CN1973428B

CN1973428B - 被调适来提供两个可动度的机电驱动器

Info

Publication number: CN1973428B
Application number: CN2005800206817A
Authority: CN
Inventors: 马克·埃皮陶克斯; 威尔弗里德·诺埃尔; 伊薇斯·彼得曼德; 尼古拉斯·F·德罗伊
Original assignee: Intel Corp
Current assignee: Intel Corp
Priority date: 2004-04-27
Filing date: 2005-04-08
Publication date: 2012-05-23
Anticipated expiration: 2025-04-08
Also published as: EP1751842A1; US20050237597A1; JP4584985B2; CN1973428A; JP2007535290A; US7187486B2; WO2005109621A1

Abstract

在这里描述了包括对象和多个驱动器的机电系统，所述多个驱动器被调适为协作来给所述对象提供两个可动度。

Description

被调适来提供两个可动度的机电驱动器

发明领域

本发明一般地涉及机电系统的领域，并且更具体地，涉及机电驱动器布置。

发明背景

光刻工艺中的进步已经使机电系统(例如，微机电系统(MEMS))能够具有极其小的特征。对于这些特征来说，具有微米量级的尺寸并不少见。此外，尽管它们的尺寸小，但是它们具有良好控制的几何性质。结果，将MEMS引入各种应用已经变得可能。例如，正在将压力传感器和汽车轮胎集成在一起，以提供轮胎压力的实时监控；正在考虑将微机械加工的药物输送系统用作可移植智能药物胶囊；正在将微惯性传感器用于智能射弹，以针对射击跳动(gun jump)和风力因数自动调整弹道；以及微机械加工的数字推进器正在寻求在控制微卫星的位置中的应用。

另外，微机械结构和有源组件与电子组件(例如，信号处理电路)、传感器(温度、pH传感器，等)、光学器件、流体组件(例如，流道、微型泵、微型阀)和高性能化学分析系统(例如，电泳)被集成在一起，以实现“智能”传感器和致动器中的综合功能集成。

此外，技术已经进步到这样的程度，即，已经提供了具有一维线性平移运动能力的可动微机构。

附图简要说明

本发明将以示例性实施方案而不是限制的方式被描述，所述示例性实施方案在附图中被图示，在所述附图中，相同的标记表示相似的部件，其中：

图1根据本发明的实施方案，图示包括具有两个可动度(degree of mobility)的微驱动器布置的MEMS的俯视图；

图2根据一个实施方案，图示图1的微驱动器中的一个的部分的放大视图；

图3图示图1的MEMS的截面视图；

图4根据本发明的另一实施方案，图示包括具有两个可动度的微驱动器布置的另一MEMS的俯视图；

图5根据本发明的再一实施方案，图示包括具有两个可动度的微驱动器布置的另一MEMS的透视图；

图6a-6b根据一个实施方案，更详细地图示图5的微驱动器的协作致动；以及

图7根据一个实施方案，图示具有与图1-5的MEMS中的一个或更多个结合的组件的示例性系统。

说明性实施方案详细描述

本发明的说明性实施方案包括，但不仅限于，提供两个可动度的机电驱动器布置，以及与所述机电驱动器布置结合的系统。

将使用通常被本领域技术人员用来将他们工作的实质传达给本领域中的其他技术人员的术语来描述说明性实施方案的各个方面。但是，本领域中的技术人员将会清楚，本发明可以仅使用所描述的方面中的一些来实践。为了解释的目的，阐述了具体的数量、材料和结构，以提供对说明性实施方案的完整理解。但是，本领域中的技术人员将会清楚，本发明可以无需所述具体细节而被实践。此外，公知的特征被省去或简化，以免模糊说明性实施方案。

短语“在一个实施方案中”被重复使用。该短语一般并非指同一实施方案；但是，它可以指同一实施方案。除非文中以其他方式指出，术语“包括(comprising)”、“具有(having)”、“包括(including)”是同义的。

此外，尽管本发明将关于微机电实施方案被描述，但是本发明不被限制，并且可以在其他量级(例如，在纳米级水平)被实践。

现在参照图1，其中根据一个实施方案，具有被调适来提供两个可动度的驱动器布置的MEMS的俯视图被示出。如图示的，对于该实施方案来说，MEMS 102包括微对象414和包含微驱动器402a-402d的驱动器布置，所述微驱动器402a-402d如所示出的那样彼此耦合。如以下将更详细地描述的，微驱动器402a-402d被调适成选择性地彼此协作，以给微对象414提供两个可动度，更具体地，对于该实施方案来说，沿X/-X方向的第一可动度和沿Y/-Y方向的第二可动度。具体来说，微驱动器402a-402d的各个对，例如微驱动器402b-402c、微驱动器402a-402d、微驱动器402a-402c或微驱动器402a-402d可以以互补方式被致动，以提供两个可动度，例如，X和Y/-Y、-X和Y/-Y、Y和X/-X或-Y和X/-X。

为了方便理解，可动性的方向被称为X/-X和Y/-Y方向。但是，这些标记不应该被解读为对本发明的限制，因为依赖于用于描述MEMS 102的观察点，可动性可以被称为Z或其他方向。同样地，将任何视图称为俯视图、侧视图等也是为了方便理解。如果从不同观察点给出描述，则每个视图可以被不同地标记。因此，也不要将视图标记解读为对本发明的限制。

继续参照图1，对于该实施方案来说，MEMS 102还包括台(stage)416，微对象414被设置在所述台上。微对象414可以以一体的方式被形成在台416上，或者被附接到台416。另外，对于该实施方案来说，MEMS 102包括柔性悬梁(compliant suspension beam)412a-412b，台416(以及因此，微对象414)被附接到所述柔性悬梁412a-412b。对于该实施方案来说，柔性悬梁412a-412b在形状上基本上是细长的和弯曲的。此外，微驱动器402c和402d被耦合到柔性悬梁412a-412b的一端，而微驱动器402c和402d被耦合到柔性悬梁412a-412b的另一端。

微驱动器402b和402c被调适成是可以以互补方式被致动的，从而以协同的方式使柔性悬梁412a-412b以及因此微对象414沿X方向移动一段距离，而微驱动器402a和402d被调适成是可以以互补方式被致动的，从而以相对的协同方式使柔性悬梁412a-412b以及因此微对象414沿-X方向移动一段距离。

另外，微驱动器402a和402c被调适成是可以以互补方式被致动的，以压缩柔性悬梁412a-412b，从而使微对象414沿Y方向移动一段距离，而微驱动器402b和402d被调适成是可以以互补方式被致动的，以拉伸柔性悬梁412a-412b，从而使微对象414沿-Y方向移动一段距离。

对于该实施方案来说，MEMS 102被设计成使微对象414当它在X/-X或Y/-Y方向上没有移动任何数量的距离时，基本上被安置在基底410的中央。为了方便理解，这个位置将被称为“初始”位置。在替换的实施方案中，“初始”位置可以不在中央。

在各个实施方案中，移动的距离是起作用的微驱动器(the facilitating micro drive)的致动强度的函数。因此，通过用不同的强度以互补方式致动两个协作微驱动器来实现两个方向上的移动是可能的。在各个实施方案中，微驱动器402a-402d中的每一个可以以相同的或不同的强度被独立地致动。注意各强度中期望的差值可以通过以具有所述差值的不同强度致动一对微驱动器来实现，其中所述以具有所述差值的不同强度致动的操作包括以等于所述差值的强度来致动两个微驱动器中的一个，而以零强度来“致动”另一微驱动器。因此，如在这里所使用的，包括在权利要求书中，术语“互补致动”包括“零”形式的“致动”，其中微驱动器中的一个以零强度“致动”。

在各个实施方案中，MEMS 102还可以包括微驱动器402a-402d被耦合到的多个弹簧413a-413d。弹簧413a-413d可以被附接到基底410。对于该实施方案来说，弹簧413a-413d在形状上也基本上是细长的，被设置为与微驱动器402a-402d基本上平行。

在各个实施方案中，微驱动器402a-402d中的每一个包括至少两个部分，所述两个部分中的至少一个被调适成是可以相对另一个线性移动的。在各个实施方案中，另一部分通过弹簧413a-413d中相应的一个被固定到基底410。此外，在各个实施方案中，可移动部分以静电的方式，即当驱动器以电的方式被供给能量时，相对固定部分线性移动。移动量是微驱动器以电的方式被供给能量的强度的函数。

基底410可以由各种基底材料形成，所述各种基底材料包括，但不仅限于，硅、绝缘体上硅等。台416可以由各种材料形成，所述各种材料包括，但不仅限于，陶瓷材料或例如硅的半导体材料。

微对象414可以是期望至少两个可动度的任何微对象。微对象414的实施例包括，但不仅限于，微透镜、微反射镜等。

如前面描述的，微对象414被附接到柔性悬梁412a-412b，所述柔性悬梁412a-412b可以包括例如具有柔性性质的一种或更多种金属或者它们的合金的一个或更多个层。这样的金属包括，但不仅限于，铜(CU)、钛(Ti)、镍(Ni)、金(Au)、银(Ag)、钽(Ta)、钼(Mo)、铬(Cr)、钴(Co)、硅(Si)等。结果，柔性悬梁412a-412b可以被压缩，以给微对象414提供沿+Y方向一段距离的可动性，或者被拉伸(伸展)，以给微对象414提供沿-Y方向一段距离的可动性。相似地，弹簧413a-413d可以用具有柔性性质的金属或合金的一个或更多个层来形成，所述金属包括，但不仅限于，前面列举的金属。

现在再参照图2，其中根据各个实施方案，多个微驱动器中的一个的放大视图被示出。对于这些实施方案来说，微驱动器402a-402d中的每一个是包括两个部分404a-404b的梳形驱动器，并且每个部分具有多个指406。两个部分404a-404b中的一个(通过弹簧413a-413d中相应的一个)被基本上“附着”到基底410，并且另一部分被耦合到柔性悬梁412a-412b的一端。在各个实施方案中，梳形驱动器402a-402d中的每一个根据静电原理工作。即，当期望梳形驱动器402a-402d移动时，特定梳形驱动器402a-402d的两个部分404a-404b的指406以互补方式被供给能量，导致耦合到柔性悬梁412a-412b的一端的部分404a/404b朝向或离开基本上“附着”的部分404b/404a线性移动。因此，耦合到弹簧413a-413b的部分404a/404b还可以被称为梳形驱动器402a-402d的“固定”部分，而耦合到柔性悬梁412a-412b的一端的部分404a/404b还可以被称为梳形驱动器402a-402d的可移动部分。

此外，在每种情况下，移动量基本上依赖于可移动部分404a/404b相对“固定”部分404b/404a的位移量，所述位移量依赖于部分404a-404b被供给能量的程度。换言之，通过控制相应微驱动器402a-402d的部分404a-404b被供给能量的程度，可以控制微驱动器402a-402d以及因此微对象414移动的距离。在各个实施方案中，驱动器402a-402d中相应的一个的部分404a-404b可以被供给能量的程度是可变的，并且可以彼此不同。即，在X/-X或Y/-Y方向上要实现的移动量可以是可变的，在X/-X方向之一和Y/-Y方向之一上的并发移动可以通过微驱动器402a-402d中相应的一对的一个互补致动来实现。

现在参照图3，其中根据各个实施方案，MEMS 102的截面视图被示出。对于这些实施方案来说，还可以进一步给MEMS 102提供台416下的电极特征422。电极特征422被调适成是可以被致动的，从而以静电的方式吸引台416，由此提供保持(hold)或锁定功能，所述保持或锁定功能用于在台416(和微对象414)已经被移动到期望的位置(例如，工作位置)之后将台416以及因此微对象410保持或锁定在适当位置。具体来说，在操作期间，该操作可以在组装后，或者在包括MEMS 102的组件(例如，光电子模块)的组装基本完成之后进行。短语“组装基本完成”指这样的时间点，即，其中进一步的组装活动对微对象的位置(location)/定位(position)的影响或潜在影响相对期望的质量或可靠性来说被认为是无关紧要或不显著的。因此，(对于本发明实施方案的目的来说，)什么构成“组装基本完成”是取决于应用的。对于具有非常高的质量要求或可靠性要求的应用来说，该时间点可以是所有组装完全完成。

在各个实施方案中，除电极特征422以外或代替电极特征422，基底的一个或更多个区可以被供给能量来吸引台416，由此实现期望的保持或锁定就位功能，所述功能用于在台416(和微对象414)已经被移动到期望的位置/定位(例如，工作位置/定位)之后将台416以及因此微对象410保持或锁定在适当位置。

在替换的实施方案中，保持或锁住(lock down)功能可以使用其他物理原理来实现，所述其他物理原理包括，但不仅限于，电磁、压电双晶片、热双晶片等。

保持或锁定就位特征在例如微透镜应用(即，微对象414是微透镜)中尤其有用，用于在微透镜已经被移动到期望工作位置(例如，它与光源和光纤对准的位置)之后将它保持或锁定在适当位置。如前面描述的，这个操作可以在组装后，或在包括MEMS 102的光电子模块的组装基本完成之后进行。此外，在工作一段时间后的较后时间点，保持或锁定操作可以被解除(undo)，以使微透镜可再次移动，从而便于部件的再对准。微透镜可以在再对准之后再次被再锁定。由于工作要求的改变，或者(由于任意原因)部件变为未对准的，可能期望解锁定和再对准。解锁定、再对准和再锁定过程可以根据所需要的被重复任意次。这样的微透镜应用，或者更具体地，具有在光电子模块的组装后进行对准和锁住的能力的微透镜应用是标题为“Movable Lens Beam Steerer(可移动透镜束引导器)”的同时待审定申请的主题，所述同时待审定申请具有与本发明相同的发明人，并且同时在2004年4月27日以快递邮件号EU984797833US递交。注意以操作方式定位微对象、将所述微对象锁定在适当位置、解锁定它以及重复所述定位和锁定过程的过程不限于微透镜应用。该过程可以被实施用于宽范围的其他微对象，其中期望相对其他部件进行操作上的重定位。

现在参照图4，其中根据替换的实施方案，具有被调适来提供两个可动度的驱动器布置的MEMS被示出。MEMS 102’与图1的MEMS 102基本上相同，除了驱动器402a和402c中的每一个被分成两个分离的并且单独设置的部分，即分别为驱动器部分402aa-402ab和驱动器部分402ca-402cb。微驱动器部分402aa和402ab被耦合到柔性悬梁412a和412b的相应端，而微驱动器部分402ca和402cb被耦合到柔性悬梁412a和412b的相应的相对端。

如前面描述的，微驱动器部分402ca和402cb被调适成是可以以与微驱动器402b互补的方式被致动，从而以协同的方式分别将柔性悬梁412a和412b以及因此微对象414沿X方向(并且在基本上相同的时间，可选地沿Y/-Y方向中的一个)移动一段距离，而微驱动器部分402aa和402ab被调适成是可以以与微驱动器402d互补的方式被致动，从而以相对的协同方式分别使柔性悬梁412a和412b以及因此微对象414沿-X方向(并且在基本上相同的时间，可选地沿Y/-Y方向中的一个)移动一段距离。

另外，如较早描述的，微驱动器部分402aa和402ab以及402ca-402cb被调适成是可以以互补方式被致动的，从而以协同的方式分别压缩柔性悬梁412a和412b，以将微对象414沿Y方向(并且在基本上相同的时间，任选地沿X/-X方向中的一个)移动一段距离，而微驱动器部分402b和402d被调适成是可以以互补方式被致动的，从而以协同的方式分别拉伸柔性悬梁412a和412b，以将微对象414沿-Y方向(并且在基本上相同的时间，任选地沿X/-X方向中的一个)移动一段距离。

现在参照图5和6a-6b，其中根据另一替换的实施方案，具有被调适来提供两个可动度的驱动器布置的MEMS被示出。主要地，MEMS 102”与图1的MEMS 102以及图4的MEMS 102”基本相同，除了台416被分成3个台416a-416c。微透镜被设置在主台416a上，所述主台通过可移动臂418a-418d被耦合到其他两个台416b-416c，所述可移动臂418a-418d又分别被耦合到微驱动器对402a^*-402d^*(^*等于a或b)。此外，每一对微驱动器402a^*-402d^*包括“左”微驱动器402aa、402ba、402ca和402da，以及“右”微驱动器402ab、402bb、402cb和402db，所述“左”微驱动器和“右”微驱动器被调适成是可以以组合的方式选择性地被致动的，以提供逆时针运动或顺时针运动(见图6a-6b)，而不是图1和4的线性运动。如较早针对“俯”、“侧”视图等阐明的，根据MEMS102”正被描述的观察点，将微驱动器称为“左”和“右”也是为了方便理解，并且不应该被解读为对本发明的实施方案的限制。

对微驱动器402a^*-402d^*进行调适，使得微驱动器402ab和402cb可以(以基本相等的强度)被致动来提供逆时针运动，而微驱动器402bb和402db(以基本相等的强度)被致动来提供顺时针运动，从而以协同的方式将臂418a-418d以及因此微对象414沿X方向移动一段距离(图6a)。同样地，微驱动器402aa和402ca可以(以基本相等的强度)被致动来提供顺时针运动，而微驱动器402ba和402da(以基本相等的强度)被致动来提供逆时针运动，从而以协同的方式将臂418a-418d以及因此微对象414沿-X方向移动一段距离。此外，如与较早描述的实施方案那样，微驱动器402ab和402cb、402bb和402db、402aa和402ca、和/或402ba和402da可以以不等的强度被可选地致动，以在基本上相同的时间提供沿Y或-Y方向中的一个的移动。

类似地，微驱动器402ab、402ba、402cb和402da都可以(以基本相等的强度)被致动来提供逆时针运动，从而以协同的方式使臂418a-418d以及因此微对象414沿Y方向移动一段距离(图6b)，并且微驱动器402aa、402bb、402ca和402db都可以(以基本相等的强度)被致动来提供顺时针运动，从而以协同的方式将臂418a-418d以及因此微对象414沿-Y向移动一段距离。此外，如与较早描述的实施方案那样，微驱动器402ab和402cb、402bb和402db、402aa和402ca、和/或402ba和402da可以以不等的强度被可选地致动，以在基本上相同的时间提供沿X或-X方向中的一个的移动。

图7根据一个实施方案，图示示例性通信系统。如图示的，示例性系统500包括数据路由子系统502和网络接口模块504，所述数据路由子系统502和网络接口模块504如示出的那样彼此耦合。网络接口模块504被用来将通信系统500光耦合到网络，所述网络可以是局域网、广域网、电话网等。这些网络可以是专用的和/或公用的。对于该实施方案来说，网络接口模块504具体包括与图1-5的MEMS 102、102’和102”中的一个结合的组件(例如，光电子发射模块)。为了本说明书的目的，网络接口模块504还可以被称为通信接口模块。

仍然参照图7，对于该实施方案来说，数据路由子系统502包括如示出那样彼此耦合的处理器512和存储器514。存储器514已在其中储存多个数据路由规则，根据所述多个数据路由规则，处理器512将接收的数据路由通过网络接口模块504。数据路由规则可以采用多种数据结构技术中的任意一种来储存，所述多种数据结构技术包括，但不仅限于，表格、链表等。数据可以根据多种通信协议中的任意一种被接收和转发，所述多种通信协议包括，但不仅限于，传输控制协议/因特网协议(TCP/IP)。

在各个实施方案中，处理器512执行的任务可以包括控制MEMS102的各个驱动器，以及控制用于在微对象414已经移动到期望的工作位置之后将它保持或锁住的部件。处理器512还可以使微对象414从一位置被“解锁定”，并且重复再定位和锁住过程。重定位/锁住过程可以根据所期望的被重复任意次。

在替换的实施方案中，实际的控制操作可以被委托给一个或更多个其他的控制器(未示出)。即，处理器512通过这些其他控制器实现期望的控制。因此，对于权利要求书来说，处理器可以被称为控制器，或者反之亦然，即，为了本说明书和权利要求书的目的，术语要被认为是可交换的。

此外，在各个实施方案中，数据路由系统502还可以包括用于采集所述系统500的一个或更多个性能规格的一个或更多个传感器(未示出)。传感器还可以被耦合到处理器512(或者如果可应用的话，它的代理，“下游”控制器)，从而排他地根据针对性能规格采集的数据或者以与其他操作或配置数据组合的方式，(周期性地或实时地)实现它们的控制。传感器可以被设置在系统500中的任意位置，包括，但不仅限于网络接口模块504中(例如，在MEMS102中)。

除了将MEMS 102结合在网络接口模块504中，部件502-504表示在本领域中已知或要设计的各种这些部件。

在各个实施方案中，示例性系统500可以是路由器、交换机、网关、服务器等。

因此，已经描述了配备有给微对象提供两个可动度的驱动器布置的MEMS和包括这样的MEMS中的一个的系统的实施方案。虽然在这里已经图示并且描述了具体实施方案，但是本领域中的普通技术人员将认识到，各种替换和/或等同的实现可以代替示出并且描述的具体实施方案，而不会偏离本发明的范围。本申请打算覆盖在这里讨论的实施方案的任何修改或变体。因此，本发明显然只被权利要求书及其等同物限制。

Claims

1.一种机电系统，包括：

第一柔性悬梁；

耦合到所述第一柔性悬梁的对象；以及

第一和第二驱动器，所述第一和第二驱动器被耦合到所述第一柔性悬梁的第一和第二端，并且被调适成是可以以互补方式被致动的，以移动、压缩或拉伸所述第一柔性悬梁，从而给所述对象提供第一和第二可动度，

其中所述机电系统还包括第三驱动器，所述第三驱动器被耦合到所述第一柔性悬梁的所述第一端，并且被调适成是可以以与所述第二驱动器互补的方式被致动的，以移动、压缩或拉伸所述第一柔性悬梁，从而补充所述第一和第二驱动器的互补致动。

2.如权利要求1所述的机电系统，其中所述第一和第二驱动器被调适成是可以以互补方式被致动的，以将所述第一柔性悬梁沿第一方向移动一段距离，从而将所述对象沿所述第一方向移动一段距离。

3.如权利要求2所述的机电系统，其中所述第一和第二驱动器还被调适成是可以以互补方式被致动的，从而还将所述第一柔性悬梁压缩或拉伸一个量，以将所述对象以与所述对象沿所述第一方向的所述移动基本上并发的方式沿第二方向移动一段距离，所述第二方向与所述第一方向正交。

4.如权利要求1所述的机电系统，其中

所述机电系统还包括第二柔性悬梁；

所述对象还被耦合到所述第二柔性悬梁；并且

所述第一和第二驱动器还被耦合到所述第二柔性悬梁的第三和第四端，并且被调适成是可以以互补方式被致动的，以与所述第一柔性悬梁的所述移动、压缩或拉伸一致的方式相应地移动、压缩或拉伸所述第二柔性悬梁。

5.如权利要求1所述的机电系统，其中

所述第一和第二驱动器以第一一个或更多个互补致动方式导致提供所述第一和第二可动度；以及

所述机电系统还包括第三和第四驱动器，所述第三和第四驱动器被耦合到所述第一柔性悬梁的所述第一和第二端，并且被调适成是可以以彼此互补方式被致动的，以移动、压缩或拉伸所述第一柔性悬梁，从而以第二一个或更多个互补驱动方式导致提供所述第一和第二可动度。

6.如权利要求1所述的机电系统，其中所述第一和第二驱动器中的至少一个包括两个单独设置的分离部分。

7.如权利要求1所述的机电系统，其中所述机电系统还包括附接到第一柔性悬梁的台，并且所述对象被设置在所述台上。

8.如权利要求7所述的机电系统，其中所述机电系统还包括：

基底；

第一和第二弹簧，所述第一和第二弹簧被设置在所述基底上并且被分别耦合到所述第一和第二驱动器；以及

所述基底还包括一个或更多个区，所述一个或更多个区被调适成是可以被致动的，以吸引并且保持所述台，从而使所述对象不可被所述第一和第二驱动器移动。

9.如权利要求7所述的机电系统，其中所述机电系统还包括一个或更多个电极特征，所述一个或更多个特征被调适成是可以被致动的，以吸引并且保持所述台，从而使所述对象不可被所述第一和第二驱动器移动。

10.一种机电系统，包括：

第一、第二、第三和第四可移动臂；

耦合到所述第一、第二、第三和第四可移动臂的对象；以及

分别相应地耦合到所述第一、第二、第三和第四可移动臂的第一、第二、第三和第四驱动器，其中所述第一和第二驱动器被调适成是可以以互补方式被致动的，以在逆时针方向和顺时针方向中选定的一个上移动，并且所述第三和第四驱动器被调适成是可以以互补方式被致动的，以在所述逆时针和顺时针方向中的另一个上移动，从而将所述对象沿第一方向移动一段距离，以给所述对象提供第一和第二可动度，所述第一、第二、第三和第四驱动器的旋转轴由所述第一、第二、第三和第四可移动臂分别限定。

11.如权利要求10所述的机电系统，其中所述第一、第二、第三和第四驱动器还被调适成是可以以互补方式被致动的，以将所述对象以与所述对象沿所述第一方向的所述移动基本上并发的方式沿第二方向移动一段距离，所述第二方向与所述第一方向正交。

12.如权利要求10所述的机电系统，其中所述第一、第二、第三和第四驱动器还被调适成是可以以互补方式被致动的，以将所述对象以与所述对象沿所述第一方向的所述移动基本上并发的方式沿第二方向移动一段距离，所述第二方向与所述第一方向正交。

13.如权利要求10所述的机电系统，其中所述机电系统还包括耦合到所述第一、第二、第三和第四可移动臂的台，并且所述对象被设置在所述台上。

14.如权利要求13所述的机电系统，其中所述机电系统还包括具有一个或更多个区的基底，所述一个或更多个区被调适成是可以被致动的，以吸引并且保持所述台，以使所述对象不可被所述第一、第二、第三和第四驱动器移动。

15.如权利要求13所述的机电系统，其中所述机电系统还包括一个或更多个电极特征，所述一个或更多个电极特征被调适成是可以被致动的，以吸引并且保持所述台，使所述对象不可被所述第一、第二、第三和第四驱动器移动。

16.一种用于提供两个可动度的方法，包括：

致动第一驱动器，该第一驱动器直接耦合到第一柔性悬梁的第一端；以及

以与对所述第一驱动器的所述致动操作互补的方式致动第二驱动器，该第二驱动器直接耦合到第一柔性悬梁的第二端，以移动、压缩或拉伸第一柔性悬梁，从而给对象提供第一和第二可动度，所述第一和第二驱动器是不同的驱动器，

17.如权利要求16所述的方法，其中

进行对所述第一和第二驱动器的所述互补致动操作，以移动所述第一柔性悬梁，从而提供所述第一和第二可动度中选定的一个；并且

所述方法还包括以与对所述第一和第二驱动器的所述互补致动操作协作的方式互补地致动直接耦合到第二柔性悬梁的第三和第四驱动器，从而以与所述第一柔性悬梁的所述移动一致的方式移动第二柔性悬梁，所述第一、第二、第三和第四驱动器是不同的驱动器。

18.如权利要求16所述的方法，其中所述方法还包括使所述对象被设置到的台不可被所述第一、第二和第三驱动器移动，以实现将所述对象锁定在适当位置。

19.如权利要求18所述的方法，其中所述方法还包括解除使台不可移动的操作，以使所述对象可再次被所述第一、第二和第三驱动器移动。

20.如权利要求19所述的方法，其中所述方法还包括重复对所述对象的所述移动操作，以及实现将所述对象锁定在适当位置的操作。

21.一种机电系统，包括：

数据路由子系统，所述数据路由子系统包括存储器和被耦合到所述存储器的处理器，所述存储器包括多个数据路由规则，所述处理器至少部分地基于所述数据路由规则路由数据；以及

网络接口模块，所述网络接口模块被耦合到所述数据路由子系统，从而以光学的方式为所述数据路由子系统转发数据，所述网络接口模块包括机电子系统，所述机电子系统包括

多个基本上细长的构件；

耦合到所述多个基本上细长的构件的对象；以及

第一和第二驱动器，所述第一和第二驱动器被耦合到所述基本上细长的构件，并且被调适成是可以以选定的组合选择性地被致动的，以移动、压缩或拉伸所述基本上细长的构件，从而给所述对象提供第一和第二可动度，

其中所述机电系统还包括第三驱动器，所述第三驱动器被耦合到多个基本上细长的构件之一的第一端，并且被调适成是可以以与所述第二驱动器互补的方式被致动的，以移动、压缩或拉伸所述多个基本上细长的构件之一，从而补充所述第一和第二驱动器的互补致动。

22.如权利要求21所述的系统，其中所述第一和第二驱动器中的一个被调适成是可以以不同于其他驱动器的致动强度的强度被致动的。

23.如权利要求21所述的系统，其中所述机电系统还包括

台，所述对象被附接到所述台；以及

基底，所述基底包括设置在所述基底上的区或特征，所述区或特征是可以被致动的，以吸引并且保持所述台，从而使所述对象不可被所述第一和第二驱动器移动。

24.如权利要求23所述的系统，其中所述系统还包括监控所述系统的一个或更多个方面的一个或更多个传感器，所述传感器监控结果以排他的方式或者以与其他输入组合的方式被用来确定所述机电系统的所述第一和第二驱动器的所述选择性互补致动。