CN1932646A - 曝光装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及用简单、成本低廉地手动操作进行电路板的曝光处理。曝光装置包括上侧保持板，由贴设有上侧底版胶片的透光性材料制成；第1下侧保持板及第2下侧保持板，由分别贴设有规定的下侧底版胶片的透光性材料制成；整合室，在装载在第1下侧保持板或第2下侧保持板上的电路板上整合装载上侧保持板而生成积层体；曝光室，将曝光灯发出的光线照射在生成的积层体上进行曝光处理；导向部，用于分别移动导向上侧保持板、第1下侧保持板及第2下侧保持板。第1下侧保持板及第2下侧保持板交替固定电路板，上侧保持板吸着·分离电路板并分别在整合室、曝光室间往复。

Description

曝光装置

技术领域

本发明涉及到在印制电路板制造工序的曝光工序中所使用的曝光装置，特别涉及对外层印制电路板可以高效率地进行曝光处理、而且通过操作者(operator)用一次的操作便可以完成两面曝光处理这样简单高效的操作、同时又能够削减成本的曝光装置。

背景技术

从前，这种印制电路板的曝光装置进行如下处理，即，把由贴附有底版胶片的丙烯树脂等构成的透光性能优良的板状的胶片保持板对接在比如外层印制电路板或者涂覆阻焊层的印制电路板(以下称为电路板)上，组合为一体，同时从该胶片保持板的上方用曝光灯进行紫外线照射曝光处理。

并且，为了进行这种曝光处理，从前提出的手动操作式曝光装置在整合部对于应该曝光处理的电路板，一边交换贴附有底版胶片的上面用、下面用各一对共计2组的丙烯板制成的胶片保持板，一边按顺序整合、配置、固定，把其移动至曝光部，在曝光部进行曝光处理。在此时的曝光部上，用设置在曝光部上部的曝光灯，从整合固定在电路板上的胶片保持板上方进行曝光处理。另外，在整合部整合后，把电路板移动至曝光部，对电路板的一面做曝光处理，曝光处理一完成，暂且把电路板移回整合部，在整合部翻转电路板，同时顺次交换上面用、下面用的任何一个胶片保持板，对接整合后再一次把电路板送入曝光部，对另一面做曝光处理。

然而，就上述原来的手动操作的曝光装置而言，需要把整合固定在上下面胶片保持板上的电路板在整合部和曝光部之间交互往返2次，同时这些往复移动的作业，操作者必然2次拿出、放入电路板，操作极其麻烦。不仅如此，由于每次印制电路板插入、取出都需要把上下面用胶片保持板顺次交换，这也成为操作上的较大负担。

发明内容

因此，本发明就是鉴于上述现在的诸多问题而进行的，其目的在于提供一种曝光装置，该曝光装置在电路板的上下面的曝光处理时，不必像原来那样进行2次胶片保持板整合固定、电路板进出作业，通过1次进出作业就能够对电路板的上下面整合及曝光处理，操作员只通过把应该处理的电路板放入、曝光后的电路板取出的相关操作这样的简单的作业就能操纵机器，并且能够以低廉的成本进行曝光处理，特别值得一提的是只通过1次的操作便可以对电路板的两面曝光。

为了解决上述问题，本发明涉及的曝光装置1，其特征在于，包括：上侧保持板10，由贴设有规定的上侧底版胶片F1的透光性材料构成；第1下侧保持板20A及第2下侧保持板20B，由分别贴设有规定的下侧底版胶片F2的透光性材料构成；整合室2，用于在装载在第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上的电路板K上装载上侧保持板10，用整合机构50整合对位而生成积层体S；曝光室3，与整合室2相邻设置，用于将来自曝光灯5的光线照射在生成的积层体S上进行曝光处理；导向部30，设置在整合室2及曝光室3之间，用于分别导向移动生成的积层体S、上侧保持板10、第1下侧保持板20A及第2下侧保持板20B；以及电路板抬起机构40，用于在整合时抬起电路板K，第1下侧保持板20A及第2下侧保持板20B在任意一方处于在整合室2中相对于电路板K进行整合时，任意另一方处于在曝光室3中对于电路板K进行曝光，同时在曝光室3中曝光结束后的上侧保持板10从电路板K分离，从曝光室3后退移动返回到整合室2，生成新的积层体K。

这种构成的曝光装置1，在整合室2中，用上侧保持板10和2枚下侧保持板20A、20B中的一枚的下侧保持板、例如第1下侧保持板20A夹持电路板K，并且在上侧底版胶片F1、下侧底版胶片F2分别在电路板K的上下面上被整合定位的状态下，生成积层体S。这样在整合室2中的积层体S的生成中，同时在曝光室3对送入的积层体S的上下面做曝光处理。在该曝光处理后，从电路板K分离的上侧保持板10从曝光室3后退移动返回至整合室2，在整合室2中，相对于已经整合定位了第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B的下侧底版胶片F2的电路板K整合定位上侧保持板10的上侧底版胶片F1并使它们紧密接触，生成新的积层体S。之后，在整合处理后，使积层体S从整合室2前进移动至曝光室3，并且在曝光结束后，分离上侧保持板10后的电路板K及第2下侧保持板20B或第1下侧保持板20A从曝光室3后退移动到整合室2。然后，在曝光室3开始进行新的曝光处理，并且在整合室2中在电路板抬起机构40暂时的上升退避同时，取出曝光后的电路板K，将新的电路板K投入装载在第2下侧保持板20B或第1下侧保持板20A上，为了再次生成的新的积层体S进行整合处理。在该整合处理时，对于装载了新的电路板K的第2下侧保持板20B或第1下侧保持板20A，在积层体S结束曝光处理后，用从曝光室3后退移动返回的上侧保持板10生成新的积层体S。

另外，在整合室2中将装载在吸着固定在整合工作台52上的第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上的电路板K用电路板抬起机构40抬起，整合机构50在此状态下使下侧底版胶片F2相对于电路板K对位，再用整合工作台52使装载在对位后的下侧底版胶片F2上的电路板K与从曝光室3后退移动返回至整合室2的上侧保持板10的上侧底版胶片F1对位，在该对位后，通过使电路板K及第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B与上侧保持版10紧密接触，生成积层体S。

导向部30配备有用于使在整合室2生成的积层体S前进移动至曝光室3、使在曝光室3曝光结束后的上侧保持板10后退移动至整合室2的上侧保持板导轨30B和用于使装载有曝光结束后的第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B以及电路板K的移动底盘21在整合室2和曝光室3间前进后退移动的下侧保持板导轨30A。这些的上侧保持板导轨30B、下侧保持板导轨30A在整合室2、曝光室3相互之间被设定在同一水平面上，将前者30B设定在比30A高的位置上。

另外，移动底盘21在整合室2通过整合工作台52的升降动作、在曝光室3通过升降缸65的升降动作装卸自如地装载第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B。

由此，在整合后，对于上侧保持板10通过用第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B进行吸着以夹持电路板K的状态生成积层体S，使该生成的积层体S在上侧保持板导轨30B上从整合室2顺利地前进移动至曝光室3，以及在曝光处理后只使从电路板K分离的上侧保持板10从曝光室3顺利地后退移动到整合室2，为生成新的积层体S做准备。另一方面，从曝光处理后的积层体S上分离上侧保持板10后的电路板K及第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B装载在移动底盘21上，在下侧保持板导轨30A上从曝光室3后退返回到整合室2，取出电路板K，为装载新的电路板K做准备。

而且，用反射镜6使来自曝光室3中的曝光灯5所照射的光线屈曲，可以对积层体S的两面做曝光处理，不翻转或者翻转地对积层体S的两面进行曝光处理。

另外，曝光机构具有：由使曝光灯5发出的光线沿特定的方向反射的反射镜102；进退以将被反射的曝光光线的曝光线路切换成上下方向的任意一个的切换反射板104；以及上下配置，具有抛物面状的反射面，用于对移入的积层体S从其上下方向反射照射曝光光线的上下部曝光反射板105A、105B，通过这样的构成，不翻转积层体S使积层体S的两面、用1个曝光灯5不上下翻转积层体S而通过切换反射板104的进退使其两面曝光。

曝光处理的曝光灯5设置1个，通过翻转积层体S对该积层体S的两面做曝光处理，或者曝光灯5设置多个，分别使积层体S的上下面进行曝光处理，由此不翻转积层体S就可以使两面进行曝光处理。

并且还有，用电路板固定机构70将装载在第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上的电路板K固定在第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上非曝光部分上，因此该电路板固定机构70具有用于将电路板K按压在第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B的非曝光部分上的压片73。该压片73由弹性体71总是被向第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B侧施加作用力，抵抗弹性体71向远离第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B的方向移动压片73时，该压片73以规定的角度转动退避。

进一步，装载在第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上的电路板K在用电路板固定机构70固定在第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上之前，在用电路板抬起机构40将已装载在第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上的电路板K从第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上抬起的状态下，对第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B用整合机构50进行整合位置调整，使得电路板K和分别贴设在第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上的下侧底版胶片F2的位置关系处于规定的位置。

并且，作为该整合位置调整的、上侧保持板10即上侧底版胶片F1、第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B即下侧底版胶片F2相对于电路板K的对位调整如下地实现：用电路板摄像机60拍摄上侧或下侧底版胶片F1、F2相对于电路板K的对位标记，下侧底版胶片F2相对于电路板K的定位整合、以及上侧底版胶片F1相对于电路板K的对位用整合机构50的整合工作台52分别使其对应一致地使第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B、以及电路板K在X方向、Y方向移动、以θ角转动。

本发明涉及的曝光装置具有用上侧保持板10和第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B夹持电路板K生成积层体S的整合室2、和将在该整合室2中生成的积层体S用曝光灯5进行曝光处理的曝光室3，同时因为能通过导向部30分别导向：生成的积层体S从整合室2移动到曝光室3；在曝光结束后只将从电路板K上分离的上侧保持板10从曝光室3移动到整合室2；以及将该曝光、分离后的电路板K及第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B从曝光室3移动到整合室2，所以通过与操作员1次放入、取出电路板K关联地在整合室2和曝光室3间的1次往返，就可以实现对电路板K的两面进行曝光处理。

另外，由于导向部30由下侧保持板导轨30A、上侧保持板导轨30B构成，所以能简单地构成导向部30，同时通过上侧保持板10的吸附保持的前进移动，可以将生成的积层体S从整合室2简便地移动到曝光室3，此外，只将上侧保持板10从曝光室3移动至整合室2的返回作业也能顺利地进行。不仅如此，用在下侧保持板导轨30A上移动的移动底盘21，能够简单地进行将曝光分离后的电路板K及第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B从曝光室3向整合室2的移动，并且曝光处理后的电路板K从曝光室3移动至整合室2的取出、新的电路板K的装载、整合等都能确实地进行。并且，在整合室2，通过从曝光室3的后退移动，曝光处理后的电路板K以装载在第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上的状态返回，所以只需进行将其取出、将新的电路板K装载在第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上、以及此后的整合操作的一次的操作便可完成一连串的工序，又能做好准备，所以作业效率大大提高。

并且，对在曝光室3内的电路板K进行的曝光处理，通过做成由反射镜102、切换反射板104、上下部曝光反射板105A、105B构成的曝光机构，利用切换反射板104的进退，能够不翻转积层体S而将积层体S的两面用一个曝光灯5就能进行曝光处理。另外，在曝光室3内通过上下翻转积层体S也能用1个曝光灯5进行曝光处理，能够实现成本的降低。

另外，电路板K用电路板K固定机构70固定在第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上，所以能有效地防止第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B相对于电路板K的相对移动，不仅如此，通过确实进行整合机构50整合后的固定，又用压片73按压非曝光部分，在曝光处理时不产生妨碍。并且，该压片73伴随着相对于第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B的上下移动，进行向电路板K上方位置的按压动作、向侧方位置的转动退避动作，所以在整合室2内可以简单地进行电路板K相对于第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B的固定或者取出等的装卸操作。

而且，整合机构50在电路板K和上侧保持板10、第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B定位整合之际，用电路板摄像头60拍摄上侧或下侧底版胶片F1、F2相对于电路板K的对位标记，为使它们对应一致，用整合工作台52在X方向、Y方向移动、以θ角转动首先将第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B相对于用电路板抬起机构40抬起的电路板K整合对位，接着使该对位后的电路板K相对于上侧保持板10移动，所以能简单地使电路板K和上侧或下侧底版胶片F1、F2在规定的位置对正。另外，在曝光后，用上侧保持板导向导轨30B使从电路板K分离的上侧保持板10从曝光室3返回整合室2地移动，相对于该移动后的上侧保持板10的电路板K及第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B的对位调整也可以通过整合工作台52向规定方向的移动、以规定角度的转动调整而简单、确实地进行。

另外，通过电路板抬起机构40把装载在第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上的电路板K暂且抬起，整合机构50的整合工作台52能够进行使贴附下侧底版胶片F2的第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B移动的相对于电路板K的整合作业，同时在该调整定位后，通过在使在第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上定位了的电路板K和上侧保持板10的上侧底版胶片F1整合时上升退避，整合工作台52可以进行电路板K等相对于通过上侧保持板导轨30B返回的上侧保持板10的整合动作。而且，通过向整合室2的里部侧即曝光室3侧前进退避，能够较大地开放第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上方，可以顺利地进行电路板K的投入或取出。

还有，本发明的效果部分和用于解决上述问题的技术方案中所使用的符号是为了通过参照附图纸中相应的构成部分而易于理解本发明内容所标注的，不是限定本发明的符号。

附图说明

图1是本发明的曝光装置的概略构成图。

图2是在整合室整合时的主要部分放大剖视图。

图3是把电路板固定在下侧保持板上的电路板固定机构的俯视图。

图4是电路板固定机构的剖视图。

图5是表示整合机构的剖视图。

图6是整合时电路板摄像机的俯视图。

图7是表示电路板抬起机构及通过整合机构整合状态的俯视图。

图8是其它实施方式的曝光装置的概略构成图。

图9是表示曝光处理机构的其它示例的侧视图

图10表示本发明的曝光装置的处理动作，其(A)至(C)是说明从电路板的投入到电路板和下侧底版胶片的整合处理前的概略侧视图。

图11表示本发明的曝光装置的处理动作，其(A)至(C)是说明从电路板和下侧底版胶片的整合处理到下侧保持板和电路板的固定的概略侧视图。

图12表示本发明的曝光装置的处理动作，其(A)至(C)是说明从电路板和上侧底版胶片的整合处理到曝光完成后电路板取出的概略侧视图。符号说明

I…操作员，K…电路板，S…积层体，1…曝光装置，2…整合室，3…曝光室，4…灯室，5…曝光灯，6…反射镜，7…曝光反射板，10…上侧保持板，11…框体，12…凹部，F1…上侧底版胶片，20A…第1下侧保持板，20B…第2下侧保持板，21…移动底盘，22…密封部件，F2…下侧底版胶片，30…导向部，30A…下侧保持板导轨，30A…下侧保持板导轨，30C…退避导轨，40…电路板抬起机构，41…抬起框架，42…吸着板，42A…吸引孔，43…灯，44…气缸，50…整合机构，51…伺服电机，52…整合工作台，53…开口，60…电路板摄像机，65…升降缸，70…电路板固定机构，71…弹性体，72…支轴，73…压片，74…外螺纹，75…内螺纹，80…气缸，90…摇转支轴，91…摇转沟槽，92…电磁吸盘，102…反射镜，103…聚光透镜，104…切换反射板，105A…上部曝光反射板，105B…下部曝光反射板

具体实施方式

以下，基于附图说明实施本发明的最佳方式。图1是本发明的手动操作式的曝光装置1的概略构成图，在操作员(operator)I所处位置一侧的面前，设置用于操作员I投入应该处理的电路板K及取出曝光处理后的电路板K的整合室2，在与该操作员(operator)I所处位置一侧的相反一侧的里部顺次设置曝光室3和灯室4。这些整合室2、曝光室3和灯室4作为具有规定容积的空间通过规定剖面的钢材和其它的框架体划分构成，在整合室2的面前设置配置有开关类、仪表及其它的操作盘(未图示)，用于操作员I对曝光装置1进行种种操作。

整合室2中，用后述的上侧保持板10和2枚第1、第2下侧保持板20A、20B中的任意一个下侧保持板20A(20B)夹持电路板K生成积层体S时，使电路板K和贴附在上侧保持板10上的上侧底板胶片F1、贴附在任意一个下侧保持板20A、20B上的下侧底板胶片F2整合定位。另外，曝光室3构成为具有充分的规定空间的室，用来使用配置在灯室4的反射镜102或106及配置在曝光室3的上下曝光反射板105A、105B或107照射来自配置在灯室4的曝光灯5的被照射的紫外线构成的曝光线进行曝光处理。还有，在说明该最佳的实施方式之际，是将电路板K作为在整合室2需要精确定位的外层电路板K或阻焊层电路板K来进行说明的。

接下来使用图2至图7对用于在整合室2中生成积层体S的构成要素和把生成的积层体S从整合室2移动至曝光室3的结构要素进行说明。生成积层体S的上侧保持板10及第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B均为平面形状具有规定面积的四边形，且由具有规定的厚度的丙烯树脂板等透光性好的板状材料制成。并且，在这些板10、20A、20B中，印制显示有与从来同样的曝光装置中同样的电路等的各种图形的上侧底板胶片F1、下侧底板胶片F2分别贴附在上侧保持板10、第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上。即上侧保持板10的下面(与第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B相对的面)贴附着上侧底板胶片F1，第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B的上面(与上侧保持板10的相对面)分别贴附着下侧底板胶片F2、F2。另外分别贴附在第1下侧保持板20A及第2下侧保持板20B上的下侧底版胶片F2是同一类型的底板胶片。另外，这些底板胶片F1、F2的厚度与各板10、20A、20B相比很薄，图示为放大表示。

另外，上侧保持板10通过其周围用由例如SUS等做成的钢制框体11包围而加强，如此构成该框体11，使得其可以在后述导向部30上的上侧保持板导轨30B上移动行走，通过该上侧保持板导轨30B导向，该框体11在整合室2和曝光室3之间前进、后退地移动。

另一方面，第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B，如图7所示从俯视来看，装卸自如地装载在整合室2侧被开放的コ字形移动底盘21上。该移动底盘21通过后述导向部30上的下侧保持板导轨30A在整合室2和曝光室3之间前进、后退，伴随着该前进后退的移动，第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B也在整合室2和曝光室3之间移动，而且，通过后述的整合机构50的整合工作台52的升降动作、升降缸65的升降动作分别在整合室2、曝光室3内将第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B从移动底盘21上分离而升降。

图中30是分别移动导向本发明电路板K、上侧保持板10、第1下侧保持板20A、第2下侧保持板20B的导向部，架设在整合室2、曝光室3之间。并且，在分别装载上述上侧保持板10的框体11、第1下侧保持板20A、第2下侧保持板20B的移动底盘21的两侧保持能承载的规定间隔且平行地在框架体上左右一对地设置导向部，形成在框架体的内侧较低、外侧较高的内外侧2层的构成。而且，在该导向部30上，在左右的内侧的较低的部分上和在左右的外侧的较高的部分上，分别敷设移动导向移动底盘21的下侧保持板导轨30A和移动导向上侧保持板10的框体11的上侧保持板导轨30B。还有，在用这些的各个导轨30A、30B等分别移动上侧保持板10、移动底盘21时，通过各个操作开关例如操作员I操作下部开关进行机械地走行移动。

另外，在导向部30的下侧保持板导轨30A的外侧高的部分的、框架体的左右外侧边缘部的整合部2的部分上，敷设退避导轨30C，该导轨30C在取出、装载电路板K时用于使后述的电路板抬起机构40退避至曝光室3一侧的移动导向。

电路板抬起机构40是操作员I为了用整合机构50使装载在位于整合室2中的第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上的电路板K与下侧底版胶片F2整合定位而暂且抬起该电路板K的机构，退避导轨30C安装在框架体的整合部2上的左右外侧边缘部上，在横跨退避导轨30C而安装的抬起框架41的下面的一部分上，设置吸着板42，从俯视看左右较长地构成(参照图7)。吸着板42通过阀(未图示)连接在真空泵或真空箱等未图示的减压源上，同时在吸着板42的下面，在电路板K的平面形状范围内保持规定间隔设置多个吸引孔42A(参照图7)。因而，电路板K一对接到吸着板42，通过吸引孔42A的吸引作用，就可以把电路板K吸附固定在吸着板42上。另外，在该电路板抬起机构40的抬起框架41上安装照明用灯43，使光线能够照射到电路板K上。因而，灯43的光线一照射到电路板K上，从设置在电路板K上的通孔就有光线通过，所以用设置在电路板K下方的后述的电路板摄像机60能够准确地把握电路板K的通孔位置和下侧及上侧的底版胶片F2、F1的胶片标记对位。而且，该电路板的抬起机构40的抬起框架41自身被构成为通过配置于在退避导轨30C行走的行走机座上的气缸44可以上下移动(参照图2指向左右位置的箭头)。另外，通过省略图示的行走驱动机构，在取出、装载电路板K时使该抬起框架41退避移动至曝光室3一侧。

图1、图2及图5中，50是用于使电路板K与上侧底板胶片F1、下侧底板胶片F2整合定位而进行位置调整的整合机构，在上部具有通过气缸51而上下移动(图2的箭头II)的整合工作台52，可以使整合工作台52在X方向及Y方向移动，同时能够在水平方向以规定θ角转动(摇转)整合工作台52。另外，在整合工作台52的上面，在第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B的平面形状范围，保持规定间隔地设置多个的吸引孔(未图示)，同时在例如整合工作台52侧边缘的一部分上形成切口状的开口53(参照图6)，该开口53是用于用后述的电路板摄像机60拍摄在第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上的大致位置暂时装载、并在此后使用电路板抬起机构40抬起的电路板K与整合工作台52上的第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B对位的标记等。因而，第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B在整合工作台52上对接，打开未图示的阀，整合工作台52内一连接到真空泵或真空箱等未图示的减压源上，就把第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B吸附固定在整合工作台52上。并且，在此吸附固定的状态下，随电路板摄像机60的位置检测控制整合机构50，就可以进行第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B沿X方向、Y方向移动、以θ角转动的位置调整。还有，整合工作台52的上下移动除使整合工作台52自身上下移动以外，还可以使整合机构50整体上下移动。

在该整合机构50中的整合工作台52通过使第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B升降设定贴附在其上的下侧底版胶片F2的上下位置。即该下侧底版胶片F2在电路板K投入、取出时，位于下侧保持板20A、20B装载在移动底盘21上时最低的准备位置(L0)，在对电路板K或上侧底版胶片F1进行整合的整合位置时，处在抬起至移动底盘21上方的整合位置(L1)，在电路板K被夹持在上侧保持板10上、生成积层体S时，处在被抬起至最高位置的生成位置(L2)。这些上下位置通过使整合工作台52升降的伺服电机51设定定位。还有，这些上下位置的定位如图10至图12所示，并不是特别限定在这些准备位置、整合位置、生成位置等，也可以停止保持在合适的位置。

接下来参照图5至图7对采用整合机构50的电路板K和贴附在第1下侧保持板20A上的底版胶片F2的对位进行说明。伴随第1下侧保持板20A、第2下侧保持板20B交替在整合室2、曝光室3出入，关于第2下侧保持板20B也同样相对电路板K定位，因而，关于在第2下侧保持板20B上的对位也同样进行，所以，只要没有特别指出，就关于第1下侧保持板20A的对位进行说明。还有，对于电路板K为没有必要与底版胶片F1、F2做精确对位的内层电路板的情形，有时也省略采用整合机构50的对位。

图5表示应该处理的电路板K装载在第1下侧保持板20A上后、用电路板抬起机构40从该第1下侧保持板20A上暂时稍许抬起的状态。即第1下侧保持板20A在吸着固定在整合工作台52上的状态下通过整合工作台52的上升而从位于下侧保持板导轨30A上的移动底盘21上抬起。因而，该第1下侧保持板20A可由整合机构50在X方向、Y方向自由地移动并且以θ角自由地转动地放置(参照图5及图7的XYθ)。在该状态下，由如CCD摄像机的电路板摄像机60拍摄电路板K的下面，就拍摄了第1下侧保持板20A对于在由电路板抬起机构40抬起的状态下的电路板K的位置关系。

上述的电路板摄像机60在整合工作台52的下方固定在未图示的框架体上例如左右成对地配设多台(图中的例子是2台)。并且，电路板摄像机60构成如下：经过设置在整合工作台52上的切口状开口53，可以拍摄在电路板抬起机构40上抬起固定的电路板K的下面。用该电路板摄像机60拍摄的图像数据输入未图示的图像处理器中，从而检测出贴附在第1下侧保持板20A上的底版胶片F2(该底版胶片F2正确地贴附在第1下侧保持板20A的规定的位置是)对电路板K的基准位置、即对于规定的通孔位置的偏差。

还有，分别把电路板摄像机60配置在整合工作台52的下方，摄像用的照明用灯43配置在位于整合工作台52上方的上述电路板抬起机构40的抬起框架41上，这些上下位置关系也可以颠倒，即分别把电路板摄像机60设置在上方位置，把灯43设置在下方位置也可以。另外，在液状阻焊层的情形下，有时也使电路板摄像机60、灯43能反射式地对位地上下设置。

以驱动控制整合机构50的CPU为中心地构成的未图示的控制器一检测出第1下侧保持板20A相对于电路板K的偏差，就为了消除该偏差而驱动控制整合机构50。通过该整合机构50的驱动，若贴附在第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上的下侧底版胶片F2与电路板K在规定的正确位置对准，则电路板抬起机构40的抬起框架41下降，电路板K装载在下侧底版胶片F2、即第1下侧保持板20A上。然后，该被装载的电路板K由以下说明的电路板固定机构70固定在第1下侧保持板20A上。

如图3及图4所示，电路板固定机构70在例如第1下侧保持板20A的一边侧(就图1而言的操作员I侧)、即为非曝光部分的下侧底版胶片F2的外侧位置保持规定间隔地设置多组比如2组。即该电路板固定机构70贯通第1下侧保持板20A自身设置，由设置在该第1下侧保持板20A下侧的螺旋弹簧构成的弹性体71总是在下侧施加作用力，又具有例如通过与配置在整合室2内的气缸80连接而抬起到上方的支轴72。并且，在第1下侧保持板20A上面侧的该支轴72的先端部安装有压在电路板K的非曝光部分的余白部分的压片73，同时在支轴72的一部分加工有外螺纹74。另外，在第1下侧保持板20A上，在支轴72贯穿的通孔的内周面上设有与该外螺纹74螺纹连接的内螺纹75。因而，若支轴72抵抗弹性体71的弹力并由气缸80抬起，则压片73伴随从第1下侧保持板20A上离开而可在平面上转动(参照图3的箭头)。外螺纹74与内螺纹75的关系如下确定：支轴72抵抗弹性体71的弹力稍微抬起后开始转动，为使压片73从电路板K上方退避至侧方，在平面内进行该转动作用例如大约90度的转动。这种电路板固定机构70也安装在第2下侧保持板20B上。还有，就图4而言，12是设置在上侧保持板10下面的凹部，第1下侧保持板20A和上侧保持板10被吸着固定并生成积层体S时，为使压片73不成为障碍，作为压片73退避的场所。

还有，就该电路板固定机构70而言，虽省略了图示，但也可以设置为了从上方弹性地按压夹持电路板K的边缘而在电路板K侧总是施加作用力的弹性体构成的压片和从压片下方压起解除对电路板K的按压作用的气缸。总之，只要通过按压作为电路板K的边缘部的非曝光部分的余白部分而保持电路板K就足够了，所以并不限定于这些构造、形状等。

接下来用图2、图5对积层体S的生成进行说明。如上所述，在整合室2中，从移动底盘21上仅稍稍上升的第1下侧保持板20A相对于电路板K的整合对位一完成，第1下侧保持板20A就上升，在电路板K装载在第1下侧保持板20A上的状态下，用电路板固定机构70将两者K、20A相互固定，在该状态下下降到移动底盘21的位置上，与此同时电路板抬起机构40上升，电路板K上方开放。于是，在曝光室3内曝光处理完成，从电路板K上分离的上侧保持板10从曝光室3后退移动到整合室2，复归停止在整合室2中的电路板K的上方位置、或该大致的位置上。

然后，在整合室2内，相对于在上侧保持板导轨30B已定位的上侧保持板10，把在第1下侧保持板20A上固定并与其成为一体的电路板K与第1下侧保持板20A一起由整合工作台52从移动底盘21上抬起，通过整合工作台52的整合定位动作，使电路板K相对于上侧保持板10的上侧底版胶片F1整合定位。此时，通过电路板摄像机60拍摄电路板K的通孔等相对于上侧底版胶片F1的对位标记对正与否，拍摄到对位标记和规定的通孔位置等完全对正时，这些的位置就处于整合位置，在此状态下，相对于上侧保持板10提升电路板K及第1下侧保持板20A。接着，如后所述，使上侧保持板10、第1下侧保持板20A相互间成为减压状态，由此在相对于上侧保持板10夹持电路板K的状态下，吸着固定第1下侧保持板20A，从而生成积层体S。还有，在积层体S生成后，第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B从移动底盘21上分离，在此空的状态下的移动底盘21由下侧保持板导轨30A导向，从整合室2前进移动到曝光室3内，在装载曝光完成后的电路板K等的该装载位置待机。

还有，对位标记通过例如电路板K的一定位置的通孔、吸引工作台的上述开口53的来自灯43的对位用光在相对于电路板K对位所必要的部位上分别显示在底版胶片F1、F2上，并通过电路板摄像机60拍摄这些而进行对位的标记。此时的对位标记在位于电路板K的上下的上侧或下侧底版胶片F1、F2上分别显示为有大小的例如圆形的标记。还有，上侧底版胶片F1、下侧底版胶片F2各自的对位标记做成如下：当电路板摄像机60从下方拍摄进行对位时，通过使下侧底版胶片F2上的对位标记相对于上侧底版胶片F1上的对位标记变小，可以确实、简便地设定底版胶片F1、F2相对于电路板K的定位。

另外，这些对位、整合之际的上述对位标记通常做成以适当的间隔分隔的成对显示的标记，与此应对电路板摄像机60也成对地固定配置，对于多个对位标记，通过把电路板摄像机60做成移动式并分别拍摄这些标记也能进行整合处理。

并且，在上侧保持板10、第1下侧保持板20A(或第2下侧保持板20B，以下同)的上下间隙的周围边缘间填充不小于电路板K高度的密封部件22。即在上侧保持板10或第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B中任意一方(本实施方式为在上侧保持板10上)安装密封部件22，所以比密封部件22更靠内侧的空间部分的空气一被抽吸，上侧保持板10、第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B就相互接近，从而由上侧保持板10、上侧底版胶片F1、电路板K、下侧底版胶片F2、第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B构成的积层构造的积层体S就生成了。还有，虽省略了图示，但在上侧保持板10或第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B上安装有具有阀的接续孔，该阀连接在真空泵或真空箱等未图示的减压源上，该真空泵或真空箱用于抽吸比密封部件22更靠内侧的室的空气。这样的积层体S的生成即使用第2下侧保持板20B也当然可以同样地进行。

另外，如图1所示，曝光室3是不反转积层体S就可以做两面曝光处理的两面曝光处理机构的构成。即在曝光机构中，配备有反射镜102、聚光透镜103、切换反射板104、上下部曝光反射板105A、105B，其中，反射镜102用于使由安装在于曝光室3前方构成的灯室4内的曝光灯5发出的紫外线等沿特定的方向反射；聚光透镜103用于汇聚反射的紫外线等的曝光线；切换反射板104前进或后退，用于将汇聚的曝光光线的曝光线路切换成上下方向的任意一个；上下部曝光反射板105A、105B具有抛物面状的反射面，上下配置，用于对移入的积层体S从其上下方向反射照射曝光线。根据该曝光机构，不需要在上下方向翻转积层体S，以移入时的状态就可以做曝光处理，并且构成简单化，同时，利用抛物面状的反射面对积层体S可以形成平行光，适于电路板K的曝光处理。还有，反射镜102、切换反射板104等设置在灯光室4，或是曝光室3内，可以任意选定。

另外，图中的曝光灯5配置在积层体S的上方，向下方照射的紫外线等通过反射镜102向上方反射。并且，通过切换反射板104的下面成为反射面，向积层体S侧前进时反射紫外线等，并由下部曝光反射板105B使其向上方反射，对积层体S的下面侧做曝光处理；相反，切换反射板104后退时，从反射镜102发出的紫外线原样由上部曝光反射板105A向下方反射，对积层体S的上面侧做曝光处理。当然，通过使曝光灯5、反射镜102、聚光透镜103、切换反射板104等上下反转配置也可以构成该曝光机构。

从而，反射镜102位于实线位置时，通过上部曝光反射板105A可以对对积层体S的上面做曝光处理；反射镜102位于点划线位置时，通过下部曝光反射板105B可以对积层体S的下面做曝光处理。如此，采用上下部曝光反射板105A、105B及可动的反射镜102时就不需要翻转积层体S，因而能够使带有翻转的曝光室3的机构简单化。

另外，就图8、图9而言表示的是其它的实施方式，是在整合室2中生成的积层体S在如图8所示移动至采用1个曝光灯5做曝光处理的曝光室3时被翻转的状态。即构成如下：积层体S通过上侧保持板导轨30B导向而移动至曝光室3后，在从上侧保持板导轨30B上分离同时，分别安装在形成该积层体S的上侧保持板10的两侧部的中央部上的摇转支轴90就嵌入到安装在曝光室3的摇转沟槽91中。另外，在积层体S成为以摇转支轴90为中心转动时，由安装在曝光室3的电磁吸盘92保持。该电磁吸盘92一把积层体S吸引至整合室2侧(就图9而言的左侧)，就能解除积层体S的固定，所以可以使积层体S转动180度(翻转)，再次由电磁吸盘92保持。像这样，因为可以使积层体S翻转，所以可以方便地使积层体S的两面交替位于曝光反射板7侧。另外，该积层体S的翻转通过操作员I或自动进行都可以，自动转动的情形下，可以例如把小齿轮安装在摇转支轴90上并通过齿条转动该小齿轮来进行。

进而，在该曝光室3内安装有升降缸65，用于使曝光处理后的积层体S上的第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B和电路板K共同下降，该升降缸65装载在移动底盘21上。在曝光处理中的积层体S由其上侧保持板10支撑在上侧保持板导轨30B上时，为了在曝光处理完成时使上侧保持板10分离，在积层体S的减压状态解除时该升降缸65上升；在保持电路板K及第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B的状态下该升降缸65下降。在该下降后，在此前通过从整合室2前进移动而位于曝光室3内的移动底盘21上装载电路板K和第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B，通过移动底盘21的后退移动，把曝光处理后的电路板K从曝光室3运回整合室2。

接下来用图10至图12对本发明的曝光装置1的使用例·动作进行说明。电路板抬起机构40、整合机构50、电路板固定机构70、在曝光室3中的曝光处理等通过操作员I操作操作盘上的开关类、下部开关等，只要没有特别说明，都是机械地动作。即操作员I位于在曝光装置1的面前侧的整合室2的前方操作操作盘进行作业，现在，在配置在曝光装置1的里部的曝光室3中，上次生成的积层体S正在曝光处理中，在配置在曝光装置1的前部的整合室2中正在准备用第1下侧保持板20A构成积层体S。首先，操作员I把电路板K装载在下侧底版胶片F2上的大致规定位置处(参照图10(A)左端的点划线箭头)，该下侧底版胶片F2贴附在装载在移动底盘21上的第1下侧保持板20A上。此时的电路板抬起机构40处于退避至图10(A)的实线位置的状态，通过整合工作台52所安装的第1下侧保持板20A或第2下侧保持板20B的上方较大地开放，可以很容易地投入电路板K。

一把电路板K装载在第1下侧保持板20A上的大致位置处，通过电路板抬起机构40后退移动到面前侧(就图10(B)而言的左侧)，就被拉到近旁(参照图10(B)箭头a)。并且，在该拉近后，在降下电路板抬起机构40(参照图10(B)箭头b)的同时，第1下侧保持板20A通过整合机构50从移动底盘21分离升起(参照图10(B)箭头c)，电路板K对接在电路板抬起机构40的吸着板42上，由该吸着板42吸附支撑电路板K。

电路板K一吸附固定在电路板抬起机构40上，整合机构50的整合工作台52就降下，第1下侧保持板20A也降下，使第1下侧保持板20A从电路板K分离(参照图10C)。于是，对于第1下侧保持板20A，基于电路板摄像机60拍摄的图像数据，用整合机构50的整合工作台52进行下侧底版胶片F2相对于电路板K的对位(参照图11(A))。通过该对位贴附在第1下侧保持板20A的下侧底版胶片F2对于吸着固定在电路板抬起机构40上的电路板K的位置关系处于规定位置(整合完成)后，保持该规定位置第1下侧保持板20A通过整合机构50的上升从移动底盘21分离并抬起(参照图11(B)的箭头d)，使第1下侧保持板20A与电路板K对接。于是，在该对接后，电路板K通过电路板固定机构70固定在第1下侧保持板20A上。此时成为空状态的移动底盘21从整合室2前进移动至曝光室3，在装载曝光处理后的电路板K等的位置待机。

电路板K在整合工作台52上若通过固定机构70固定在第1下侧保持板20A上，则解除电路板抬起机构40的吸着板42的吸附，使电路板抬起机构40上升(参照图11(C)的箭头e)。之后，固定电路板K的第1下侧保持板20A复归整合机构50进行位置调整前的规定的初始位置后下降(参照图11(C)的箭头f)，在此状态下通过电路板K的上方开放，在曝光室3内曝光完成时的上侧保持板10成为后退移动至整合室2前的等待状态(参照图11(C))。

一方面，此期间，在曝光室3中对积层体S做曝光处理，该曝光处理一完成，通过用上侧保持板10、第2下侧保持板20B夹持电路板K生成的积层体S而言，电路板K的上下面就从减压真空状态解除，通过升降缸65第2下侧保持板20B与电路板K共同降下，并装载在由下侧保持板导轨30A支撑的移动底盘21上(参照图11(C)的箭头g)。另一方面，与电路板K、第2下侧保持板20B分离的上侧保持板10由上侧保持板导轨30B后退移动地导向，从曝光室3返回到整合室2(参照图12(A)的箭头h)。

这样，上侧保持板10后退移动到整合室2的规定位置，在固定电路板K的第1下侧保持板20A上的大致该位置停止。这时，整合机构50的整合工作台52上升，在成为与上侧保持板10保持规定间隔的状态时，通过电路板摄像机60拍摄贴附在上侧保持板10上的上侧底版胶片F1的对位标记，对位设定成整合电路板K相对于上侧底版胶片F1的规定位置(整合完成)。整合完成后用整合机构50使电路板K与第1下侧保持板20A一同上升(参照图12(B)的箭头i)，从而与上侧保持板10上对接(参照图12(B))。在通过该对接的对接后，在电路板K被夹持的状态下，上侧保持板10、第1下侧保持板20A分别通过密封部件22而处于接合状态，抽吸其内侧的空间部分的空气，生成新的积层体S。

这样新生成的积层体S由上侧保持板导轨30B导向，前进移动到曝光室3进行曝光处理(参照图12(C)的箭头j)，同时在曝光室3中，用下侧保持板导轨30A使装载与上侧保持板10分离的曝光处理完成的电路板K和第2下侧保持板20B的移动底盘21后退移动至整合室2并拉近(参照图12(C)的箭头k)。

在曝光室3曝光处理结束后，移动底盘21从曝光室3向整合室2后退移动返回，该后退移动使电路板K与第2下侧保持板20B一起拉近到整合室2后，通过解除电路板固定机构70的固定操作员I把由设置在第2下侧保持板20B上的电路板固定机构70固定的、曝光处理完成的电路板K从第2下侧保持板20B上取出(参照图12(C)左端的点划线箭头)。之后，操作者把新的电路板K装载在该第2下侧保持板20B的大致的位置上(参照图10(A)左端的点划线箭头)，进行同样的作业。

Claims (13)

1.一种曝光装置，其特征在于，

包括：上侧保持板，由贴设有规定的上侧底版胶片的透光性材料构成；第1下侧保持板及第2下侧保持板，由分别贴设有规定的下侧底版胶片的透光性材料构成；整合室，用于在装载在第1下侧保持板或第2下侧保持板上的电路板的上面装载上侧保持板，用整合机构整合对位而生成积层体；曝光室，与整合室相邻设置，用于将来自曝光灯的光线照射在生成的积层体上以进行曝光处理；导向部，设置在整合室及曝光室之间，用于分别导向移动生成的积层体、上侧保持板、第1下侧保持板及第2下侧保持板；以及电路板抬起机构，用于在整合时抬起电路板，

第1下侧保持板及第2下侧保持板在任意一方处于在整合室中相对于电路板进行整合时，任意另一方处于在曝光室中对于电路板进行曝光，同时在曝光室中曝光结束后的上侧保持板从电路板分离，从曝光室后退移动返回到整合室，生成新的积层体。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，

整合机构在下述状态下，即在整合室中用电路板抬起机构将装载在吸着固定在整合工作台上的第1下侧保持板或第2下侧保持板上的电路板抬起的状态下，使下侧底版胶片相对于电路板对位，以及用整合工作台使装载在对位后的下侧底版胶片上的电路板与通过从曝光室后的后退移动而返回整合室的上侧保持板上的上侧底版胶片对位，在此对位后，使电路板及第1下侧保持板或第2下侧保持板与上侧保持板紧密接触，从而生成积层体。

3.根据权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于，

导向部配备有：上侧保持板导轨，用于使在整合室生成的积层体前进移动至曝光室，并且使在曝光室曝光结束后的上侧保持板后退移动至整合室；以及下侧保持板导轨，用于使装载曝光结束后的第1下侧保持板或第2下侧保持板以及电路板的移动底盘在整合室和曝光室之间前进后退移动。

4.根据权利要求3所述的曝光装置，其特征在于，

上侧保持板导轨、下侧保持板导轨在整合室、曝光室相互之间各自被设定在同一水平面上，将前者设置在比后者高的位置上。

5.根据权利要求3或4所述的曝光装置，其特征在于，

移动底盘在整合室通过整合工作台的升降动作、在曝光室通过升降缸的升降动作装卸自如地装载第1下侧保持板或第2下侧保持板。

6.根据权利要求1至5中任何一项所述的曝光装置，其特征在于，

用反射镜使来自曝光灯所照射的光线屈曲，使积层体的两面进行曝光处理。

7.根据权利要求1至6中任何一项所述的曝光装置，其特征在于，

配备有：反射镜，用于使来自曝光灯的光线沿特定方向反射；切换反射板，通过进退将被反射的曝光光线的曝光线路切换为上下方向的任意一个；以及上下部曝光反射板，被上下配置，具有抛物面状的反射面，从其上下方向对移入的积层体反射照射曝光光线。

8.根据权利要求1至6中任何一项所述的曝光装置，其特征在于，

曝光灯为一个，使积层体翻转从而使该积层体的两面进行曝光处理。

9.根据权利要求1至6中任何一项所述的曝光装置，其特征在于，

曝光灯为分别使积层体的上下面进行曝光处理的多个。

10.根据权利要求1至9中任何一项所述的曝光装置，其特征在于，

装载在第1下侧保持板或第2下侧保持板上的电路板用电路板固定机构固定在第1下侧保持板或第2下侧保持板上的非曝光部分上。

11.根据权利要求10所述的曝光装置，其特征在于，

电路板固定机构具有将电路板向第1下侧保持板或第2下侧保持板的非曝光部分按压的压片，弹性体总是对该压片施加向第1下侧保持板或第2下侧保持板侧的作用力，通过抵抗弹性体，向远离第1下侧保持板或第2下侧保持板的方向移动压片时，该压片以规定的角度转动退避。

12.根据权利要求1至11中任何一项所述的曝光装置，其特征在于，

装载在第1下侧保持板或第2下侧保持板上的电路板在用电路板固定机构被固定在第1下侧保持板或第2下侧保持板上之前，在将装载在第1下侧保持板或第2下侧保持板上的电路板用电路板抬起机构从第1下侧保持板或第2下侧保持板上抬起的状态下，对第1下侧保持板或第2下侧保持板用整合机构进行整合位置调整，使得电路板和分别贴设在第1下侧保持板或第2下侧保持板上的下侧底版胶片的位置关系处于规定的位置。

13.根据权利要求1至12中任何一项所述的曝光装置，其特征在于，

贴设在上侧保持板、第1下侧保持板或第2下侧保持板上的上侧或下侧底版胶片相对于电路板的定位调整如下进行：用电路板摄像机拍摄上侧或下侧底版胶片相对于电路板的对位标记，下侧或上侧底版胶片相对于电路板的定位整合、以及上侧底版胶片相对于电路板的对位通过用整合机构的整合工作台分别使其对应一致地使第1下侧保持板或第2下侧保持板、以及电路板在X方向、Y方向移动、以θ角转动。

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