CN1955336A - 承载机构 - Google Patents
承载机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1955336A CN1955336A CNA200510100804XA CN200510100804A CN1955336A CN 1955336 A CN1955336 A CN 1955336A CN A200510100804X A CNA200510100804X A CN A200510100804XA CN 200510100804 A CN200510100804 A CN 200510100804A CN 1955336 A CN1955336 A CN 1955336A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- suction nozzle
- load carrier
- hollow box
- cavity
- suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
- B25B11/005—Vacuum work holders
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
- Y10T29/5313—Means to assemble electrical device
- Y10T29/53191—Means to apply vacuum directly to position or hold work part
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
一种承载机构,其特征在于包括:一中空盒体及多个吸头,该中空盒体具有一中空腔,且该中空盒体上设有与该中空腔相通的多个吸嘴及一抽气口,该吸头与该吸嘴对应紧密配合。所述承载机构可通过负压将镜片吸附于吸头上,使得镜片的运送更为方便,且于镀膜制程中所获得的镀膜厚度更为均匀。
Description
【技术领域】
本发明关于一种承载机构,尤其关于一种应用于真空镀膜及运送的承载机构。
【背景技术】
各种光学镜片广泛应用于移动电话、笔记本计算机及个人数码助理等携带式电子装置的内置数码相机中。所述数码相机的光学镜片通常采用小尺寸镜片以满足数码相机小体积设计的需求。
为了满足数码相机的各种光学需求,通常还需要在镜片上镀覆一层光学薄膜,如抗反射膜、红外线截止滤光膜等。而在镀膜过程中,如真空镀膜制程中,通常需要一承载机构,以承载待镀的镜片。现有技术中,镜片以夹持件固定于所述承载机构上,而镀膜时,镀膜粒子是从各个方向到达镜片表面的,固定镜片的夹持件则会在镜片边缘造成遮蔽效应,使得镜片表面镀膜层厚度不均匀。此外,现有技术的承载机构上容置镜片的开口设计需配合镜片尺寸大小,当镜片尺寸变化时,原制程使用的承载机构需全部汰换,因此使得量产时生产效率降低。
【发明内容】
鉴于以上内容,有必要提供一种结构简单,且能方便镜片镀膜及运送的承载机构。
一种承载机构,其包括:一中空盒体及多个吸头,该中空盒体具有一中空腔,且该中空盒体上设有与该中空腔相通的多个吸嘴及一抽气口,该吸头与该吸嘴对应紧密配合。
相较现有的技术,所述承载机构采用一具有中空腔的中空盒体与多个吸嘴相配合的机构,通过所述中空腔内的负压将镜片吸附于该多个吸嘴上,避免由承载机构两侧夹合来固定镜片,因而不会产生镜片边缘的遮蔽效应,使得镜片在镀膜制程中所获得的镀膜厚度更为均匀。另,对于仅需镀一面的镜片,由于吸嘴吸附镜片的一面,如此可通过选择与镜片尺寸基本相当的吸嘴以覆盖不需镀膜的一面,从而避免所述不需镀膜的一面于镀膜制程中被镀;同时所述承载机构使用弹性高,当镜片尺寸变化时,仅须另选用合适尺寸的吸头即可,因此所述承载机构适用于各种尺寸的镜片的镀膜与运送作业。
【附图说明】
图1为本发明较佳实施方式的承载机构结构示意图;
图2为本发明较佳实施方式的承载机构分解结构示意图;
图3为本发明较佳实施方式的承载机构的吸头的一角度的示意图;
图4为本发明较佳实施方式的承载机构的吸头的另一角度的示意图;
图5为本发明另一实施方式的承载机构结构示意图。
【具体实施方式】
本发明所述的承载机构可适用于镜片的镀膜或运送作业,其通过阀门连接于一真空泵。
请参照图1所示,本发明较佳实施方式所述的承载机构包括一中空盒体1及多个吸头2。
请同时参照图2所示,该中空盒体1包括一本体11、一盖体12、一抽气口13及多个吸嘴14。本体11为一半密闭金属盒状结构,其具有一工作面110及一与工作面110相邻的一侧面112。盖体12为一金属板体,其与本体11焊接为一体而构成一密闭的金属盒,本体11与盖体12间则形成一中空腔。抽气口13为一管状体,其设于侧面112上,其与本体11与盖体12间的中空腔相通。吸嘴14为一具有通道的管状体,其以阵列方式设于工作面110上,其中该通道与本体11与盖体12间的中空腔相通。
请同时参照图3及图4所示,吸头2为软质塑胶或橡胶吸头,其为锥状体。吸头2一端具有一吸附面21,其与吸附面21相对的另一端面开设有一凹槽22,凹槽22与吸嘴14相配合,吸头2通过凹槽22与吸嘴14的配合而套设于吸嘴14上;吸头2还开设有贯穿其吸附面21至与吸附面21相对的另一端面的通气孔23,通气孔23与吸嘴14的通道相通。
阀门3为三通阀,其一端与抽气口13紧密接合,另一端连接于所述真空泵(图未示)。
当所述承载机构工作时,将镜片4贴于所述吸头2的吸附面21上,且镜片4覆盖通气孔23位于吸附面21的一端;开通阀门3使抽气口13与该真空泵相导通,开启该真空泵对中空盒体1抽真空,以使中空盒体1的中空腔内产生负压;则镜片4通过其所受外界气压及空腔内气压的压力差而吸附于吸附面21上;将阀门3置于闭合状态,使所述真空泵与抽气口13隔绝则可维持中空盒体1的空腔内负压。
当欲取下镜片4时,打开阀门3使该抽气口13与外界导通,破除中空盒体1的中空腔内的真空状态,镜片4由于无负压影响而可方便地从吸附面21上取下。
请参照图5所示,可以理解地,本发明所述的吸嘴14亦可为直接开设于工作面110上的多个以阵列方式排布的开口141。相对应地,吸头5为与开口141相配合的塑胶或橡胶帽,其具有贯穿其上下两端的通气孔,吸头5嵌合于该开口141内,其通气孔与中空盒体1的中空腔相通。
Claims (10)
1.一种承载机构,其特征在于,该承载机构包括:一中空盒体及多个吸头,该中空盒体具有一中空腔,且该中空盒体上设有与该中空腔相通的多个吸嘴及一抽气口,该吸头与该吸嘴对应紧密配合。
2.如权利要求1所述的承载机构,其特征在于:该中空盒体为金属材料。
3.如权利要求2所述的承载机构,其特征在于:该中空盒体包括一本体及一盖体,该本体为一半密闭盒状体,该本体与该盖体以焊接方式成型为一体。
4.如权利要求3所述的承载机构,其特征在于:该吸嘴为管状体,其具有一通道,该通道与该中空盒体的中空腔相通。
5.如权利要求4所述的承载机构,其特征在于:该吸头一端具有一吸附面,其与该吸附面相对的另一端面开设有一凹槽,该凹槽与该吸嘴相配合,该吸头通过该凹槽与该吸嘴的配合而设于该吸嘴上。
6.如权利要求5所述的承载机构,其特征在于:该吸头还开设有贯穿该吸附面至与该吸附面相对的另一端面的通气孔,该通气孔与该吸嘴的通道相通。
7.如权利要求3所述的承载机构,其特征在于:该本体上设有以阵列方式排布的多个开口;该吸头对应嵌合于该开口,且该吸头具有贯穿其两端的通气孔,该通气孔与该中空盒体的中空腔相通。
8.如权利要求1所述的承载机构,其特征在于:该抽气口通过一阀门连接于一抽气装置。
9.如权利要求8所述的承载机构,其特征在于:该阀门为一三通阀,该抽气装置为一真空泵。
10.如权利要求1所述的承载机构,其特征在于:该承载机构应用于镜片的运送或镀膜制程中。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN200510100804A CN1955336B (zh) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | 承载机构 |
US11/309,607 US20070175022A1 (en) | 2005-10-28 | 2006-08-30 | Vacuum fixture |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN200510100804A CN1955336B (zh) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | 承载机构 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1955336A true CN1955336A (zh) | 2007-05-02 |
CN1955336B CN1955336B (zh) | 2010-05-05 |
Family
ID=38062880
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN200510100804A Expired - Fee Related CN1955336B (zh) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | 承载机构 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070175022A1 (zh) |
CN (1) | CN1955336B (zh) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102330073A (zh) * | 2010-07-13 | 2012-01-25 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 薄膜加工设备的下极板及应用该下极板的等离子体加工设备 |
CN102534551A (zh) * | 2010-12-17 | 2012-07-04 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 半导体设备 |
CN104726838A (zh) * | 2013-12-20 | 2015-06-24 | 昆山国显光电有限公司 | 用于制造柔性显示器的支撑装置及该柔性显示器的制造方法 |
CN107170369A (zh) * | 2017-05-08 | 2017-09-15 | 苏州精濑光电有限公司 | 柔性面板承载装置及承载方法 |
CN109502989A (zh) * | 2019-01-07 | 2019-03-22 | 蓝思科技股份有限公司 | 一种曲面玻璃镀膜装置、镀膜工艺及镀膜产品 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2969024B1 (fr) * | 2010-12-20 | 2014-01-17 | Thibaut | Dispositif formant plot de bridage. |
CN105632991A (zh) * | 2016-01-07 | 2016-06-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 刚性衬底基板、柔性显示基板制备设备及制备方法 |
CN106945186B (zh) * | 2017-05-05 | 2018-11-06 | 江西佳时特精密机械有限责任公司 | 兼具除尘装置和定位工装并应用于石墨加工处的数控机床 |
CN108393721A (zh) * | 2018-05-09 | 2018-08-14 | 安徽机电职业技术学院 | 采用真空吸附夹紧的专用铣床夹具 |
US11635291B2 (en) | 2021-04-30 | 2023-04-25 | Mitutoyo Corporation | Workpiece holder for utilization in metrology system for measuring workpiece in different orientations |
CN113751894B (zh) * | 2021-09-10 | 2022-07-01 | 苏州涛睿精密钣金科技有限公司 | 一种高端装备制造用船舶电箱外壳钣金激光切割治具 |
CN114406929A (zh) * | 2022-02-08 | 2022-04-29 | 苏州佳祺仕信息科技有限公司 | 一种定位吸附装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5457868A (en) * | 1991-03-26 | 1995-10-17 | Gfm Gesellschaft Fur Fertigungstechnik Und Maschinenbau Aktiengesellschaft | Work supporting method using a deck for use in machine tools, particularly in cutting machines |
US5372357A (en) * | 1991-03-26 | 1994-12-13 | Gfm Gesellschaft Fur Fertigungstechnik Und Maschinenbau Aktiengesellschaft | Work-supporting deck for use in machine tools, particularly in cutting machines |
US6182956B1 (en) * | 1998-07-30 | 2001-02-06 | Mcmillan Timothy A. | Vacuum table with mat |
JP2002351082A (ja) * | 2001-05-24 | 2002-12-04 | Adtec Engineeng Co Ltd | 露光装置用基板ステージ |
CN1296261C (zh) * | 2002-06-22 | 2007-01-24 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 真空夹具及其使用方法 |
TWM321831U (en) * | 2007-01-17 | 2007-11-11 | Yung-Tsai Shen | Vacuum absorbing device for a workbench |
-
2005
- 2005-10-28 CN CN200510100804A patent/CN1955336B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-08-30 US US11/309,607 patent/US20070175022A1/en not_active Abandoned
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102330073A (zh) * | 2010-07-13 | 2012-01-25 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 薄膜加工设备的下极板及应用该下极板的等离子体加工设备 |
CN102330073B (zh) * | 2010-07-13 | 2014-07-16 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 薄膜加工设备的下极板及应用该下极板的等离子体加工设备 |
CN102534551A (zh) * | 2010-12-17 | 2012-07-04 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 半导体设备 |
CN104726838A (zh) * | 2013-12-20 | 2015-06-24 | 昆山国显光电有限公司 | 用于制造柔性显示器的支撑装置及该柔性显示器的制造方法 |
CN104726838B (zh) * | 2013-12-20 | 2017-10-31 | 昆山国显光电有限公司 | 用于制造柔性显示器的支撑装置及该柔性显示器的制造方法 |
CN107170369A (zh) * | 2017-05-08 | 2017-09-15 | 苏州精濑光电有限公司 | 柔性面板承载装置及承载方法 |
CN109502989A (zh) * | 2019-01-07 | 2019-03-22 | 蓝思科技股份有限公司 | 一种曲面玻璃镀膜装置、镀膜工艺及镀膜产品 |
CN109502989B (zh) * | 2019-01-07 | 2021-08-27 | 蓝思科技股份有限公司 | 一种曲面玻璃镀膜装置、镀膜工艺及镀膜产品 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070175022A1 (en) | 2007-08-02 |
CN1955336B (zh) | 2010-05-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1955336B (zh) | 承载机构 | |
CN204374062U (zh) | 具有光谱测量功能的超高真空多样品转移装置 | |
CN102138200A (zh) | 用于大面积基板处理系统的加载锁定腔室 | |
EP1589565A1 (fr) | Dispositif pour le transport de substrats sous atmosphère controlée | |
CA2479443A1 (en) | Vacuum truck solids handling apparatus | |
US6561894B1 (en) | Clean box, clean transfer method and apparatus therefor | |
CN101031180B (zh) | 等离子体处理装置 | |
US6916009B2 (en) | Load-lock device for introducing substrates into a vacuum chamber | |
JP2010067468A (ja) | 分析試料交換方法、ホルダ、及び、分析装置 | |
US8430964B2 (en) | Coating apparatus | |
CN105377574A (zh) | 装饰体的粘贴方法和装饰体 | |
US20040121086A1 (en) | Thin film depositing method and apparatus | |
US11785124B2 (en) | Housing assembly, method for manufacturing housing assembly, and electronic device | |
CN207699660U (zh) | 移动通讯终端金属表面镀膜处理的抽气设备 | |
TWI413701B (zh) | 承載機構 | |
CN218842319U (zh) | 一种多工位连续式真空镀膜设备 | |
CN204204649U (zh) | 电解电容器 | |
CN220564702U (zh) | 一种可视操作蒸发镀膜装置 | |
CN110450195A (zh) | 气压调节室及具有其的密封箱 | |
CN215995627U (zh) | 一种半导体薄膜制备用闪蒸装置及其生产线 | |
CN205793219U (zh) | 一种多功能户外音箱 | |
CN215492502U (zh) | 一种自动发射装置 | |
CN203976909U (zh) | 一种用于薄膜生长的超高真空腔体 | |
CN203858451U (zh) | 曝光机的曝光平台 | |
CN211347241U (zh) | 一种柔性真空箱箱体结构 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20100505 Termination date: 20141028 |
|
EXPY | Termination of patent right or utility model |