CN1962537A - 等静压成型制备石英陶瓷的方法 - Google Patents
等静压成型制备石英陶瓷的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1962537A CN1962537A CN 200610070310 CN200610070310A CN1962537A CN 1962537 A CN1962537 A CN 1962537A CN 200610070310 CN200610070310 CN 200610070310 CN 200610070310 A CN200610070310 A CN 200610070310A CN 1962537 A CN1962537 A CN 1962537A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- quartz
- fused quartz
- isostatic pressing
- ceramics
- quality
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
本发明涉及一种等静压成型制备石英陶瓷的方法,属于陶瓷技术领域,包括熔融石英配料、成型和烧成,其特征在于成型采用等静压成型。采用等静压成型,成型产品的坯体密度均匀,强度高,工艺流程简单,控制方便,适应性强,生产周期短,生产效率高,利于推广应用。
Description
技术领域
本发明涉及一种改进的石英陶瓷的制备方法,属于陶瓷技术领域。
背景技术
近几年来,石英陶瓷以其优异的性能得到了广泛的应用,如有石英陶瓷天线罩和石英陶瓷闸板砖等成品。
目前,石英陶瓷制品的制备较普遍地采用石膏模型料浆浇注法,另外也有采用较为先进的注凝法成型法。石膏模型料浆浇注法成型出的产品表面形状粗糙,成型吃浆时间较长,坯体强度低,而且坯体密度不均匀;注凝法由于依赖有机单体低温聚合反应实现坯体净尺寸固化,影响聚合反应的因素较多,工艺控制产品一致性和均匀性较为复杂。
发明内容
本发明的目的在于提供一种等静压成型制备石英陶瓷的方法,成型产品的坯体密度均匀,强度高,工艺流程简单,控制方便,适应性强,生产周期短,生产效率高。
本发明所述的等静压成型制备石英陶瓷的方法,包括熔融石英配料、成型和烧成,其特征在于成型采用等静压成型。
成型压力控制为20~300MPa适宜。
等等静压成型成型的坯体密度均匀,强度高,可直接加工;成型的产品无需进行烘干可直接烧结,大大缩短产品生产周期,工艺流程简单,生产效率高,适应性好,能成型大尺寸或异型产品。
本发明制备方法中:
熔融石英颗粒粒径控制在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的0~60%,激光粒度仪测试d90<60μm。
最好首先将熔融石英制成料浆,再经喷雾造粒后再成型。可以将熔融石英以水为分散介质在球磨机中(水的质量是熔融石英质量的15~50%),添加料浆总质量0.01~3%的铵盐类(包括柠檬酸铵、聚丙烯酸铵)研磨分散剂,经研磨制备陶瓷料浆,分散剂使料浆有更好的悬浮性。
在研磨过程中添加熔融石英0.01~15%的聚乙烯醇粘结剂。因为熔融石英为脊性料,成型性能差,添加聚乙烯醇粘结剂可以使石英料有好的可塑性,利于成型。
还可以在研磨过程中添加外加剂,包括氮化物、氧化物等,例如有氮化硅和氧化铬等,能使陶瓷的抗弯强度得到提高,加入量为熔融石英质量的0~50%。
在研磨过程中添加成孔剂或/和分子量为2000的聚乙二醇增塑剂,成孔剂的加入量为熔融石英质量的5~50%,增塑剂加入量为熔融石英质量的0.01~15%。成孔剂选用聚丙烯纤维、改性纤维素等,可以在烧结过程中产生气孔,制备多孔产品。增塑剂在粉料中起到塑化、润滑的作用。
将陶瓷料浆用喷雾干燥机造粒,控制工艺参数:进口温度250~300℃,出口温度110~150℃,制得含水率为0.2~2%的石英颗粒料,粒度为80~250目筛的颗粒料用于等静压成型。
或将熔融石英料浆烘干,在10~80MPa的压力下干压成块,再破碎,选过30目筛的颗粒料用于等静压成型。
成型后的半成品经常规方式烧成得产品,通常的烧成温度为1150~1350℃。
本发明制备方法石英陶瓷产品,经检测,性能指标:抗热稳定性次数1000℃水冷大于6次,热膨胀系数:<1.0×10-6/℃,抗弯强度大于10MPa,如用于制备陶瓷天线罩,其介电常数ε:2.0~3.3(0~500℃),损耗角正切tgδ:≤1×10-3(0~500℃)。
本发明等静压成型制备石英陶瓷的方法,成型产品的坯体密度均匀,强度高,工艺流程简单,控制方便,适应性强,生产周期短,生产效率高,利于推广应用。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步说明。
实施例1
熔融石英100%,熔融石英颗粒粒径控制在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的40%,球磨机中分散介质水占熔融石英质量的45%,聚丙烯酸铵分散剂占料浆的2%,聚乙烯醇粘结剂占熔融石英质量的5%,制得的料浆喷雾造粒,进口温度280~290℃,出口温度130~140℃,制得含水率为1%的石英颗粒料,取粒度为80~250目筛的料装填模具,等静压成型,压力为150MPa,烧成温度为1250±5℃。制得的石英陶瓷体积密度为1.91g/cm3,显气孔率为12.74%,热膨胀系数为<1.0×10-6/℃,抗弯强度为46.7MPa。
实施例2
熔融石英100%,熔融石英颗粒粒径控制在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的55%,球磨机中分散介质水占熔融石英质量的35%,聚丙烯酸铵分散剂占料浆的2%,聚乙烯醇粘结剂占熔融石英质量的5%,加入的氮化硅的质量占熔融石英质量的0.5%,制得的料浆喷雾造粒,进口温度280~290℃,出口温度125~135℃,制得含水率为1.2%的石英颗粒料,取粒度为80~250目筛的料装填模具,等静压成型,压力为150MPa,烧成温度为1250±5℃。制得的石英陶瓷体积密度为1.94g/cm3,显气孔率为10.8%,热膨胀系数:<1.0×10-6/℃,抗弯强度为65.7MPa,显示加入氮化硅可以增强石英陶瓷的强度。
实施例3
熔融石英100%,熔融石英颗粒粒径控制在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的30%,球磨机中分散介质水占熔融石英质量的35%,聚丙烯酸铵分散剂占料浆的2%,聚乙烯醇粘结剂占熔融石英质量的5%,加入的氧化铬的质量占熔融石英质量的0.5%,制得的料浆喷雾造粒,进口温度280~290℃,出口温度130~140℃,制得含水率为1.1%的石英颗粒料,取粒度为80~250目筛的料装填模具,等静压成型,压力为150MPa,烧成温度为1250±5℃.制得的石英陶瓷体积密度为1.96g/cm3,显气孔率为10.31%,热膨胀系数:<1.0×10-6/℃,抗弯强度为66.5MPa,显示加入氧化铬可以增强石英陶瓷的强度。
实施例4
熔融石英100%,熔融石英颗粒粒径控制在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的35%,球磨机中分散介质水占熔融石英质量的25%,聚丙烯酸铵分散剂占料浆的2%,聚乙烯醇粘结剂占熔融石英质量的5%,加入的聚丙烯纤维成孔剂的质量占熔融石英质量的20%,制得的料浆烘干后破碎,加压10MPa后破碎,取过30目筛的料装填模具,等静压成型,压力为20MPa,烧成温度为1250±5℃,制得的石英陶瓷体积密度为1..25g/cm3,气孔率为43.8%,陶瓷的热膨胀系数:<1.0×10-6/℃,抗弯强度为15.6MPa。
实施例5
熔融石英100%,熔融石英颗粒粒径控制在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的35%,球磨机中分散介质水占熔融石英质量的25%,聚丙烯酸铵分散剂占料浆的2%,聚乙烯醇粘结剂占熔融石英质量的5%,分子量为2000的聚乙二醇增塑剂占熔融石英质量的5%,制得的料浆烘干后破碎,加压50MPa后破碎,取过30目筛的料装填模具,等静压成型,压力为150MPa烧成温度为1250±5℃。制得的石英陶瓷体积密度为1.84g/cm3,显气孔率为15.21%,热膨胀系数为<1.0×10-6/℃,抗弯强度为43.7MPa。
实施例6
熔融石英100%,熔融石英颗粒粒径控制在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的35%,球磨机中分散介质水占熔融石英质量的45%,柠檬酸铵分散剂占料浆的1.5%,聚乙烯醇粘结剂占熔融石英质量的0.8%,制得的料浆喷雾造粒,进口温度280~290℃,出口温度130~140℃,制得含水率为1.4%的石英颗粒料,取粒度为80~250目筛的料装填模具,等静压成型,压力为200MPa,烧成温度为1280±5℃。制得的石英陶瓷体积密度为1.96g/cm3,显气孔率为10.34%,热膨胀系数为<1.0×10-6/℃,抗弯强度为67.5MPa。
实施例7
熔融石英100%,熔融石英颗粒粒径控制在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的48%,球磨机中分散介质水占熔融石英质量的18%,聚丙烯酸铵分散剂占料浆的2.5%,聚乙烯醇粘结剂占熔融石英质量的8%,加入的氮化硅的质量占熔融石英质量的5%,制得的料浆烘干后破碎,加压60MPa后破碎,选过30目筛的料装填模具,等静压成型,压力为180MPa,烧成温度为1180±5℃。制得的石英陶瓷体积密度为1.63g/cm3,显气孔率为25.51%,热膨胀系数为<1.0×10-6/℃,抗弯强度为34.4MPa。
实施例8
熔融石英100%,熔融石英颗粒粒径控制在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的15%,球磨机中分散介质水占熔融石英质量的28%,聚丙烯酸铵分散剂占料浆的2%,聚乙烯醇粘结剂占熔融石英质量的10%,加入的氧化铬的质量占熔融石英质量的3%,制得的料浆烘干后破碎,加压70MPa后破碎,取过30目筛的料装填模具,等静压成型,压力为250MPa,烧成温度为1230±5℃。制得的石英陶瓷体积密度为1.54g/cm3,显气孔率为29.15%,热膨胀系数为<1.0×10-6/℃,抗弯强度为25.9MPa。
实施例9
熔融石英100%,熔融石英颗粒粒径控制在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的30%,球磨机中分散介质水占熔融石英质量的25%,聚丙烯酸铵分散剂占料浆的1.5%,聚乙烯醇粘结剂占熔融石英质量的1%,加入的改性纤维素成孔剂的质量占熔融石英质量的30%,制得的料浆烘干后破碎,加压20MPa后破碎,取过30目筛的料装填模具,等静压成型,压力为50MPa,烧成温度为1320±5℃。制得的石英陶瓷体积密度为1.24g/cm3,显气孔率为44.8%,热膨胀系数为<1.0×10-6/℃,抗弯强度为14.6MPa。
实施例10
熔融石英100%,熔融石英颗粒粒径控制在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的52%,球磨机中分散介质水占熔融石英质量的22%,聚丙烯酸铵分散剂占料浆的2%,聚乙烯醇粘结剂占熔融石英质量的6%,分子量为2000的聚乙二醇增塑剂占熔融石英质量的8%,制得的料浆烘干后破碎,加压50MPa后破碎,取过30目筛的料装填模具,等静压成型,压力为150MPa,烧成温度为1250±5℃。制得的石英陶瓷体积密度为1.75g/cm3,显气孔率为19.89%,热膨胀系数为<1.0×10-6/℃,抗弯强度为37.2MPa。
实施例11
熔融石英100%,熔融石英颗粒粒径控制在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的50%,球磨机介质水占熔融石英质量的30%,柠檬酸铵分散剂占料浆的1.6%,聚乙烯醇粘结剂占熔融石英质量的5%,制得的料浆烘干后破碎,加压50MPa后破碎,取过30目筛的料装填模具,等静压成型,压力为200MPa,烧成温度为1290±5℃。制得的石英陶瓷体积密度为1.90g/cm3,显气孔率为13.23%,热膨胀系数为<1.0×10-6/℃,抗弯强度为45.9MPa。
实施例12
熔融石英100%,熔融石英颗粒粒径控制在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的48%,球磨机中分散介质水占熔融石英质量的25%,柠檬酸铵分散剂占料浆的0.9%,聚乙烯醇粘结剂占熔融石英质量的5%,加入的改性纤维素成孔剂的质量占熔融石英质量的3%,制得的料浆烘干后破碎,加压60MPa后破碎,选过30目筛的料装填模具,等静压成型,压力为180MPa,烧成温度为1170±5℃。制得的石英陶瓷体积密度为1.82g/cm3,显气孔率为15.93%,热膨胀系数为<1.0×10-6/℃,抗弯强度为41.6MPa。
实施例13
熔融石英100%,熔融石英颗粒粒径控制在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的33%,球磨机中分散介质水占熔融石英质量的28%,柠檬酸铵分散剂占料浆的2.2%,聚乙烯醇粘结剂占熔融石英质量的4%,加入的氧化铬的质量占熔融石英质量的3%,制得的料浆烘干后破碎,加压80MPa后破碎,取过30目筛的料装填模具,等静压成型,压力为230MPa,烧成温度为1230±5℃。制得的石英陶瓷体积密度为1.96g/cm3,显气孔率为10.45%,热膨胀系数为<1.0×10-6/℃,抗弯强度为68.2MPa。
实施例14
熔融石英100%,熔融石英颗粒粒径控制在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的42%,球磨机中分散介质水占熔融石英质量的50%,聚丙烯酸铵分散剂占料浆的1.3%,聚乙烯醇粘结剂占熔融石英质量的1%,加入的改性纤维素成孔剂的质量占熔融石英质量的25%,制得的料浆喷雾造粒,进口温度275~285℃,出口温度125~135℃,制得含水率为1.5%的石英颗粒料,取粒度为80~250目筛的料装填模具,等静压成型,压力为220MPa,烧成温度为1310±5℃。制得的石英陶瓷体积密度为1.21g/cm3,显气孔率为46.7%,热膨胀系数为<1.0×10-6/℃,抗弯强度为13.5MPa。
实施例15
熔融石英100%,熔融石英颗粒粒径控制在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的52%,球磨机中分散介质水占熔融石英质量的22%,柠檬酸铵分散剂占料浆的6%,聚乙烯醇粘结剂占熔融石英质量的5%,分子量为2000的聚乙二醇增塑剂占熔融石英质量的4%,制得的料浆烘干后破碎,加压60MPa后破碎,取过30目筛的料装填模具,等静压成型,压力为190MPa,烧成温度为1260±5℃。制得的石英陶瓷体积密度为1.87g/cm3,显气孔率为14.02%,热膨胀系数为<1.0×10-6/℃,抗弯强度为45.3MPa。
实施例16
熔融石英100%,熔融石英颗粒粒径控制在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的0%,球磨机中分散介质水占熔融石英质量的40%,柠檬酸铵分散剂占料浆的2%,聚乙烯醇粘结剂占熔融石英质量的5%,制得的料浆烘干后破碎,加压50MPa后破碎,取过30目筛的料装填模具,等静压成型,压力为110MPa,烧成温度为1250±5℃。制得的石英陶瓷体积密度为1.96g/cm3,显气孔率为10.25%,热膨胀系数为<1.0×10-6/℃,抗弯强度为68.2MPa。
实施例17
熔融石英100%,熔融石英颗粒粒径控制在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的22%,球磨机中分散介质水占熔融石英质量的40%,柠檬酸铵分散剂占料浆的2%,聚乙烯醇粘结剂占熔融石英质量的4%,制得的料浆喷雾造粒,进口温度280~285℃,出口温度130~140℃,制得含水率为0.8%的石英颗粒料,取粒度为80~250目筛的料装填模具,等静压成型,压力为110MPa,烧成温度为1250±5℃。制得的石英陶瓷体积密度为1.93g/cm3,显气孔率为11.12%,热膨胀系数为<1.0×10-6/℃,抗弯强度为51.2MPa。
Claims (10)
1、一种等静压成型制备石英陶瓷的方法,包括熔融石英配料、成型和烧成,其特征在于成型采用等静压成型。
2、根据权利要求1所述的等静压成型制备石英陶瓷的方法,其特征在于成型压力为20~300MPa。
3、根据权利要求1所述的等静压成型制备石英陶瓷的方法,其特征在于熔融石英颗粒粒径在150目筛到325目筛的质量是熔融石英总质量的0~60%。
4、根据权利要求3所述的等静压成型制备石英陶瓷的方法,其特征在于首先将熔融石英制成料浆,经喷雾造粒后再成型。
5、根据权利要求4所述的等静压成型制备石英陶瓷的方法,其特征在于将熔融石英以水为研磨分散介质在球磨机中,添加料浆总质量0.01~3%的铵盐类分散剂,经研磨制备陶瓷料浆。
6、根据权利要求5所述的等静压成型制备石英陶瓷的方法,其特征在于研磨过程中添加熔融石英0.01~15%的聚乙烯醇粘结剂。
7、根据权利要求6所述的等静压成型制备石英陶瓷的方法,其特征在于研磨过程中添加外加剂,加入量为熔融石英质量的0~50%。
8、根据权利要求7所述的等静压成型制备石英陶瓷的方法,其特征在于研磨过程中添加成孔剂或/和分子量为2000的聚乙二醇增塑剂,成孔剂的加入量为熔融石英质量的5~50%,增塑剂加入量为熔融石英质量的0.01~15%。
9、根据权利要求1-8任一权利要求所述的等静压成型制备石英陶瓷的方法,其特征在于将陶瓷料浆用喷雾干燥机造粒,控制工艺参数:进口温度250~300℃,出口温度110~150℃,制得含水率为0.2~2%的石英颗粒料,选取粒度为80~250目筛的颗粒料用于等静压成型。
10、根据权利要求9所述的等静压成型制备石英陶瓷的方法,其特征在于将石英颗粒料在10~80MPa的压力下干压成块,再破碎,取过30目筛的颗粒料用于等静压成型。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNB2006100703106A CN100558673C (zh) | 2006-11-15 | 2006-11-15 | 等静压成型制备石英陶瓷的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNB2006100703106A CN100558673C (zh) | 2006-11-15 | 2006-11-15 | 等静压成型制备石英陶瓷的方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1962537A true CN1962537A (zh) | 2007-05-16 |
CN100558673C CN100558673C (zh) | 2009-11-11 |
Family
ID=38081790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNB2006100703106A Active CN100558673C (zh) | 2006-11-15 | 2006-11-15 | 等静压成型制备石英陶瓷的方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN100558673C (zh) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103553580A (zh) * | 2013-10-16 | 2014-02-05 | 徐州协鑫太阳能材料有限公司 | 多晶硅还原炉用绝缘磁环及其制作方法 |
CN111718197A (zh) * | 2019-03-20 | 2020-09-29 | 山东工业陶瓷研究设计院有限公司 | 一种薄型石英陶瓷部件及其高效制备方法 |
CN112939588A (zh) * | 2021-04-08 | 2021-06-11 | 中国轻工业陶瓷研究所 | 一种利用工业废料用微波加热制备高热膨胀系数材料的方法 |
CN115340394A (zh) * | 2022-08-10 | 2022-11-15 | 武汉科技大学 | 一种磷酸硼增强石英质材料及其制备方法 |
CN116874292A (zh) * | 2023-08-03 | 2023-10-13 | 西安交通大学 | 一种高强度的高纯二氧化硅陶瓷及其制造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20240059213A (ko) * | 2022-10-27 | 2024-05-07 | 솔믹스 주식회사 | 소결체 및 소결체의 제조방법 |
-
2006
- 2006-11-15 CN CNB2006100703106A patent/CN100558673C/zh active Active
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103553580A (zh) * | 2013-10-16 | 2014-02-05 | 徐州协鑫太阳能材料有限公司 | 多晶硅还原炉用绝缘磁环及其制作方法 |
CN103553580B (zh) * | 2013-10-16 | 2014-11-05 | 徐州协鑫太阳能材料有限公司 | 多晶硅还原炉用绝缘磁环及其制作方法 |
CN111718197A (zh) * | 2019-03-20 | 2020-09-29 | 山东工业陶瓷研究设计院有限公司 | 一种薄型石英陶瓷部件及其高效制备方法 |
CN112939588A (zh) * | 2021-04-08 | 2021-06-11 | 中国轻工业陶瓷研究所 | 一种利用工业废料用微波加热制备高热膨胀系数材料的方法 |
CN115340394A (zh) * | 2022-08-10 | 2022-11-15 | 武汉科技大学 | 一种磷酸硼增强石英质材料及其制备方法 |
CN116874292A (zh) * | 2023-08-03 | 2023-10-13 | 西安交通大学 | 一种高强度的高纯二氧化硅陶瓷及其制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN100558673C (zh) | 2009-11-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN111233485B (zh) | 基于高固含量硅系浆料3d打印直写成型复杂结构陶瓷的方法 | |
CN112047753B (zh) | 多孔陶瓷及其制备方法和应用 | |
Tallon et al. | Recent trends in shape forming from colloidal processing: A review | |
CN100558673C (zh) | 等静压成型制备石英陶瓷的方法 | |
CN104291827B (zh) | 酚醛树脂为碳源固相烧结制备复杂形状碳化硅陶瓷工艺 | |
US5035724A (en) | Sol-gel alumina shaped bodies | |
CN101580390B (zh) | 一种碳化硅陶瓷管状制品的制备方法 | |
CN100478302C (zh) | 一种高强度致密碳化硅陶瓷球及其制备方法 | |
CN113831136B (zh) | 一种固相烧结碳化硅制品及其制备方法 | |
CN109176830B (zh) | 一种空心陶瓷膜的制作方法 | |
CN105541324A (zh) | 手机外壳的制备方法 | |
CN105598857A (zh) | 陶瓷结合剂超硬磨具的制造方法 | |
KR101746128B1 (ko) | MgAl2O4 Spinel 성형체의 제조방법 | |
CN115894041B (zh) | 一种粉末挤出3d打印成型反应烧结碳化硅陶瓷的制备方法 | |
CN110818398A (zh) | 一种高温烧制用匣钵及其制备方法 | |
CN107586124A (zh) | 轻质高强复合陶瓷材料及其制备方法 | |
CN110627504A (zh) | 碳化硼复合材料的无压烧结制备方法 | |
CN112521177A (zh) | 一种低熔点多孔陶瓷材料及其制备方法 | |
CN114133270B (zh) | 中空平板陶瓷过滤膜及其制备方法 | |
KR100889387B1 (ko) | 질화규소 세라믹스 제조방법, 질화규소 세라믹 로터 및파이프 제조방법과 그 제조물 | |
CN111499368A (zh) | 一种超轻日用陶瓷 | |
JP4192145B2 (ja) | 反応結合炭化ケイ素の製造方法 | |
KR100434830B1 (ko) | 다중 입도분포 분말의 균일 원심성형체 제조방법 | |
KR101140352B1 (ko) | 다공성 반응소결질화규소용 가소결 실리콘 과립 분말 제조 방법 | |
JP5093639B2 (ja) | 炭素/セラミックス複合材の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |