CN1994741A

CN1994741A - 喷墨印刷系统以及使用该系统制造显示装置的方法

Info

Publication number: CN1994741A
Application number: CNA2007100005058A
Authority: CN
Inventors: 李东远
Original assignee: Samsung Electronics Co Ltd
Current assignee: Samsung Electronics Co Ltd
Priority date: 2006-01-05
Filing date: 2007-01-05
Publication date: 2007-07-11
Also published as: JP2007183641A; KR20070073394A; US20070153075A1

Abstract

一种喷墨印刷系统，包括：平台，具有安装于其上的基板；头单元，用于将油墨滴到基板上；干燥单元，用于干燥滴到基板上的油墨；以及移动装置，用于将头单元和干燥单元移动至预定位置，其中，干燥单元包括真空孔。

Description

喷墨印刷系统以及使用该系统制造显示装置的方法

本申请要求于2006年1月5日提交到韩国专利局的第10-2006-0001239号的优先权，其全部内容结合与此作为参考。

技术领域

本发明涉及一种喷墨印刷系统以及使用该系统制造显示装置的方法。

背景技术

通常，通过光刻工艺来形成平板显示器(例如，液晶显示器(“LCD”)和有机发光二极管(“OLED”)显示器)的多种薄膜图样。大尺寸的平板显示器需要增加材料(例如，应用到基板以形成薄膜图样的感光层)的量。这还增加了制造成本并需要更大的制造装置以执行光刻工艺。

为了最小化上述问题，开发出了一种通过滴墨(dripping ink)形成薄膜图样的喷墨印刷系统。然而，由该喷墨印刷系统形成的薄膜可能具有不均匀的外形和厚度，并且这会导致从显示装置发射的光的透射率和发射特性不一致。由于在从油墨滴落到基板上时至油墨干燥并变硬时的期间会逐渐形成不一致，所以将其上滴有油墨的基板放入能够调节干燥工艺的附加的干燥室中。

根据这种传统的喷墨印刷系统，由于在喷墨印刷系统中使用的油墨溶剂具有高蒸汽压力且墨滴很小，所以在油墨滴落之后其马上开始蒸发。因此，由于在放入干燥室之前油墨部分地干燥，并且难以调节干燥工艺，以及还由于在印刷区域边缘区的干燥速度不同，因此薄膜的均匀性会恶化。

发明内容

本发明包括一种喷墨印刷系统以及使用该系统制造显示装置的方法，其可以更快速地使油墨干燥并且形成具有均匀外形和厚度的薄膜。

根据本发明的喷墨印刷系统的示例性实施例包括：基板，安装于平台上；头单元(head unit)，将油墨滴在基板上；干燥单元，使滴到基板上的油墨干燥；以及移动装置，将头单元和干燥单元移动至预定位置，其中，在干燥单元中形成真空孔。

可以在与头单元的移动方向基本垂直的方向上，远离头单元预定间距处设置干燥单元。

干燥单元可以进一步包括加热器。

加热器可以设置于真空孔之间。

头单元可以包括具有多个喷嘴的喷墨头。

基板可以是液晶显示器(“LCD”)的基板和有机发光二极管(“OLED”)显示器的基板中的一种。

油墨可以是用于滤色器的油墨和用于形成有机发光件的油墨中的一种。

可以在基板上形成分隔件，以限制滴落的油墨。

分隔件可以是LCD的遮光件与OLED显示器的分隔件中的一种。

制造根据本发明的显示装置的方法的示例性实施例包括以下步骤：将头单元设置在基板上方；当移动头单元时通过头单元将油墨滴在基板上；以及通过与头单元相邻的干燥单元来使滴落的油墨干燥，其中，干燥单元可包括真空孔。

在与头单元的移动方向基本垂直的方向上，可以在远离头单元的预定间距处设置干燥单元。

该方法可以进一步包括通过干燥单元上的加热器使基板上的油墨干燥。

头单元可以包括具有多个喷嘴的喷墨头。

油墨可以是用于滤色器的油墨和用于有机发光件的油墨中的一种。

该方法可以进一步包括在基板上形成分隔件，以限制滴落的油墨。

可以将分隔件形成为液晶显示器的遮光件和有机发光二极管显示器的分隔件中的一种。

附图说明

通过结合附图对示例性实施例的下列描述，本发明的上述和/或其它方面、特性和优点将变得显而易见并且更加容易理解，其中：

图1是根据本发明的喷墨印刷系统的示例性实施例的顶部透视图；

图2是从下面看时根据本发明的喷墨印刷系统的头单元和移动装置的视图；

图3是示出使用根据本发明的喷墨印刷系统的喷墨头的油墨印刷方法的示例性实施例的截面图；

图4是示出使用根据本发明的喷墨印刷系统示例性实施例的干燥单元示例性实施例的滴落油墨干燥状态的示意图；

图5是使用根据本发明的喷墨印刷系统的示例性实施例制造的液晶显示器(“LCD”)的示例性实施例的顶部平面布置图；

图6是沿图5的线IV-IV截取的使用根据本发明的喷墨印刷系统的示例性实施例制造的LCD的示例性实施例的截面图；

图7是根据本发明的OLED显示器的示例性实施例的等效电路图；

图8是使用根据本发明的喷墨印刷系统的示例性实施例制造的有机发光二极管(“OLED”)显示器的示例性实施例的顶部平面布置图；以及

图9是沿图8的线IX-IX截取的使用根据本发明的喷墨印刷系统的示例性实施例制造的OLED显示器的示例性实施例的截面图。

具体实施方式

现在，在下文中，将参照示出本发明实施例的附图更加全面地描述本发明。然而，本发明可以多种不同的形式实现，而不应认为局限于文中所述的实施例。相反地，提供这些实施例使得本公开更充分和完整，并且使本领域技术人员全面地了解本发明的范围。通篇中，相同的标号表示相同的元件。

应当理解，当提到一个元件“位于”另一个元件上时，是指其直接位于另一个元件上，或者也可能在其间存在插入元件。相反地，当提到将任一元件直接置于另一个元件之上时，在这两个部件之间没有任何中间部件。正如在此所应用的，术语“和/或”包括任何的以及所有的一个或多个相关所列术语的结合。

应当理解，尽管在此可能使用术语第一、第二、第三等来描述不同的元件、部件、区域、层、和/或部分，但是这些元件、部件、区域、层、和/或部分并不局限于这些术语。这些术语仅用于将一个元件、部件、区域、层、或部分与另一个元件、部件、区域、层、或部分相区分。因此，在不背离本发明宗旨的情况下，下文所述的第一元件、组件、区域、层、或部分可以称为第二元件、部件、区域、层、或部分。

在此使用的术语仅用于描述特定实施例而不是限制本发明。正如在此使用的，单数形式的“一个”、“这个”也包括复数形式，除非文中有其它明确指示。应当进一步理解，当在本申请文件中使用术语“包含”或“包括”时，是指存在所声称的特征、区域、整数、步骤、操作、元件、和/或部件，但是并不排除还存在或附加一个或多个其它的特征、区域、整数、步骤、操作、元件、部件、和/或其组合。

此外，在此可能使用诸如“下面的”、或“底部的”以及“上面的”、或“顶部的”的相关术语，以描述如图中所示的一个元件与另一元件的关系。应当理解，除图中所示的方位之外，相关术语将包括装置的不同方位。例如，如果翻转一个附图中的装置，则被描述为在其它元件“下部”面上的元件将被定位为在其它元件的“上部”面。因此，根据附图的特定方位，示例性术语“下面”可包括在上面和在下面的方位。相似地，如果翻转一个附图中的装置，则被描述为在其它元件“下面”或“之下”的元件将被定位为在其它元件的“之上”。因此，示例性术语“下面”或“在...之下”可包括在上方和在下方的方位。

除非特别限定，在此所采用的所有的术语(包括技术和科技术语)具有与本发明所属领域的普通技术人员通常所理解的意思相同的解释。而该术语的进一步理解，例如，字典中通常采用的限定意思应该被解释为与相关技术上下文中的意思相一致，并且除非在此进行特别限定，其不应被解释为理想的或者过于正式的解释。

在此，参考作为本发明的理想实施例的示意图的横截示意图描述本发明的实施例。同样，可以预料诸如制造技术和/或公差可以导致示意图的变化。因此，本发明的实施例不应该被理解为局限于在此示出的特定形状，而且包括例如由于制造而导致的形状的偏差。例如，被显示或描述为平坦的区域，典型地可能具有粗糙和/或非线性特性。此外，所示的锐角可以为圆角。因此，在图中示出的区域实际上是示意性的，并且形状并不用于描述区域的准确形状，并且不用于限定本发明的范围。

下面，将参照附图详细描述本发明。

现在，将参照图1至图4详细描述根据本发明的喷墨印刷系统的示例性实施例。

图1是根据本发明的喷墨印刷系统的示例性实施例的顶部透视图，图2是从下面看时根据本发明的喷墨印刷系统的头单元、干燥单元、和移动单元的示例性实施例的视图，图3是示出使用根据本发明的喷墨印刷系统的喷墨头的油墨印刷方法的示例性实施例的截面图，以及图4是示出使用根据本发明的喷墨印刷系统示例性实施例的干燥单元示例性实施例的滴落油墨干燥状态的示意图。

如图1至图4所示，喷墨印刷系统包括平台500，其上安装有母板(mother substrate)2；头单元700，以预定间距设置于平台500上方；干燥单元50，远离头单元700设置；以及移动装置300，用于将头单元700和干燥单元50移动至预定位置。

在一个示例性实施例中，平台500大于母板2，使平台支撑在其上的母板2。母板2由多个基板210组成。可以将多个基板210用作支撑板(例如，液晶显示器(“LCD”)的滤色器阵列面板或有机发光二极管(“OLED”)显示器的薄膜晶体管阵列面板)。

如图1所示，示出了用于形成LCD的滤色器阵列面板的母板2的示例性实施例，并且在多个基板210的每一个上形成具有多个开口225的遮光件220。

如图2所示，头单元700包括喷墨头400。喷墨头400呈长条状并且底面具有附着于其上的多个喷嘴410。如图3所示，油墨5通过喷嘴410滴在基板210上。油墨包括溶剂和溶液。如图2和图4所示，喷墨头400以预定角度θ在Y方向上倾斜。因为作为在喷墨头400的两个相邻喷嘴410间距离的喷嘴间距D不同于作为将印刷的两个像素间距离的像素间距P，所以将喷墨头400旋转预定角度θ，使得从喷嘴410滴落的墨滴之间的距离与将填充的像素之间的距离相匹配。尽管图2中仅示出了一个喷墨头400，但可选的实施例中包括设置有多个喷墨头的结构。

在平台500上方以预定的间距设置干燥单元50，并且在Y方向上以预定的间距远离头单元700设置该干燥单元50。干燥单元50包括多个真空孔51和加热器52。在真空孔51之间，可以板状或弯曲状形成加热器52。一旦油墨5滴到基板210上，通过吸收经过真空孔的油墨溶剂并通过加热器52辐射热量来使油墨干燥。

移动装置300包括：Y方向移动部310，用于定位头单元700和以预定间距位于基板210上方的干燥单元50，并在Y方向上移动头单元700和干燥单元50；X方向移动部320，用于在X方向上移动头单元700和干燥单元50；以及提升部(lifter)330和340，用于分别提升头单元700和干燥单元50。

下面，将参照图1至图4详细描述使用具有上述结构的喷墨印刷系统在基板210上形成滤色器的工艺。

首先，通过操作喷墨印刷系统中移动装置300的X和Y方向移动部320或310以及提升部330，将头单元700设置在基板210上方的预定位置。

接下来，驱动移动装置300的X方向移动部320和头单元700的喷嘴410，从而在将油墨5滴入图4中点划线所示的行内时，头单元700在X方向移动。

之后，通过在Y方向上移动预定间隔，将头单元700移动到与其中刚滴入油墨5的行相邻的行，并且在X方向上再次将油墨5滴入行内。此时，移动在Y方向上以预定间距与头单元700分离的干燥单元50，以沿其中刚滴落的油墨5的行在X方向上使油墨5干燥。在一个示例性实施例中，可以同时使用真空孔51和加热器52使油墨5干燥。

在另一示例性实施例中，几乎在头单元700滴落油墨5的同时，通过干燥单元50干燥油墨5，并且调节干燥工艺的时间和条件从而改进滤色器230外形和厚度的一致性。

另外，通过在滴落油墨之后很快干燥油墨5，可以防止少量的溶剂从油墨中蒸发并且污染头单元700。

通过根据本发明的喷墨印刷系统的示例性实施例制造的显示面板的示例性实施例可以是LCD的滤色器阵列面板或者OLED显示器的薄膜晶体管阵列面板。可以通过根据本发明的喷墨印刷系统的示例性实施例来形成液晶显示器的滤色器或者OLED显示器的有机发光件。

图5是使用根据本发明的喷墨印刷系统的示例性实施例制造的LCD的示例性实施例的顶部平面布置图，以及图6是沿图5的线VI-VI截取的使用根据本发明的喷墨印刷系统的示例性实施例制造的LCD的示例性实施例的截面图。

如图5和图6所示，液晶显示器的示例性实施例包括下部薄膜晶体管阵列面板100；上部滤色器阵列面板200，面对下部薄膜晶体管阵列面板100；以及液晶层3，介于薄膜晶体管阵列面板100与滤色器阵列面板200之间。

现在，将参照图5和图6详细描述薄膜晶体管阵列面板100。

多条栅极线121和多条存储电极线131形成于绝缘基板110上，绝缘基板110的示例性实施例由透明玻璃或塑料制成。栅极线121传送选通信号并且基本上在水平方向延伸。每条栅极线121均包括多个栅电极124，其向上和向下突出，从而延伸出栅极线121的接触表面区；以及宽端部129，其可用于与另一层或外部驱动电路连接。存储电极线131接收预定电压，并且具有几乎平行于栅极线121延伸的主线以及从主线中分出的多对第一和第二存储电极133a和133b。每条存储电极线131均设置在两条相邻的栅极线121之间，并且主线设置在与两条相邻的栅极线121中的下边一条更接近的位置。

栅极绝缘层140的示例性实施例由氮化硅(“SiNx”)或氧化硅(“SiOx”)制成，并且在栅极线121和存储电极线131上形成该栅极绝缘层。

多个半导体带151的示例性实施例由氢化非晶硅(“a-Si”)制成，并且在栅极绝缘层140上形成该半导体带。半导体带151基本上在垂直方向上延伸并具有多个向栅电极124突出的突出部(projection)154。半导体带151在栅极线121和存储电极线131附近变宽，从而覆盖栅极线和存储电极线。

多个欧姆接触带和欧姆接触岛161和165形成于半导体151上。欧姆接触部161和165的示例性实施例可以由硅化物或重掺杂有诸如磷的n型杂质的n+氢化非晶硅制成。欧姆接触带161具有多个突出部163，并且突出部163与电阻接触岛165成对地形成，以在半导体151的突出部154上彼此相对设置。

多条数据线171和多个漏电极175形成于欧姆接触部161和165以及栅极绝缘层140上。

数据线171传送数据信号并且基本上在垂直方向延伸以穿过栅极线121。数据线171还穿过存储电极线131并且在相邻的存储电极分支133a和133b组之间延伸。每条数据线171均具有向栅电极124延伸的多个源电极173以及用于将其连接至另一层或外部驱动电路的宽的端部179。

漏电极175与数据线171分离并且该漏电极相对于介于其间的栅电极124与源电极173相对。每个漏电极175均具有一个宽端部和一个较窄的突出端部。宽端部与存储电极131重叠，并且棒状端部被从数据线171突出的源电极173部分地围绕。

薄膜晶体管(“TFT”)由一个栅电极124、一个源电极173，和一个漏电极175以及半导体151的突出部154一起构成，并且TFT的沟道形成于源电极173和漏电极175之间的突出部154上。

欧姆接触部161和165位于半导体151与数据线171和漏电极175之间，以减小其间的电阻。

在数据线171、漏电极175以及半导体带151的露出部和半导体带154的突出部上形成钝化层180。钝化层180的示例性实施例可以由无机绝缘体或有机绝缘体构成，并且其表面可以是平坦的。

在钝化层180中形成多个接触孔181、182、和185，以露出数据线171的端部179、栅极线的端部129、以及漏电极175。在钝化层180和栅极绝缘层140中形成多个接触孔181，以露出栅极线121的端部129，形成多个接触孔183a，以露出在第一存储电极分支133a基端(base end)周围的存储电极线131的一部分，以及形成多个接触孔183b，以露出与基端相对的第一存储电极分支133a端部的突出部。

在钝化层180上形成多个像素电极191、多个桥(overpass)83、以及多个接触辅助部81和82。

像素电极191通过接触孔185物理和电连接至漏电极175，并接收来自漏电极175的数据电压。被施加有数据电压的像素电极191与被施加有共电压的显示面板200的共电极270一起产生电场，从而确定在像素电极191与共电极270之间的液晶层3的液晶分子定向。根据液晶分子的定向来改变穿过液晶层的光的偏振。像素电极191和共电极270形成电容器(下文中称为液晶电容器)，从而即使在薄膜晶体管截止之后仍保持施加的电压。

像素电极191及连接至像素电极191的漏电极175与存储电极133a和133b及存储电极线131重叠。通过重叠像素电极191和电连接至像素电极191的漏电极175与存储电极线131而形成的电容器被称为存储电容器，并且其提高了液晶电容器的电压保持能力。

接触辅助部81和82通过接触孔181和182分别连接至栅极线121的宽端部129和数据线171的宽端部179。接触辅助部81和82提供栅极线121的宽端部129和数据线171的宽端部179到外部装置的连接并且还可以用于防止它们被物质腐蚀或磨损。

将桥83设置为跨在栅极线121两端，并且相对于设置于其间的栅极线121连接至通过接触孔183a露出的存储电极线131的一部分并连接到通过接触孔183b露出的存储电极133b的自由端。存储电极133a和133b以及存储电极线131可以与桥83一起使用，以补偿栅极线121、数据线171或薄膜晶体管的缺陷。

现在，将详细描述图5和图6所示的上部滤色器阵列面板200的制造方法。

遮光件220形成于绝缘基板210上，绝缘基板210的示例性实施例由透明玻璃或塑料制成。遮光件220还被称为黑色矩阵并且防止光泄漏。遮光件220具有多个开口225，这些开口面向像素电极191并具有与像素电极191基本相同的形状，以及该遮光件防止光从像素电极191之间泄漏。遮光件220可以由对应于栅极线121和数据线171的部分以及对应于薄膜晶体管的另一部分组成。遮光件220还可以起隔离件的作用，用于在使用喷墨印刷系统的滤色器阵列面板的制造工艺中限制用于滤色器的油墨。

其示例性实施例可以通过喷墨印刷系统形成的多个滤色器230位于遮光件220的开口225上。

滤色器230主要位于由遮光件220围绕的区域中，并且可以沿像素电极191的列在垂直方向上延伸。每个滤色器230均可以显示三原色之一，三原色的示例性实施例为红色、绿色、和蓝色。

在滤色器230和遮光件220上形成覆盖层250。示例性实施例可由有机绝缘体和无机绝缘体之一构成的覆盖层250防止滤色器230露出并且提供平坦表面。可选的示例性实施例包括可省略覆盖层250的结构。

在覆盖层250上形成共电极270。共电极270的示例性实施例可以由诸如氧化铟锡(“ITO”)或氧化铟锌(“IZO”)的透明导体构成。

在显示面板100和200的内表面上设置定向层11和21，并且它们可以是水平定向层或垂直定向层。偏振器(polarizer)12和22设置于显示面板100和200的外表面上。两个偏振器12和22的偏振轴彼此垂直，并且在一个示例性实施例中，两个偏振轴中的一个平行于栅极线121。在LCD是反射型液晶显示器的示例性实施例中，可以省略两个偏振器12和22中的一个。

现在，将详细描述图5和图6所示的滤色器阵列面板的制造方法。

首先，通过在绝缘基板210上形成金属层并在沉积的金属层上执行光刻法来形成包括多个开口225的遮光件220，其中，金属层的示例性实施例包括Cr，绝缘基板的示例性实施例通过真空沉积工艺由诸如玻璃的透明材料制成。在可选的示例性实施例中，可以通过在绝缘基板210上堆叠聚合树脂溶液并且执行旋涂和光刻工艺来形成遮光件220。可以通过各种其它已知技术来形成遮光件220。

接下来，通过喷墨印刷系统在遮光件220的开口225中形成滤色器230。参照图3，在移动头单元700时通过将油墨5经过喷嘴410滴入开口225以填充开口225来形成滤色器230，其中，油墨5的示例性实施例为对应于红色、绿色和蓝色滤色器的液体颜料膏。之后，与头单元700相邻的干燥单元50位于滴落的油墨上方，以通过真空和热量干燥油墨5，从而形成滤色器230。因此，可以使滤色器230的外形和厚度均匀。

接下来，在滤色器230和遮光件220上形成覆盖层250。之后，在覆盖层250上形成具有诸如ITO或IZO的透明导体的共电极270。

下面，将描述使用根据本发明的喷墨印刷系统制造的OLED显示器的示例性实施例。

现在，将参照图7描述使用根据本发明的喷墨印刷系统的示例性实施例制造的OLED显示器的示例性实施例的等效电路图。图7是根据本发明的OLED显示器的示例性实施例的等效电路图。

参照图7，使用根据本发明的喷墨印刷系统的示例性实施例制造的OLED显示器的示例性实施例包括多条信号线121、171、和172和多个像素PX，该多个像素连接至信号线121、171、和172并且基本上呈矩阵图案排列。

信号线包括多条栅极线121，用于传送选通信号或扫描信号；多条数据线171，用于传送数据信号；以及多条驱动电压线172，用于传送驱动电压。栅极线121基本上在行方向上延伸以基本彼此平行，而数据线171和驱动电压线172基本上在列方向上延伸以基本彼此平行并且基本上垂直于栅极线121。

每个像素PX均包括开关晶体管Qs、驱动晶体管Qd、存储电容器Cst、以及OLED LD。

开关晶体管Qs包括控制端、输入端、和输出端。控制端连接至栅极线121，输入端连接至数据线171，以及输出端连接至驱动晶体管Qd和存储电容器Cst的一端。响应于提供给栅极线121的扫描信号，开关晶体管Qs将提供给数据线171的数据信号传送至驱动晶体管Qd。

驱动晶体管Qd同样包括控制端、输入端、和输出端。控制端连接至开关晶体管Qs和存储电容器Cst的一端，输入端连接至驱动电压线172和存储电容器Cst的另一端，以及输出端连接至有机发光二极管“OLED”LD。驱动晶体管Qd流有电流ILD，该电流根据控制端和输出端之间压差而改变的幅值。

电容器Cst连接在驱动电容器Qd的控制端和输入端之间。电容器Cst充有提供给驱动晶体管Qd控制端的数据信号并且即使开关晶体管截止仍可以维持所充有的数据信号。

OLED LD包括连接至驱动晶体管Qd输出端的阳极和连接至共电压Vss的阴极。OLED LD发出强度根据驱动晶体管Qd的输出电流ILD变化的光。多个OLED LD可以一起工作以显示图像。

在当前的示例性实施例中，开关晶体管Qs和驱动晶体管Qd为n沟道场效应晶体管(“FET”)。然而，可选的示例性实施例包括其中开关晶体管Qs和驱动晶体管Qd中的至少一个可以是p沟道场效应晶体管的结构。此外，可选的示例性实施例包括其中晶体管Qs和Qd、电容器Cst、以及OLED LD之间的连接关系不同的结构。

现在，将参照图8和图9详细描述图7中示出的OLED显示器的显示面板的结构。

图8是使用根据本发明的喷墨印刷系统的示例性实施例制造的OLED显示器的有机发光二极管显示面板的示例性实施例的顶部平面布置图，以及图9是沿线IX-IX截取的图8所示的OLED显示面板示例性实施例的截面图。

如图8和图9所示，在绝缘基板110上形成具有第一控制电极124a的多条栅极线121和具有多个第二控制电极124b的多个栅极导体。绝缘基板110的示例性实施例可由透明玻璃或塑料构成。

栅极线121传送选通信号并且基本上在水平方向上延伸。每条栅极线121均可包括用于与另一层或外部驱动电路连接的宽端部129。第一控制电极124a从栅极线121向上延伸。在可选的示例性实施例中，如果用于生成选通信号的栅极驱动电路(未示出)集成到基板110上，则栅极线121可以延伸为直接连接至栅极驱动电路。

第二控制电极124b与栅极线121分离并且包括向下延伸的存储电极127，其弯曲地远离存储电极127，然后向上延伸。

栅极导体121、124a、和124b的示例性实施例由包括铝(Al)和Al合金的Al族金属、包括银(Ag)和Ag合金的Ag族金属、包括铜(Cu)和Cu合金的Cu族金属、包括钼(Mo)和Mo合金的Mo族金属、铬(Cr)、钽(Ta)、或钛(Ti)构成。

在栅极导体121、124a、和124b上形成栅极绝缘层140。栅极绝缘层140的示例性实施例可以由氮化硅(“SiNx”)或氧化硅(“SiOx”)构成。

在栅极绝缘层140上形成多个第一和第二半导体岛154a和154b。第一和第二半导体岛154a和154b的示例性实施例由氢化非晶硅或多晶硅构成。第一和第二半导体岛154a和154b分别设置在第一和第二控制电极124a和124b上。

多对第一欧姆接触部(未示出)与多对第二欧姆接触部163b和165b分别形成于第一和第二半导体岛154a和154b上。第一欧姆接触部和第二欧姆接触部165a和165b的示例性实施例呈岛状，并且由其中以高浓度重掺杂有n型杂质的n+氢化非晶硅或硅化物构成。第一欧姆接触部成对地形成在第一半导体岛154a上，以及第二欧姆接触部163b和165b也成对地形成在第二半导体岛154b上。

多个数据导体形成于第一欧姆接触部和第二欧姆接触部165a和165b以及栅极绝缘层140上。每个数据导体均包括多条数据线171、多条驱动电压线172、以及多个第一和第二输出电极175a和175b。

数据线171传送数据信号并且基本上在垂直方向上延伸，以与栅极线121交叉。每条数据线171均包括向第一控制电极124a延伸的多个第一输入电极173a以及可用于与其它层或外部驱动电路接触的宽端部179。

驱动电压线172传送驱动电压并且基本上在垂直方向上延伸，以与栅极线121交叉。每个驱动电压线172均包括向第二控制电极124b延伸的多个第二输入电极173b。驱动电压线172与存储电极127重叠并且可以与其连接。

第一和第二输出电极175a和175b彼此分开，并且还与数据线171和驱动电压线172分开。第一输入电极173a和第一输出电极175a相对于介于其间的第一控制电极124a彼此相对。第二输入电极173b和第二输出电极175b相对于介于其间的第二控制电极124b彼此相对。

在一个示例性实施例中，数据导体171、172、175a、和175b可以由诸如钼、铬、钽、钛、及其合金的难熔金属制成。在另一个示例性实施例中，数据导体171、172、175a、和175b可以具有包括难熔金属层(未示出)和低电阻导电层(未示出)的多层结构。

第一欧姆接触部和第二欧姆接触部165a和165b设置于半导体154a和154b与数据导体171、172、175a、和175b之间，以减少其间的接触电阻。半导体154a和154b包括未被数据导体171、172、175a、和175b遮盖的露出区域，例如，输入电极173a和173b与输出电极175a和175b之间的区域。

钝化层180形成于数据导体171、172、175a、和175b以及半导体154a和154b的露出区域上。钝化层180的示例性实施例由诸如氮化硅或氧化硅的无机绝缘体、有机绝缘体、或者具有低介电常数的绝缘材料构成。此外，为了保护半导体154的露出区域，钝化层180的示例性实施例具有包括下部无机层和上部有机层的双层结构。

在钝化层180上形成多个接触孔182、185a、和185b，以分别露出数据线171的端部179以及第一和第二输出电极175a和175b。同样，多个接触孔181和184形成于钝化层180和栅极绝缘层140上，以分别露出栅极线121的端部129以及第二控制电极124b。

在钝化层180上形成多个像素电极191、多个连接件85、和多个接触辅助部81和82。像素电极191、连接件85、以及接触辅助部81和82的示例性实施例由诸如ITO或IZO的透明导电材料或者诸如铝、银、或其合金的反射金属构成。

像素电极191通过接触孔185b物理和电连接至第二输出电极175b。连接件85通过接触孔184和185a分别连接至第二控制电极124b和第一输出电极175a。

接触辅助部81和82通过接触孔181和182连接至栅极线121的端部129和数据线171的端部179。接触辅助部81和82提高了栅极线121的端部129与外部装置以及数据线171的端部179与外部装置之间的连接性，并且避免了端部129和179的损坏。

在钝化层180上形成分隔件361。分隔件361具有开口365，其限定了围绕像素电极191边缘的堤状部(bank)。分隔件361的示例性实施例可以由有机绝缘体或无机绝缘体构成。在另一个示例性实施例中，分隔件361可由具有黑色颜料的光刻胶构成。在该示例性实施例中，分隔件361通过简单形成工艺起到遮光件的作用。

由根据本发明的喷墨印刷系统的示例性实施例形成的有机发光件370被设置于在像素电极191上通过分隔件361限定的开口365中，与上述用于制造LCD的滤色器230的工艺相同。将包含溶剂和含有有机发光材料的溶质的溶液滴入分隔件361的开口365。然后，通过采用真空装置和加热器的喷墨印刷系统的示例性实施例将溶剂从溶液中蒸发，以均匀地干燥溶液并且制造均匀的发光件。

有机发光件370的示例性实施例由发出三原色(例如，红色、绿色、和蓝色)中的一种光的有机材料构成。OLED显示器可以将图像显示为从有机发光件370发出的原色的空间之和。在可选的示例性实施例中，有机发光件370可以由发射白光或原色结合的光的有机材料构成。在该示例性实施例中不使用滤色器或改进的滤色器。

有机发光件370可具有包括用于发光的发光层(未示出)和用于改善发光层发光效率的辅助层(未示出)的多层结构。辅助层的示例性实施例可以是电子和空穴转移层(未示出)，用于平衡发光层中电子和空穴的数量；以及电子和空穴注入层(未示出)，用于增强电子和空穴的注入(injection)。

在有机发光件370上形成共电极270。共电极270接收共电压Vss。共电极270的示例性实施例由诸如Ca、Ba、Mg、Al、和Ag的反射金属或诸如ITO和IZO的透明导电金属构成。

在这种OLED显示器中，连接至栅极线121的第一控制电极124a、连接至数据线171的第一输入电极173a、和第一输出电极175a以及第一半导体154a一起形成开关薄膜晶体管Qs。在第一输入电极173a与第一输出电极175a之间的第一半导体154a中形成开关薄膜晶体管Qs的沟道。连接至第二输出电极175b的第二控制电极124b、连接至驱动电压线172的第二输入电极173b、以及连接至像素电极191的第二输出电极175b以及第二半导体154b一起形成驱动薄膜晶体管Qd。在第二输入电极173b与第二输出电极175b之间的第二半导体154b中形成驱动薄膜晶体管Qd的沟道。像素电极191、有机发光件370、和共电极270形成OLED LD。像素电极191为阳极，并且共电极270为阴极。可选地，像素电极191可为阴极，并且共电极270可为阳极。彼此重叠的存储电极127与驱动电压线172形成存储电容器Cst。

上述的OLED显示器通过相对于基板110向上或向下发光来显示图像。将不透明的像素电极191和透明的共电极270应用到从基板110向上显示图像的项部发光型OLED显示器。透明的像素电极191和不透明的共电极270应用到从基板110向下显示图像的底部发光型OLED显示器。可选的示例性实施例包括以下结构，其中通过包括透明像素电极191和透明的共电极270，OLED显示器相对于基板110向上和向下(例如，在相对侧)显示图像。

尽管已经描述了具有由非晶硅构成的半导体154a和154b的OLED显示器的显示面板的示例性实施例，但是可选的示例性实施例包括其中显示面板采用由多晶硅构成的半导体的结构。

使用根据本发明的喷墨印刷系统和使用该系统制造显示装置的方法的示例性实施例，可以通过同时使用真空孔和加热器更快速地干燥油墨。

同样，可以通过利用干燥单元几乎在头单元滴落油墨的同时干燥油墨，并且可以调节干燥处理的时间和条件，从而改进滤色器外形和厚度的均匀性。

虽然已经结合当前认为可行的示例性实施例描述了本发明，但应该理解，本发明不限于所公开的示例性实施例，相反地，本发明应该覆盖在所附权利要求中所包括的精神和范围内的各种改变和等同替换。

Claims

1.一种喷墨印刷系统，包括：

基板，安装在平台上；

头单元，将油墨滴到所述基板上；

干燥单元，干燥滴到所述基板上的所述油墨；以及

移动装置，将所述头单元和所述干燥单元移动至预定位置，

其中，真空孔形成在所述干燥单元中。

2.根据权利要求1所述的喷墨印刷系统，其中，在与所述头单元的移动方向基本垂直的方向上，所述干燥单元以预定间距远离所述头单元设置。

3.根据权利要求2所述的喷墨印刷系统，其中，所述干燥单元进一步包括加热器。

4.根据权利要求3所述的喷墨印刷系统，其中，所述加热器被设置在所述真空孔之间。

5.根据权利要求3所述的喷墨印刷系统，其中，所述头单元包括具有多个喷嘴的喷墨头。

6.根据权利要求1所述的喷墨印刷系统，其中，所述基板是液晶显示器的基板和有机发光二极管显示器的基板中的一种。

7.根据权利要求6所述的喷墨印刷系统，其中，所述油墨是用于形成滤色器的油墨和用于形成有机发光件的油墨中的一种。

8.根据权利要求6所述的喷墨印刷系统，其中，分隔件形成于所述基板上，以限制所述滴落的油墨。

9.根据权利要求8所述的喷墨印刷系统，其中，所述分隔件是液晶显示器的遮光件和有机发光二极管显示器的分隔件中的一种。

10.一种显示装置的制造方法，所述方法包括以下步骤：

将头单元设置在基板上方；

当移动所述头单元时通过所述头单元将油墨滴到所述基板上；以及

通过与所述头单元相邻的干燥单元干燥所述滴落的油墨，

其中，在所述干燥单元上形成真空孔。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，在与所述头单元的移动方向基本垂直的方向上，以预定间距远离所述头单元设置所述干燥单元。

12.根据权利要求11所述的方法，进一步包括通过所述干燥单元上的加热器干燥所述基板上的所述油墨。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，所述头单元包括具有多个喷嘴的喷墨头。

14.根据权利要求10所述的方法，其中，所述基板是液晶显示器的基板和有机发光二极管显示器的基板中的一种。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，所述油墨是用于形成滤色器的油墨和用于有机发光件的油墨中的一种。

16.根据权利要求15所述的方法，进一步包括在所述基板上形成分隔件，以限制所述滴落的油墨。

17.根据权利要求16所述的方法，其中，所述分隔件形成为液晶显示器的遮光件和有机发光二极管显示器的分隔件中的一种。