CN201066334Y - 电子能谱仪样品分析前处理装置 - Google Patents

电子能谱仪样品分析前处理装置 Download PDF

Info

Publication number
CN201066334Y
CN201066334Y CNU2007200077808U CN200720007780U CN201066334Y CN 201066334 Y CN201066334 Y CN 201066334Y CN U2007200077808 U CNU2007200077808 U CN U2007200077808U CN 200720007780 U CN200720007780 U CN 200720007780U CN 201066334 Y CN201066334 Y CN 201066334Y
Authority
CN
China
Prior art keywords
gas
vacuum
gas outlet
interface
glove box
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNU2007200077808U
Other languages
English (en)
Inventor
孙海珍
伊晓东
时海燕
王水菊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xiamen University
Original Assignee
Xiamen University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xiamen University filed Critical Xiamen University
Priority to CNU2007200077808U priority Critical patent/CN201066334Y/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201066334Y publication Critical patent/CN201066334Y/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

电子能谱仪样品分析前处理装置，涉及一种电子能谱仪。提供一种电子能谱仪样品分析前处理装置。设有手套箱、预备室、手套机构、真空泵和原位反应池。手套箱上设有箱侧门、进出气口、导入反应气体口、导入反应液体口、观察窗、电子能谱仪接口和压力表；预备室上设有侧门、可抽真空的进出气口和压力表；手套机构接手套箱，手套机构上设有进出气口，进气口外接补气源；真空泵接手套箱出气口，真空泵接预备室的可抽真空出气口，真空泵接手套机构出气口；原位反应池设于手套箱内，原位反应池上设有电源接口、热电偶接口、导入气体接口和导出气体接口，导入气体接口接手套箱的导入反应气体口，导出气体接口接手套箱的出气口。

Description

电子能谱仪样品分析前处理装置
技术领域
本实用新型涉及一种电子能谱仪，尤其是涉及一种电子能谱仪样品分析前处理装置。
背景技术
由于电子能谱技术可提供样品表面组成与结构(包括表面原子或分子的几何分布、电子层结构及振动结构等)等信息，至今已发展成为重要的表面分析手段。从根本上理解样品表面原子水平上的组成和结构与其性能(如催化活性与选择性)的关系，长期以来，一直是化学家们追求的目标。但光电子能谱在测样时，样品要在超高真空的分析室内才能分析测试。现有的商品仪器是将适合的样品在大气氛中放入仪器的进样室抽真空至10-6Pa，再转入分析室测试，因而不可能在通常的化学反应条件下进行原位分析。为解决上述问题，人们开始着力于开发一些相应的技术，设法使催化剂表面的超高真空检测尽可能保持反应或预处理状态的结构特征，特别是要避免样品在离开预处理、吸附或反应气氛而转移到超高真空分析室时，被暴露于空气而改变甚至完全破坏其表面状态。但有关此方面的应用国内外报道均较少，国内的近百台X-射线光电子能谱仪目前仍未配置此种技术。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种电子能谱仪样品分析前处理装置。
本实用新型设有：
手套箱，手套箱上设有箱侧门、进气口、出气口、导入反应气体口、导入反应液体口、观察窗、电子能谱仪接口和真空压力表，电子能谱仪接口外接电子能谱仪，箱侧门用于放入或取出样品，进气口外接补气源，导入反应液体口外接反应液体源；
预备室，预备室上设有侧门、可抽真空的进气口、可抽真空的出气口和真空压力表，预备室与手套箱连成一体，以便在实验操作时，在不破坏手套箱内的环境条件下，即可导入新的需转移或处理的样品，可抽真空的进气口外接补气源；
手套机构，手套机构与手套箱连接，手套机构上设有进气口和出气口，进气口外接补气源；
真空泵，真空泵与手套箱的出气口连接，真空泵与预备室的可抽真空的出气口连接，真空泵与手套机构的出气口连接；
原位反应池，原位反应池设于手套箱内，原位反应池上设有电源接口、热电偶接口、导入气体接口和导出气体接口，用于片状样品反应或预处理，电源接口外接电源，热电偶接口外接热电偶，导入气体接口接手套箱的导入反应气体口，导出气体接口接手套箱的出气口。
在手套箱上可设照明装置，在手套箱上最好设封装真空法兰，封装真空法兰用于当需要时接入多路反应的气体或液体。
本实用新型便于与X-射线光电子能谱仪配套连接，能使样品表面在反应或预处理(如高温氧化、还原或预吸附等)后，在表面分析交错进行的中间转换过程中，样品不被暴露于空气或其它气体，并尽可能减少残余气体引起的污染，确保预处理或反应后进行的电子能谱对表面的探测结果能真实地代表样品表面在上述高压高温条件下的组成与结构特征。
附图说明
图1为本实用新型实施例的结构框图。
图2为本实用新型实施例的手套箱、预备室和手套机构的连接关系示意图。
图3为图2的后视图。
图4为图2的左视图。
图5为图2的右视图。
图6为本实用新型实施例的原位反应池的俯视结构示意图。
具体实施方式
以下实施例将结合附图对本实用新型作进一步的说明。
参见图1～5，本实用新型设有手套箱1、预备室2、手套机构3、真空泵4和原位反应池5。
手套箱1上设有真空压力表1.1、箱侧门1.2、大视野观察窗1.3、进气口1.4.1、出气口1.4.2、导入反应气体口1.5.1、导入反应液体口1.5.2、封装真空法兰1.6、电子能谱仪接口1.7和照明用观察窗1.8，电子能谱仪接口1.7外接电子能谱仪6，箱侧门1.2用于放入或取出样品，进气口1.4.1外接补气源，导入反应液体口1.5.2外接反应液体源。
预备室2上设有侧门2.1、真空压力表2.2、可抽真空的进气口2.3.1和可抽真空的出气口2.3.2，预备室2与手套箱1连成一体，以便在实验操作时，在不破坏手套箱内的环境条件下，即可导入新的需转移或处理的样品，可抽真空的进气口2.3.1外接补气源。
手套机构3与手套箱1连接，手套机构3上设有进气口3.1.1和出气口3.1.2，进气口3.1.1外接补气源。
真空泵与手套箱1的出气口1.4.2连接，真空泵与预备室2的可抽真空的出气口连接2.3.2，真空泵与手套机构3的出气口3.1.2连接。
参见图6，原位反应池设于手套箱内，原位反应池上设有电源接口A、热电偶接口B、导入气体接口C和导出气体接口D，用于片状样品反应或预处理，电源接口A外接电源，热电偶接口B外接热电偶，导入气体接口C接手套箱的导入反应气体口，导出气体接口D接手套箱的出气口。
在手套箱上可设照明装置，封装真空法兰用于当需要时接入多路反应的气体或液体。
将本实用新型与MultiLab 2000型X-射线光电子能谱仪(美国Themo公司产品)的进样室连接，进行以下操作：1)反复抽低真空至10-2Pa后充入＞1atm的高纯N2或其它惰性气体，进行样品的厌氧转入X-射线光电子能谱仪分析测试。2)样品在原位反应和预处理(如高温氧化、还原或预吸附等)之后厌氧转移入X-射线光电子能谱仪分析测试。

Claims (3)

1.电子能谱仪样品分析前处理装置，其特征在于设有：
手套箱，手套箱上设有箱侧门、进气口、出气口、导入反应气体口、导入反应液体口、观察窗、电子能谱仪接口和真空压力表，电子能谱仪接口外接电子能谱仪，进气口外接补气源，导入反应液体口外接反应液体源；
预备室，预备室上设有侧门、可抽真空的进气口、可抽真空的出气口和真空压力表，预备室与手套箱连成一体，可抽真空的进气口外接补气源；
手套机构，手套机构与手套箱连接，手套机构上设有进气口和出气口，进气口外接补气源；
真空泵，真空泵与手套箱的出气口连接，真空泵与预备室的可抽真空的出气口连接，真空泵与手套机构的出气口连接；
原位反应池，原位反应池设于手套箱内，原位反应池上设有电源接口、热电偶接口、导入气体接口和导出气体接口，电源接口外接电源，热电偶接口外接热电偶，导入气体接口接手套箱的导入反应气体口，导出气体接口接手套箱的出气口。
2.如权利要求1所述的电子能谱仪样品分析前处理装置，其特征在于在手套箱上设照明装置。
3.如权利要求1所述的电子能谱仪样品分析前处理装置，其特征在于在手套箱上设封装真空法兰。
CNU2007200077808U 2007-07-30 2007-07-30 电子能谱仪样品分析前处理装置 Expired - Fee Related CN201066334Y (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNU2007200077808U CN201066334Y (zh) 2007-07-30 2007-07-30 电子能谱仪样品分析前处理装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNU2007200077808U CN201066334Y (zh) 2007-07-30 2007-07-30 电子能谱仪样品分析前处理装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201066334Y true CN201066334Y (zh) 2008-05-28

Family

ID=39483517

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNU2007200077808U Expired - Fee Related CN201066334Y (zh) 2007-07-30 2007-07-30 电子能谱仪样品分析前处理装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201066334Y (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103693256A (zh) * 2013-12-17 2014-04-02 兰州空间技术物理研究所 一种解封样品密封器的装置及方法
CN103728246A (zh) * 2013-12-18 2014-04-16 中国原子能科学研究院 一种手套箱的密封式测量装置
CN104062312A (zh) * 2014-06-09 2014-09-24 清华大学 研究等离子体与材料表面相互作用的xps分析方法及系统
CN104908063A (zh) * 2015-06-24 2015-09-16 中山安荞生物科技有限公司 一种真空手套箱
CN113984922A (zh) * 2021-10-21 2022-01-28 上海科技大学 准原位x射线光电子能谱测试装置及其测试方法
CN114778169A (zh) * 2022-06-23 2022-07-22 季华实验室 取样装置和取样方法

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103693256A (zh) * 2013-12-17 2014-04-02 兰州空间技术物理研究所 一种解封样品密封器的装置及方法
CN103693256B (zh) * 2013-12-17 2015-09-30 兰州空间技术物理研究所 一种解封样品密封器的装置及方法
CN103728246A (zh) * 2013-12-18 2014-04-16 中国原子能科学研究院 一种手套箱的密封式测量装置
CN103728246B (zh) * 2013-12-18 2016-06-22 中国原子能科学研究院 一种手套箱的密封式测量装置
CN104062312A (zh) * 2014-06-09 2014-09-24 清华大学 研究等离子体与材料表面相互作用的xps分析方法及系统
CN104062312B (zh) * 2014-06-09 2017-04-12 清华大学 研究等离子体与材料表面相互作用的xps分析方法及系统
CN104908063A (zh) * 2015-06-24 2015-09-16 中山安荞生物科技有限公司 一种真空手套箱
CN113984922A (zh) * 2021-10-21 2022-01-28 上海科技大学 准原位x射线光电子能谱测试装置及其测试方法
CN113984922B (zh) * 2021-10-21 2023-09-26 上海科技大学 准原位x射线光电子能谱测试装置及其测试方法
CN114778169A (zh) * 2022-06-23 2022-07-22 季华实验室 取样装置和取样方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN201066334Y (zh) 电子能谱仪样品分析前处理装置
Erxleben et al. Atomic absorption spectroscopy for mercury, automated by sequential injection and miniaturized in lab-on-valve system
Liu et al. Simultaneous sensitive determination of selenium, silver, antimony, lead, and bismuth in microsamples based on liquid spray dielectric barrier discharge plasma-induced vapor generation
CN106645550A (zh) 一种光催化原位表征系统
CN112050084B (zh) 一种气体收集采样装置
CN110779831B (zh) 一种页岩储层有机质热裂解生烃转化率的计算方法及热解产物收集装置
WO2018210108A1 (zh) 针对x射线表征设备原位池联用的反应控制和质谱分析站
CN102004130B (zh) 全自动多用吸附仪
CN214473178U (zh) 一种基于金属氧化物气敏传感器阵列的电子鼻检测系统
CN202110138U (zh) 固体进样与原子荧光联用装置
CN102183516B (zh) 一种简单的检测汞离子的纳米金比色法
CN107262017A (zh) 一种化学搅拌反应装置
CN111397984B (zh) 一种微液滴自发诱导的元素蒸气发生方法及装置
CN207457129U (zh) 高温难熔矿物激光-BrF5法氧同位素组成分析系统
Evans et al. Advances in atomic spectrometry and related techniques
CN101082611B (zh) 光催化反应-浓缩热解吸自动进样仪
CN201926625U (zh) 中药中有害物质快速检测箱
CN210545034U (zh) 一种化学液相反应一体型装置
CN2786633Y (zh) 化学化工反应过程测试装置
CN106769985A (zh) 固体表面吸附红外检测可视化系统
CN210742289U (zh) 一种原子荧光光度计的自动进样装置
CN201293739Y (zh) 石英管中微量气体的收集处理装置
CN212483470U (zh) 一种用于高效液相色谱仪的尾气处理装置
CN214066653U (zh) 一种便携式低流量空气采样器
Mahdavian Conversion of ethanol to acetone & other produces using nano-sensor SnO 2 (110): Ab initio DFT

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20080528

Termination date: 20110730