CN1939602A - 涂布系统 - Google Patents

Abstract

一种涂布系统(1)，具有处理单元组(2)、分度器(3)和多级搬送机械手(4)，处理单元组(2)包括有机EL胶带单元(26)、有机EL涂布单元(24)、和有机EL烘培单元(25)。在涂布系统(1)中，在处理单元组(2)，通过有机EL胶带单元(26)在基板的禁止涂布区域粘贴第二遮蔽胶带，通过有机EL涂布单元(24)在包括禁止涂布区域的基板上的区域涂布有机EL液。并且，通过由流动性材料除去单元即有机EL胶带单元(26)剥离第二遮蔽胶带，从而能容易地得到仅在涂布区域涂布了有机EL液的基板。然后，通过由有机EL烘培单元(25)进行对基板的加热处理，从而有机EL液固定在基板上，而形成了有机EL层。

Description

涂布系统

技术领域

本发明涉及一种向基板涂布流动性材料的涂布系统。

背景技术

一直以来，都在对利用了有机EL(Electro Luminescence：电致发光)的有机EL显示装置进行开发，例如，在使用了高分子有机EL材料的主动式矩阵驱动方式的有机EL显示装置的制造中，对玻璃基板(以下仅称为“基板”)，依次进行TFT(Thin Film Transistor：薄膜晶体管)电路的形成、成为阳极的ITO(Indium Tin Oxide：氧化铟锡)电极的形成、隔壁的形成、含有空穴输送材料的涂布液的涂布、由加热处理进行的空穴输送层的形成、含有有机EL材料的涂布液的涂布、由加热处理进行的有机EL层的形成、阴极的形成、以及由绝缘膜的形成进行的密封。

在这种有机EL显示装置的制造中，以生产率的提高、装置成本的降低和有机EL显示装置的高品质化为目的，提出了各种技术。例如，在JP特开2003-142260号公报的制造装置中，在机械臂的周围呈大致圆周状地配置对基板喷出含有有机空穴注入材料的油墨来进行涂布的喷墨装置、喷出含有有机EL材料的油墨来进行涂布的喷墨装置、和对涂布了油墨的基板进行加热来形成空穴注入层和有机发光层的多个干燥炉，并连续进行各工序，从而实现有机EL元件的生产率的提高。

在JP特开2003-217844号公报的制造装置中，呈直线状配列搬送基板的多个搬送装置，在这些搬送装置的一侧配置涂布含有空穴注入/输送材料或者有机EL材料的油墨的喷墨装置，在另一侧配置对涂布了油墨的基板进行加热处理的加热装置和冷却装置，从而，能够抑制喷墨装置和加热装置等之间的振动和热的传递，实现发光元件的品质提高。

在JP特开2004-111073号公报中，公开了一种薄膜形成装置，该薄膜形成装置具有：涂布单元，其通过从喷嘴连续地喷出含有空穴输送材料或者有机EL材料的液体并扫描喷嘴来对基板涂布液体；和烘培单元，其对涂布了该液体的基板进行加热处理。在该薄膜形成装置中，由于不包含必须实施气体环境减压的工序的单元，所以能实现装置成本的降低和控制的简单化。另外，在JP特开2004-111073号公报的薄膜形成装置中，与由喷墨装置进行涂布的JP特开2003-142260号公报和JP特开2003-217844号公报的装置相比，能够以高生产率对基板进行液体的均匀的涂布。

但是，在基板的表面，在应该涂布含有有机EL材料等的液体的涂布区域(即发光区域)的周围，设置有安装驱动电路的区域和由绝缘膜进行密封所需要的区域。在有机EL显示装置的制造中，在空穴输送层和有机EL层的形成工序中，有可能在这些涂布区域周围的区域(以下称为“禁止涂布区域”)附着含有有机EL材料等的流动性材料，当在附着了流动性材料的状态下进行后续工序时，有可能发生电极的特性恶化和密封不良等。

因此，为了防止在禁止涂布区域附着流动性材料，而在涂布单元设置具有与发光区域对应的开口的掩模板，经由以和基板非接触的状态被保持的掩模板，在基板的上方涂布含有有机EL材料等的流动性材料，但是，流动性材料可能会进入到掩模板和基板之间，所以很难可靠地防止流动性材料附着在禁止涂布区域。

另外，当没有用掩模板覆盖禁止涂布区域而对基板涂布流动性材料时，因为在禁止涂布区域附着有流动性材料，所以需要除去附着在禁止涂布区域的流动性材料。但是，在有机EL显示装置中，如果在被涂布到基板上之后的有机EL材料等上附着了水分和溶剂等时，会给有机EL层带来不良影响，从而不能利用边缘冲洗(edge rinse)和酸清洗等使用溶剂的除去方法。另外，在由1张基板制造多个有机EL显示装置(进行多面取)时，禁止涂布区域也设置在基板的外周以外的部位，所以不能由边缘清洗进行除去。

发明内容

本发明面向对基板涂布流动性材料的涂布系统，主要目的在于容易得到仅在涂布区域涂布了流动性材料的基板。

涂布系统具有：处理单元组；分度器，该分度器载置着由上述处理单元组进行处理前的未处理基板和由上述处理单元组进行处理后的处理完成基板；基板搬送机构，该基板搬送机构相对于上述分度器和上述处理单元组进行基板的交接，沿着从上述分度器开始经由上述处理单元组的至少一部分至上述分度器为止的规定的搬送路径，搬送上述基板，上述处理单元组包括：涂布单元，该涂布单元从喷嘴向基板连续地喷出流动性材料，并使上述喷嘴相对基板相对地移动，来对上述基板上涂布上述流动性材料；和流动性材料除去单元，该流动性材料除去单元从上述基板的禁止涂布区域上除去上述流动性材料。根据本发明，能容易地得到仅在涂布区域涂布了流动性材料的基板。

在本发明的一个优选的实施方式中，涂布系统的上述涂布单元向在上述禁止涂布区域粘贴了遮蔽胶带的上述基板喷出上述流动性材料，对含有上述遮蔽胶带的区域涂布上述流动性材料，上述流动性材料除去单元是通过从涂布了上述流动性材料的上述基板剥离上述遮蔽胶带来从上述禁止涂布区域除去被涂布在了上述遮蔽胶带上的流动性材料的胶带剥离单元。由此，能防止流动性材料对禁止涂布区域的附着，能容易地得到仅在涂布区域涂布了流动性材料的基板。

在本发明的另一个优选的实施方式中，涂布系统的上述处理单元组还包括在涂布上述流动性材料之前的上述基板上的上述禁止涂布区域粘贴上述遮蔽胶带的胶带粘贴单元。

在本发明的又一个实施方式中，上述胶带剥离单元是也进行向涂布上述流动性材料之前的上述基板上的上述禁止涂布区域粘贴上述遮蔽胶带的胶带粘贴·剥离单元。

在本发明的一个方面中，涂布系统的上述涂布单元在上述基板上的包括上述禁止涂布区域的区域涂布上述流动性材料，上述流动性材料除去单元向被涂布在了上述禁止涂布区域的上述流动性材料照射能量波或者微粒子，来从上述禁止涂布区域上除去上述流动性材料。由此，除去附着在了禁止涂布区域的流动性材料，能容易地得到仅在涂布区域涂布了流动性材料的基板。

在本发明的另一个方面中，在涂布系统，通过上述除去单元向上述基板上的上述禁止涂布区域进行的上述能量波的照射是激光的照射。由此，能位置精度良好地除去流动性材料。

在本发明的又一个方面中，涂布系统具有：处理单元组；分度器，该分度器载置着由上述处理单元组进行处理前的未处理基板和由上述处理单元组进行处理后的处理完成基板；基板搬送机构，该基板搬送机构相对于上述分度器和上述处理单元组进行基板的交接，沿着从上述分度器开始经由上述处理单元组的至少一部分至上述分度器为止的规定的搬送路径，搬送上述基板，上述处理单元组包括：胶带粘贴单元，该胶带粘贴单元对基板上的禁止涂布区域粘贴遮蔽胶带；涂布单元，该涂布单元从喷嘴向粘贴了上述遮蔽胶带的上述基板连续地喷出流动性材料，并使上述喷嘴相对基板相对地移动，来对包括上述遮蔽胶带的区域涂布上述流动性材料。

上述的目的和其他目的、特征、方式以及优点通过参照附图在以下进行的对本发明的详细地说明就清楚了。

附图说明

图1是表示第一实施方式的涂布系统的结构的图。

图2是表示基板的俯视图。

图3是表示分度器机械手和多级搬送机械手的图。

图4是表示空穴输送胶带单元的结构的俯视图。

图5是表示空穴输送胶带单元的结构的主视图。

图6是表示空穴输送胶带单元的结构的右视图。

图7是放大表示胶带粘贴头的主视图。

图8是放大表示胶带剥离头的主视图。

图9是表示有机EL涂布单元的结构的俯视图。

图10是表示有机EL涂布单元的结构的主视图。

图11是表示基板的俯视图。

图12是表示基板的剖面图。

图13是表示基板的剖面图。

图14是表示空穴输送烘培单元的立体图。

图15A是表示涂布系统的动作的流程的图。

图15B是表示涂布系统的动作的流程的图。

图15C是表示涂布系统的动作的流程的图。

图15D是表示涂布系统的动作的流程的图。

图16是表示第二实施方式的涂布系统的结构的图。

图17是表示涂布系统的动作的流程的一部分的图。

图18是表示第三实施方式的涂布系统的结构的图。

图19是表示涂布系统的动作的流程的一部分的图。

图20是表示第四实施方式的涂布系统的结构的图。

图21是表示第五实施方式的涂布系统的结构的图。

图22是表示第六实施方式的涂布系统的结构的图。

图23是表示第七实施方式的涂布系统的结构的图。

图24是表示第八实施方式的涂布系统的结构的图。

图25是表示第九实施方式的涂布系统的结构的图。

图26是表示其它涂布系统的结构的图。

图27是表示其它涂布系统的结构的图。

图28是表示其它涂布系统的结构的图。

图29是表示其它涂布系统的结构的图。

图30是表示其它涂布系统的结构的图。

图31是表示其它涂布系统的结构的图。

图32是表示第十实施方式的涂布系统的结构的图。

图33是表示空穴输送除去单元的结构的主视图。

图34是放大表示除去头的主视图。

图35是表示基板的俯视图。

图36是表示基板的剖面图。

图37是表示基板的剖面图。

图38A是表示涂布系统的动作的流程的图。

图38B是表示涂布系统的动作的流程的图。

图38C是表示涂布系统的动作的流程的图。

图39是表示第十一实施方式的涂布系统的结构的图。

图40是表示涂布系统的动作的流程的一部分的图。

图41是表示第十二实施方式的涂布系统的结构的图。

图42是表示涂布系统的动作的流程的一部分的图。

图43是表示第十三实施方式的涂布系统的结构的图。

图44是表示第十四实施方式的涂布系统的结构的图。

图45是表示第十五实施方式的涂布系统的结构的图。

图46是表示第十六实施方式的涂布系统的结构的图。

图47是表示其它涂布系统的结构的图。

图48是表示其它涂布系统的结构的图。

图49是表示其它涂布系统的结构的图。

图50是表示其它涂布系统的结构的图。

图51是表示其它涂布系统的结构的图。

具体实施方式

图1是表示本发明第一实施方式的涂布系统1的结构的图。涂布系统1是对有机EL显示装置用的玻璃基板(以下仅称为“基板”)涂布流动性材料的系统，在本实施方式中，在主动式矩阵驱动方式的有机EL显示装置用的基板上，涂布分别含有空穴输送材料和有机EL材料的流动性材料(在以下的实施方式中也是同样)。在涂布系统1中，在形成有TFT电路、ITO电极和隔壁的基板上形成有空穴输送材料的层(以下称为“空穴输送层”)和有机EL材料的层(以下称为“有机EL层”)。

在这里，“空穴输送层”不仅指将空穴向有机EL层输送的狭义的空穴输送层，除了狭义的空穴输送层，还包括进行空穴的注入的空穴注入层。另外，“空穴输入材料”除了狭义的空穴输送材料，还包括空穴注入材料。

如图1所示，涂布系统1具有：处理单元组2，其包括多个处理单元；分度器3，其作为装载着由处理单元组2进行处理前的未处理基板和进行处理后的处理完成基板的基板搬入搬出部；多级搬送机械手4，其是相对于处理单元组2和分度器3进行基板的交接，沿从分度器3开始、经过处理单元组2的至少一部分而到达分度器3的规定的搬送路径来搬送基板的基板搬送机构。在涂布系统1中，在常压下实施由处理单元组2的多个处理单元进行的基板的处理。

处理单元组2包括：空穴输送涂布单元21，其向基板连续地喷出含有空穴输送材料的流动性材料即空穴输送液，并对基板涂布空穴输送液；空穴输送烘培单元22，其通过对涂布了空穴输送液的基板进行加热而使空穴输送液固定在基板上(即，使空穴输送液干燥而使空穴输送液所包含的空穴输送材料紧固在基板上)，而在基板上形成空穴输送材料的层(即空穴输送层)；有机EL涂布单元24，其向形成了空穴输送层的基板连续地喷出包含有机EL材料的流动性材料即有机EL液，并对基板涂布有机EL液；以及，有机EL烘培单元25，其通过对涂布了有机EL液的基板进行加热而使有机EL液固定在基板上(即，使有机EL液干燥而使有机EL液所包含的有机EL材料紧固在基板上)，而在基板上的空穴输送层上形成有机EL材料的层(即有机EL层)。

图2是表示基板9的俯视图。在图2中，在基板9上涂布空穴输送液和有机EL液而形成空穴输送层和有机EL层的区域(以下，称为“涂布区域”)91，标记平行斜线。在本实施方式中，在基板9上设置有4涂布区域91，由1张基板9制造4个有机EL显示装置。由于4个涂布区域91周围的格子状区域92被利用在驱动电路的编入和后续工序中的由绝缘膜进行的密封等，所以是不应该形成有空穴输送层或有机EL层的区域，以下称为“禁止涂布区域92”。

如图1所示，处理单元组2还包括：空穴输送胶带单元23，其是在涂布空穴输送液之前的基板9上的禁止涂布区域92(参照图2)粘贴第一遮蔽胶带，同时，将涂布了空穴输送液的第一遮蔽胶带从涂布了空穴输送液之后的基板9剥离的胶带粘贴·剥离单元；以及，有机EL胶带单元26，其是在涂布有机EL液之前的基板9上的禁止涂布区域92粘贴第二遮蔽胶带，同时，从涂布了有机EL液之后的基板9剥离第二遮蔽胶带的胶带粘贴·剥离单元。此外，在以下的说明中，根据需要，将第一遮蔽胶带和第二遮蔽胶带总称为“遮蔽胶带”。

在处理单元组2中，在多级搬送机械手4进行移动的直线状的移动路径41的一侧，配列有空穴输送涂布单元21、空穴输送烘培单元22和空穴输送胶带单元23，在移动路径41的另一侧，配列有有机EL涂布单元24、有机EL烘培单元25和有机EL胶带单元26。在涂布系统1中，处理单元组2中的空穴输送胶带单元23和有机EL胶带单元26被配置在比其他任一个的处理单元(即，空穴输送涂布单元21、空穴输送烘培单元22、有机EL涂布单元24和有机EL烘培单元25)更接近分度器3的位置。

分度器3具有：盒体载置部31，其载置有对多张基板9分别进行容纳的多个盒体90；分度器机械手32，其被设置在处理单元组2侧，进行相对盒体90的基板9的搬出和搬入。分度器3面向无尘室通路(省略图示)，利用在无尘室通路移动的搬运装置(省略图示)，容纳有处理前的未处理基板的盒体90被搬入分度器3，而被载置到盒体载置部31上，另外，容纳有处理后的处理完成基板的盒体90从分度器3被搬出。

分度器机械手32在和多级搬送机械手4的移动路径41大致垂直的直线状的移动路径33上移动而位于和各盒体90对应的位置。另外，通过分度器机械手32在和多级搬送机械手4之间进行基板9的交接，进行分度器3和处理单元组2之间的基板9的转移。

图3是表示分度器机械手32和多级搬送机械手4的图。如图3所示，分度器机械手32具有：进退机构324、325，其使保持基板9的两个手部321、322、手部321、322相对基台部323单独地进退；以及，基台部移动机构(省略图示)，其移动基台部323。进退机构324、325是多关节手臂型，其使手部321、322在保持了姿势的状态下沿水平方向进退。分度器机械手32的基台部323利用基台部移动机构在移动路径33(参照图1)上沿水平方向移动并沿垂直方向升降，进而，以朝向垂直方向的旋转轴为中心进行旋转。

多级搬送机械手4，和分度器机械手32同样地，具有：进退机构424、425，其使保持基板9的保持部即两个手部421、422、手部421、422相对基台部423单独地进退；以及，基台部移动机构(省略图示)，其移动基台部423。进退机构424、425是多关节手臂型，其使手部421、422在保持了姿势的状态下沿水平方向进退。基台部423利用基台部移动机构在移动路径41上沿水平方向移动并沿垂直方向升降，进而，以朝向垂直方向的旋转轴为中心进行旋转。

在图1所示的涂布系统1中，从分度器机械手32接受了基板9的多级搬送机械手4在移动路径41上移动，访问处理单元组2的各处理单元，保持基板9的手部421、422通过进退机构424、425进退，从而进行相对各处理单元的基板9的搬入以及搬出，进而，通过从多级搬送机械手4向分度器机械手32交接处理后的基板9，将基板9从处理单元组2搬出。这样，在涂布系统1中，通过多级搬送机械手4，基板9沿着规定的搬送路径被搬送。

在这里，“搬送路径”是指由基板搬送机构所搬送的基板9进行移动的路径。例如，像本实施方式那样，在通过移动的多级搬送机械手4搬送基板9时，搬送路径为在由手部421、422保持的状态下多级搬送机械手4进行移动而使基板9移动的路径、和手部421、422因进退机构424、425进退而使基板9移动的路径，此外，在由被固定的多个搬送臂等而在各单元之间依次搬送基板9时，搬送路径为由该多个的搬送臂来移动基板9的路径。

图4至图6分别是表示空穴输送胶带单元23的结构的俯视图、主视图和右视图。如图4至图6所示，空穴输送胶带单元23具有：基板保持部231，其保持基板9；基板移动机构232，其移动基板9；胶带粘贴头233，其在涂布空穴输送液之前的基板9上的禁止涂布区域92粘贴第一遮蔽胶带；胶带剥离头234，其通过从涂布了空穴输送液之后的基板9剥离第一遮蔽胶带，而从禁止涂布区域92上除去被涂布在了第一遮蔽胶带上的空穴输送液；头移动机构235，其对胶带粘贴头233和胶带剥离头234进行移动。

在空穴输送胶带单元23中，通过基板移动机构232，基板9和基板保持部231一起沿着轨道2321在水平方向移动，同时，以朝向垂直方向的旋转轴为中心旋转。另外，通过头移动机构235，胶带粘贴头233和胶带剥离头234在基板9的移动范围的上方，沿着轨道2351在水平方向移动。基板9的移动方向，与胶带粘贴头233以及胶带剥离头234的移动方向，相互垂直。

图7是放大表示胶带粘贴头233的内部结构的主视图。在图7中，为了说明被容纳在胶带粘贴头233的壳体2331的结构而描述壳体2331的内部。在胶带粘贴头233中，利用在基带82的一侧的主面上保持有第一遮蔽胶带81的具有双层结构的胶带8来粘贴第一遮蔽胶带81。

如图7所示，胶带粘贴头233具有：卷绕未使用的胶带8的供给卷盘2332；粘贴机构2333，其将第一遮蔽胶带81从胶带8分离出来而粘贴在基板9上；回收卷盘2334，其对第一遮蔽胶带81被分离之后的胶带8(即基带82)进行卷绕并回收；以及，壳体2331，其容纳这些结构。

在通过空穴输送胶带单元23在基板9上粘贴第一遮蔽胶带81时，首先，基板9和胶带粘贴头233通过基板移动机构232和头移动机构235(参照图4至图6)被移动而位于粘贴开始位置。接着，通过胶带粘贴头233的粘贴机构2333的切断部2335，在胶带8的与切断部2335对向的一侧，仅切断第一遮蔽胶带81。

被切断的第一遮蔽胶带81，通过供给卷盘2332和回收卷盘2334沿图7中的逆时针方向旋转，从而和基带82一起被送到粘贴机构2333的胶带分离构件2336的前端，在该前端，被导向大约和输送来基带82的方向相反的一侧，从而第一遮蔽胶带81从基带82剥离，其前端部从壳体2331的下部开口2337向基板9移动。

与此同时，通过气缸2338，粘贴辊2339经由下部开口2337向下方移动，将第一遮蔽胶带81的前端部从上侧(即，和第一遮蔽胶带81的粘接面相反的一侧)按压到基板9上进行粘贴。与此同时，通过基板移动机构232，基板9开始向图7的左方向移动。并且，从供给卷盘2332继续地送出胶带8，同时基板9继续移动，从而第一遮蔽胶带81被粘贴在基板9上。

在胶带粘贴头233中，通过切断部2335，再次仅切断胶带8上的第一遮蔽胶带81，第一遮蔽胶带81直到到后端部为止被粘贴在基板9上，从而完成第一遮蔽胶带81的粘贴。此外，在胶带粘贴头233中，除了第一遮蔽胶带81的前端部和后端部的粘贴时以外，粘贴辊2339也可以避让到壳体2331内。另外，第一遮蔽胶带81的粘贴开始可以在供给胶带8的同时以和胶带8的供给速度相等的速度对正在移动的基板9进行。

如图2所示，在空穴输送胶带单元23中，基板9的格子状的禁止涂布区域92中，仅在与由基板移动机构232形成的基板9的移动方向平行延伸的区域(即，沿图2中的上下方向延伸的区域)粘贴有第一遮蔽胶带81，而在与基板9的移动方向垂直延伸的区域(即，沿图2中的左右方向延伸的区域)不粘贴第一遮蔽胶带81。如后面所述，在涂布系统1中，对于省略了第一遮蔽胶带81的粘贴的区域，不进行空穴输送液的涂布。

图8是放大表示胶带剥离头234的内部结构的主视图。图8也和图7同样，描述胶带剥离头234的壳体2341的内部。在胶带剥离头234中，将宽度比第一遮蔽胶带81大的剥离胶带83粘结在第一遮蔽胶带81上并举起第一遮蔽胶带81，从而进行来自基板9的第一遮蔽胶带81的剥离。

如图8所示，胶带剥离头234具有：供给卷盘2342，其卷绕未使用的剥离胶带83；粘结机构2343，其将剥离胶带83粘结在基板9上的第一遮蔽胶带81；回收卷盘2344，其对剥离胶带83和被剥离胶带83粘结的第一遮蔽胶带81进行卷绕来回收；以及，壳体2341，其容纳这些结构。

在通过空穴输送胶带单元23从基板9剥离第一遮蔽胶带81时，首先，通过基板移动机构232和头移动机构235(参照图4至图6)，基板9和胶带剥离头234被移动而位于剥离开始位置。即，作为剥离对象的第一遮蔽胶带81的前端位于胶带剥离头234的壳体2341的下部开口2345的下方。

接着，利用气缸2346，按压辊2347经由下部开口2345移动到下方，将剥离胶带83从上侧(即，和剥离胶带83的粘接面相反的一侧)按压并粘结于第一遮蔽胶带81的前端部。接着，通过基板移动机构232，基板9开始向图8中的左方向移动。与此同时，供给卷盘2342和回收卷盘2344沿图8中的顺时针方向开始旋转，剥离胶带83从供给卷盘2342被送出的同时，按压辊2347移动到上方而返回到原来的位置，由此被剥离胶带83粘结的第一遮蔽胶带81的前端部从基板9剥离。并且，剥离胶带83从供给卷盘2342继续地被送出的同时，基板9继续移动，从而基板9上的第一遮蔽胶带81被剥离胶带83粘结的同时，从基板9剥离并被回收到回收卷盘2344。

在空穴输送胶带单元23中，由于通过剥离胶带83对涂布了空穴输送液的第一遮蔽胶带81的上表面进行了覆盖并从基板9的禁止涂布区域92上剥离第一遮蔽胶带81，所以不会使附着在了第一遮蔽胶带81上的空穴输送液落在基板9上，能够回收第一遮蔽胶带81。在涂布系统1中，可以将空穴输送胶带单元23作为从基板9的禁止涂布区域92上除去空穴输送液的流动性材料除去单元。此外，剥离胶带83向第一遮蔽胶带81的粘结开始可以在供给剥离胶带83的同时，对以和剥离胶带83的供给速度相等的速度正在移动的基板9进行。

由于有机EL胶带单元26具有和图4至图6所示的空穴输送胶带单元23同样的结构，所以省略图示。有机EL胶带单元26和空穴输送胶带单元23同样，具有：基板保持部，其保持基板9；基板移动机构，其移动基板9；胶带粘贴头，其在涂布有机EL液之前的基板9上的禁止涂布区域92上粘贴第二遮蔽胶带；胶带剥离头，其通过从涂布了有机EL液之后的基板9剥离第二遮蔽胶带，而从禁止涂布区域92上除去被涂布在了第二遮蔽胶带上的有机EL液；头移动机构，其移动胶带粘贴头和胶带剥离头。胶带粘贴头和胶带剥离头的内部结构也和图7以及图8所示的空穴输送胶带单元23的胶带粘贴头233和胶带剥离头234同样。

在有机EL胶带单元26中，和空穴输送胶带单元23同样地，基板9的格子状的禁止涂布区域92中，仅在与基板9的移动方向平行延伸的区域粘贴有第二遮蔽胶带，而在与基板9的移动方向垂直延伸的区域不粘贴第二遮蔽胶带。如后面所述，在涂布系统1中，对于省略了第二遮蔽胶带的粘贴的区域，不进行有机EL液的涂布。另外，和空穴输送胶带单元23同样地，利用胶带剥离头由剥离胶带覆盖涂布了有机EL液的第二遮蔽胶带的上表面并剥离第二遮蔽胶带，由此不会使附着在了第二遮蔽胶带上的有机EL液落在基板9上，能够回收第二遮蔽胶带。在涂布系统1中，可以将有机EL胶带单元26作为从基板9的禁止涂布区域92上除去有机EL液的流动性材料除去单元。

图9和图10是表示有机EL涂布单元24的结构的俯视图和主视图。如图10所示，有机EL涂布单元24具有：基板保持部241，其内置由未图示的加热器形成的加热机构的同时，保持基板9；基板移动机构242，其使基板保持部241沿规定的移动方向(即，图9中的上下方向)水平移动，同时以朝向垂直方向的轴为中心旋转，另外，如图9和图10所示，还具有：对准标记检测部243，其拍摄并检测形成在基板9上的对准标记(省略图示)；涂布头244，其向基板保持部241上的基板9喷出有机EL液而进行涂布；头移动机构245，其在和基板保持部241的移动方向垂直的水平方向(即，图9中的左右方向)移动涂布头244；以及，控制部，其控制这些机构。

涂布头244具有分别喷出有机EL液的3个喷嘴247a、247b、247c和向3个喷嘴247a～247c分别供给有机EL液的涂布液供给部248a、248b、248c。喷嘴247a～247c在图9中的左右方向(即，涂布头244的移动方向)呈大致直线状地配列的同时，在图9中的上下方向(即，基板9的移动方向)稍微错开地配置。与图9中的上下方向相关，喷嘴247a和喷嘴247b之间的距离、以及喷嘴247b和喷嘴247c之间的距离等于预先形成在基板9上的、沿图9中的左右方向延伸的隔壁之间的间距(以下称为“隔壁间距”)。

涂布液供给部248a具有：储存箱，其储存有机EL液；泵，其从储存箱吸引有机EL液；流量计，其检测有机EL液的流量；以及，过滤器，其除去有机EL液中的异物，通过基于来自流量计的输出由控制部来控制泵，从而有机EL液以预先设定的设定流量向喷嘴247a供给，向基板9被喷出(在涂布液供给部248b、248c、以及、喷嘴247b、247c也同样)。在涂布头244中，分别含有红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)相互颜色不同的3种有机EL材料的3种有机EL液，分别从3个涂布液供给部被供给到3个喷嘴247a～247c并被喷出。

在通过有机EL涂布单元24进行有机EL液的涂布时，首先，通过有机EL胶带单元26在禁止涂布区域92(参照图2)上粘贴了第二遮蔽胶带的基版9被装载到基板保持部241上并被保持，基于来自对准标记检测部243的输出来驱动基板移动机构242，使基板9位于在图9中用实线所示的涂布开始位置。涂布头244预先位于在图9和图10中用实线所示的位置。

接着，控制涂布液供给部248a～248c，从喷嘴247a～247c开始喷出有机EL液的同时，驱动头移动机构245，开始移动涂布头244(即，喷嘴247a～247c)。在有机EL涂布单元24中，从涂布头244的3个喷嘴247a～247c向基板9连续地喷出3种有机EL液，同时，相对基板9从图9中的左侧向右侧相对地移动喷嘴247a～247c，从而在基板9上条纹状地涂布有机EL液。如上述那样，在基板9上的涂布区域91预先形成多个隔壁，3种有机EL液被涂布在隔壁之间的相邻的3个槽部。

当涂布头244移动到在图9和图10中用双点划线表示的位置时，基板移动机构242被驱动，基板9和基板保持部241一起向图9中的上侧仅移动隔壁间距的3倍距离。并且，涂布头244喷出有机EL液的同时，在图9中从右侧向左侧移动，从而在基板9上呈条纹状地涂布3种有机EL液。

图11是表示基板9的俯视图，图12是图11中的A-A的位置中的基板9的剖面图。在有机EL涂布单元24中，通过反复进行涂布头244沿左右方向的移动以及基板9的间距移动，如图11和图12所示，在基板9上的含有第二遮蔽胶带84的区域(即，被粘贴在禁止涂布区域92上的第二遮蔽胶带84上的区域、和涂布区域91的隔壁之间的槽部)条纹状地涂布有机EL液93。此外，在图11中，为了便于图示，将被涂布在基板9上的有机EL液93的宽度和间距描述得比实际大。

在有机EL涂布单元24中，在进行有机EL液93的涂布期间，从涂布头244的喷嘴247a～247c(参照图9和图10)连续地喷出有机EL液93。在有机EL涂布单元24中，相对于禁止涂布区域92中的与基板9的移动方向垂直延伸的区域(即，是在图11中沿左右方向延伸的区域，省略了第二遮蔽胶带84的粘贴的区域)，在使涂布头244从基板9上避让的状态下，使基板9仅移动和该区域的宽度(即，图11中的上下方向的宽度)相等的距离，从而能避免向该区域的有机EL液93的涂布。

当基板9移动到在图9中用双点划线表示的涂布结束位置时，停止来自喷嘴247a～247c的有机EL液93的喷出，结束对基板9的有机EL液93的涂布。并且，在上述的有机EL胶带单元26中，通过从涂布了有机EL液93的基板9剥离第二遮蔽胶带84，从而如图13所示，仅在基板9的涂布区域91上残留着有机EL液93。

由于空穴输送涂布单元21具有和图9以及图10所示的有机EL涂布单元同样的结构，所以省略图示。空穴输送涂布单元21和有机EL涂布单元24同样，具有：基板保持部，其保持基板9；基板移动机构，其移动并旋转基板保持部；对准标记检测部，其拍摄并检测出对准标记；涂布头，其向基板9涂布空穴输送液；头移动机构，其移动涂布头；以及，控制部，其控制这些机构。

空穴输送涂布单元21的涂布头，和有机EL涂布单元24的涂布头244同样，具有分别喷出空穴输送液的2个喷嘴和分别向3个喷嘴供给空穴输送液的涂布液供给部，与基板9的移动方向相关的喷嘴的间距等于隔壁间距。在空穴输送涂布单元21中，单一种类的空穴输送液向3个喷嘴被供给并喷出，从而被涂布到基板9上的隔壁之间的相邻的3个槽部。在空穴输送涂布单元21中也和有机EL涂布单元同样，相对于禁止涂布区域92中的省略了第一遮蔽胶带81的粘贴的区域，在使涂布头从基板9上避让的状态下，移动基板9，从而能避免空穴输送液的涂布。

图14是表示空穴输送烘培单元22的立体图。如图14所示，空穴输送烘培单元22具有对涂布了空穴输送液的基板9进行加热而使空穴输送液固定在基板9上的加热部221、以及将由加热部221加热的基板9冷却至常温的冷却部222。在图14中，为了便于图示，使加热部221和冷却部22分离而进行描述，但是实际上，在冷却部22上重叠加热部221而配置。

加热部221具有内置了加热器(省略图示)的加热板2211、和将加热板2211容纳在内部的壳体2212，在壳体2212形成有被利用于基板9的搬入搬出的开口2213。在加热部221中，在由加热器加热而处于高温的加热板2211上载置有基板9(或者，在加热板2211上，被保持在和加热板2211仅分离微小距离的位置)，来加热基板9，溶剂成分从被涂布在基板9上的空穴输送液蒸发，从而空穴输送液固定在基板9上，在基板9上形成空穴输送层。

冷却部222具有在内部流动着制冷剂的冷却板2221、和将冷却板2221容纳在内部的壳体2222，在壳体2222形成有被利用于基板9的搬入般出的开口2223。在冷却部222中，由加热部221加热后的基板9被载置到冷却板2221上并被冷却，从而高温的基板9能迅速地冷却到常温。

由于有机EL烘培单元25具有和图14所示的空穴输送烘培单元22同样的结构，所以省略图示。有机EL烘培单元25，和空穴输送烘培单元22同样，具有对涂布了有机EL液的基板9进行加热而使有机EL液固定在基板9上的加热部、和将由加热部加热后的基板9冷却至常温的冷却部。加热部具有内置了加热器的加热板、和将加热板容纳在内部的壳体，冷却部具有在内部流动着制冷剂的冷却板、和将冷却板容纳在内部的壳体。

有机EL烘培单元25也和空穴烘培单元22同样，通过在加热部的加热板上载置基板9，从而溶剂成分从涂布在了基板9上的有机EL液蒸发，有机EL液固定在基板9上，在基板9上形成有机EL层。并且，通过将加热后的基板9载置到冷却部的冷却板上，而将高温的基板9迅速地冷却到常温。

接着，针对涂布系统1的动作进行说明。图15A至图15D是表示涂布系统1的动作的流程的图。在图1所示的涂布系统1中，容纳有形成了TFT电路、ITO电极以及隔壁的多个基板9的盒体90，被预先载置到分度器3的盒体载置部31上，首先，由分度器3的分度器机械手32(参照图3)，从盒体载置部31上的盒体90取出基板9，由多级搬送机械手4接受被分度器机械手32的手部321保持的基板9，并被手部421(参照图3)保持(步骤S11)。

接着，多级搬送机械手4在移动路径41上一直移动到空穴输送胶带单元23之前，被手部421所保持的基板9被搬入空穴输送胶带单元23，而被载置到基板保持部231(参照图4)(步骤S12)。在空穴输送胶带单元23中，通过胶带粘贴头233(参照图7)在基板9的禁止涂布区域92(参照图2)粘贴第一遮蔽胶带81(参照图7)(步骤S13)。

当第一遮蔽胶带81的粘贴结束时，由多级搬送机械手4从空穴输送胶带单元23搬出基板9(步骤S14)，多级搬送机械手4则一直移动到空穴输送涂布单元21的前面为止。并且，基板9被搬入到空穴输送涂布单元21而被载置到基板保持部上(步骤S15)。在空穴输送涂布单元21中，向在禁止涂布单元92上粘贴了第一遮蔽胶带81的基板9喷出空穴输送液，在禁止涂布区域92上的含有第一遮蔽胶带81的基板9上的区域(即，第一遮蔽胶带81上的区域、以及涂布区域91的隔壁之间的槽部)条纹状地涂布空穴输送液(步骤S16)。

当空穴输送液的涂布结束时，基板9由多级搬送机械手4从空穴输送涂布单元21被搬出(步骤S17)，再次被向空穴输送胶带单元23搬送，而被搬入空穴输送胶带单元23(步骤S21)。此时，基板9由多级搬送机械手4的手部421保持并搬送。另外，在基板9上，由空穴输送涂布单元21涂布了的空穴输送液的溶剂成分的一部分通过基板保持部的加热机构而蒸发，空穴输送液以某种程度干燥了的状态(所谓半干的状态)附着在第一遮蔽胶带81和涂布区域91上。在空穴输送胶带单元23中，通过胶带剥离头234(参照图8)从被保持在基板保持部231的基板9剥离涂布了空穴输送液的第一遮蔽胶带81(步骤S22)。

当第一遮蔽胶带81被剥离时，基板9由多级搬送机械手4从空穴输送胶带单元23被搬出(步骤S23)，向空穴输送烘培单元22搬送，并被搬入空穴输送烘培单元22(步骤S24)。在基板9被从空穴输送胶带单元23向空穴输送烘培单元22被搬送时，基板9由多级搬送机械手4的手部422(即，不同于从在空穴输送涂布单元21向空穴输送胶带单元23搬送时进行保持的保持部的另一个保持部)保持。

在空穴输送烘培单元22中，剥离了第一遮蔽胶带81的基板9被载置到加热部221的加热板2211(参照图14)上并被加热，在基板9的涂布区域91中，被涂布在隔壁之间的槽部中的空穴输送液固定在基板9(的ITO电极)上，而形成了空穴输送层(步骤S25)。接着，基板9由多级搬送机械手4从加热部221被搬出并被搬入冷却部222，并被载置到冷却板2221(参照图14)上，冷却至常温(步骤S26)。

当基板9的冷却结束时，基板9由多级搬送机械手4从空穴输送烘培单元22被搬出(步骤S27)并被搬入有机EL胶带单元26(步骤S31)。在有机EL胶带单元26中，通过胶带粘贴头而在基板9的禁止涂布区域92上粘贴第二遮蔽胶带84(步骤S32)。

当第二遮蔽胶带84的粘贴结束时，基板9由多级搬送机械手4从有机EL胶带单元26被搬出(步骤S33)，并被搬入有机EL涂布单元24(步骤S34)。在有机EL涂布单元24中，向被保持在基板保持部241上的基板9喷出3种有机EL液，在禁止涂布区域92上的含有第二遮蔽胶带84的基板9上区域(即，第二遮蔽胶带84上、以及被形成在涂布区域91的隔壁之间的槽部的空穴输送层上的区域)条纹状地涂布3种有机EL液(步骤S35)。

当有机EL液的涂布结束时，基板9由多级搬送机械手4从有机EL涂布单元24被搬出(步骤S36)，再次被搬入有机EL胶带单元26(步骤S41)。在基板9上，由有机EL涂布单元24涂布了的有机EL液的溶剂成分的一部分通过基板保持部241的加热机构而蒸发，有机EL液以某种程度干燥了的状态(所谓半干的状态)附着在第二遮蔽胶带84和涂布区域91(的空穴输送层)上。在有机EL胶带单元26中，通过胶带剥离头从基板9剥离涂布了有机EL液的第二遮蔽胶带84(步骤S42)。

当第二遮蔽胶带84被剥离时，基板9由多级搬送机械手4从有机EL胶带单元26被搬出(步骤S43)，并被搬入有机EL烘培单元25(步骤S44)。在基板9被从有机EL胶带单元26向有机EL烘培单元25搬送时，基板9由多级搬送机械手4的手部421、422中的、不同于被利用于从有机EL涂布单元24向有机EL胶带单元26搬送基板9时的手部的手部来保持。

在有机EL烘培单元25中，剥离了第二遮蔽胶带84的基板9由加热部的加热板被加热，被涂布在基板9的空穴输送层上的有机EL液固定在基板9(的空穴输送层)上而形成了有机EL层(步骤S45)。接着，基板9由多级搬送机械手4从加热部被搬出并被搬入冷却部，由冷却板冷却至常温(步骤S46)。

当在基板9的涂布区域91中，在空穴输送层上所层叠的有机EL层的形成结束时，基板9由多级搬送机械手4从有机EL烘培单元25被搬出(步骤S47)，并被搬送到分度器3，由分度器机械手32接受，被容纳在盒体载置部31上的盒体90(步骤S48)。在涂布系统1中，当在盒体90容纳有规定张数的处理完成基板时，该盒体90被搬出到涂布系统1之外，由其他装置进行阴极的形成以及由绝缘膜进行的密封，从而完成了有机EL显示装置的制造。

在以上说明的涂布系统1中，当关注空穴输送层的形成所涉及的结构时，处理单元组2包括：空穴输送涂布单元21，其向在禁止涂布区域92粘贴了第一遮蔽胶带81的基板9涂布空穴输送液；空穴输送胶带单元23，其从涂布了空穴输送液的基板9剥离第一遮蔽胶带81。由此，在对基板9涂布空穴输送液时，能够可靠地防止空穴输送液附着在基板9上的禁止涂布区域92，能够容易地得到仅在涂布区域91上涂布了空穴输送液的基板9。另外，由于能在一个系统内进行空穴输送液的涂布和第一遮蔽胶带81的剥离，所以能够缩短基板9的处理时间，同时能够降低涂布系统1的制造成本(在本段落说明过的事项在以下第二至第九实施方式也同样)。

在处理单元组2中，通过由空穴输送胶带单元23在基板9上的禁止涂布区域92上粘贴第一遮蔽胶带81，从而也能在一个系统内进行第一遮蔽胶带81的粘贴，能进一步缩短基板9的处理时间，同时能进一步降低涂布系统1的制造成本。另外，由于空穴输送胶带单元23也是对基板9进行第一遮蔽胶带81的粘贴的粘贴·剥离单元，所以能使涂布系统1的结构简单化(在第二、第三、第七至第九实施方式也同样)。

在涂布系统1中，处理单元组2还包括空穴输送烘培单元22，该空穴输送烘培单元22对剥离了第一遮蔽胶带81的基板9进行加热，使空穴输送液固定在基板9上，从而能够容易地得到使空穴输送液仅固定在涂布区域91上的基板9。由于空穴输送液的固定(即，空穴输送层的形成)也能在一个系统内进行，所以能进一步缩短基板9的处理时间，同时能进一步降低涂布系统1的制造成本(在第二至第九实施方式也同样)。

接着，当关注有机EL层的形成所涉及的结构时，和空穴输送层的形成所涉及的结构同样，对由有机EL涂布单元24在禁止涂布区域92上粘贴了第二遮蔽胶带84的基板9上涂布有机EL液，由有机EL胶带单元26从基板9剥离第二遮蔽胶带84，从而能够容易地得到仅在涂布区域91上涂布了有机EL液的基板9。另外，由于能在一个系统内进行有机EL液的涂布和第二遮蔽胶带84的剥离，所以能够实现基板9的处理时间的缩短和涂布系统1的制造成本的降低(在第四至第七实施方式也同样)。

在处理单元组2中，通过由有机EL胶带单元26在基板9上的禁止涂布区域92上粘贴第二遮蔽胶带84，从而也能在一个系统内进行第二遮蔽胶带84的粘贴，能进一步缩短基板9的处理时间，同时能进一步降低涂布系统1的制造成本。另外，由于有机EL胶带单元26也是对基板9进行第二遮蔽胶带84的粘贴的粘贴·剥离单元，所以能使涂布系统1的结构简单化(在第二、第三、第七实施方式也同样)。

在涂布系统1中，处理单元组2还包括有机EL烘培单元25，其对剥离了第二遮蔽胶带84的基板9进行加热，使有机EL液固定在基板9上，从而能够容易地得到使有机EL液仅固定在涂布区域91上的基板9。由于有机EL液的固定(即，有机EL层的形成)也能在一个系统内进行，所以能进一步缩短基板9的处理时间，同时能进一步降低装置的制造成本。(在第二至第九实施方式也同样)。

在有机EL涂布单元24中，尤其能够使分别含有3色有机EL材料的3种有机EL液并行地涂布在基板9上。由此，不需要为了涂布多个有机EL液而设置多个有机EL涂布单元，从而能够实现涂布系统1的小型化。另外，由于能够省略在多个有机EL涂布单元间的基板9的移动，所以还能缩短基板9的处理时间。进而，在涂布3种有机EL液前后，第二剥离胶带84的粘贴和剥离仅进行一次，从而能进一步缩短基板9的处理时间(在第四、第七、第十、第十三和第十五实施方式也同样)。

接着，当关注整个涂布系统1时，处理单元组2包括对基板9涂布空穴输送液的空穴输送涂布单元21和对基板9涂布有机EL液的有机EL涂布单元24，由此能够在一个系统内涂布空穴输送液和有机EL液，所以能进一步缩短基板9的处理时间。涂布系统1特别适于对有机EL显示装置用的基板9涂布空穴输送液和有机EL液的系统(在第二至第十六实施方式也同样)。

在处理单元组2中，由空穴输送胶带单元23涂布了空穴输送液的第一遮蔽胶带81被从基板9剥离，由有机EL胶带单元26涂布了有机EL液的第二遮蔽胶带84被从基板9剥离。假设，由共用的胶带单元涂布了空穴输送液的第一遮蔽胶带81和涂布了有机EL液的第二遮蔽胶带84被剥离时，在胶带单元附着了空穴输送液的情况下，就有可能在其后被搬入的基板9上的固定前的有机EL液中混入空穴输送液。在胶带单元附着了有机EL液的情况下，就有可能在其后被搬入的基板9上的固定前的空穴输送液中混入有机EL液。在涂布系统1中，通过在处理单元组2设置空穴输送胶带单元23和有机EL胶带单元26，从而能可靠地防止基板9上的空穴输送液和有机EL液的混合。进而，通过在处理单元组2设置多个胶带粘贴·剥离单元，从而还能缩短基板9的处理时间(在第二至第九实施方式也同样)。

但是，由于在空穴输送液和有机EL液中使用不同的溶剂，所以在它们涂布时所使用的遮蔽胶带的最优的表面张力值各不相同。在涂布系统1中，通过在处理单元组2设置空穴输送胶带单元23和有机EL胶带单元26，从而在空穴输送液的涂布时所使用的第一遮蔽胶带81、和在有机EL液的涂布时所使用的第二遮蔽胶带84的表面张力值分别相对空穴输送液和有机EL液的性质可以取为适当的值。由此，能进一步提高对基板9涂布空穴输送液和有机EL液、以及由从基板9剥离遮蔽胶带来除去空穴输送液和有机EL液的质量(在第二至第九实施方式也同样)。

在涂布系统1中，处理单元组2中的空穴输送胶带单元23和有机EL胶带单元26被配置在比其他任一个处理单元都要更接近分度器3的位置。由此，在处理单元组2中，能够容易地将其他的空穴输送涂布单元、空穴输送烘培单元、有机EL涂布单元和有机EL烘培单元增设在多个处理单元的排列的外侧(即，远离分度器3一侧)(在第二、第三、第七至第九实施方式也同样)。

另外，在涂布系统1中，基板9由多级搬送机械手4从空穴输送涂布单元21被搬送到空穴输送胶带单元23时，由手部421保持，从空穴输送胶带单元23被搬送到空穴输送烘培单元22时，由手部422保持，因此能够可靠地防止空穴输送液经由多级搬送机械手4(的手部421、422)附着在空穴输送烘培单元22。其结果是，能够可靠地防止不需要的空穴输送液附着在被依次搬入空穴输送烘培单元22的、第一遮蔽胶带81被剥离之后的基板9(在第二、第三、第七至第九实施方式也同样)。

同样，基板9由多级搬送机械手4从有机EL涂布单元24被搬送到有机EL胶带单元26时，由手部421保持，从有机EL胶带单元26被搬送到有机EL烘培单元25时，由手部422保持，所以能够可靠地防止有机EL液经由多级搬送机械手4(的手部421、422)附着在有机EL烘培单元25。其结果是，能够可靠地防止不需要的有机EL液附着在被依次搬入有机EL烘培单元25的、第二遮蔽胶带84被剥离之后的基板9(在第二、第三、第七至第九实施方式也同样)。

在涂布系统1中，在处理单元组2中对基板9的处理都在常压下进行，因此，能够使涂布系统1的结构简单化，能进一步降低制造成本(在第二至第九实施方式也同样)。

接着，针对本发明的第二实施方式的涂布系统1a进行说明。图16是表示涂布系统1a的结构的图。如图16所示，在涂布系统1a中，处理单元组2包括第一有机EL涂布单元24a、第二有机EL涂布单元24b、第三有机EL涂布单元24c来代替图1所示的涂布系统1的有机EL涂布单元24，其中，第一有机EL涂布单元24a将含有红色(R)的有机EL材料的有机EL液(以下称为“有机EL液(R)”)涂布在基板9上；第二有机EL涂布单元24b将含有绿色(G)的有机EL材料的有机EL液(以下称为“有机EL液(G)”)涂布在基板9上；第三有机EL涂布单元24c将含有蓝色(B)的有机EL材料的有机EL液(以下称为“有机EL液(B)”)涂布在基板9上。下面，根据需要，将第一有机EL涂布单元24a～第三有机EL涂布单元24c总称为“有机EL涂布单元24a～24c”。另外，其他结构和图1相同，在以下的说明中标上相同的附图标记。

有机EL涂布单元24a～24c的结构和图9以及图10所示的有机EL涂布单元24大致相同，但是，在这一点上不同：与基板9的移动方向相关，涂布头的3个喷嘴各自的间隔为基板9上的隔壁间距的3倍，从3个喷嘴喷出同色的有机EL液(即，是有机EL液(R)、有机EL液(G)、有机EL液(B)中的某一个，下面，在没有必要区别这三种有机EL液的情况下，和第一实施方式同样地，总称为“有机EL液”)。

在第一有机EL涂布单元24a中，通过反复移动喷出有机EL液(R)的喷嘴和基板9，在第二遮蔽胶带84上和涂布区域91上的隔壁之间的多个槽部条纹状地涂布了有机EL液(R)。由第一有机EL涂布单元24a涂布的条纹状的有机EL液(R)，与基板9的移动方向相关地空开隔壁间距的3倍的间隔而排列。换言之，在涂布了有机EL液(R)的两个槽部之间夹着没有涂布有机EL液(R)的两个槽部。

第二有机EL涂布单元24b也是同样，通过反复移动喷出有机EL液(G)的喷嘴和基板9，在含有涂布了有机EL液(R)的第二遮蔽胶带84的基板9上的区域(即，涂布了有机EL液(R)的第二遮蔽胶带84上的区域、和与涂布了有机EL液(R)的多个槽部的一侧相邻的多个槽部)，空开隔壁间距的3倍的间隔而条纹状地涂布有机EL液(G)，第三有机EL涂布单元24c，也在涂布了有机EL液(R)的槽部和涂布了有机EL液(G)的槽部之间的槽部中，空开隔壁间距的3倍的间隔而条纹状地涂布有机EL液(B)。

图17是表示涂布系统1a的动作的流程的一部分的图。图17所示的动作(步骤S51～S59)的前后的动作的流程，分别和图15A至图15D所示的步骤S11～S33、以及步骤S41～S48相同。

在涂布系统1a中，和第一实施方式相同地，由分度器机械手32从分度器3的盒体90取出的基板9由多级搬送机械手4接受，并被搬入空穴输送胶带单元23，在禁止涂布区域92粘贴第一遮蔽胶带81之后，从空穴输送胶带单元23被搬出(图15A：步骤S11～S14)。接着，基板9由多级搬送机械手4搬入到空穴输送涂布单元21，在空穴输送涂布单元21中，在包含禁止涂布区域92上的第一遮蔽胶带81的基板9上的区域(即，第一遮蔽胶带81上的区域、和涂布区域91的隔壁之间的槽部)涂布了空穴输送液之后，从空穴输送涂布单元21被搬出(步骤S15～S17)。

从空穴输送涂布单元21搬出后的基板9，再次被搬入空穴输送胶带单元23，而涂布了空穴输送液的第一遮蔽胶带81被剥离，然后从空穴输送胶带单元23被搬出，并搬入到空穴输送烘培单元22(步骤S21～S24)。并且，基板9由加热部221加热，由此空穴输送液固定在基板9的涂布区域91上，形成空穴输送层，然后，由冷却部222冷却至常温的基板9从空穴输送烘培单元22被搬出(步骤S25～S27)。

从空穴输送烘培单元22被搬出的基板9，被搬入有机EL胶带单元26，在禁止涂布区域92粘贴了第二遮蔽胶带84之后，从有机EL胶带单元26被搬出(步骤S31～S33)。

粘贴了第二遮蔽胶带84的基板9，由多级搬送机械手4搬送，被搬入到第一有机EL涂布单元24a(图17：步骤S51)，在含有第二遮蔽胶带84的基板9上的区域(即，第二遮蔽胶带84上的区域、和在涂布区域91的隔壁之间的槽部所形成的空穴输送层上的区域)条纹状地涂布有机EL液(R)(步骤S52)。接着，基板9从第一有机EL涂布单元24a被搬出，并被搬入到第二有机EL涂布单元24b(步骤S53、S54)，条纹状地涂布有机EL液(G)(步骤S55)。接着，基板9从第二有机EL涂布单元24b被搬出，并被搬入到第三有机EL涂布单元24c(步骤S56、S57)，条纹状地涂布有机EL液(B)，从而结束对基板9的3种有机EL液(即，有机EL液(R)、有机EL液(G)、有机EL液(B))的涂布(步骤S58)

当对基板9的3种有机EL液的涂布结束时，基板9由多级搬送机械手4从第三有机EL涂布单元24c被搬出(步骤S59)，再次被搬入到有机EL胶带单元26(图15D：步骤S41)。在有机EL胶带单元26中，从基板9剥离涂布了有机EL液的第二遮蔽胶带84，然后，基板9从有机EL胶带单元26被搬出，而被搬入到有机EL烘培单元25(步骤S42～S44)。

在有机EL烘培单元25中，基板9由加热部加热，由此有机EL液固定在基板9的涂布区域91上，形成有机EL层之后，基板9由冷却部冷却至常温(步骤S45、S46)。之后，基板9从有机EL烘培单元25被搬出，向分度器3搬送，并由分度器机械手32接受(步骤S47、S48)。

在涂布系统1a中，由于处理单元组2包括对粘贴了第二遮蔽胶带84的基板9分别依次涂布3种有机EL液的有机EL涂布单元24a～24c、和从涂布了3种有机EL液的基板9剥离第二遮蔽胶带84的有机EL胶带单元26，所以能够容易地得到仅在涂布区域91涂布了有机EL液的基板9，能够在缩短基板9的处理时间的同时降低涂布系统1a的制造成本(在第三、第五、第六、第八以及第九实施方式也同样)。

如上所述，在处理单元组2中，3种有机EL液通过各自的处理单元即有机EL涂布单元24a～24c涂布在基板9上。因此，能将3种有机EL液在各自适合的涂布条件下涂布在基板9上，其结果是，能够提高3种有机EL液的涂布质量(在第三、第五、第六、第八、第九、第十一、第十二、第十四和第十六实施方式也同样)。

此外，对粘贴了涂布过有机EL液(R)的第二遮蔽胶带84状态的基板9，依次涂布有机EL液(G)和有机EL液(B)，从而在由有机EL涂布单元24a～24c进行的3种有机EL液的涂布的前后，能够使第二遮蔽胶带84的粘贴和剥离仅进行一次，进一步缩短基板9的处理时间(在第五、第八和第九实施方式也同样)。此外，在涂布系统1a中，有机EL液(R)、有机EL液(G)以及有机EL液(B)的涂布顺序可以自由地变更。

接着，针对本发明的第三实施方式的涂布系统1b进行说明。图18是表示涂布系统1b的结构的图。如图18所示，在涂布系统1b中，处理单元组2包括第一有机EL烘培单元25a、第二有机EL烘培单元25b、第三有机EL涂布单元25c来取代图16所示的有机EL烘培单元25，其中，第一有机EL烘培单元25a对涂布了有机EL液(R)的基板9进行加热；第二有机EL烘培单元25b对涂布了有机EL液(G)的基板9进行加热；第三有机EL烘培单元25c对涂布了有机EL液(B)的基板9进行加热。下面，根据需要，将第一有机EL烘培单元25a～第三有机EL烘培单元25c总称为“有机EL烘培单元25a～25c”。有机EL烘培单元25a～25c的结构和图14所示的空穴输送烘培单元22相同。其他结构和图16相同，在以下的说明中标上相同的附图标记。

图19是表示涂布系统1b的动作的流程的一部分的图。图19所示的动作(步骤S61～S72)的前后的动作的流程和图15A以及图15B所示的步骤S11～S27、以及图15D所示的步骤S48相同，所以在以下简略说明。

在涂布系统1b中，由多级搬送机械手4从分度器机械手32接受到基板9之后，基板9按空穴输送胶带单元23、空穴输送涂布单元21、空穴输送胶带单元23、空穴输送烘培单元22的顺序依次被搬送，从而对基板9进行第一遮蔽胶带81的粘贴、空穴输送液的涂布、第一遮蔽胶带81的剥离、空穴输送液的固定，在基板9上形成了空穴输送层(步骤S11～S27)。

当形成空穴输送层时，基板9由多级搬送机械手4按有机EL胶带单元26、第一有机EL涂布单元24a、有机EL胶带单元26和第一有机EL烘培单元25a的顺序依次被搬送，对基板9进行第二遮蔽胶带84的粘贴、有机EL液(R)的涂布、第二遮蔽胶带84的剥离、和由基板9的加热进行的有机EL液(R)的固定，在基板9的空穴输送层上形成红色(R)的有机EL材料的层(步骤S61～S64)。

接着，基板9由多级搬送机械手4按有机EL胶带单元26、第二有机EL涂布单元24b、有机EL胶带单元26和第二有机EL烘培单元25b的顺序依次被搬送，对基板9进行第二遮蔽胶带84的粘贴、有机EL液(G)的涂布、第二遮蔽胶带84的剥离、和由基板9的加热进行的有机EL液(G)的固定，在基板9的空穴输送层上形成绿色(G)的有机EL材料的层(步骤S65～S68)。

进而，基板9由多级搬送机械手4按有机EL胶带单元26、第三有机EL涂布单元24c、有机EL胶带单元26和第三有机EL烘培单元25c的顺序依次被搬送，对基板9进行第二遮蔽胶带84的粘贴、有机EL液(B)的涂布、第二遮蔽胶带84的剥离、和由基板9的加热进行的有机EL液(B)的固定而在基板9的空穴输送层上形成蓝色(B)的有机EL材料的层(步骤S69～S72)。然后，从第三有机EL烘培单元25c搬出后的基板9向分度器3搬送，并由分度器机械手32接受(步骤S48)。

在涂布系统1b中，3种有机EL液分别由单独的处理单元即有机EL涂布单元24a～24c涂布在基板9上，进而，分别涂布之后，分别由单独的处理单元即有机EL烘培单元25a～25c加热而固定在基板9上。因此，能够将3种有机EL液在适合各自的涂布条件下涂布在基板9上，进而，能在适合各自的温度条件下加热。其结果是，能够提高3种有机EL液的涂布和加热处理的质量(在第六和第十二实施方式同样)。

接着，针对本发明的第四实施方式的涂布系统1c进行说明。图20是表示涂布系统1c的结构的图。如图20所示，涂布系统1c具有在分度器3和处理单元组2之间、以及处理单元组2的各处理单元之间被配置的多个固定型的搬送臂4a作为搬送机构，来取代图1所示的在移动路径41移动的多级搬送机械手4。

另外，涂布系统1c的处理单元组2包括空穴输送胶带粘贴单元23a、空穴输送胶带剥离单元23b、以及有机EL胶带粘贴单元26a、有机EL胶带剥离单元26b来取代空穴输送胶带单元23和有机EL胶带单元26，其中，空穴输送胶带粘贴单元23a在涂布空穴输送液之前的基板9上粘贴第一遮蔽胶带81；空穴输送胶带剥离单元23b通过从涂布了空穴输送液的基板9剥离第一遮蔽胶带81来从禁止涂布区域92(参照图3)上除去被涂布在了第一遮蔽胶带81上的空穴输送液；有机EL胶带粘贴单元26a在涂布有机EL液之前的基板9上粘贴第二遮蔽胶带84；有机EL胶带剥离单元26b通过从涂布了有机EL液的基板9剥离第二遮蔽胶带84来从禁止涂布区域92上除去被涂布在了第二遮蔽胶带84上的有机EL液。其他结构和图1相同，在以下的说明中标上相同的附图标记。

空穴输送胶带粘贴单元23a为图4至图6所示的从空穴输送胶带单元23省略了胶带剥离头234的结构，空穴输送胶带剥离单元23b为从空穴输送胶带单元23省略了胶带粘贴头233的结构。有机EL胶带粘贴单元26a以及有机EL胶带剥离单元26b也为和空穴输送胶带粘贴单元23a以及空穴输送胶带剥离单元23b同样的结构。

在涂布系统1c中，基板9通过多个搬送臂4a沿着从分度器3开始依次经由空穴输送胶带粘贴单元23a、空穴输送涂布单元21、空穴输送胶带剥离单元23b、空穴输送烘培单元22、有机EL胶带粘贴单元26a、有机EL涂布单元24、有机EL胶带剥离单元26b以及有机EL烘培单元25至分度器3为止的规定的搬送路径被搬送。并且，在各单元中，通过各自处理，从而和第一实施方式同样，在基板9的涂布区域91形成有空穴输送层和有机EL层。

在涂布系统1c中，处理单元组2除了包括从基板9的禁止涂布区域92除去流动性材料(即，空穴输送液和有机EL液)的流动性材料除去单元即空穴输送胶带剥离单元23b和有机EL胶带剥离单元26b，还包括空穴输送胶带粘贴单元23a和有机EL胶带粘贴单元26a，从而也能够在一个系统内对基板9进行遮蔽胶带的粘贴和遮蔽胶带的剥离，能够缩短基板9的处理时间的同时，能够降低涂布系统1c的制造成本(在第五和第六实施方式也同样)。

在涂布系统1c中，将基板9从空穴输送胶带剥离单元23b向空穴输送烘培单元22搬送的搬送臂4a不同于从空穴输送涂布单元21向空穴输送胶带剥离单元23b搬送的搬送臂4a，因此能可靠地防止空穴输送液经由搬送臂4a附着在空穴输送烘培单元22上。其结果是，能可靠地防止没用的空穴输送液附着在被依次搬入空穴输送烘培单元22的、剥离了第一遮蔽胶带81之后的基板9上(在第五和第六实施方式也同样)。

同样，将基板9从有机EL胶带剥离单元26b向有机EL烘培单元25搬送的搬送臂4a不同于从有机EL涂布单元24向有机EL胶带剥离单元26b搬送的搬送臂4a，所以能可靠地防止有机EL液经由搬送臂4a附着在有机EL烘培单元25上。其结果是，能可靠地防止没用的有机EL液附着在被依次搬入有机EL烘培单元25的、剥离了第二遮蔽胶带84之后的基板9上(在第五和第六实施方式也同样)。

图21和图22是表示本发明的第五以及第六实施方式的涂布系统1d以及涂布系统1e的结构的图。如图21和图22所示，涂布系统1d和涂布系统1e分别具有和第二实施方式的涂布系统1a(参照图16)和第三实施方式的涂布系统1b(参照图18)大致相同的结构，但是在这一点上不同：设置有多个搬送臂4a来取代多级搬送机械手4；设置有空穴输送胶带粘贴单元23a、空穴输送胶带剥离单元23b以及有机EL胶带粘贴单元26a、有机EL胶带剥离单元26b来取代空穴输送胶带单元23以及有机EL胶带单元26。其他结构和图16和图18相同，在以下的说明中标记相同的附图标记。

在图21所示的涂布系统1d中，和第二实施方式相同，在空穴输送层的形成结束之后，对粘贴了第二遮蔽胶带84的基板9，依次涂布有机EL液(R)、有机EL液(G)、有机EL液(B)，在剥离第二遮蔽胶带84之后，进行加热处理，形成有机EL层。

在图22所示的涂布系统1e中，在基板9的涂布区域91形成空穴输送层之后，基板9由多个搬送臂4a依次被搬入有机EL胶带粘贴单元26a、第一有机EL涂布单元24a、有机EL胶带剥离单元26b、第一有机EL烘培单元25a、有机EL胶带粘贴单元26a、第二有机EL涂布单元24b、有机EL胶带剥离单元26b、第二有机EL烘培单元25b、有机EL胶带粘贴单元26a、第三有机EL涂布单元24c、有机EL胶带剥离单元26b以及第三有机EL烘培单元25c，由此对有机EL液(R)、有机EL液(G)、有机EL液(B)分别进行对基板9的涂布以及加热处理。

图23是表示本发明的第七实施方式的涂布系统1f的结构的图。如图23所示，在涂布系统1f中，处理单元组2除了包括图1所示的涂布系统1的多个处理单元，还包括暂时保持在处理单元组2的处理途中的基板9的缓冲单元27。其他结构和图1相同，在以下的说明中标上相同的附图标记。

在处理单元组2中，在各处理单元中的处理时间不同。例如，在空穴输送烘培单元22和有机EL烘培单元25中的基板9的加热和冷却所需要的时间比在空穴输送涂布单元21和有机EL涂布单元24中的空穴输送液和有机EL液的涂布所需要的时间长，另外，也比在空穴输送胶带单元23和有机EL胶带单元26中的遮蔽胶带的粘贴和剥离所需要的时间长。

在涂布系统1f中，将处理途中的基板9暂时容纳在缓冲单元27的盒体(省略图示)来保持，由此在进行多个基板9的处理时，调整各处理单元之间的处理时间(即，生产节拍时间)的差，灵活地掌握基板9的处理顺序，所以能缩短基板9的处理时间。例如，将搬送途中的基板9暂时容纳在缓冲单元27，而优先基板9相对处理时间长的空穴输送烘培单元22和有机EL烘培单元25的搬入搬出。从这个角度，优选缓冲单元27配置在最接近空穴输送烘培单元22和有机EL烘培单元25的位置。

另外，在空穴输送烘培单元22中，在对一张基板9进行加热处理期间，将空穴输送液的涂布以及第一遮蔽胶带81的剥离结束后的后续的基板9预先容纳在缓冲单元27，从而在空穴输送涂布单元21中能对多个基板9连续地进行空穴输送液的涂布。在空穴输送涂布单元21中，当停止空穴输送液的喷出时，因为在再开始喷出时的流量等的稳定上需要一些时间，所以在对多个基板9进行涂布时，优选在等待基板9搬入的期间内也不停止喷出。因此，假设当等待基板9搬入的时间长时，空穴输送液的使用量增大。在涂布系统1f中，通过设置缓冲单元27，从而能实现对多个基板9的连续的涂布，能够降低空穴输送液的使用量(对有机EL液的涂布也同样)。

图24是表示本发明的第八实施方式的涂布系统1g的结构的图。如图24所示，在涂布系统1g中，处理单元组2除了包括图16所示的涂布系统1a的多个处理单元，还包括暂时保持处理途中的基板9的缓冲单元27。其他结构和图16相同，在以下的说明中，标上相同的附图标记。

在涂布系统1g的空穴输送涂布单元21中，对基板9的涂布区域91的所有的槽部进行空穴输送液的涂布，但是，在第一有机EL涂布单元24a、第二有机EL涂布单元24b以及第三有机EL涂布单元24c中，分别对1/3的个数的槽部进行有机EL液(R)、有机EL液(G)、有机EL液(B)的涂布。因此，在空穴输送涂布单元21中的处理时间约为在各个有机EL涂布单元24a～24c中的处理时间的3倍。在涂布系统1g中，也能够通过缓冲单元27调整这种在各单元中的处理时间的差。

图25是表示本发明的第九实施方式的涂布系统1h的结构的图。如图25所示，涂布系统1h的处理单元组2包括空穴输送胶带单元23、3个空穴输送涂布单元21以及空穴输送烘培单元22作为空穴输送层的形成所涉及的处理单元，包括有机EL胶带单元26、第一有机EL涂布单元24a、第二有机EL涂布单元24b、第三有机EL涂布单元24c以及有机EL烘培单元25作为有机EL层的形成所涉及的处理单元。处理单元组2还具有暂时保持处理途中的基板9的缓冲单元27a。缓冲单元27a为沿着处理单元的配列延伸的横向长的形状。

在处理单元组2中，空穴输送层的形成所涉及的处理单元被配列在缓冲单元27a的一侧，有机EL层的形成所涉及的处理单元被配列在另一侧。涂布系统1h具有两台多级搬送机械手4作为基板9的搬送机构，在空穴输送层的形成所涉及的多个处理单元和缓冲单元27a之间、以及有机EL层的形成所涉及的多个处理单元和缓冲单元27a之间分别设置有移动多级搬送机械手4的移动路径41。

在涂布系统1h中，在空穴输送烘培单元22的内部设置有3个加热部(省略图示)，由3个空穴输送涂布单元21涂布了空穴输送液的3张基板9在第一遮蔽胶带81剥离之后，由3个加热部同时进行加热，而形成空穴输送层。空穴输送层的形成所涉及的处理结束了的3张基板9，通过一方的多级搬送机械手4而被搬送到缓冲单元27a，通过另一方的多级搬送机械手4从缓冲单元27a被取出，按顺序被搬送到有机EL层的形成所涉及的处理单元，而形成了有机EL层。

在涂布系统1h中，夹持缓冲单元27a来分离配置空穴输送层的形成所涉及的处理单元和有机EL层的形成所涉及的处理单元，从而能调整空穴输送层和有机EL层的形成所涉及的处理时间的差，同时，能够抑制空穴输送层的形成所涉及的处理单元和有机EL层的形成所涉及的处理单元之间的环境的移动。其结果是，能够提高对基板9的处理的质量。

接着，表示涂布系统的其他例子。在以下的例子中，从处理单元组2省略了空穴输送层的形成所涉及的处理单元，在其他系统和装置等即外部进行了空穴输送层的形成的基板9被搬入到涂布系统。

图26所示的涂布系统11a具有分度器3、多级搬送机械手4和处理单元组2，处理单元组2包括有机EL胶带单元26、有机EL涂布单元24和有机EL烘培单元25各两个。图27所示的涂布系统11b的处理单元组2包括两个有机EL胶带单元26、第一有机EL涂布单元24a、第二有机EL涂布单元24b、第三有机EL涂布单元24c和有机EL烘培单元25。图28所示的涂布系统11c的处理单元组2包括第一有机EL烘培单元25a、第二有机EL烘培单元25b以及第三有机EL烘培单元25c来取代图27所示的有机EL烘培单元25。

图29所示的涂布系统11d具有分度器3、多个搬送臂4a以及处理单元组2。在涂布系统11d中，基板9被依次搬送到有机EL胶带粘贴单元26a、有机EL涂布单元24、有机EL胶带剥离单元26b以及有机EL烘培单元25并被处理，从而在基板9上形成有机EL层。在图30所示的涂布系统11e中，基板9被依次搬送到有机EL胶带粘贴单元26a、第一有机EL涂布单元24a、第二有机EL涂布单元24b、第三有机EL涂布单元24c、有机EL胶带剥离单元26b以及有机EL烘培单元25。

在图31所示的涂布系统11f中，基板9被依次搬送到有机EL胶带粘贴单元26a、第一有机EL涂布单元24a、有机EL胶带剥离单元26b、第一有机EL烘培单元25a、有机EL胶带粘贴单元26a、第二有机EL涂布单元24b、有机EL胶带剥离单元26b、第二有机EL烘培单元25b、有机EL胶带粘贴单元26a、第三有机EL涂布单元24c、有机EL胶带剥离单元26b以及第三有机EL烘培单元25c。

在以上说明过的涂布系统中，从容易得到仅在基板9上的涂布区域91涂布了有机EL液的基板9这个角度，可以从处理单元组2省略粘贴第二遮蔽胶带84的有机EL胶带粘贴单元26a(或者，有机EL胶带单元26的胶带粘贴头)(在空穴输送液的涂布也同样)。在该情况下，在涂布系统搬入在系统的外部粘贴了第二遮蔽胶带84的基板9。

相反，可以从处理单元组2省略有机EL胶带剥离单元26b(或者，有机EL胶带单元26的胶带剥离头)，可以在涂布系统的外部进行第二遮蔽胶带84的剥离。即使在该情况下，处理单元组2包括在基板9上粘贴第二遮蔽胶带84的有机EL胶带粘贴单元26a(或者，有机EL胶带单元26的胶带粘贴头)和涂布有机EL液的有机EL涂布单元，由此在基板9涂布有机EL液时，能够可靠地防止有机EL液附着在基板9上的禁止涂布区域92(在空穴输送液的涂布也同样)。

另外，在要求涂布系统小型化的情况下，可以通过1个胶带粘贴·剥离单元涂布空穴输送液前后进行的第一遮蔽胶带81的粘贴和剥离以及涂布有机EL液前后进行的第二遮蔽胶带84的粘贴和剥离。

此外，在上述实施方式的涂布系统中，也可以对基板9的整个禁止涂布区域92进行遮蔽胶带的粘贴。例如，在空穴输送胶带单元23中，在一个方向延伸的区域粘贴有第一遮蔽胶带81，通过基板移动机构232，基板9仅旋转了90°之后，在与已经粘贴了第一遮蔽胶带81的区域垂直的区域粘贴有第一遮蔽胶带81。这样，禁止涂布区域92中，在空穴输送涂布单元21没有进行空穴输送液的涂布的区域也粘贴第一遮蔽胶带81，从而能防止因某种异常等而使异物附着在该区域(在有机EL胶带单元26也同样)。

接着，针对本发明第十实施方式的涂布系统1j进行说明。图32是表示涂布系统1j的结构的图。涂布系统1j也和第一实施方式同样，是在有机EL显示装置用的基板9(参照图2)涂布流动性材料的系统。在涂布系统1j中，不对基板9进行遮蔽胶带的粘贴和剥离(在第十一至第十六实施方式也同样)。

如图32所示，在涂布系统1j中，处理单元组2包含空穴输送除去单元28和有机EL除去单元29来取代图1所示的涂布系统1的空穴输送胶带单元23和有机EL胶带单元26。其中，空穴输送除去单元28是从由空穴输送涂布单元21涂布了空穴输送液的基板9(参照图2)的禁止涂布区域92除去空穴输送液的流动性材料除去单元；有机EL除去单元29是从由有机EL涂布单元24涂布了有机EL液的基板9的禁止涂布区域92除去有机EL液的流动性材料除去单元。其他结构和图1同样，在以下的说明中标上相同的附图标记。

在空穴输送除去单元28中，通过向被涂布在了基板9上的禁止涂布区域92上的空穴输送液照射能量波，来从禁止涂布区域92除去空穴输送液。在有机EL除去单元29中也同样，通过向被涂布在了基板9上的禁止涂布区域92上的有机EL液照射能量波，来从禁止涂布区域92除去有机EL液。在本实施方式中，通过空穴输送除去单元28和有机EL除去单元29向基板9上的禁止涂布区域92进行的能量波的照射是由激光的照射带来的光能量的照射，禁止涂布区域92上的空穴输送液和有机EL液由激光烧蚀来气化，而从禁止涂布区域92上被除去(在第十一至第十六实施方式也同样)。

在处理单元组2中，在多级搬送机械手4移动的直线状的移动路径41的一侧，配列有空穴输送涂布单元21、空穴输送烘培单元22以及空穴输送除去单元28，在移动路径41的另一侧，配列有有机EL涂布单元24、有机EL烘培单元25和有机EL除去单元29。在涂布系统1j中，处理单元组2中的空穴输送除去单元28和有机EL除去单元29配置在比其他任一个处理单元(即，空穴输送涂布单元21、空穴输送烘培单元22、有机EL涂布单元24和有机EL烘培单元25)更接近分度器3的位置。

图33是表示空穴输送除去单元28的结构的主视图。空穴输送除去单元28具有：基板保持部281，其保持基板9；基板移动机构282，其使基板9在相互垂直的两个水平方向(即，图4中的左右方向和纵深方向)移动；除去头283，其对基板9的禁止涂布区域92照射激光，来除去所涂布的空穴输送液；控制部284，其控制这些机构。

图34是放大表示除去头283的内部结构的主视图。在图5中，为了说明除去头283的被容纳在壳体2830的结构，所以描述壳体2830的内部。如图5所示，除去头283具有：激光照射部2831，其出射激光；吸引部2832，其吸引由激光烧蚀而被气化后的除去物(即，空穴输送液)；壳体2830，其容纳这些机构。

激光照射部2831具有：激光振荡器2833，其使高强度的脉冲激光振荡；放大光学系统2834，其放大来自激光振荡器2833的激光；掩模2835，其将来自放大光学系统2834的激光的剖面形状整形成狭缝状(宽度窄的矩形状)；缩小光学系统2836，其使由掩模2835整形的激光会聚并导向基板9。在图5中，用虚线表示从激光振荡器2833导向基板9的激光的主轴。吸引部2832具有向基板9突出的吸引喷嘴2837，在被照射了来自激光照射部2831的激光的基板9上的区域的上方吸引周围气体。

在由图33所示的空穴输送除去单元28从基板9上的禁止涂布区域92(参照图2)除去空穴输送液时，首先，由基板移动机构282移动基板9，而位于除去开始位置。即，基板9的禁止涂布区域92的端部位于除去头283的缩小光学系统2836的下方。

接着，在基板9静止了的状态下，开始由吸引部2832进行的吸引，同时开始从激光照射部2831向禁止涂布区域92照射脉冲激光。在禁止涂布区域92中，通过反复进行激光的照射，从而反复产生激光烧蚀，由此，附着在基板9的禁止涂布区域92上的空穴输送液被气化而被除去。被气化后的空穴输送液由吸引部2832和周围的气体一起被吸引。其结果是，防止气化了的空穴输送液再次附着在基板9和空穴输送除去单元28上。

在空穴输送除去单元28中，当规定脉冲数的激光被照射在基板9上的一个照射区域时，由基板移动机构282移动基板9，从而在禁止涂布区域92中的被照射激光的区域发生移动。并且，通过反复进行激光的照射和基板9的移动，从而对基板9上的整个禁止涂布区域92照射激光，除去附着在了禁止涂布区域92上的空穴输送液。

由于有机EL除去单元29具有和图33所示的空穴输送除去单元28同样的结构，所以省略图示。有机EL除去单元29和空穴输送除去单元28同样，具有：基板保持部，其保持基板9；基板移动机构，其使基板9移动；除去头，其对基板9的禁止涂布区域92照射激光，来除去所涂布的有机EL液；控制部，其控制这些结构。

除去头的内部结构也和图34所示的空穴输送除去单元28的除去头283相同。在有机EL除去单元29也和空穴输送除去单元28同样，通过由来自除去头的激光照射部的脉冲激光的照射来进行的激光烧蚀，而从基板9的禁止涂布区域92使有机EL液气化来除去，并由吸引部对气化了的有机EL液和周围的气体一起进行吸引，从而防止被除去了的有机EL液再次附着在基板9和有机EL除去单元29上。

图35是表示基板9的俯视图，图36是在图35中的B-B的位置的基板9的剖面图。在图32所示的有机EL涂布单元24中，通过反复进行涂布头244(参照图9和图10)向左右方向的移动和基板9的间距移动，从而如图35和图36所示，在基板9上的含有禁止涂布区域92的区域(即，禁止涂布区域92中的涂布区域91的左右的区域、和涂布区域91的隔壁之间的槽部)，条纹状地涂布有机EL液93。此外，在图35中，为了便于图示，基板9上所涂布的有机EL液93的宽度和间距描述得比实际大。

在有机EL涂布单元24中，在进行有机EL液93的涂布期间，从涂布头244的喷嘴247a～247c(参照图9和图10)连续地喷出有机EL液93。在有机EL涂布单元24中，禁止涂布区域92中，对在与基板9的移动方向垂直延伸的区域(即，在图35中沿左右方向延伸的区域)，在使涂布头244从基板9上避让的状态下，基板9仅移动和该区域宽度(即，图35中的上下方向的宽度)相等的距离，从而能避免有机EL液93向该区域涂布。

在涂布系统1j中，在上述的有机EL除去单元29，通过从基板9的禁止涂布区域92除去有机EL液93，从而如图37所示，仅在基板9的涂布区域91上残存着有机EL液93(在空穴输送涂布单元21和空穴输送除去单元28中的空穴输送液的涂布和除去也同样)。

接着，针对涂布系统1j的动作进行说明。图38A至图38C是表示涂布系统1j的动作的流程的图。在图32所示的涂布系统1j中，容纳有形成了TFT电路、ITO电极以及隔壁的多个基板9的盒体90，被预先载置到分度器3的盒体载置部31上，首先，由分度器3的分度器机械手32(参照图3)，从盒体载置部31上的盒体90取出基板9，由多级搬送机械手4接受被分度器机械手32的手部321保持的基板9，并被手部421(参照图3)保持(步骤S81)。

接着，多级搬送机械手4在移动路径41上一直移动到空穴输送涂布单元21之前，被手部421保持的基板9被搬入到空穴输送涂布单元21，而被载置到基板保持部(步骤S82)。在空穴输送涂布单元21中，向基板9喷出空穴输送液，在含有禁止涂布区域92上的基板9上的区域(即，涂布区域91的隔壁之间的槽部和禁止涂布区域92)，条纹状地涂布空穴输送液(步骤S83)。

当空穴输送液的涂布结束时，基板9由多级搬送机械手4从空穴输送涂布单元21搬出(步骤S84)，再向空穴输送除去单元28被搬送，而被搬入空穴输送除去单元28(步骤S85)。此时，基板9由多级搬送机械手4的手部421保持并搬送。另外，在基板9上，由空穴输送涂布单元21涂布了的空穴输送液的溶剂成分的一部分通过基板保持部的加热机构蒸发，空穴输送液以某种程度干燥了的状态(所谓半干的状态)附着在禁止涂布区域92和涂布区域91上。在空穴输送除去单元28中，通过由来自除去头283(参照图34)的激光地照射进行的激光烧蚀，从被保持在基板保持部281的基板9的禁止涂布区域92除去空穴输送液(步骤S86)。

当空穴输送液从禁止涂布区域92被除去时，基板9由多级搬送机械手4从空穴输送除去单元28被搬出(步骤S87)，向空穴输送烘培单元22搬送，并被搬入空穴输送烘培单元22(步骤S91)。在基板9从空穴输送除去单元28向空穴输送烘培单元22被搬送时，基板9由多级搬送机械手4的手部422(即，不同于在从空穴输送涂布单元21向空穴输送除去单元28搬送时进行保持的保持部的另一个保持部)保持。

在空穴输送烘培单元22中，从禁止涂布区域92除去了空穴输送液的基板9，被载置到加热部221的加热板2211(参照图14)上，并被加热，在涂布区域91中，被涂布在隔壁之间的槽部中的空穴输送液固定在基板9(的ITO电极)上，而形成了空穴输送层(步骤S92)。接着，基板9由多级搬送机械手4从加热部221搬出，而被搬入冷却部222，并被载置到冷却板2221(参照图14)上，冷却至常温(步骤S93)。

当基板9的冷却结束时，基板9由多级搬送机械手4从空穴输送烘培单元22搬出(步骤S94)，而被搬入有机EL涂布单元24(步骤S95)。在有机EL涂布单元24中，向被保持在基板保持部241的基板9喷出3种有机EL液，在含有禁止涂布区域92的基板9上的区域(即，禁止涂布区域92和涂布区域91的在隔壁之间槽部形成的空穴输送层上的区域)，条纹状地涂布3种有机EL液(步骤S96)。

当有机EL液的涂布结束时，基板9由多级搬送机械手4从有机EL涂布单元24搬出(步骤S97)，再被搬入有机EL除去单元29(步骤S101)。在基板9上，由有机EL涂布单元24涂布了的有机EL液的溶剂成分的一部分通过基板保持部241的加热机构蒸发，有机EL液以某种程度干燥了的状态(所谓半干的状态)附着在禁止涂布区域92和涂布区域91(的空穴输送层)上。在有机EL除去单元29中，通过由来自除去头的激光的照射进行的激光烧蚀，来从被保持在基板保持部上的基板9的禁止涂布区域92除去有机EL液(步骤S102)。

当从禁止涂布区域92除去有机EL液时，基板9由多级搬送机械手4从有机EL除去单元29搬出(步骤S103)，并被搬入有机EL烘培单元25(步骤S104)。在基板9从有机EL除去单元29向有机EL烘培单元25被搬送时，基板9由多级搬送机械手4的手部4212、422中的、和被利用于从有机EL涂布单元24向有机EL除去单元29搬送基板9时的手部不同的手部保持。

在有机EL烘培单元25中，从禁止涂布区域92除去了有机EL液的基板9由加热部的加热板加热，被涂布在基板9的空穴输送层上的有机EL液固定在基板9(的空穴输送层)上，而形成了有机EL层(步骤S105)。接着，基板9由多级搬送机械手4从加热部搬出，并被搬入冷却部，由冷却板冷却至常温(步骤S106)。

当在基板9的涂布区域91中，在空穴输送层上所层叠的有机EL层的形成结束时，基板9由多级搬送机械手4从有机EL烘培单元25搬出(步骤S107)，并被搬送到分度器3，由分度器机械手32接受，被容纳在盒体载置部31上的盒体90(步骤S108)。在涂布系统1j中，当在盒体90容纳有规定张数的处理完成基板时，该盒体90被搬出到涂布系统1j之外，由其他装置进行阴极的形成以及由绝缘膜进行的密封，从而完成了有机EL显示装置的制造。

在以上说明的涂布系统1j中，当关注空穴输送层的形成所涉及的结构时，处理单元组2包括：空穴输送涂布单元21，其向基板9涂布空穴输送液；空穴输送除去单元28，其从涂布了空穴输送液的基板9的禁止涂布区域92除去空穴输送液。由此，除去附着在禁止涂布区域92上的空穴输送液，容易得到仅在涂布区域91上涂布了空穴输送液的基板9。另外，由于包括对基板9进行加热而使空穴输送液固定在基板9上的空穴输送烘培单元22，从而能容易地得到仅在涂布区域91固定空穴输送液而形成了空穴输送层的基板9。进而，由于能在一个系统内进行空穴输送液的涂布、来自禁止涂布区域92的空穴输送液的除去、和空穴输送液的固定，所以能够缩短基板9的处理时间，同时能够降低涂布系统1j的制造成本(在本段落说明过的事项在以下第十一至第十六实施方式也同样)。

在空穴输送除去单元28中，从由空穴输送烘培单元22加热前的基板9的禁止涂布区域92除去空穴输送液，即，由于能在空穴输送液固定在基板9上之前将其除去，所以能够容易地除去空穴输送液(在第十一、第十三至第十六实施方式也同样)。

另外，在空穴输送除去单元28中，通过由激光的照射进行的激光烧蚀来除去空穴输送液。在激光照射中，由于可以高精度地确定照射激光的区域，所以能位置精度良好地除去空穴输送液。另外，在照射控制了波长的激光时，由于不会产生有可能对空穴输送液给予影响的臭氧(O₃)，所以能实现高品质的空穴输送层的形成(在第十一至第十六实施方式中也同样)。

接着，当关注有机EL层的形成所涉及的结构时，和空穴输送层的形成所涉及的结构相同，由有机EL涂布单元24在基板9上涂布有机EL液，由有机EL除去单元29从禁止涂布区域92除去有机EL液，从而除去附着在禁止涂布区域92上的有机EL液，能够容易地得到仅在涂布区域91涂布了有机EL液的基板9。另外，由有机EL烘培单元25将有机EL液固定在基板9的涂布区域91，从而能够容易地得到仅在涂布区域91固定有机EL液而形成了有机EL层的基板9。进而，由于能在一个系统内进行有机EL液的涂布、来自禁止涂布区域92的有机EL液的除去、和有机EL液的固定，所以能够缩短基板9的处理时间，同时能够降低涂布系统1j的制造成本(在第十三和第十五实施方式也同样)。

在有机EL除去单元29中，从由有机EL烘培单元25加热前的基板9的禁止涂布区域92除去有机EL液，即，由于能在有机EL液固定在基板9上之前将其除去，所以能够容易地除去有机EL液(在第十一、第十三至第十六实施方式也同样)。

另外，在有机EL除去单元29中，也和空穴输送除去单元28同样，通过由激光的照射进行的激光烧蚀来除去有机EL液，从而能位置精度良好地除去有机EL液。另外，在照射控制了波长的激光时，由于不会产生有可能对有机EL液给予影响的臭氧，所以能实现高品质的有机EL层的形成(在第十一至第十六实施方式中也同样)。

在处理单元组2中，由空穴输送除去单元28从基板9的禁止涂布区域92除去空穴输送液，由有机EL除去单元29从禁止涂布区域92除去有机EL液。假设，由共用的除去单元进行空穴输送液的除去和有机EL液的除去时，在除去单元附着了空穴输送液的情况下，空穴输送液就有可能混入在其后被搬入的基板9上的固定前的有机EL液。另外，在除去单元附着了有机EL液的情况下，有机EL液就有可能混入在其后被搬入的基板9上的固定前的空穴输送液。在涂布系统1j中，通过在处理单元组2设置空穴输送除去单元28和有机EL除去单元29，从而能可靠地防止基板9上的空穴输送液和有机EL液的混合。进而，通过在处理单元组2设置多个除去单元，也能缩短基板9的处理时间(在第十一至第十六实施方式也同样)。

但是，在空穴输送液和有机EL液中，用于进行有效地除去的激光特性(例如，波长和频率、(激光)通量等)不同。在涂布系统1j中，通过在处理单元组2设置空穴输送除去单元28和有机EL除去单元29，从而将空穴输送液和有机EL液分别由具有不同特性的激光除去，所以能分别有效地进行空穴输送液的除去和有机EL液的除去(在第十一至第十六实施方式也同样)。

在涂布系统1j中，处理单元组2中的空穴输送除去单元28和有机EL除去单元29配置在比其他处理单元更接近分度器3的位置。由此，在处理单元组2中，能够将其他空穴输送涂布单元、空穴输送烘培单元、有机EL涂布单元和有机EL烘培单元容易地增设在多个处理单元的阵列的外侧(即，远离分度器3一侧)(在第十一、第十二、第十五和第十六实施方式也同样)。

另外，在涂布系统1j中，基板9由多级搬送机械手4从空穴输送涂布单元21被搬送到空穴输送涂布单元28时，由手部421(参照图3)保持，从空穴输送除去单元28被搬送到空穴输送烘培单元22时，由手部422(参照图3)保持，所以能够可靠地防止空穴输送液经由多级搬送机械手4(的手部421、422)附着在空穴输送烘培单元22。其结果是，能够可靠地防止没用的空穴输送液附着在被依次搬入空穴输送烘培单元22的基板9(在第十一、第十二、第十五和第十六实施方式也同样)。

同样，基板9由多级搬送机械手4从有机EL涂布单元24被搬送到有机EL除去单元29时，由手部421保持，从有机EL除去单元29被搬送到有机EL烘培单元25时，由手部422保持，所以能够可靠地防止有机EL液经由多级搬送机械手4(的手部421、422)附着在有机EL烘培单元25。其结果是，能够可靠地防止没用的有机EL液附着在被依次搬入有机EL烘培单元25的基板9(在第十一、第十二、第十五和第十六实施方式也同样)。

在涂布系统1j中，处理单元组2中的对基板9的处理都在常压下进行，所以，能够使涂布系统1j的结构简单化，能进一步降低制造成本(在第十一至第十六实施方式也同样)。

接着，针对本发明的第十一实施方式的涂布系统1k进行说明。图39是表示涂布系统1k的结构的图。如图39所示，在涂布系统1k中，处理单元组2包括图16所示的第一有机EL涂布单元24a、第二有机EL涂布单元24b、第三有机EL涂布单元24c来代替图32所示的涂布系统1j的有机EL涂布单元24。其他结构和图32相同，在以下的说明中标上相同的附图标记。

在第一有机EL涂布单元24a中，通过反复进行喷出有机EL液(R)的喷嘴和基板9的移动，从而在禁止涂布区域92和涂布区域91上的隔壁之间的多个槽部条纹状地涂布有机EL液(R)。由第一有机EL涂布单元24a涂布的条纹状的有机EL液(R)，与基板9的移动方向相关，空开隔壁间距的3倍的间隔配列。换言之，在涂布了有机EL液(R)的两个槽部之间夹着没有涂布有机EL液(R)的两个槽部。

第二有机EL涂布单元24b也是同样，通过反复进行喷出有机EL液(G)的喷嘴和基板9的移动，从而在含有涂布了有机EL液(R)的禁止涂布区域92的基板9上的区域(即，与涂布了有机EL液(R)的多个槽部的一侧相邻的多个槽部、和涂布了有机EL液(R)的禁止涂布区域92)，空开隔壁间距的3倍的间隔条纹状地涂布有机EL液(G)，第三有机EL涂布单元24c，也在涂布了有机EL液(R)的槽部和涂布了有机EL液(G)的槽部之间的槽部，空开隔壁间距的3倍的间隔而条纹状地涂布有机EL液(B)。

图40是表示涂布系统1k的动作的流程的一部分的图。图40所示的动作(步骤S111～S119)的前后的动作的流程分别和图38A至图38C所示的步骤S81～S94和步骤S101～S108相同。

在涂布系统1k，和第十实施方式相同，由分度器机械手32从分度器3的盒体90取出的基板9由多级搬送机械手4接受，并搬入空穴输送涂布单元21，在空穴输送涂布单元21中，在含有禁止涂布区域92的基板9上的区域涂布了空穴输送液之后，从空穴输送涂布单元21被搬出(图38A：步骤S81～S84)。

从空穴输送涂布单元21搬出的基板9被搬入空穴输送除去单元28，从禁止涂布区域92除去空穴输送液，然后从空穴输送除去单元28搬出，搬入到空穴输送烘培单元22(步骤S85～S91)。并且，基板9由加热部221加热，从而空穴输送液固定在基板9的涂布区域91上，形成空穴输送层，由冷却部222冷却到常温的基板9从空穴输送烘培单元22被搬出(步骤S92～S94)。

从空穴输送烘培单元22搬出的基板9由多级搬送机械手4搬送，被搬入到第一有机EL涂布单元24a(图40：步骤S111)，在含有禁止涂布区域92的基板9上的区域(即禁止涂布区域92上和空穴输送层上的区域)，条纹状地涂布有机EL液(R)(步骤S112)。接着，基板9从第一有机EL涂布单元24a被搬出，而被搬入到第二有机EL涂布单元24b(步骤S113、S114)，条纹状地涂布有机EL液(G)(步骤S115)。接着，基板9从第二有机EL涂布单元24b被搬出，而被搬入到第三有机EL涂布单元24c(步骤S116、S117)，条纹状地涂布有机EL液(B)，从而结束对基板9的3种有机EL液(即，有机EL液(R)、有机EL液(G)以及有机EL液(B))的涂布(步骤S118)。

当对基板9的3种有机EL液的涂布结束时，基板9由多级搬送机械手4从第三有机EL涂布单元24c被搬出(步骤S119)，再被搬入到有机EL除去单元29(图38C：步骤S101)。在有机EL除去单元29中，同时进行从禁止涂布区域92除去有机EL液(R)、有机EL液(G)、有机EL液(B)的操作，然后，基板9从有机EL除去单元29被搬出，而被搬入到有机EL烘培单元25(步骤S102～S104)。

在有机EL烘培单元25中，基板9由加热部加热，从而有机EL液固定在基板9的涂布区域91上，形成有机EL层之后，基板9由冷却部冷却到常温(步骤S105、S106)。之后，基板9从有机EL烘培单元25被搬出，向分度器3搬送，并由分度器机械手32接受(步骤S107、S108)。

在涂布系统1k中，由于处理单元组2包括对基板9分别依次涂布3种有机EL液的有机EL涂布单元24a～24c、和从基板9的禁止涂布区域92除去3种有机EL液的有机EL除去单元29，所以能够容易地除去附着在禁止涂布区域92上的有机EL液，能够容易地得到仅在涂布区域91涂布了有机EL液的基板9。另外，由于包括对基板9加热而使有机EL液固定的有机EL烘培单元25，所以能够容易地得到仅在涂布单元91固定有机EL液而形成有机EL层的基板9。进而，能够缩短基板9的处理时间的同时，能够降低涂布系统1k的制造成本(在第十二、第十四和第十六实施方式也同样)。

如上所述，在处理单元组2中，由1个有机EL除去单元29同时进行从禁止涂布区域92除去有机EL液(R)、有机EL液(G)、有机EL液(B)的操作，从而能更加缩短基板9的处理时间(在第十四和第十六实施方式也同样)。此外，在涂布系统1k中，有机EL液(R)、有机EL液(G)、有机EL液(B)的涂布顺序可以自由地变更。

接着，针对本发明的第十二实施方式的涂布系统1m进行说明。图41是表示涂布系统1m的结构的图。如图41所示，在涂布系统1m中，处理单元组2包括图18所示的第一有机EL烘培单元25a、第二有机EL烘培单元25b、第三有机EL烘培单元25c来取代图39所示的有机EL烘培单元25，其他结构和图39相同，在以下的说明中标上相同的附图标记。

图42是表示涂布系统1m的动作的流程的一部分的图。图42所示的动作(步骤S121～S127)的前后的动作的流程和图38A至图38C所示的步骤S81～S94、以及步骤S118相同，所以在以下简略说明。

在涂布系统1m中，由多级搬送机械手4从分度器机械手32接受基板9之后，基板9被依次搬入空穴输送涂布单元21、空穴输送除去单元28、空穴输送烘培单元22，从而对基板9进行空穴输送液的涂布、从禁止涂布区域92除去空穴输送液、以及空穴输送液的固定，在基板9上形成了空穴输送层(步骤S81～S94)。

当形成空穴输送层时，基板9由多级搬送机械手4依次被搬送到第一有机EL涂布单元24a和第一有机EL烘培单元25a，对基板9进行有机EL液(R)的涂布和由基板9的加热进行的有机EL液(R)的固定，在基板9的空穴输送层上形成红色(R)的有机EL材料的层(步骤S121、S122)。

接着，基板9由多级搬送机械手4依次被搬送到第二有机EL涂布单元24b和第二有机EL烘培单元25b，对基板9进行有机EL液(G)的涂布和由基板9的加热进行的有机EL液(G)的固定，在基板9的空穴输送层上形成绿色(G)的有机EL材料的层(步骤S123、S124)。

进而，基板9由多级搬送机械手4依次被搬送到第三有机EL涂布单元24c和第三有机EL烘培单元25c，对基板9进行有机EL液(B)的涂布和由基板9的加热进行的有机EL液(B)的固定，在基板9的空穴输送层上形成蓝色(B)的有机EL材料的层(步骤S125、S126)。

当3种有机EL液的涂布和固定结束时，基板9从第三有机EL烘培单元25c被搬出，而被搬入有机EL除去单元29，在有机EL除去单元29中，对固定在禁止涂布区域92上的3种有机EL液照射激光，进行有机EL液的除去(步骤S127)。然后，从有机EL除去单元29搬出的基板9向分度器3被搬送，并由分度器机械手32接受(步骤S108)。

在涂布系统1m中，由1个有机EL除去单元29同时除去分别单独地被涂布的3种有机EL液，从而能更加缩短基板9的处理时间。

接着，针对本发明的第十三实施方式的涂布系统1n进行说明。图43是表示涂布系统1n的结构的图。如图43所示，涂布系统1n具有图20所示的固定型的多个搬送臂4a作为搬送机构，来取代图32所示的在移动路径41移动的多级搬送机械手4。其他结构和图32相同，在以下的说明中标上相同的附图标记。

在涂布系统1n中，基板9通过多个搬送臂4a沿着从分度器3开始依次经由空穴输送涂布单元21、空穴输送除去单元28、空穴输送烘培单元22、有机EL涂布单元24、有机EL除去单元29和有机EL烘培单元25至分度器3为止的规定的搬送路径被搬送。并且，在各单元中，通过分别被处理，从而和第十实施方式同样，在基板9的涂布区域91形成空穴输送层和有机EL层。

在涂布系统1n中，将基板9从空穴输送除去单元28向空穴输送烘培单元22搬送的搬送臂4a，和从空穴输送涂布单元21向空穴输送除去单元28搬送的搬送臂4a不同，所以能可靠地防止空穴输送液经由搬送臂4a附着在空穴输送烘培单元22。其结果是，能可靠地防止没用的空穴输送液附着在被依次搬入空穴输送烘培单元22的基板9上(在第十四实施方式也同样)。

同样，将基板9从有机EL除去单元29向有机EL烘培单元25搬送的搬送臂4a，和从有机EL涂布单元24向有机EL除去单元29搬送的搬送臂4a不同，所以能可靠地防止有机EL液经由搬送臂4a附着在有机EL烘培单元25。其结果是，能可靠地防止没用的有机EL液附着在被依次搬入有机EL烘培单元25的基板9上(在第十四实施方式也同样)。

图44是表示本发明的第十四实施方式的涂布系统1p的结构的图。如图44所示，涂布系统1p具有和第十一实施方式的涂布系统1k(参照图39)大致相同的结构，但是在这一点上不同：设置有多个搬送臂4a来取代多级搬送机械手4。其他结构和图39相同，在以下的说明中标上相同的附图标记。

在图44所示的涂布系统1p，和第十一实施方式相同，对完成了形成空穴输送层后的基板9依次涂布有机EL液(R)、有机EL液(G)和有机EL液(B)，在从禁止涂布区域92除去了3种有机EL液之后进行加热处理而形成有机EL层。

图45是表示本发明的第十五实施方式的涂布系统1q的结构的图。如图45所示，在涂布系统1q中，处理单元组2除了包括图32所示的涂布系统1j的多个处理单元，还包括暂时保持在处理单元组2的处理途中的基板9的缓冲单元27。其他结构和图32相同，在以下的说明中标上相同的附图标记。

在处理单元组2中，各处理单元中的处理时间不同。例如，在空穴输送烘培单元22和有机EL烘培单元25中的基板9的加热和冷却所需要的时间，长于在空穴输送涂布单元21和有机EL涂布单元24中的空穴输送液和有机EL液的涂布所需要的时间，另外，长于在空穴输送除去单元28和有机EL除去单元29中的空穴输送液和有机EL液的除去所需要的时间。

在涂布系统1q中，将处理途中的基板9暂时容纳在缓冲单元27的盒体(省略图示)来保持，从而在进行多个基板9的处理时，调整各处理单元之间的处理时间(即，生产节拍时间)的差，灵活地掌握基板9的处理顺序，所以能缩短基板9的处理时间。例如，将搬送途中的基板9暂时容纳在缓冲单元27，而优先基板9相对处理时间长的空穴输送烘培单元22和有机EL烘培单元25的搬入搬出。从这个角度，优选缓冲单元27配置在最接近空穴输送烘培单元22和有机EL烘培单元25的位置。

另外，在空穴输送烘培单元22中，在对一张基板9进行加热处理期间，将结束了空穴输送液的涂布以及从禁止涂布区域92的除去之后的后续的基板9预先容纳在缓冲单元27，从而在空穴输送涂布单元21中能对多个基板9连续地进行空穴输送液的涂布。在空穴输送涂布单元21中，当停止空穴输送液的喷出时，因为在再开始喷出时的流量等的稳定上需要一些时间，所以在对多个基板9进行涂布时，优选在等待基板9搬入的期间也不停止喷出。因此，假设当等待基板9搬入的时间长时，空穴输送液的使用量增大。在涂布系统1q中，通过设置缓冲单元27，从而能实现对多个基板9的连续的涂布，能够降低空穴输送液的使用量(对有机EL液的涂布也同样)。

图46是表示本发明的第十六实施方式的涂布系统1r的结构的图。如图46所示，涂布系统1r的处理单元组2包括空穴输送除去单元28、3个空穴输送涂布单元21以及空穴输送烘培单元22作为空穴输送层的形成所涉及的处理单元，包括有机EL除去单元29、第一有机EL涂布单元24a、第二有机EL涂布单元24b、第三有机EL涂布单元24c以及有机EL烘培单元25作为有机EL层的形成所涉及的处理单元。处理单元组2还具有暂时保持处理途中的基板9的缓冲单元27a。缓冲单元27a为沿着处理单元的配列延伸的横向长的形状。

在处理单元组2中，空穴输送层的形成所涉及的处理单元被配列在缓冲单元27a的一侧，有机EL层的形成所涉及的处理单元被配列在另一侧。涂布系统1r具有两台多级搬送机械手4作为基板9的搬送机构，在空穴输送层的形成所涉及的多个处理单元和缓冲单元27a之间、以及有机EL层的形成所涉及的多个处理单元和缓冲单元27a之间分别设置有移动多级搬送机械手4的移动路径41。

在涂布系统1r中，在空穴输送烘培单元22的内部设置有3个加热部(省略图示)，由3个空穴输送涂布单元21涂布了空穴输送液的3张基板9，在进行了从禁止涂布区域92除去有机EL液的操作之后，由3个加热部同时进行加热，形成了空穴输送层。空穴输送层的形成所涉及的处理结束后的3张基板9，通过一方的多级搬送机械手4而被容纳到缓冲单元27a，通过另一方的多级搬送机械手4从缓冲单元27a被取出，依次搬送到有机EL层的形成所涉及的处理单元，从而形成有机EL层。

在涂布系统1r中，夹持缓冲单元27a来分离地配置空穴输送层的形成所涉及的处理单元和有机EL层的形成所涉及的处理单元，从而能调整空穴输送层和有机EL层的形成所涉及的处理时间的差，同时，能够抑制空穴输送层的形成所涉及的处理单元和有机EL层的形成所涉及的处理单元之间的环境的移动。其结果是，能够提高对基板9进行处理的质量。

接着，表示涂布系统的其他例子。在以下的例子中，从处理单元组2省略了空穴输送层的形成所涉及的处理单元，在其他系统和装置等外部形成了空穴输送层的基板9被搬入到涂布系统。

图47所示的涂布系统11g具有分度器3、多级搬送机械手4和处理单元组2，处理单元组2包括有机EL除去单元29、有机EL涂布单元24和有机EL烘培单元25各两个。图48所示的涂布系统11h的处理单元组2，包括两个有机EL除去单元29、第一有机EL涂布单元24a、第二有机EL涂布单元24b、第三有机EL涂布单元24c和有机EL烘培单元25。图49所示的涂布系统11j的处理单元组2包括第一有机EL烘培单元25a、第二有机EL烘培单元25b和第三有机EL烘培单元25c来取代图48所示的有机EL烘培单元25。

图50和图51所示的涂布系统11k、11m具有分度器3、多个搬送臂4a和处理单元组2。在涂布系统11k中，基板9依次被搬送到有机EL涂布单元24、有机EL除去单元29以及有机EL烘培单元25并被处理，从而在基板9上形成有机EL层。在涂布系统11m中，基板9依次被搬送到第一有机EL涂布单元24a、第二有机EL涂布单元24b、第三有机EL涂布单元24c、有机EL除去单元29以及有机EL烘培单元25。

在第十至第十六实施方式的涂布系统1j～1r中，在空穴输送除去单元28和有机EL除去单元29中的空穴输送液和有机EL液的除去未必限于由激光的照射来进行，例如，可以由等离子体或电晕等其他能量波的照射来进行。另外，也可以由干冰(CO₂)等微粒子的照射进行的等离子体法来进行。此外，在要求涂布系统的小型化时，可以由1个除去单元进行从禁止涂布区域92除去空穴输送液和有机EL液的操作。

在涂布系统1j～1r中，也可以对基板9的整个禁止涂布区域92进行激光照射。例如，在空穴输送除去单元28中，对沿禁止涂布区域92中的一个方向延伸的区域照射激光，除去空穴输送液，通过基板移动机构282，基板9仅旋转了90°之后，对与该一个方向垂直地延伸的区域照射激光。这样，在禁止涂布区域92中的空穴输送涂布单元21没有进行空穴输送液的涂布的区域也照射激光，从而能除去因某种异常等而附着在该区域的异物(在有机EL除去单元29等中也同样)。

以上，针对本发明的实施方式进行了说明，但是，本发明并不限定于上述实施方式，可以进行各种变更。

例如，在第七、第八和第十五实施方式的涂布系统1f、1g、1r中，可以在处理单元组2包括多个缓冲单元27。另外，缓冲单元27可以设置在具有其他结构的处理单元组2，例如，可以设置在图26至图28所示的涂布系统11a～11c、以及图47至图49所示的涂布系统11g、11h、11j的处理单元组2。

缓冲单元27还可以设置在第二、第三、第十一和第十二实施方式的涂布系统1a、1b、1k和1m。在涂布系统1a、1b、1k和1m的空穴输送涂布单元21中，对基板9的涂布区域91的所有槽部进行空穴输送液的涂布，但是，在第一有机EL涂布单元24a、第二有机EL涂布单元24b和第三有机EL涂布单元24c中，分别对1/3个数的槽部进行有机EL液(R)、有机EL液(G)和有机EL液(B)涂布。因此，空穴输送涂布单元21中的处理时间分别为在有机EL涂布单元24a～24c的处理时间的大约3倍左右。在涂布系统1a、1b、1k和1m中，也能够由缓冲单元27来调整这样在各单元中的处理时间的差。

在将有机EL液(R)、有机EL液(G)、有机EL液(B)分别涂布到基板9的有机EL涂布单元24a～24c中，可以设置1个或2个、或者4个以上(在空穴输送涂布单元21中也同样)。另外，在同时涂布有机EL液(R)、有机EL液(G)和有机EL液(B)的有机EL涂布单元24中，喷嘴的个数可以是3的倍数。

此外，在上述的涂布系统中，未必一定需要涂布3种有机EL液，也可以涂布1种或2种、或者4种以上的有机EL液。另外，在涂布系统中，也可以从处理单元2省略有机EL层的形成所涉及的处理单元而只进行空穴输送层的形成。

在上述实施方式的涂布系统中，成为涂布对象的基板未必限于有机EL显示装置用的玻璃基板，另外，所涂布的流动性材料也可以是空穴输送液和有机EL液以外的材料。涂布系统可以使用于流动性材料对被利用于例如液晶显示装置和等离子体显示装置的基板的涂布。

详细地描述并说明了本发明，上述的说明是例示性的而不是限定性的。因此，可以理解为，只要不脱离本发明的范围，可以进行各种变形和形式。

Claims (41)

1.一种涂布系统，其对基板涂布流动性材料，其特征在于，具有：

处理单元组；

分度器，其装载着由上述处理单元组进行处理前的未处理基板和由上述处理单元组进行处理后的处理完成基板；

基板搬送机构，其对上述分度器和上述处理单元组进行基板的交接，沿着从上述分度器开始经由上述处理单元组的至少一部分而直至上述分度器的规定的搬送路径，搬送上述基板，

上述处理单元组包括：

涂布单元，其从喷嘴向基板连续地喷出流动性材料，并使上述喷嘴相对于上述基板相对地移动，而在上述基板上涂布上述流动性材料；和

流动性材料除去单元，其从上述基板的禁止涂布区域上除去上述流动性材料。

2.如权利要求1所述的涂布系统，其特征在于，

上述涂布单元向在上述禁止涂布区域粘贴了遮蔽胶带的上述基板喷出上述流动性材料，对包含有上述遮蔽胶带的区域涂布上述流动性材料，

上述流动性材料除去单元是通过从涂布了上述流动性材料的上述基板剥离上述遮蔽胶带来从上述禁止涂布区域上除去被涂布在上述遮蔽胶带上的流动性材料的胶带剥离单元。

3.如权利要求2所述的涂布系统，其特征在于，

上述处理单元组还包括对剥离了上述遮蔽胶带的上述基板进行加热来使上述流动性材料固定在上述基板上的烘培单元。

4.如权利要求3所述的涂布系统，其特征在于，

上述基板搬送机构具有：保持部，其在将上述基板从上述涂布单元向上述胶带剥离单元搬送时保持该基板；另一个保持部，其在将上述基板从上述胶带剥离单元向上述烘培单元搬送时保持该基板。

5.如权利要求2至4中任一项所述的涂布系统，其特征在于，

上述处理单元组还包括在上述流动性材料被涂布之前的上述基板上的上述禁止涂布区域粘贴上述遮蔽胶带的胶带粘贴单元。

6.如权利要求5所述的涂布系统，其特征在于，

上述处理单元组中的上述胶带粘贴单元和/或上述胶带剥离单元被配置在比其他任一个处理单元都更接近上述分度器的位置。

7.如权利要求2至4中任一项所述的涂布系统，其特征在于，

上述胶带剥离单元是也进行向涂布上述流动性材料之前的上述基板上的上述禁止涂布区域粘贴上述遮蔽胶带的胶带粘贴·剥离单元。

8.如权利要求2至4中任一项所述的涂布系统，其特征在于，

上述处理单元组还包括暂时保持上述基板的缓冲单元。

9.如权利要求2至4中任一项所述的涂布系统，其特征在于，

上述基板是有机电致发光显示装置用的玻璃基板。

10.如权利要求9所述的涂布系统，其特征在于，

上述流动性材料包含空穴输送材料。

11.如权利要求9所述的涂布系统，其特征在于，

上述流动性材料包含有机电致发光材料。

12.如权利要求11所述的涂布系统，其特征在于，

上述涂布单元具有分别喷出多种流动性材料的多个喷嘴，

上述多种流动性材料分别包含颜色相互不同的多种有机电致发光材料。

13.如权利要求11所述的涂布系统，其特征在于，

上述处理单元组还包括另一个涂布单元，

上述涂布单元将包含一种颜色的有机电致发光材料的第一流动性材料涂布在上述基板上，上述另一个涂布单元将包含和上述一种颜色不同的另一种颜色的有机电致发光材料的第二流动性材料涂布在上述基板上。

14.如权利要求13所述的涂布系统，其特征在于，

上述另一个涂布单元在包含由上述涂布单元进行了上述第一流动性材料的涂布的上述遮蔽胶带的上述区域进行上述第二流动性材料的涂布。

15.如权利要求3所述的涂布系统，其特征在于，

上述处理单元组还包括在上述流动性材料被涂布之前的上述基板上的上述禁止涂布区域粘贴上述遮蔽胶带的胶带粘贴单元、另一个涂布单元和另一个烘培单元，

上述涂布单元将包含一种颜色的有机电致发光材料的第一流动性材料涂布在上述基板上，上述另一个涂布单元将包含和上述一种颜色不同的另一种颜色的有机电致发光材料的第二流动性材料涂布在上述基板上，

上述基板搬送机构按上述胶带粘贴单元、上述涂布单元、上述胶带剥离单元、上述烘培单元、上述胶带粘贴单元、上述另一个涂布单元、上述胶带剥离单元和上述另一个烘培单元的顺序搬送上述基板。

16.如权利要求9所述的涂布系统，其特征在于，

上述处理单元组还包括另一个涂布单元，

上述涂布单元将包含空穴输送材料的第一流动性材料涂布在上述基板上，上述另一个涂布单元将包含有机电致发光材料的第二流动性材料涂布在上述基板上。

17.如权利要求16所述的涂布系统，其特征在于，

上述处理单元组还包括另一个胶带剥离单元，

上述胶带剥离单元从上述基板将涂布了上述第一流动性材料的第一遮蔽胶带剥离，上述另一个胶带剥离单元从上述基板将涂布了上述第二流动性材料的第二遮蔽胶带剥离。

18.如权利要求8所述的涂布系统，其特征在于，

上述处理单元组还包括另一个涂布单元和另一个胶带剥离单元，

上述涂布单元和上述胶带剥离单元被配列在上述缓冲单元的一侧，同时，上述另一个涂布单元和上述另一个胶带剥离单元被配列在上述缓冲单元的另一侧，

上述涂布单元将包含空穴输送材料的第一流动性材料涂布在上述基板上，上述胶带剥离单元从上述基板将涂布了上述第一流动性材料的第一遮蔽胶带剥离，上述另一个涂布单元将包含有机电致发光材料的第二流动性材料涂布在上述基板上，上述另一个胶带剥离单元从上述基板将涂布了上述第二流动性材料的第二遮蔽胶带剥离。

19.如权利要求1所述的涂布系统，其特征在于，

上述涂布单元在上述基板上的包括上述禁止涂布区域的区域涂布上述流动性材料，

上述流动性材料除去单元向被涂布在上述禁止涂布区域的上述流动性材料照射能量波或者微粒子，而从上述禁止涂布区域上除去上述流动性材料。

20.如权利要求19所述的涂布系统，其特征在于，

上述处理单元组还包括对涂布了上述流动性材料的上述基板进行加热来使上述流动性材料固定在上述基板上的烘培单元。

21.如权利要求19或20所述的涂布系统，其特征在于，

上述处理单元组还包括暂时保持上述基板的缓冲单元。

22.如权利要求19或20所述的涂布系统，其特征在于，

上述处理单元组中的上述流动性材料除去单元被配置在比其他任一个处理单元都更接近上述分度器的位置。

23.如权利要求19或20所述的涂布系统，其特征在于，

通过上述流动性材料除去单元向上述基板上的上述禁止涂布区域进行的上述能量波的照射是激光的照射。

24.如权利要求19或20所述的涂布系统，其特征在于，

上述基板是有机电致发光显示装置用的玻璃基板。

25.如权利要求24所述的涂布系统，其特征在于，

上述流动性材料包含空穴输送材料。

26.如权利要求24所述的涂布系统，其特征在于，

上述流动性材料包含有机电致发光材料。

27.如权利要求19或20所述的涂布系统，其特征在于，

上述流动性材料除去单元从由上述烘培单元加热之前的上述基板除去上述流动性材料。

28.如权利要求27所述的涂布系统，其特征在于，

上述基板搬送机构具有：保持部，其在将上述基板从上述涂布单元向上述流动性材料除去单元搬送时保持该基板；另一个保持部，其在将上述基板从上述流动性材料除去单元向上述烘培单元搬送时保持该基板。

29.如权利要求26所述的涂布系统，其特征在于，

上述涂布单元具有分别喷出多种流动性材料的多个喷嘴，

上述多种流动性材料分别包含颜色相互不同的多种有机电致发光材料。

30.如权利要求26所述的涂布系统，其特征在于，

上述处理单元组还包括另一个涂布单元，

上述涂布单元将包含一种颜色的有机电致发光材料的第一流动性材料涂布在上述基板上，上述另一个涂布单元将包含和上述一种颜色不同的另一种颜色的有机电致发光材料的第二流动性材料涂布在上述基板上。

31.如权利要求30所述的涂布系统，其特征在于，

上述流动性材料除去单元从上述禁止涂布区域同时进行上述第一流动性材料的去除和上述第二流动性材料的去除。

32.如权利要求31所述的涂布系统，其特征在于，

上述处理单元组还包括另一个烘培单元，

上述基板搬送机构按上述涂布单元、上述烘培单元、上述另一个涂布单元、上述另一个烘培单元和上述流动性材料除去单元的顺序搬送上述基板。

33.如权利要求24所述的涂布系统，其特征在于，

上述处理单元组还包括另一个涂布单元，

上述涂布单元将包含空穴输送材料的第一流动性材料涂布在上述基板上，上述另一个涂布单元将包含有机电致发光材料的第二流动性材料涂布在上述基板上。

34.如权利要求33所述的涂布系统，其特征在于，

上述处理单元组还包括另一个流动性材料除去单元，

上述流动性材料除去单元从上述禁止涂布区域除去上述第一流动性材料，上述另一个流动性材料除去单元从上述禁止涂布区域除去上述第二流动性材料。

35.如权利要求21所述的涂布系统，其特征在于，

上述处理单元组还包括另一个涂布单元和另一个流动性材料除去单元，

上述涂布单元和上述流动性材料除去单元被配列在上述缓冲单元的一侧，同时，上述另一个涂布单元和上述另一个流动性材料除去单元被配列在上述缓冲单元的另一侧，

上述涂布单元将包含空穴输送材料的第一流动性材料涂布在上述基板上，上述流动性材料除去单元从上述禁止涂布区域除去上述第一流动性材料，上述另一个涂布单元将包含有机电致发光材料的第二流动性材料涂布在上述基板上，上述另一个流动性材料除去单元从上述禁止涂布区域除去上述第二流动性材料。

36.如权利要求19或20所述的涂布系统，其特征在于，

由上述处理单元组进行的上述基板的处理在常压下进行。

37.一种涂布系统，其对基板涂布流动性材料，其特征在于，具有：

处理单元组；

分度器，其装载着由上述处理单元组进行处理前的未处理基板和由上述处理单元组处理后的处理完成基板；

基板搬送机构，其对上述分度器和上述处理单元组进行基板的交接，沿着从上述分度器开始经由上述处理单元组的至少一部分而直至上述分度器的规定的搬送路径，搬送上述基板，

上述处理单元组包括：

胶带粘贴单元，其在基板上的禁止涂布区域粘贴遮蔽胶带，

涂布单元，其从喷嘴向粘贴了上述遮蔽胶带的上述基板连续地喷出流动性材料，并使上述喷嘴相对于上述基板相对地移动，而在包括上述遮蔽胶带的区域涂布上述流动性材料。

38.如权利要求37所述的涂布系统，其特征在于，

上述处理单元组还包括暂时保持上述基板的缓冲单元。

39.如权利要求37或38所述的涂布系统，其特征在于，

上述基板是有机电致发光显示装置用的玻璃基板。

40.如权利要求39所述的涂布系统，其特征在于，

上述流动性材料包含空穴输送材料。

41.如权利要求39所述的涂布系统，其特征在于，

上述流动性材料包含有机电致发光材料。

Images