CN1955799A

CN1955799A - 加压脱泡炉及其应用方法

Info

Publication number: CN1955799A
Application number: CN 200510114166
Authority: CN
Inventors: 李尚文
Original assignee: TUOZHIGUANG ELECTROMECHANICAL CO Ltd
Current assignee: TUOZHIGUANG ELECTROMECHANICAL CO Ltd
Priority date: 2005-10-26
Filing date: 2005-10-26
Publication date: 2007-05-02
Anticipated expiration: 2025-10-26
Also published as: CN100426069C

Abstract

本发明是有关于一种去除面板气泡用的加压脱泡系统及其应用方法，可由并联式的连接管路，使传统独立运作的加压脱泡炉体形成一相连结的加压脱泡系统。由此，本发明不仅可再利用传统工艺中欲排放的废气以节省更多能源，并且更能缩短加压加热的工艺时间，以提升整体的工艺效率。

Description

加压脱泡炉及其应用方法

技术领域

本发明是关于一种加压脱泡系统及其应用方法，尤指一种适用于去除面板气泡用的加压脱泡系统及其应用方法。

背景技术

目前面板工艺设备中，一般皆设有独立运作的加压脱泡炉，其主要目的是用以去除偏光膜贴合面板后残留的气泡。于传统作法中，是将盛满面板的卡匣置入独立运作的加压脱泡炉内，再进行加压加热并保持一段工艺时间。当达到工艺所需时间后，必须先排除炉内高压高温的空气，才能打开炉门换取另一批卡匣，以继续进行下一批面板去除气泡的工艺。

请参见图1所示，图1为一传统独立运作的加压脱泡炉101的操作系统100示意图。其中，公知操作系统100中，可包括一加压脱泡炉101、一可承载三个面板卡匣A、B、C的承载机构102、以及一运送各个卡匣的自动输送机构103。首先，由自动输送机构103可分别将内含有未经处理面板的卡匣自出口110送入操作系统100中，接着，再将卡匣一一置入可承载卡匣的承载机构102，并且将该已装载三个卡匣A、B、C的承载机构102送入加压脱泡炉101中，以进行面板去除气泡的加压加热工艺。当达到一预设的工艺时间后，必须先排除炉内高压高温的空气，才能由承载机构102将卡匣一一送出加压脱泡炉101。最后，是利用自动输送机构103将分别内含有已处理面板的卡匣自出口120输出操作系统100。如此，才能进行下一批面板的循环作业。

显然地，对于下一批的面板处理，传统的操作系统100必须得重新加压加温，才能于加压脱泡炉101中再进行循环性的工艺步骤。由于新世代的面板日趋大型化，相对地需要大型的加压炉体以供面板尺寸需求，然而传统作法中随着每次加压加热的供给，不仅耗费相当多的能源，且亦增长炉体加压加热的工艺时间。

因此，目前亟需一种节省能源且缩短工艺时间的加压脱泡系统，以解决上述传统加压脱泡炉的操作系统所存在的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种加压脱泡系统。

本发明的又一目的在于提供一种去除面板气泡的工艺方法。

为实现上述目的，本发明提供的加压脱泡系统和工艺方法可以概述如下。

其中加压脱泡系统包括有：

复数个炉体，用以容置复数个面板；

复数个并联的连接管，用以分别连接至该等炉体，且每一连接管皆具有一连接气阀；以及

一具有一集气阀的集气管，用以连接该等连接管；

其中，该复数个炉体至少包括一第n炉体与一第n+1炉体，该复数个并联的连接管至少包括一第n连接管与一第n+1连接管，该第n连接管用以连接于该第n炉体，该第n+1连接管用以连接于该第n+1炉体，该第n连接管与该第n+1连接管由该集气管相连通，且n为大于零的整数。

所述的系统，还包括有至少一机械手臂，用以将该等面板置入该炉体中。

所述的系统，其中该等面板容置于至少一面板卡匣。

所述的系统，其中该等面板容置于同一面板卡匣或不同面板卡匣，且该面板卡匣置入于该炉体。

所述的系统，其中该面板为一玻璃基板、一塑料基板、或一硅基板。

所述的系统，其中该炉体为一密闭腔室。

本发明的去除面板气泡的工艺方法，包括以下步骤：

(a)提供一去除面板气泡的系统，且该系统包括有：至少一第一炉体及第二炉体、至少一并联的第一连接管及第二连接管、以及一具有一集气阀的集气管，其中，该并联的连接管分别连接至该等炉体，每一连接管具有一连接气阀；且该集气管连接该等连接管以连通该等炉体；

(b)置入至少一面板于该第一炉体中；

(c)通入一高压气体至该第一炉体中，以及加热该第一炉体至一预设温度并维持一预设压力；

(d)于该第一炉体的一预设工艺时间后，由该集气管使该第一炉体与该第二炉体相连通；

(e)关闭该连接第二炉体的连接气阀，以加压加温该第二炉体至该预设压力及该预设温度，并且开启该集气阀以排除该第一炉体的剩余气体；以及

(f)取出该第一炉体的面板。

所述的工艺方法，其中于步骤(d)还包括：于该第一炉体的一预设工艺时间后，开启一连接于该第一炉体的第一连接管上的连接气阀及一连接于该第二炉体的第二连接管上的连接气阀，以由该集气管使该第一炉体与一第二炉体相连通。

所述的工艺方法，其中该系统还包含第三炉体。

所述的工艺方法，其中步骤(e)还包括步骤：

(e1)于该第二炉体的该预设工艺时间后，由该集气管使该第二炉体与该第三炉体相连通；

(e2)关闭该第三炉体连接的第三连接管上的连接气阀，以加压加温该第三炉体至该预设压力温度，并且开启该集气阀以排除该第二炉体的剩余气体；以及

(e3)取出该第二炉体的面板。

所述的工艺方法，其中步骤(e1)还包括：开启该连接于该第二炉体的第二连接管上的连接气阀及一连接于第三炉体的第三连接管上的连接气阀，并由该集气管使该第二炉体与该第三炉体相连通。

所述的工艺方法，其中该高压气体为空气、氮气、或氩气。

所述的工艺方法，其中该预设温度介于40℃至60℃。

所述的工艺方法，其中该预设压力介于3kg/cm²至8kg/cm²。

所述的工艺方法，其中该预设工艺时间介于15至25分钟。

所述的工艺方法，其中该系统还包括有至少一机械手臂，用以将该至少一面板置入该炉体中。

所述的工艺方法，其中该等面板容置于至少一面板卡匣。

所述的工艺方法，其中该等面板卡匣容置于同一面板卡匣或不同面板卡匣，且该面板卡匣置入于该炉体中。

所述的工艺方法，其中该面板为一玻璃基板、一塑料基板、或一硅基板。

所述的工艺方法，其中该炉体为一密闭腔室。

下面对于以上概述进行较详细地论述：

本发明的加压脱泡系统包括有复数个用以容置至少一面板的炉体、复数个用以分别连接至炉体的并联的连接管、以及一用以连接该等连接管的集气管。其中，每一连接管皆具有一连接气阀，且集气管具有一集气阀。

于本发明的加压脱泡系统中，复数个炉体至少包括一第n炉体与一第n+1炉体，复数个并联的连接管至少包括一第n连接管与一第n+1连接管。其中，第n连接管是用以连接于第n炉体，第n+1连接管是用以连接于第n+1炉体，且第n连接管是藉由集气管而连通于第n+1连接管。在此，本发明所提及的n是为大于零的整数。

由此，相较于传统上各自独立运作的加压炉体，本发明的加压脱泡系统可利用并联连接管的改良，重复使用工艺气体以减少炉体高压气体的使用及加压加热的时间，且因各个炉体间循环性的操作下，不仅节省面板卡匣的置换时间，亦可提升整体的工艺效能。

为了简化传统的卡匣承载及输送机构，以节省设备的使用空间及缩短卡匣的置换时间，且更易于维修保养，本发明去除面板气泡的系统可还包括至少一机械手臂，以将至少一面板置入炉体中。当然，本发明可配合公知的面板卡匣承载及输送机构，以将承载有面板的卡匣送入本发明加压脱泡系统中。

本发明所提及的面板置入炉体的方式可无限制，较佳可直接置入炉体内、或可将面板容置于至少一面板卡匣后再置入炉体内。且，在此本发明炉体中所置放的面板卡匣亦不限制其数量，较佳可将面板容置于同一面板卡匣、或不同面板卡匣。

本发明亦提供一种去除面板气泡的工艺方法，其包括的步骤有提供一加压脱泡系统；置入至少一面板于第一炉体中；通入一高压气体至第一炉体中，且加热第一炉体至一预设温度并维持一预设压力；于第一炉体的一预设工艺时间后，由集气管使第一炉体与第二炉体相连通；关闭连接第二炉体的连接气阀，以加压加温第二炉体至预设压力及预设温度，且开启集气阀以排除第一炉体的剩余气体；以及取出第一炉体的面板。

上述提到的加压脱泡系统包括有：至少一第一炉体及第二炉体、至少一并联的第一连接管及第二连接管、以及一具有一集气阀的集气管。其中，并联的连接管是分别连接至各个炉体，且每一连接管具有一连接气阀，使每一炉体可独立控制对外的连通。再者，本发明的集气管是用以连接各个并联的连接管，以便连接各个炉体。

由此，相较于传统加压炉体各自独立的操作方式，本发明的加压脱泡系统可利用并联的连接管而重复使用工艺气体，其不仅再利用了传统工艺中欲排放的废气以节省能源，并且更能缩短加压加热的工艺时间，以提升整体的工艺效率。

再者，于本发明去除面板气泡的工艺方法中，通入一气体的步骤可为公知任何通入一高压气体至加压脱泡炉体的方法，且较佳可由本发明的集气管导入一高压气体、或可于每一炉体中还增设一独立的通气管以独立供应每个炉体所需的高压气体。

于本发明一较佳具体例中，本发明的各个炉体皆设有一通气管，以分别提供一高压气体至各个炉体中。并且，本发明是由并联的连接管线且搭配集气管的连通，将一工艺后的废气再利用地移转至另一待加压加温的炉体内，而剩余的工艺废气是利用集气管排除。

另外，本发明去除面板气泡的工艺方法，其中步骤(d)可还包括：于该第一炉体的一预设工艺时间后，开启一连接于第一炉体的第一连接管上的连接气阀及一连接于第二炉体的第二连接管上的连接气阀，以由集气管使第一炉体与第二炉体相连通。

为了更减少能源使用量，本发明的加压脱泡系统可选择性地还包含有第三炉体，且当第二炉体达到预设工艺时间后，可由集气管使第二炉体与第三炉体相连通。接着，可关闭一连接于第三炉体的第三连接管上的连接气阀，以使第三炉体加压加温至预设压力温度，并且开启集气阀以排除第二炉体中所剩余的气体。最后，即可取出第二炉体中已去除气泡的面板。其中，上述连通第二炉体与第三炉体的步骤可还包括：开启一连接于第二炉体的第二连接管上的连接气阀及一连接于第三炉体的第三连接管上的连接气阀，并由集气管可使第二炉体与第三炉体相连通。

再者，本发明去除面板气泡工艺方法中所使用的高压气体可为任一种气体，较佳可为空气、氮气、或氩气。且，本发明工艺方法中所提及的预设温度、预设压力、或预设工艺时间并无任何限制，其可依据工艺条件的需求(例如：面板数量、反应炉体的体积与数量等)而相互配合调整。

一较佳态样中，本发明工艺中所适用的温度可介于40℃至60℃，且更佳工艺的预设温度可为50℃左右。另一较佳态样中，本发明工艺方法的预设压力可介于3kg/cm²至8kg/cm²，且更佳工艺的预设压力可为5kg/cm²左右。再一较佳态样中，本发明工艺中所提及的预设工艺时间可介于15至25分钟，且更佳可约为20分钟。

此外，本发明中所使用的面板可无限制，较佳可为一玻璃基板、一塑料基板、或一硅基板，且更佳可为一平面显示器用的基板。于本发明中所提及的炉体可无限制，较佳为一可加压或可加热的密闭腔室。

本发明的加压脱泡系统可应用于一面板的工艺设备中，其主要是利用高温及高压空气以去除面板贴合偏光膜后残留的气泡，而使偏光膜更能密实地贴合于面板本身。

附图说明

图1为公知一加压脱泡炉的操作系统的示意图。

图2为本发明一较佳实施例的加压脱泡系统的示意图。

图3为本发明一较佳实施例的加压脱泡系统的管线示意图。

具体实施方式

实施例1

请参阅图2，图2为本发明一较佳具体实施例的加压脱泡系统200的示意图。图中所示，本实施例的加压脱泡系统200包含有三个加压脱泡炉体A1、B1、C1；以及一用以承载及输送面板卡匣260的机械手臂210。于本实施例中，加压脱泡系统200是由机械手臂210将一面板卡匣260置入每个加压脱泡炉体A1、B1、C1中，且炉体中所含有的卡匣数目可不限于本例所述的卡匣数目。

请参考图3，图3为本实施例加压脱泡系统200的管线示意图。由图中所示，本例的加压脱泡系统200包含有一第一炉体A1、一第二炉体B1、一第三炉体C1、一连接于第一炉体A1的第一连接管220、一连接于第二炉体B1的第二连接管230、一连接于第三炉体C1的第三连接管240、一用以连通各个连接管的集气管250、一并联的通气管线270、以及一用以提供高压气体的气瓶280。其中，并联的通气管线270是分别连接各个炉体A1、B1、C1，且与气瓶280相连通，而每个炉体A1、B1、C1分别具有一通气阀271、272、273，以独立供给每个炉体所需的高压气体。如图3所示，气瓶280包含有一气瓶供应阀281，以作为气体输出的总关开。此外，每一连接管220、230、240上分别具有一连接气阀221、231、241，且集气管250亦具有一用以控制总系统气体进出的集气阀251。于本实施例中，每个炉体A1、B1、C1内分别含有一面板卡匣(图未示)，且每个卡匣可容置有复数个待处理的面板。

在此将采用上述本实施例的加压脱泡系统200来说明本例去除面板气泡的工艺方法，请一并参照图2与图3的图示。此外，本发明去除面板气泡的工艺方法并非仅限定于下述内容。

首先，本例的加压脱泡系统200是由一机械手臂210分别将一盛满面板的面板卡匣260送入各个加压脱泡炉体A1、B1、C1，且加压脱泡系统200内每个连接管220、230、240上的连接气阀221、231、241及通气阀271、272、273，皆属于关闭状态。

当第一炉体A1置入一面板卡匣260后，打开气瓶供应阀281与第一炉体A1的通气阀271，以将一高压空气送入第一炉体A1后即关闭通气阀271。接着将炉体A1加热约至50℃并保持约5kg/cm²的炉内压力。待炉体A1进行约20分钟面板去除气泡的处理后，开启第一炉体A1的连接气阀221与第二炉体B1的连接气阀231，并由集气管250使第一炉体A1相连通于第二炉体B1，以将第一炉体A1中一半的高温高压空气移转至第二炉体B1。接着，再关闭第二炉体B1的连接气阀231，并且开启第二炉体B1的通气阀272，以补足第二炉体B1内所需的气体后即关闭通气阀272。再将第二炉体B1升压升温至一50℃、5kg/cm²的工艺环境，进行第二批面板的压合；并且同时开启集气阀251以排除第一炉体A1中残余一半的高温高压空气，即能取出第一炉体A1中已去除气泡的面板。

因此，第二炉体B1可节省约50％的能量，而免去传统作法必须重新加压加热的耗能过程。此外，第一炉体A1可再由机械手臂210将下一批面板卡匣送入该炉体中以接续进行去除气泡的处理。

当第二炉体B1中卡匣内的面板压合完毕后，第二炉体B1仍旧是由并联的管线而与第三炉体C1相连通，并且将第二炉体B1中一半的高温高压空气移转至第三炉体C1。其流程是相同于第一炉体A1与第二炉体B1的连通方式，且第三炉体C1加压加热的工艺条件与上述条件相同，其中补足第三炉体B1内所需的气体是利用一通气阀273的开启。于本实施例中，第三炉体C1工艺后的高温高压气体是提供回第一炉体A1中，而形成一循环性的操作系统。请注意，本发明中提供一高压气体至每一炉体的方法，并不限于本实施例所述的内容，其可采用如同本例中由并联的通气管线而独立供给至每个炉体的方式，或者利用集气管作为气体进出的管线，甚至是公知任何输入一高压气体至加压脱泡炉体的方法皆可适用。

本例的加压脱泡系统200所含有的三个加压脱泡炉体A1、B1、C1可依据工艺时间的长短，彼此交替互换反应后的高温高压气体，以节省加压加热所需的能源。于本实施例中，每个炉体的工艺时间约为20分钟时，当三个炉体同时操作时，则每隔约13分钟即可处理1个面板卡匣。

本例中所提及的面板是为一TFT液晶显示器用的面板，其主要是利用压力与温度去除偏光膜黏合面板后所产生的气泡，以增强偏光膜与面板基材的黏合度。请注意，本发明所适用的面板不仅是本例所述的TFT液晶显示器用的面板，还可适用于其它种类的平面显示面板。

上述实施例仅为了方便说明而举例而已，本发明所主张的权利范围自应以申请专利范围所述为准，而非仅限于上述实施例。

Claims

1.一种加压脱泡系统，包括有：

复数个炉体，用以容置复数个面板；

一具有一集气阀的集气管，用以连接该等连接管；

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，包括有至少一机械手臂，用以将该等面板置入该炉体中。

3.如权利要求1所述的系统，其特征在于，其中该等面板容置于至少一面板卡匣。

4.如权利要求3所述的系统，其特征在于，其中该等面板容置于同一面板卡匣或不同面板卡匣，且该面板卡匣置入于该炉体。

5.如权利要求1所述的系统，其特征在于，其中该面板为一玻璃基板、一塑料基板、或一硅基板。

6.如权利要求1所述的系统，其特征在于，其中该炉体为一密闭腔室。

7.一种去除面板气泡的工艺方法，包括以下步骤：

(b)置入至少一面板于该第一炉体中；

(f)取出该第一炉体的面板。

8.如权利要求7所述的工艺方法，其特征在于，其中于步骤(d)还包括：于该第一炉体的一预设工艺时间后，开启一连接于该第一炉体的第一连接管上的连接气阀及一连接于该第二炉体的第二连接管上的连接气阀，以由该集气管使该第一炉体与一第二炉体相连通。

9.如权利要求7所述的工艺方法，其特征在于，其中该系统还包含第三炉体。

10.如权利要求7所述的工艺方法，其特征在于，其中步骤(e)还包括步骤：

(e3)取出该第二炉体的面板。

11.如权利要求10所述的工艺方法，其特征在于，其中步骤(e1)还包括：开启该连接于该第二炉体的第二连接管上的连接气阀及一连接于第三炉体的第三连接管上的连接气阀，并由该集气管使该第二炉体与该第三炉体相连通。

12.如权利要求7所述的工艺方法，其特征在于，其中该高压气体为空气、氮气、或氩气。

13.如权利要求7所述的工艺方法，其特征在于，其中该预设温度介于40℃至60℃。

14.如权利要求7所述的工艺方法，其特征在于，其中该预设压力介于3kg/cm²至8kg/cm²。

15.如权利要求7所述的工艺方法，其特征在于，其中该预设工艺时间介于15至25分钟。

16.如权利要求7所述的工艺方法，其特征在于，其中该系统还包括有至少一机械手臂，用以将该至少一面板置入该炉体中。

17.如权利要求7所述的工艺方法，其特征在于，其中该等面板容置于至少一面板卡匣。

18.如权利要求17所述的工艺方法，其特征在于，其中该等面板卡匣容置于同一面板卡匣或不同面板卡匣，且该面板卡匣置入于该炉体中。

19.如权利要求7所述的工艺方法，其特征在于，其中该面板为一玻璃基板、一塑料基板、或一硅基板。

20.如权利要求7所述的工艺方法，其特征在于，其中该炉体为一密闭腔室。