JPH0974057A - 炉内圧力制御システム - Google Patents
炉内圧力制御システムInfo
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- JPH0974057A JPH0974057A JP25464195A JP25464195A JPH0974057A JP H0974057 A JPH0974057 A JP H0974057A JP 25464195 A JP25464195 A JP 25464195A JP 25464195 A JP25464195 A JP 25464195A JP H0974057 A JPH0974057 A JP H0974057A
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- pressure signal
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- pressure control
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Abstract
(57)【要約】
【課題】低価格な構成で反応炉内の圧力をリアルタイム
に高精度でモニタできる炉内圧力制御システムを提供す
る。 【解決手段】圧力計５からの圧力信号２４を圧力制御ユ
ニット１０に直接供給する。圧力信号２４は、Ａ／Ｄコ
ンバータ１３を介してＭＰＵ１１に直接取り込まれると
共に、圧力信号分岐部２０で分岐されアンプ２１で増幅
されて圧力信号２６として排気弁制御ユニット６に供給
される。排気弁制御ユニット６は圧力制御ユニット１０
内のＭＰＵ１１から供給される圧力制御信号に基づい
て、圧力計５から圧力信号分岐部２０を介して供給され
る圧力信号２６を監視しながらフィードバック制御等を
行って、排気弁４の開度を制御して排気配管３のコンダ
クタンスを調整し、反応炉１内の圧力制御を行う。
に高精度でモニタできる炉内圧力制御システムを提供す
る。 【解決手段】圧力計５からの圧力信号２４を圧力制御ユ
ニット１０に直接供給する。圧力信号２４は、Ａ／Ｄコ
ンバータ１３を介してＭＰＵ１１に直接取り込まれると
共に、圧力信号分岐部２０で分岐されアンプ２１で増幅
されて圧力信号２６として排気弁制御ユニット６に供給
される。排気弁制御ユニット６は圧力制御ユニット１０
内のＭＰＵ１１から供給される圧力制御信号に基づい
て、圧力計５から圧力信号分岐部２０を介して供給され
る圧力信号２６を監視しながらフィードバック制御等を
行って、排気弁４の開度を制御して排気配管３のコンダ
クタンスを調整し、反応炉１内の圧力制御を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は炉内圧力制御システ
ムに関し、特に半導体製造装置や液晶表示素子製造装置
等の炉内圧力の制御に使用される炉内圧力制御システム
に関する。
ムに関し、特に半導体製造装置や液晶表示素子製造装置
等の炉内圧力の制御に使用される炉内圧力制御システム
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、排気ポンプ２とコンダクタンス
バルブ等の排気弁４とを利用した従来の炉内圧力制御シ
ステムを説明するためのブロック図である。
バルブ等の排気弁４とを利用した従来の炉内圧力制御シ
ステムを説明するためのブロック図である。
【０００３】この従来の炉内圧力制御システムは、反応
炉１内を排気配管３を介して排気する排気ポンプ２と、
排気配管３の途中に設けられた排気弁４と、圧力計５
と、排気弁制御ユニット６と、圧力制御ユニット３０と
を備えており、圧力制御ユニット３０は、マイクロプロ
セッサユニット（以下、ＭＰＵと称する。）３１と、通
信用ドライバ３２とを備えている。
炉１内を排気配管３を介して排気する排気ポンプ２と、
排気配管３の途中に設けられた排気弁４と、圧力計５
と、排気弁制御ユニット６と、圧力制御ユニット３０と
を備えており、圧力制御ユニット３０は、マイクロプロ
セッサユニット（以下、ＭＰＵと称する。）３１と、通
信用ドライバ３２とを備えている。
【０００４】この炉内圧力制御システムにおいては、排
気ポンプ２によって一定量の排気を行いながら、排気弁
４の開度を変化させて排気配管３内のコンダクタンスを
変化させることによって反応炉１内の圧力を制御してい
る。
気ポンプ２によって一定量の排気を行いながら、排気弁
４の開度を変化させて排気配管３内のコンダクタンスを
変化させることによって反応炉１内の圧力を制御してい
る。
【０００５】圧力制御信号が、圧力制御ユニット３０内
のＭＰＵ３１から通信用ドライバ３２に供給され、ＲＳ
２３２ＣやＲＳ４２２Ａ等のシリアル通信回線を通じて
排気弁制御ユニット６に供給される。
のＭＰＵ３１から通信用ドライバ３２に供給され、ＲＳ
２３２ＣやＲＳ４２２Ａ等のシリアル通信回線を通じて
排気弁制御ユニット６に供給される。
【０００６】一方、反応炉１の近辺に設置したキャパシ
タンスマノメータ等の圧力計５によって反応炉１内の圧
力が測定され、測定された圧力に対応する電圧に変換さ
れた圧力信号が排気弁制御ユニット６に供給される。
タンスマノメータ等の圧力計５によって反応炉１内の圧
力が測定され、測定された圧力に対応する電圧に変換さ
れた圧力信号が排気弁制御ユニット６に供給される。
【０００７】排気弁制御ユニット６は圧力制御ユニット
３０から供給される圧力制御信号に基づいて、圧力計５
からの圧力信号を監視しながらフィードバック制御等を
行って、排気弁４の開度を制御している。
３０から供給される圧力制御信号に基づいて、圧力計５
からの圧力信号を監視しながらフィードバック制御等を
行って、排気弁４の開度を制御している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の炉内圧力制
御システムでは、圧力制御ユニット３０が反応炉１内の
圧力値をモニタする場合には、圧力信号を要求するリク
エストコマンド信号をシリアル通信回線を通じて排気弁
制御ユニット６に出力し、そのリクエストコマンド信号
に応答して、排気弁制御ユニット６が圧力計５から供給
された圧力信号をシリアル通信回線を介して圧力制御ユ
ニット３０に供給しているから、時間遅れが生じ、リア
ルタイムに反応炉１内の圧力をモニタできないという問
題があった。
御システムでは、圧力制御ユニット３０が反応炉１内の
圧力値をモニタする場合には、圧力信号を要求するリク
エストコマンド信号をシリアル通信回線を通じて排気弁
制御ユニット６に出力し、そのリクエストコマンド信号
に応答して、排気弁制御ユニット６が圧力計５から供給
された圧力信号をシリアル通信回線を介して圧力制御ユ
ニット３０に供給しているから、時間遅れが生じ、リア
ルタイムに反応炉１内の圧力をモニタできないという問
題があった。
【０００９】この問題を解決するために、図３に破線で
示すように、反応炉１内の圧力を検出するための圧力計
７を追加設置し、圧力制御ユニット３０にＡ／Ｄコンバ
ータ３３を追加設置して、圧力計７からの圧力信号をＡ
／Ｄコンバータ３３を介してＭＰＵ３１に供給すること
も考えられるが、圧力計７を追加設置する必要があり高
価なものになると共に、２個の圧力計５、７間の個体差
による圧力の測定誤差が発生するという問題がある。
示すように、反応炉１内の圧力を検出するための圧力計
７を追加設置し、圧力制御ユニット３０にＡ／Ｄコンバ
ータ３３を追加設置して、圧力計７からの圧力信号をＡ
／Ｄコンバータ３３を介してＭＰＵ３１に供給すること
も考えられるが、圧力計７を追加設置する必要があり高
価なものになると共に、２個の圧力計５、７間の個体差
による圧力の測定誤差が発生するという問題がある。
【００１０】従って、本発明の目的は、低価格な構成で
反応炉内の圧力をリアルタイムに高精度でモニタできる
炉内圧力制御システムを提供することにある。
反応炉内の圧力をリアルタイムに高精度でモニタできる
炉内圧力制御システムを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、炉内を
排気配管を介して排気する排気ポンプと、前記排気配管
に設けられ、前記排気配管のコンダクタンスを調整する
コンダクタンス調整手段と、前記炉内の圧力を測定し、
測定された圧力に対応する第１の圧力信号を出力する圧
力測定手段と、前記圧力測定手段から出力された前記第
１の圧力信号を第２の圧力信号と第３の圧力信号とに分
岐する圧力信号分岐手段と、前記第２の圧力信号が入力
されると共に、圧力制御信号を出力する圧力制御信号出
力手段と、前記圧力制御信号と前記第３の圧力信号とが
入力され、前記圧力制御信号と前記第３の圧力信号とに
応じて前記コンダクタンス調整手段を制御するコンダク
タンス調整手段制御手段とを有することを特徴とする炉
内圧力制御システムが提供される。
排気配管を介して排気する排気ポンプと、前記排気配管
に設けられ、前記排気配管のコンダクタンスを調整する
コンダクタンス調整手段と、前記炉内の圧力を測定し、
測定された圧力に対応する第１の圧力信号を出力する圧
力測定手段と、前記圧力測定手段から出力された前記第
１の圧力信号を第２の圧力信号と第３の圧力信号とに分
岐する圧力信号分岐手段と、前記第２の圧力信号が入力
されると共に、圧力制御信号を出力する圧力制御信号出
力手段と、前記圧力制御信号と前記第３の圧力信号とが
入力され、前記圧力制御信号と前記第３の圧力信号とに
応じて前記コンダクタンス調整手段を制御するコンダク
タンス調整手段制御手段とを有することを特徴とする炉
内圧力制御システムが提供される。
【００１２】本発明においては、圧力測定手段から出力
された第１の圧力信号を圧力信号分岐手段によって第２
の圧力信号と第３の圧力信号とに分岐し、この第２の圧
力信号を圧力制御信号出力手段に入力しているから、圧
力測定手段を追加設置しなくとも反応炉内の圧力を圧力
制御信号出力手段によってリアルタイムに高精度でモニ
タできる。
された第１の圧力信号を圧力信号分岐手段によって第２
の圧力信号と第３の圧力信号とに分岐し、この第２の圧
力信号を圧力制御信号出力手段に入力しているから、圧
力測定手段を追加設置しなくとも反応炉内の圧力を圧力
制御信号出力手段によってリアルタイムに高精度でモニ
タできる。
【００１３】本発明において使用される圧力信号分岐手
段としては、（１）圧力測定手段と圧力制御信号出力手
段とを直接電気的に接続して圧力測定手段からの第１の
圧力信号を第２の圧力信号として圧力制御信号出力手段
に直接取り込むと共に圧力測定手段と圧力制御信号出力
手段との間に分岐点を設けてこの分岐点に接続された増
幅器を介して第１の圧力信号を第３の圧力信号として分
岐してコンダクタンス調整手段制御手段に入力する方
法、（２）圧力測定手段とコンダクタンス調整手段制御
手段とを直接電気的に接続して圧力測定手段からの第１
の圧力信号を第３の圧力信号としてコンダクタンス調整
手段制御手段に直接取り込むと共に圧力測定手段とコン
ダクタンス調整手段制御手段との間に分岐点を設けてこ
の分岐点に接続された増幅器を介して第１の圧力信号を
第２の圧力信号として分岐して圧力制御信号出力手段に
入力する方法、または（３）圧力測定手段と圧力制御信
号出力手段との間に第１の増幅器を接続してこの第１の
増幅器を介して圧力測定手段からの第１の圧力信号を第
２の圧力信号として分岐して圧力制御信号出力手段に取
り込むと共に圧力測定手段と第１の増幅器との間に分岐
点を設けてこの分岐点に接続された第２の増幅器を介し
て第１の圧力信号を第３の圧力信号として分岐してコン
ダクタンス調整手段制御手段に入力する方法、が好まし
く用いられる。
段としては、（１）圧力測定手段と圧力制御信号出力手
段とを直接電気的に接続して圧力測定手段からの第１の
圧力信号を第２の圧力信号として圧力制御信号出力手段
に直接取り込むと共に圧力測定手段と圧力制御信号出力
手段との間に分岐点を設けてこの分岐点に接続された増
幅器を介して第１の圧力信号を第３の圧力信号として分
岐してコンダクタンス調整手段制御手段に入力する方
法、（２）圧力測定手段とコンダクタンス調整手段制御
手段とを直接電気的に接続して圧力測定手段からの第１
の圧力信号を第３の圧力信号としてコンダクタンス調整
手段制御手段に直接取り込むと共に圧力測定手段とコン
ダクタンス調整手段制御手段との間に分岐点を設けてこ
の分岐点に接続された増幅器を介して第１の圧力信号を
第２の圧力信号として分岐して圧力制御信号出力手段に
入力する方法、または（３）圧力測定手段と圧力制御信
号出力手段との間に第１の増幅器を接続してこの第１の
増幅器を介して圧力測定手段からの第１の圧力信号を第
２の圧力信号として分岐して圧力制御信号出力手段に取
り込むと共に圧力測定手段と第１の増幅器との間に分岐
点を設けてこの分岐点に接続された第２の増幅器を介し
て第１の圧力信号を第３の圧力信号として分岐してコン
ダクタンス調整手段制御手段に入力する方法、が好まし
く用いられる。
【００１４】なお、（１）の方法においては、増幅器の
入力インピーダンスを圧力制御信号出力手段の入力イン
ピーダンスよりも十分に大きくし、圧力制御信号出力手
段に入力される第２の圧力信号に影響を与えないように
することが好ましい。また、（２）の方法においては、
増幅器の入力インピーダンスをコンダクタンス調整手段
制御手段の入力インピーダンスよりも十分に大きくし、
コンダクタンス調整手段制御手段に入力される第３の圧
力信号に影響を与えないようにすることが好ましい。
入力インピーダンスを圧力制御信号出力手段の入力イン
ピーダンスよりも十分に大きくし、圧力制御信号出力手
段に入力される第２の圧力信号に影響を与えないように
することが好ましい。また、（２）の方法においては、
増幅器の入力インピーダンスをコンダクタンス調整手段
制御手段の入力インピーダンスよりも十分に大きくし、
コンダクタンス調整手段制御手段に入力される第３の圧
力信号に影響を与えないようにすることが好ましい。
【００１５】また、これらの方法のうち、（１）の方法
が本発明の圧力信号分岐手段としてより好ましく用いら
れる。
が本発明の圧力信号分岐手段としてより好ましく用いら
れる。
【００１６】また、好ましくは、圧力信号分岐手段と圧
力制御信号出力手段とを一つの圧力制御ユニット内に設
ける。
力制御信号出力手段とを一つの圧力制御ユニット内に設
ける。
【００１７】コンダクタンス調整手段としては、コンダ
クタンスバルブ等の排気弁が好ましくは使用され、排気
弁の開度等を調整することによってコンダクタンスが調
整される。
クタンスバルブ等の排気弁が好ましくは使用され、排気
弁の開度等を調整することによってコンダクタンスが調
整される。
【００１８】圧力測定手段としては、好ましくはキャパ
シタンスマノメータ等の圧力計が用いられる。
シタンスマノメータ等の圧力計が用いられる。
【００１９】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【００２０】図１は本発明の一実施の形態の炉内圧力制
御システム１００を説明するためのブロック図である。
御システム１００を説明するためのブロック図である。
【００２１】本実施の形態の炉内圧力制御システム１０
０は、反応炉１内を排気配管３を介して排気する排気ポ
ンプ２と、排気配管３の途中に設けられた排気弁４と、
圧力計５と、排気弁制御ユニット６と、圧力制御ユニッ
ト１０とを備えている。圧力制御ユニット１０は、圧力
制御信号出力部１５と圧力信号分岐部２０とを備えてお
り、圧力制御信号出力部１５は、ＭＰＵ１１と、通信用
ドライバ１２と、Ａ／Ｄコンバータ１３を備え、圧力信
号分岐部２０はアンプ２１を備えている。
０は、反応炉１内を排気配管３を介して排気する排気ポ
ンプ２と、排気配管３の途中に設けられた排気弁４と、
圧力計５と、排気弁制御ユニット６と、圧力制御ユニッ
ト１０とを備えている。圧力制御ユニット１０は、圧力
制御信号出力部１５と圧力信号分岐部２０とを備えてお
り、圧力制御信号出力部１５は、ＭＰＵ１１と、通信用
ドライバ１２と、Ａ／Ｄコンバータ１３を備え、圧力信
号分岐部２０はアンプ２１を備えている。
【００２２】この炉内圧力制御システム１００において
は、排気ポンプ２によって一定量の排気を行いながら、
排気弁４の開度を変化させて排気配管３内のコンダクタ
ンスを変化させることによって反応炉１内の圧力を制御
している。
は、排気ポンプ２によって一定量の排気を行いながら、
排気弁４の開度を変化させて排気配管３内のコンダクタ
ンスを変化させることによって反応炉１内の圧力を制御
している。
【００２３】反応炉１の近辺に設置したキャパシタンス
マノメータ等の圧力計５によって反応炉１内の圧力が測
定され、測定された圧力に対応する電圧に変換された圧
力信号２４が圧力制御ユニット１０内の圧力信号分岐部
２０に供給される。
マノメータ等の圧力計５によって反応炉１内の圧力が測
定され、測定された圧力に対応する電圧に変換された圧
力信号２４が圧力制御ユニット１０内の圧力信号分岐部
２０に供給される。
【００２４】圧力信号分岐部２０においては、図２に示
すように、圧力計５とＡ／Ｄコンバータ１３とを直接電
気的に接続して圧力計５からの圧力信号２４を圧力信号
２５としてＡ／Ｄコンバータ１３に直接取り込むと共
に、圧力計５とＡ／Ｄコンバータ１３との間に分岐点２
７を設け、圧力信号２４を圧力信号２５と圧力信号２８
とに分岐し、分岐された圧力信号２８をアンプ２１の
（＋）入力端子に供給している。このアンプ２１の出力
端子と（−）入力端子との間に可変抵抗２２を接続し、
アンプ２１の（−）入力端子にはさらに固定抵抗２３の
一端を接続し、この固定抵抗２３の他端を信号グランド
に接続している。
すように、圧力計５とＡ／Ｄコンバータ１３とを直接電
気的に接続して圧力計５からの圧力信号２４を圧力信号
２５としてＡ／Ｄコンバータ１３に直接取り込むと共
に、圧力計５とＡ／Ｄコンバータ１３との間に分岐点２
７を設け、圧力信号２４を圧力信号２５と圧力信号２８
とに分岐し、分岐された圧力信号２８をアンプ２１の
（＋）入力端子に供給している。このアンプ２１の出力
端子と（−）入力端子との間に可変抵抗２２を接続し、
アンプ２１の（−）入力端子にはさらに固定抵抗２３の
一端を接続し、この固定抵抗２３の他端を信号グランド
に接続している。
【００２５】このアンプ２１は、（＋）入力端子の入力
インピーダンスをＡ／Ｄコンバータ１３の入力インピー
ダンスより十分に大きくして、Ａ／Ｄコンバータ１３に
入力される圧力信号２５に影響を与えることなく圧力信
号２８がアンプ２１に入力されるように構成されてい
る。このアンプ２１としては、好ましくはオペアンプが
用いられる。
インピーダンスをＡ／Ｄコンバータ１３の入力インピー
ダンスより十分に大きくして、Ａ／Ｄコンバータ１３に
入力される圧力信号２５に影響を与えることなく圧力信
号２８がアンプ２１に入力されるように構成されてい
る。このアンプ２１としては、好ましくはオペアンプが
用いられる。
【００２６】また、可変抵抗２２の抵抗値Ｒ１及び固定
抵抗２３の抵抗値Ｒ２は、圧力信号２８をアンプ２１で
増幅して、排気弁制御ユニット６で信号処理を行うため
に十分な振幅の圧力信号２６とするために必要な値に予
め選択されている。
抵抗２３の抵抗値Ｒ２は、圧力信号２８をアンプ２１で
増幅して、排気弁制御ユニット６で信号処理を行うため
に十分な振幅の圧力信号２６とするために必要な値に予
め選択されている。
【００２７】以上のように構成されている圧力信号分岐
部２０によって、圧力計５からの圧力信号２４が圧力信
号２５としてＡ／Ｄコンバータ１３に直接供給され、こ
のＡ／Ｄコンバータ１３でデジタル化されてＭＰＵ１１
に供給される。さらに、圧力信号２４から分岐されてア
ンプ２１によって増幅された圧力信号２６は排気弁制御
ユニット６に供給される。
部２０によって、圧力計５からの圧力信号２４が圧力信
号２５としてＡ／Ｄコンバータ１３に直接供給され、こ
のＡ／Ｄコンバータ１３でデジタル化されてＭＰＵ１１
に供給される。さらに、圧力信号２４から分岐されてア
ンプ２１によって増幅された圧力信号２６は排気弁制御
ユニット６に供給される。
【００２８】一方、圧力制御信号が、圧力制御信号出力
部１５内のＭＰＵ１１から通信用ドライバ１２に供給さ
れ、ＲＳ２３２ＣやＲＳ４２２Ａ等のシリアル通信回線
を通じて排気弁制御ユニット６に供給される。
部１５内のＭＰＵ１１から通信用ドライバ１２に供給さ
れ、ＲＳ２３２ＣやＲＳ４２２Ａ等のシリアル通信回線
を通じて排気弁制御ユニット６に供給される。
【００２９】排気弁制御ユニット６は圧力制御ユニット
１０内の圧力制御信号出力部１５から供給される圧力制
御信号に基づいて、圧力計５から圧力信号分岐部２０を
介して供給される圧力信号２６を監視しながらフィード
バック制御等を行って、排気弁４の開度を制御して、排
気配管３のコンダクタンスを調整している。
１０内の圧力制御信号出力部１５から供給される圧力制
御信号に基づいて、圧力計５から圧力信号分岐部２０を
介して供給される圧力信号２６を監視しながらフィード
バック制御等を行って、排気弁４の開度を制御して、排
気配管３のコンダクタンスを調整している。
【００３０】以上の構成による炉内圧力制御システム１
００においては、圧力計５からの圧力信号２４が圧力信
号２５としてＡ／Ｄコンバータ１３を介してＭＰＵ１１
に直接供給されるから、反応炉１内の圧力を、圧力計５
が一つのまま、ＭＰＵ１１よってリアルタイムに高精度
でモニタできる。
００においては、圧力計５からの圧力信号２４が圧力信
号２５としてＡ／Ｄコンバータ１３を介してＭＰＵ１１
に直接供給されるから、反応炉１内の圧力を、圧力計５
が一つのまま、ＭＰＵ１１よってリアルタイムに高精度
でモニタできる。
【００３１】このように、本実施の形態においては、圧
力信号分岐部２０を圧力制御ユニット１０内に設けて、
圧力計５からの圧力信号２４を圧力制御ユニット１０内
の圧力信号分岐部２０に直接供給しているから、圧力制
御ユニット１０によって反応炉１内の圧力をリアルタイ
ムにモニタできる。
力信号分岐部２０を圧力制御ユニット１０内に設けて、
圧力計５からの圧力信号２４を圧力制御ユニット１０内
の圧力信号分岐部２０に直接供給しているから、圧力制
御ユニット１０によって反応炉１内の圧力をリアルタイ
ムにモニタできる。
【００３２】また、アンプ２１の（＋）入力端子の入力
インピーダンスをＡ／Ｄコンバータ１３の入力インピー
ダンスより十分に大きくしているから、Ａ／Ｄコンバー
タ１３に入力される圧力信号２５に影響を与えることは
なく、その結果、反応炉１内の圧力を高精度でモニタで
きる。
インピーダンスをＡ／Ｄコンバータ１３の入力インピー
ダンスより十分に大きくしているから、Ａ／Ｄコンバー
タ１３に入力される圧力信号２５に影響を与えることは
なく、その結果、反応炉１内の圧力を高精度でモニタで
きる。
【００３３】さらに、アンプ２１の出力端子と（−）入
力端子との間に可変抵抗２２を接続し、アンプ２１の
（−）入力端子にはさらに固定抵抗２３の一端を接続し
ているから、これらの抵抗値を調整することによりアン
プ２１の増幅率を調整でき、その結果、排気弁制御ユニ
ット６への圧力信号２６の大きさを所望の大きさに調整
できる。
力端子との間に可変抵抗２２を接続し、アンプ２１の
（−）入力端子にはさらに固定抵抗２３の一端を接続し
ているから、これらの抵抗値を調整することによりアン
プ２１の増幅率を調整でき、その結果、排気弁制御ユニ
ット６への圧力信号２６の大きさを所望の大きさに調整
できる。
【００３４】なお、上述した一実施の形態においては、
圧力信号分岐部２０が圧力制御ユニット１０に内蔵され
ている場合を説明したが、この圧力信号分岐部２０は圧
力制御ユニット１０に必ずしも内蔵されている必要はな
く、外づけされていてもよい。
圧力信号分岐部２０が圧力制御ユニット１０に内蔵され
ている場合を説明したが、この圧力信号分岐部２０は圧
力制御ユニット１０に必ずしも内蔵されている必要はな
く、外づけされていてもよい。
【００３５】また、上述した一実施の形態においては、
圧力計５とＡ／Ｄコンバータ１３とを直接電気的に接続
して圧力計５からの圧力信号２４を圧力信号２５として
Ａ／Ｄコンバータ１３に直接取り込むと共に、圧力計５
とＡ／Ｄコンバータ１３との間に分岐点２７を設けて圧
力信号２４を分岐してアンプ２１を介して排気弁制御ユ
ニット６に圧力信号２６を供給した場合を説明したが、
圧力計５と排気弁制御ユニット６とを直接電気的に接続
して圧力計５からの圧力信号２４を圧力信号２６として
排気弁制御ユニット６に直接取り込むと共に、圧力計５
と排気弁制御ユニット６との間に分岐点を設けて圧力信
号２４を分岐し分岐した圧力信号をアンプを介してＡ／
Ｄコンバータ１３に供給してもよい。
圧力計５とＡ／Ｄコンバータ１３とを直接電気的に接続
して圧力計５からの圧力信号２４を圧力信号２５として
Ａ／Ｄコンバータ１３に直接取り込むと共に、圧力計５
とＡ／Ｄコンバータ１３との間に分岐点２７を設けて圧
力信号２４を分岐してアンプ２１を介して排気弁制御ユ
ニット６に圧力信号２６を供給した場合を説明したが、
圧力計５と排気弁制御ユニット６とを直接電気的に接続
して圧力計５からの圧力信号２４を圧力信号２６として
排気弁制御ユニット６に直接取り込むと共に、圧力計５
と排気弁制御ユニット６との間に分岐点を設けて圧力信
号２４を分岐し分岐した圧力信号をアンプを介してＡ／
Ｄコンバータ１３に供給してもよい。
【００３６】
【発明の効果】本発明においては、圧力測定手段から出
力された第１の圧力信号を圧力信号分岐手段によって第
２の圧力信号と第３の圧力信号とに分岐し、この第２の
圧力信号を圧力制御ユニットに入力しているから、圧力
測定手段を追加設置しなくとも反応炉内の圧力を圧力制
御ユニットによってリアルタイムに高精度でモニタでき
る。このため、低価格な構成で反応炉内の圧力をリアル
タイムに高精度でモニタできる炉内圧力制御システムを
提供できる。
力された第１の圧力信号を圧力信号分岐手段によって第
２の圧力信号と第３の圧力信号とに分岐し、この第２の
圧力信号を圧力制御ユニットに入力しているから、圧力
測定手段を追加設置しなくとも反応炉内の圧力を圧力制
御ユニットによってリアルタイムに高精度でモニタでき
る。このため、低価格な構成で反応炉内の圧力をリアル
タイムに高精度でモニタできる炉内圧力制御システムを
提供できる。
【図１】本発明の一実施の形態の炉内圧力制御システム
を説明するためのシステム構成図である。
を説明するためのシステム構成図である。
【図２】本発明の一実施の形態の炉内圧力制御システム
に使用される圧力信号分岐部を説明するための回路図で
ある。
に使用される圧力信号分岐部を説明するための回路図で
ある。
【図３】従来の炉内圧力制御システムを説明するための
システム構成図である。
システム構成図である。
１…反応炉 ２…排気ポンプ ３…排気配管 ４…排気弁 ５…圧力計 ６…排気弁制御ユニット ７…圧力計 １０…圧力制御ユニット １１…ＭＰＵ １２…通信用ドライバ １３…Ａ／Ｄコンバータ １５…圧力制御信号出力部 ２０…圧力信号分岐部 ２１…アンプ ２２…可変抵抗 ２３…固定抵抗 ２４、２５、２６、２８…圧力信号 ２７…分岐点 ３０…圧力制御ユニット ３１…ＭＰＵ ３２…通信用ドライバ ３３…Ａ／Ｄコンバータ １００…炉内圧力制御システム
Claims (1)
- 【請求項１】炉内を排気配管を介して排気する排気ポン
プと、 前記排気配管に設けられ、前記排気配管のコンダクタン
スを調整するコンダクタンス調整手段と、 前記炉内の圧力を測定し、測定された圧力に対応する第
１の圧力信号を出力する圧力測定手段と、 前記圧力測定手段から出力された前記第１の圧力信号を
第２の圧力信号と第３の圧力信号とに分岐する圧力信号
分岐手段と、 前記第２の圧力信号が入力されると共に、圧力制御信号
を出力する圧力制御信号出力手段と、 前記圧力制御信号と前記第３の圧力信号とが入力され、
前記圧力制御信号と前記第３の圧力信号とに応じて前記
コンダクタンス調整手段を制御するコンダクタンス調整
手段制御手段と、 を有することを特徴とする炉内圧力制御システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25464195A JPH0974057A (ja) | 1995-09-06 | 1995-09-06 | 炉内圧力制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25464195A JPH0974057A (ja) | 1995-09-06 | 1995-09-06 | 炉内圧力制御システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0974057A true JPH0974057A (ja) | 1997-03-18 |
Family
ID=17267849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25464195A Withdrawn JPH0974057A (ja) | 1995-09-06 | 1995-09-06 | 炉内圧力制御システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0974057A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010079126A (ko) * | 2001-06-15 | 2001-08-22 | 박성배 | 발효기 내부 조건의 실시간 측정 및 제어시스템 |
| CN100426069C (zh) * | 2005-10-26 | 2008-10-15 | 拓志光机电股份有限公司 | 加压脱泡炉及其应用方法 |
-
1995
- 1995-09-06 JP JP25464195A patent/JPH0974057A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010079126A (ko) * | 2001-06-15 | 2001-08-22 | 박성배 | 발효기 내부 조건의 실시간 측정 및 제어시스템 |
| CN100426069C (zh) * | 2005-10-26 | 2008-10-15 | 拓志光机电股份有限公司 | 加压脱泡炉及其应用方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021203 |