下有益效果：
该晶片对中结构及方法，通过夹持板、固定杆、第二传递杆以及第三传递杆的设置，可以对方形晶片的左右方向进行限位，使方形晶片左右方向的中心线与第三圆盘圆心对齐。通过液压杆以及夹持板的设置，可以对方形晶片前后方向进行限位，使晶片前后方向的中心线与第三圆盘的圆心对齐。通过扭簧、第一圆盘以及圆柱的设置，可以在夹持板对方形晶片的左右方向进行限位的情况下，持续对方形晶片前后方向进行限位，通过对方形晶片四周的限位，从而使方形晶片对中位置与第三圆盘圆心的标注点对齐，从而方便对方形晶片的进一步加工。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明底板俯视结构示意图；
图3为本发明顶板俯视结构示意图；
图4为本发明俯视图。
图中：1、底板；2、顶板；3、支撑杆；4、圆柱；5、第一圆盘；6、延伸杆；7、第一滑道；8、夹持板；9、液压杆；10、第一传递杆；11、第二圆盘；12、扭簧；13、第二滑道；14、固定杆；15、第二传递杆；16、连接杆；17、夹持杆；18、通孔；19、第三传递杆；20、定位杆；21、第三圆盘；22、万向轮。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-4，一种晶片对中结构，包括底板1以及顶板2，所述底板1顶面四角设置支撑杆3，所述支撑杆3顶端设置顶板2，所述底板1顶面中间位置转动设置圆柱4，所述圆柱4底端转动设置第一圆盘5，所述第一圆盘5左右两侧分别设置延伸杆6，所述底板1顶端设置第一滑道7，所述底板1顶面前后两侧设置夹持板8，所述夹持板8底端与第一滑道7滑动连接，所述底板1左右两侧分别设置液压杆9，所述液压杆9输出端分别与夹持板8连接，所述夹持板8底端中间位置与延伸杆6之间铰接第一传递杆10，所述顶板2与圆柱4对应位置设置调节孔，所述圆柱4顶端穿过调节孔，所述圆柱4位于顶板2上方设置第二圆盘11，所述圆柱4套装扭簧12，所述扭簧12两端分别与第一圆盘5以及第二圆盘11连接，所述顶板2顶面左右两侧分别设置第二滑道13，所述顶板2左右两侧与滑道对应位置分别设置固定杆14，所述固定杆14底端与第二滑道13滑动连接，所述第二圆盘11对应位置与固定杆14中间位置铰接第二传递杆15，所述顶板2顶面左右两端分别设置连接杆16，所述连接杆16前后两端分别铰接夹持杆17，所述夹持杆17中间位置设置通孔18，所述固定杆14前后两端分别铰接第三传递杆19，所述第三传递杆19远离固定杆14一端设置定位杆20，所述定位杆20滑动设置在通孔18内，所述圆柱4顶端设置第三圆盘21。
所述夹持杆17远离连接杆16一端设置弧形橡胶垫，可以减少夹持杆17与晶片之间的磨损。
所述夹持板8靠近第一圆盘5一侧设置橡胶垫，可以减少夹持板8与晶片之间的磨损。
所述底板1顶端第一滑道7设置为两组，可以防止夹持板8产生倾斜。
所述底板1底端设置万向轮22，便于该装置的移动。
所述第三圆盘21圆心位置设置标注点，可以简单明了的查找晶片对中位置。
具体的操作流程如下，一种晶片对中方法，包括：
步骤1、将方形晶片放置在第三圆盘21顶面，控制液压杆9工作，液压杆9输出端带动夹持板8相互靠近，从而带动延伸杆6以及第一圆盘5转动，从而带动第二圆盘11以及圆柱4转动，从而通过第二传递杆15、固定杆14以及第三传递杆19带动夹持杆17绕连接杆16左右两端旋转，从而对晶片进限位，使晶片左右方向的中心线与第三圆盘21圆心对齐；
步骤2、控制液压杆9继续工作，液压杆9输出端带动夹持板8持续相互靠近，从而对晶片前后方向进行限位，使晶片前后方向的中心线与第三圆盘21的圆心对齐，此时延伸杆6以及第一圆盘5转动，而第二圆盘11以及圆柱4在扭簧12的作用下保持静止，从而使晶片左右方向持续进行限位；
步骤3、晶片与标注点对应位置即为晶片对中位置。
该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。
在该文中的描述中，需要说明的是，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种晶片对中结构，包括底板(1)以及顶板(2)，其特征在于：所述底板(1)顶端四角设置支撑杆(3)，所述支撑杆(3)顶端设置顶板(2)，所述底板(1)顶面中间位置转动设置圆柱(4)，所述圆柱(4)底端转动设置第一圆盘(5)，所述第一圆盘(5)左右两侧分别设置延伸杆(6)，所述底板(1)顶端设置第一滑道(7)，所述底板(1)顶面前后两侧设置夹持板(8)，所述夹持板(8)底端与第一滑道(7)滑动连接，所述底板(1)左右两侧分别设置液压杆(9)，所述液压杆(9)输出端分别与夹持板(8)连接，所述夹持板(8)底端中间位置与延伸杆(6)之间铰接第一传递杆(10)，所述顶板(2)与圆柱(4)对应位置设置调节孔，所述圆柱(4)顶端穿过调节孔，所述圆柱(4)位于顶板(2)上方设置第二圆盘(11)，所述圆柱(4)套装扭簧(12)，所述扭簧(12)两端分别与第一圆盘(5)以及第二圆盘(11)连接，所述顶板(2)顶面左右两侧分别设置第二滑道(13)，所述顶板(2)左右两侧与滑道对应位置分别设置固定杆(14)，所述固定杆(14)底端与第二滑道(13)滑动连接，所述第二圆盘(11)对应位置与固定杆(14)中间位置铰接第二传递杆(15)，所述顶板(2)顶面左右两端分别设置连接杆(16)，所述连接杆(16)前后两端分别铰接夹持杆(17)，所述夹持杆(17)中间位置设置通孔(18)，所述固定杆(14)前后两端分别铰接第三传递杆(19)，所述第三传递杆(19)远离固定杆(14)一端设置定位杆(20)，所述定位杆(20)滑动设置在通孔(18)内，所述圆柱(4)顶端设置第三圆盘(21)。
2.根据权利要求1所述的一种晶片对中结构，其特征在于：所述夹持杆(17)远离连接杆(16)一端设置弧形橡胶垫。
3.根据权利要求1所述的一种晶片对中结构，其特征在于：所述夹持板(8)靠近第一圆盘(5)一侧设置橡胶垫。
4.根据权利要求1所述的一种晶片对中结构，其特征在于：所述底板(1)顶端第一滑道(7)设置为两组。
5.根据权利要求1所述的一种晶片对中结构，其特征在于：所述底板(1)底端设置万向轮(22)。
6.根据权利要求1所述的一种晶片对中结构，其特征在于：所述第三圆盘(21)圆心位置设置标注点。
7.一种晶片对中方法，其特征在于，根据权利要求6所述的晶片对中结构，包括：
步骤1、将方形晶片放置在第三圆盘(21)顶面，控制液压杆(9)工作，液压杆(9)输出端带动夹持板(8)相互靠近，从而带动延伸杆(6)以及第一圆盘(5)转动，从而带动第二圆盘(11)以及圆柱(4)转动，从而通过第二传递杆(15)、固定杆(14)以及第三传递杆(19)带动夹持杆(17)绕连接杆(16)左右两端旋转，从而对晶片进限位，使晶片左右方向的中心线与第三圆盘(21)圆心对齐；
步骤2、控制液压杆(9)继续工作，液压杆(9)输出端带动夹持板(8)持续相互靠近，从而对晶片前后方向进行限位，使晶片前后方向的中心线与第三圆盘(21)的圆心对齐，此时延伸杆(6)以及第一圆盘(5)转动，而第二圆盘(11)以及圆柱(4)在扭簧(12)的作用下保持静止，从而使晶片左右方向持续进行限位；
步骤3、晶片与标注点对应位置即为晶片对中位置。
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